JP2011082299A - 欠陥観察方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
観察座標を算出するのに不適当な,観察装置で検出するのが困難な欠陥(例えば,膜下欠陥など)が多発する品種・工程のウェーハにおいて,安定かつ高スループットに検査装置と観察装置の座標系のずれを補正する。
【解決手段】
観察装置を,座標変換情報を記憶する記憶手段と、検査装置で検出した複数の欠陥の座標情報を記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を用いてそれぞれの欠陥に対応する観察装置上の座標情報に変換する座標情報変換手段と、座標情報変換手段で変換した観察装置上の座標情報に基づいてそれぞれの欠陥を撮像する撮像手段と、撮像手段で取得した画像から抽出した欠陥の座標情報と座標変換手段で変換したそれぞれの欠陥の座標情報とから記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を修正する座標情報修正手段とを備えて構成した。
【選択図】図1
Description
欠陥検査装置とは光学的な手段もしくは電子線を用いてウェーハを観測し,検出された欠陥座標を出力する装置である。欠陥検査装置は広範囲を高速に処理する事が重要であるため,可能な限り取得する画像の画素サイズを大きく(つまり低解像度化)することによる画像データ量の削減を行っており,多くの場合,検出した低解像度の画像からは欠陥の存在は確認できても,その欠陥の種類を詳細に判別することはできない。そこで,観察装置が用いられる。
しかし,検査装置と観察装置の画像撮像方法が異なる場合,検査装置が出力した情報をもとに観察装置での検出可否を判定するのは困難である。また,観察装置の欠陥検出結果をもとにずれの算出適正を判定する場合,適当と判定される欠陥が数点(例えば5点)見つかるまで欠陥点を巡回するため,不適と判定される欠陥が多発する工程のウェーハにおいては効率が低下する。
(1)座標変換式データベースに記憶されている座標変換式を用いて観察対象ウェーハの検査座標を変換する。観察するウェーハの種類に応じた座標変換式が記憶されていない場合は,前述のファインアライメント処理により座標変換式を算出する。
(2)ADR時に得られた検査座標と観察座標の対応関係をもとに座標変換式を算出する。
(3)算出した座標変換式の信頼性を判定する。
(4)信頼性がある場合は,記憶してある座標変換式と算出した座標変換式を用いて座標変換式データベースを更新する。
(i) 光学的な手段を用いて信号を取得し,欠陥を検出する装置
(ii) 試料に荷電粒子ビームを照射する手段を用いて信号を取得し,
欠陥を検出する装置
などを用いれば良い。
本発明にかかわるレビューSEMにおいて,観察画像を自動収集するための流れを図1に示す。他の欠陥検査装置で検査して検出した欠陥座標のうち,サンプリングされた観察対象の欠陥座標全てについて,S101〜S109の処理を実行することで観察画像を自動収集する。
Claims (10)
- 検査装置で検出した欠陥を観察する観察装置であって,
座標変換情報を記憶する記憶手段と、
検査装置で検出した複数の欠陥の座標情報を前記記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を用いてそれぞれの欠陥に対応する観察装置上の座標情報に変換する座標情報変換手段と、
該座標情報変換手段で変換した観察装置上の座標情報に基づいて前記それぞれの欠陥を撮像する撮像手段と、
該撮像手段で取得した画像から抽出した欠陥の座標情報と前記座標変換手段で変換したそれぞれの欠陥の座標情報とから前記記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を修正する座標情報修正手段と、
を備えたことを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項1に記載の欠陥観察装置であって、前記座標情報修正手段で修正した前記座標変換情報に関する情報を表示する表示手段を更に備えることを特徴とする欠陥観察装置。
- 請求項2に記載の欠陥観察装置であって、前記表示手段には、前記検査装置で検出した複数の欠陥の座標情報と前記座標情報変換手段で変換した観察装置上の座標情報との対応関係を表示するマップ、又は、前記検査装置で検出した複数の欠陥の座標情報と前記撮像手段で撮像して得た画像、又は、前記座標情報変換手段で変換した観察装置上の座標情報と前記撮像手段で撮像して得た画像のうち少なくとも何れか1つを表示することを特徴とする欠陥観察装置。
- 検査装置で検出した欠陥を観察する観察装置であって,
検査装置で検出した欠陥を観察装置で観察するために前記検査装置で検出した欠陥の位置情報を前記観察装置上の位置情報に変換する位置変換情報を記憶する記憶手段と、
該記憶手段に記憶しておいた位置変換情報を用いて検査装置で検出した欠陥の位置情報を補正する位置情報変換手段と、
該位置情報変換手段で補正した位置情報に基づいて前記検査装置で検出した欠陥を撮像して該欠陥の画像を取得する撮像手段と、
該撮像手段で取得した画像から前記欠陥の位置情報を抽出する位置情報抽出手段と、
前記位置情報変換手段で補正した欠陥の位置情報と前記位置情報抽出手段で抽出した前記欠陥の位置情報とを用いて前記記憶手段に記憶しておいた前記位置変換情報を修正する位置情報修正手段と
を備えたことを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項4に記載の欠陥観察装置であって,
前記撮像手段で撮像した欠陥の検査座標と観察座標との対応関係をマップ上に表示する表示部,又は、前記位置座標変換手段で変換前の検査座標を用いて前記撮像手段で画像を撮像した際に欠陥が撮像される位置を表示する表示部,又は、前記位置座標変換手段で変換後の検査座標を用いて前記撮像手段で画像を撮像した際に欠陥が撮像される位置を表示する表示部のうち少なくとも1つ以上を更に備えることを特徴とする欠陥観察装置。 - 請求項1又は4に記載の欠陥観察装置であって、前記画像取得手段は走査型電子顕微鏡を用いて前記試料の電子線画像を取得することを特徴とする欠陥観察装置。
- 検査装置で検出した欠陥を観察装置で観察する方法であって,
検査装置で検出した複数の欠陥について記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を用いてそれぞれの欠陥の位置情報を補正し、
該補正した位置情報に基づいて前記検査装置で検出したそれぞれの欠陥を観察装置で順次撮像して該それぞれの欠陥の画像を取得し、
該取得した画像から前記それぞれの欠陥の前記観察装置上での位置情報を得、
該それぞれの欠陥の補正した位置情報と前記得た位置情報とを用いて前記記憶手段に記憶しておいた前記座標変換情報を修正する
ことを特徴とする欠陥観察方法。 - 請求項7記載の欠陥観察方法であって、前記修正した座標変換情報を用いて前記検査装置で検出した新たな欠陥の位置情報を修正し、該位置情報を修正した欠陥を前記観察装置で観察することを特徴とする欠陥観察方法。
- 請求項7に記載の欠陥観察方法であって、前記検査装置で検出した複数の欠陥の座標情報と前記記憶しておいた座標変換情報を用いて補正した位置情報との対応関係を示すマップ、又は、前記検査装置で検出した複数の欠陥の座標情報と前記撮像して得た画像、又は、前記座標変換情報を用いて補正した欠陥の位置情報と前記撮像して得た画像とのうち少なくとも何れか1つを画面上に表示することを特徴とする欠陥観察方法。
- 請求項7に記載の欠陥観察方法であって、前記欠陥を撮像する観察装置は走査型電子顕微鏡を用いた観察装置であることを特徴とする欠陥観察方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106030294A (zh) * | 2014-01-28 | 2016-10-12 | 国立里昂应用科学学院 | 用于标定由多晶材料制备的样品的晶体学取向的方法 |
JP2018517146A (ja) * | 2015-03-23 | 2018-06-28 | テックインサイツ インコーポレイテッド | イメージング装置における歪み補正に関する方法、システム及び装置 |
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JP2001338601A (ja) * | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Hitachi Ltd | 走査電子顕微鏡 |
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2009
- 2009-10-06 JP JP2009232439A patent/JP5547942B2/ja active Active
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