JP4647974B2 - 欠陥レビュー装置、データ管理装置、欠陥観察システム及び欠陥レビュー方法 - Google Patents
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- 欠陥検査装置の出力結果に基づいて欠陥を探索し当該欠陥を観察する欠陥レビュー装置であって、
前記欠陥レビュー装置は欠陥データ解析演算部を有し、
前記欠陥データ解析演算部は、位置座標が既知である欠陥をもつ基板を前記欠陥レビュー装置で観察した結果から前記位置座標が既知である欠陥であるかを判定し、
前記位置座標が既知である欠陥である場合に、
前記観察によって得られた座標または前記欠陥検査装置から出力された座標と、既知の前記位置座標との差を誤差とし、
前記誤差の分布の傾向に基づき前記傾向を補正し、
前記傾向が補正された誤差の分布に基づいて前記探索に適した視野サイズを算出する
ことを特徴とする欠陥レビュー装置。 - ウエハを検査する欠陥検査装置と、前記欠陥検査装置の出力結果に基づいて欠陥を探索し当該欠陥を観察する欠陥レビュー装置とが接続されたデータ管理装置であって、
前記データ管理装置は欠陥データ解析演算部を有し、
前記欠陥データ解析演算部は、位置座標が既知である欠陥をもつ基板を前記欠陥レビュー装置で観察した結果から前記位置座標が既知である欠陥であるかを判定し、
前記位置座標が既知である欠陥である場合に、
前記観察によって得られた座標または前記欠陥検査装置から出力された座標と、既知の前記位置座標との差を誤差とし、
前記誤差の分布の傾向に基づき前記傾向を補正し、
前記傾向が補正された誤差の分布に基づいて前記探索に適した視野サイズを算出する
ことを特徴とするデータ管理装置。 - 請求項1記載の欠陥レビュー装置において、前記欠陥データ解析演算部は、前記傾向を回転誤差、伸縮誤差、及び、並進誤差の順で補正する
ことを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項1記載の欠陥レビュー装置において、既知のサイズの欠陥を持つ基板の欠陥サイズの検出値が前記欠陥検査装置から前記欠陥データ解析演算部に出力され、前記欠陥データ解析演算部は、前記欠陥サイズの検出値と前記既知のサイズの間の相関関係を調べ、該相関関係が所定の閾値より大きい欠陥をファインアライメントに好適な欠陥として選定する
ことを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項4記載の欠陥レビュー装置において、前記欠陥データ解析演算部は、前記位置座標に対する、実際に前記欠陥レビュー装置または前記欠陥検査装置で検出された座標の差が、ある閾値未満となるようなサイズの欠陥をファインアライメントに好適な欠陥として選定する
ことを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 検査装置によって得られた欠陥の位置座標を入力して欠陥レビュー装置によって欠陥の
拡大像を表示する欠陥レビュー方法において、
前記検査装置または前記欠陥レビュー装置によって欠陥の位置座標が既知である基板を検査し、検出された座標を出力するステップと、
前記検出された座標について前記レビュー装置が探索した結果から前記位置座標が既知である欠陥であるかを判定するステップと、
前記位置座標が既知である欠陥である場合に、
前記検出された座標を既知の前記位置座標と比較し両者の差を前記検査装置による誤差であると判定するステップと、
前記誤差の分布より、前記誤差の傾向を抽出し、前記傾向を補正するステップと、
前記傾向が補正された後に残った誤差の分布に基づいて、前記欠陥レビュー装置における視野サイズを算出するステップと、
を含む欠陥レビュー方法。 - 請求項6記載の欠陥レビュー方法において、前記傾向を補正するステップで、前記誤差に含まれる回転誤差、伸縮誤差、及び、並進誤差の順で補正する
ことを特徴とする欠陥レビュー方法。 - 請求項6記載の欠陥レビュー方法において、欠陥サイズが既知である基板の欠陥サイズを、前記検査装置によって検出し、欠陥サイズの検出値として出力するステップと、
前記欠陥サイズの検出値と既知の前記欠陥サイズの間の相関関係を調べるステップと、
前記相関関係が所定の閾値より大きい欠陥を、ファインアライメントに好適な欠陥とし
て選定するステップと、
を含むことを特徴とする欠陥レビュー方法。 - 請求項8記載の欠陥レビュー方法において、
前記検査装置から出力された前記座標と前記位置座標の差がある閾値未満となるようなサイズの欠陥をファインアライメントに好適な欠陥として選定するステップと、
を有する欠陥レビュー方法。 - 検査装置と、前記検査装置の出力結果に基づいて欠陥を探索し、当該欠陥を観察する欠陥レビュー装置とを有する欠陥観察システムであって、
前記検査装置または前記欠陥レビュー装置は欠陥データ解析演算部を有し、
前記欠陥データ解析演算部は、位置座標が既知である欠陥をもつ基板を前記欠陥レビュー装置で観察した結果から前記位置座標が既知である欠陥であるかを判定し、
前記位置座標が既知である欠陥である場合に、
前記観察によって得られた座標または前記欠陥検査装置から出力された座標と、既知の前記位置座標との差を誤差とし、
前記誤差の分布がもつ傾向を補正し、前記補正の後に残った傾向を持たない誤差に基づいて前記探索に適した視野サイズを算出する
ことを特徴とする欠陥観察システム。
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