JP5500871B2 - テンプレートマッチング用テンプレート作成方法、及びテンプレート作成装置 - Google Patents
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Description
102 第1陽極
103 第2陽極
104 一次電子線
105 集束レンズ
106 対物レンズ
107 試料
108 偏向コイル
109 偏向制御装置
110 二次電子
111 二次電子検出器
112 増幅器
113 コンピュータ
Claims (10)
- 予め記憶されたテンプレートと、顕微鏡によって取得された画像を比較することによって、所望の位置を特定するテンプレートマッチング用テンプレート作成方法において、
前記顕微鏡にて取得され、前記テンプレートにより特定された同一製造条件にて形成された複数の同じパターンの画像データを蓄積し、当該複数のパターンの画像データを加算平均すると共に、所定数のパターンの画像データを加算平均するように、加算平均対象であった古い画像データを除外しつつ、新たな画像データを加算平均対象とすることによって、新たなテンプレートを作成することを特徴とするテンプレートマッチング用テンプレートの作成方法。 - 請求項1において、
前記複数の画像を加算平均する前に、当該複数の画像に対してパターンエッジ強調処理を行うことを特徴とするテンプレートマッチング用テンプレートの作成方法。 - 請求項1において、
前記複数の画像を加算平均する前に、当該複数の画像間にてパターンマッチングを行うことを特徴とするテンプレートマッチング用テンプレートの作成方法。 - 請求項3において、
前記パターンマッチングのときに取得される画像間のずれ情報を保存し、当該ずれ情報に基づいて、前記画像間の加算平均処理を実行することを特徴とするテンプレートマッチング用テンプレートの作成方法。 - 請求項1において、
過去のテンプレートと、現在のテンプレートとの間に、所定の一致度の乖離がある場合に、前記過去のテンプレートを形成する画像データを、前記新しいテンプレートを作成する画像データとして適用しないことを特徴とするテンプレートマッチング用テンプレート作成方法。 - 顕微鏡によって取得された画像に基づいて、当該顕微鏡画像との比較に基づいて、所望の位置を特定するテンプレートを作成するテンプレート作成装置において、
前記テンプレートにより特定された同一条件にて形成された複数の同じパターンの画像データを蓄積する画像データ蓄積部と、
当該画像データ蓄積部に蓄積された複数のパターンの画像データを加算平均
すると共に、所定数のパターンの画像データを加算平均するように、加算平均対象であった古い画像データを除外しつつ、新たな画像データを加算平均対象とすることによって、新たなテンプレートを作成する平均化画像形成部を備えたことを特徴とするテンプレート作成装置。 - 請求項6において、
前記複数の画像を加算平均する前に、当該複数の画像に対してパターンエッジ強調処理を行う画像フィルタ部を備えたことを特徴とするテンプレート作成装置。 - 請求項6において、
前記複数の画像を加算平均する前に、当該複数の画像間にてパターンマッチングを行うパターンマッチング実行部を備えたことを特徴とするテンプレート作成装置。 - 請求項8において、
前記パターンマッチング実行部は、パターンマッチングのときに取得される画像間のずれ情報を保存し、当該ずれ情報に基づいて、前記画像間の加算平均処理を実行することを特徴とするテンプレート作成装置。 - 請求項6において、
平均化画像作成部は、過去のテンプレートと、現在のテンプレートとの間に、所定の一致度の乖離がある場合に、前記過去のテンプレートを形成する画像データを、前記新しいテンプレートを作成する画像データとして適用しないことを特徴とするテンプレート作成装置。
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