JP2011222622A - 検査方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
半導体製造プロセスにおいて,パターン微細化に伴い,致命となる欠陥サイズも微小化しており,微細な欠陥を検出するために欠陥検査装置の感度を上げると,本来は欠陥ではない製造公差などを検出してしまい,欠陥の発生傾向を捕らえることが困難となる。
【解決手段】
被検査対象を検査する方法において,被検査対象の指定箇所について画像撮像手段を用いて撮像し,撮像した画像から欠陥を検出し,撮像した画像から回路パターンを認識し,検出した欠陥から画像濃淡および形状に関する特徴量を算出し,認識した回路パターンから画像濃淡および形状に関する特徴量を算出し,検出した欠陥と認識した回路パターンの中から特定の欠陥又は回路パターンをフィルタリングして抽出し、フィルタリングして抽出された特定の欠陥又は回路パターンの特徴量の中からマッピングする特徴量を決定し、決定した特徴量の分布状況を画面上にマップ形式で表示するようにした。
【選択図】図1B
Description
最初に、SEM201で試料ウェハ209のSEM画像を取得する(S11)。次に、この取得したSEM画像を検査ユニット202で処理して、欠陥を検出し(S12)、SEM画像中の配線パターンを検出する(S13)。この欠陥検出処理と配線パターン検出処理とは順次処理しても良く、また、並列に処理しても良い。図では、並列に処理する場合について示している。次に、検出した欠陥画像及び配線パターン画像に対してフィルタリング処理を行って欠陥及びパターンを分類し(S14)、所望の欠陥又は配線パターンの画像から特徴量を算出し(S15)、算出した結果に基づいてマッピング表示して(S16)処理を終了する。
最初に、SEM201で試料ウェハ209のSEM画像を取得する(S21)。次に、この取得したSEM画像を検査ユニット202で処理して、欠陥を検出し(S22)、SEM画像中の配線パターンを検出する(S23)。この欠陥検出処理と配線パターン検出処理とは順次処理しても良く、また、並列に処理しても良い。図では、並列に処理する場合について示している。ここまでのフローは、図1Aで説明した実施例1の場合と同じである。次に、検出した欠陥画像及び配線パターン画像をマッピングする条件を設定し(S24)、所望の欠陥又は配線パターンの画像から特徴量を算出して保存し(S25)、算出した特徴量を設定したマッピング条件に基づいてマッピング表示して(S26)処理を終了する。
図21Bに示した処理フローのS2101〜S2110は、前記したように実施例1および実施例2における検査方法の図1Bに示した処理フローにおけるS101〜S110と同一である。
Claims (14)
- 被検査対象を検査する方法であって,
被検査対象の指定箇所について画像撮像手段を用いて撮像するステップと,
撮像した画像から欠陥を検出するステップと,
撮像した画像から回路パターンを認識するステップと,
検出した欠陥から画像濃淡および形状に関する特徴量を算出するステップと,
認識した回路パターンから画像濃淡および形状に関する特徴量を算出するステップと,
前記検出した欠陥と前記認識した回路パターンの中から特定の欠陥又は回路パターンをフィルタリングして抽出するステップと、
該フィルタリングして抽出された特定の欠陥又は回路パターンの特徴量の中からマッピングする特徴量を決定するステップと、
該決定した特徴量の分布状況を画面上にマップ形式で表示するステップと
を含むことを特徴とする検査方法。 - 前記フィルタリングして抽出するステップにおいて、フィルタリングする条件は、画面上で設定された条件であることを特徴とする請求項1記載の検査方法。
- 前記マッピングする特徴量を決定するステップにおいて、前記特徴量は、画面上で設定されたものであることを特徴とする請求項1記載の検査方法。
- 前記画面上にマップ形式で表示するステップにおいて、被検査対象上に複数形成されたチップごと、又はチップ内の小領域ごとに前記マッピングする特徴量を決定するステップにおいて決定された特徴量を集計した結果をマップ形式で表示することを特徴とする請求項2又は3に記載の検査方法。
- 前記画面上に表示するマップ形式が、ウェハマップであることを特徴とする請求項2又は3に記載の検査方法。
- 前記画面上に表示するマップ形式が、チップ内のマップであることを特徴とする請求項2又は3に記載の検査方法。
- 前記フィルタリングして抽出するステップにおいて、フィルタリングする条件は、画面上で指定された欠陥もしくは回路パターンを抽出するように設定された条件であることを特徴とする請求項1記載の検査方法。
- 被検査対象を検査する装置であって,
被検査対象の指定箇所の画像を撮像する画像撮像手段と,
撮像した画像から欠陥を検出する手段と,
撮像した画像から回路パターンを認識する手段と,
検出した欠陥から画像濃淡および形状に関する特徴量を算出する手段と,
認識した回路パターンから画像濃淡および形状に関する特徴量を算出する手段と,
前記欠陥を検出する手段で検出した欠陥と前記回路パターンを認識する手段で認識した回路パターンの中から特定の欠陥又は回路パターンをフィルタリングして抽出する抽出手段と、
該抽出手段でフィルタリングして抽出された特定の欠陥又は回路パターンの特徴量の中からマッピングする特徴量を決定する特徴量決定手段と、
該特徴量決定手段で決定した特徴量の分布状況を画面上にマップ形式で表示する表示手段と
を含むことを特徴とする検査装置。 - 前記抽出手段においてフィルタリングする条件は、画面上で設定された条件であることを特徴とする請求項8記載の検査装置。
- 前記特徴量決定手段で決定するマッピングする特徴量は、画面上で設定されたものであることを特徴とする請求項8記載の検査装置。
- 前記表示手段は、被検査対象上に複数形成されたチップごと、又はチップ内の小領域ごとに前記マッピングする特徴量を決定するステップにおいて決定された特徴量を集計した結果をマップ形式で表示することを特徴とする請求項9又は10に記載の検査装置。
- 前記表示手段が画面上に表示するマップ形式は、ウェハマップであることを特徴とする請求項9又は10に記載の検査装置。
- 前記表示手段が画面上に表示するマップ形式は、チップ内のマップであることを特徴とする請求項9又は10に記載の検査装置。
- 前記抽出手段でフィルタリングする条件は、画面上で指定された欠陥もしくは回路パターンを抽出するように設定された条件であることを特徴とする請求項8記載の検査装置。
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