JP5174863B2 - 画像取得条件設定装置、及びコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
102 第1陽極
103 第2陽極
104 一次電子線
105 集束レンズ
106 対物レンズ
107 試料
108 偏向コイル
109 偏向制御装置
110 二次電子
111 二次電子検出器
112 増幅器
113 コンピュータ
114 レンズ制御電源
301,305 CD−SEM
302,401 データ蓄積部
303,409 画像取得条件最適化機能/装置
304 記憶部
402 精算枚数変換部
403 パターンマッチング実行部
404 マッチング結果(スコア)蓄積部
405 測長実行部
406,901,903 測長結果蓄積部
407,702,704,902,904,1102,1105 フィルタ部
701,703,1101,1104 マッチング結果蓄積部
1001 テンプレート登録画像
1002 目標パターン登録
1103 スコア平均値の確認
Claims (10)
- 複数の画像信号を積算して画像を形成する画像積算部と、予め登録されたテンプレートを用いて、前記画像積算部によって積算された画像上にてパターンマッチングを実行するパターンマッチング実行部を備えた画像取得条件設定装置であって、
前記画像積算部は、予め取得された複数の積算画像毎に、その積算枚数を変えて異なる積算枚数の画像を複数形成し、
前記パターンマッチング実行部は、積算枚数の異なる複数の画像上でパターンマッチングを実行し、前記テンプレートと当該テンプレートによって特定された位置との一致度を示すスコアを求め、
当該スコアのばらつきが所定の許容範囲に含まれる積算枚数、前記複数の積算画像のいずれもが、所定値以上のスコアを示す積算枚数、前記パターンマッチングによって特定されたパターンの寸法値のばらつきが所定の許容範囲に含まれる積算枚数、或いは当該パターンの寸法値の平均値が所定の範囲に含まれる積算枚数を選択する選択部を備えた画像取得条件設定装置。 - 請求項1において、
前記選択部は、選択した積算枚数が複数存在する場合に、当該選択された積算枚数の内、最も少ない積算枚数を、前記画像積算部の積算枚数として選択することを特徴とする画像取得条件設定装置。 - 請求項1において、
前記選択部は、前記スコアのばらつきが所定の許容範囲に含まれる積算枚数が、複数存在する場合に、前記選択された積算枚数の内、所定の許容値から一定量以上高いスコアを示す積算枚数を選択することを特徴とする画像取得条件設定装置。 - 請求項1において、
前記積算画像は、複数の画像データが積算された画像であることを特徴とする画像取得条件設定装置。 - 請求項1において、
前記パターンマッチング実行部は、パターンマッチングによる第1候補のスコアと第2候補のスコアとの間のスコアを、テンプレートマッチング時のマッチング成否の閾値とすることを特徴とする画像取得条件設定装置。 - 請求項1において、
前記選択部は、前記選択された積算枚数を荷電粒子線装置の装置条件として、設定することを特徴とする画像取得条件設定装置。 - コンピュータに、荷電粒子線装置によって得られた画像信号を積算させて積算画像を形成させ、予め登録されたテンプレートを用いて、前記積算画像上にてパターンマッチングを実行させるコンピュータプログラムであって、
当該コンピュータプログラムは、前記コンピュータに、予め取得された複数の積算画像毎に、その積算枚数を変えて異なる積算枚数の画像を複数形成させ、当該積算枚数の異なる複数の画像上でパターンマッチングを実行させ、前記テンプレートと当該テンプレートによって特定された位置との一致度を示すスコアを求めさせ、当該スコアのばらつきが所定の許容範囲に含まれる積算枚数、前記複数の積算画像のいずれもが、所定値以上のスコアを示す積算枚数、前記パターンマッチングによって特定されたパターンの寸法値のばらつきが所定の許容範囲に含まれる積算枚数、或いは当該パターンの寸法値の平均値が所定の範囲に含まれる積算枚数を選択させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項7において、
前記コンピュータプログラムは、前記コンピュータに、選択した積算枚数が複数存在する場合に、当該選択された積算枚数の内、最も少ない積算枚数を、前記画像積算部の積算枚数として選択させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項7において、
前記コンピュータプログラムは、前記コンピュータに、前記スコアのばらつきが所定の許容範囲に含まれる積算枚数が、複数存在する場合に、前記選択された積算枚数の内、所定の許容値から一定量以上高いスコアを示す積算枚数を選択させることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項7において、
前記積算画像は、複数の画像データが積算された画像であることを特徴とするコンピュータプログラム。
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