JP4317805B2 - 欠陥自動分類方法及び装置 - Google Patents
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Description
従来の半導体製造工程での検査を図4に示す。
また,複数の欠陥検査装置で構成されたシステムにおいて,検査装置間で統一された欠陥クラスを定義し,その欠陥クラスに分類する分類器の設計方法及び分類方法が特許文献3に開示されている。
そして,割り当てられた欠陥クラスと欠陥データを対応付けして表示する。図12に表示部分の態様例を示す。表示部は,ウェハ情報領域501,ウェハマップ領域506,欠陥クラス及び欠陥データ領域508,ビュー領域517及び詳細ビュー領域519,欠陥クラス領域521からなる。
Claims (10)
- 欠陥を分類する方法であって、
試料を解像度の低い検査装置で検査して得た欠陥の情報と該検査装置で検出した欠陥の
中からサンプリングした欠陥を解像度の高いレビュー装置で観察して分類された欠陥分類
情報に基づいて前記検査装置で検出した欠陥を前記レビュー装置で定義している欠陥クラ
スに分類する分類器を設計し,
前記検査装置で検出された欠陥のうち前記レビュー装置で観察されていない欠陥に対し
て前記検査装置から得られた欠陥情報に基づいて前記設計した分類器を用いて前記レビュ
ーした欠陥の欠陥クラスと同じ定義の欠陥クラスを与える
ことを特徴とする欠陥分類方法。 - 前記分類器を設計する工程において、前記検査装置から入力した欠陥の情報に基づいて
該検出した欠陥を前記試料上で偏在する欠陥と偏在していない欠陥とに分類し、該偏在し
ていない欠陥について前記詳細観察装置で観察して分類した分類情報に基いて分類器を設
計し、前記欠陥のクラスを与える工程において前記設計した分類器を用いて前記偏在して
いない欠陥を分類することを特徴とする請求項1記載の欠陥分類方法。 - 前記設計した分類器を用いて、前記検査装置から入力した全ての欠陥を分類することを
特徴とする請求項1記載の欠陥分類方法。 - 前記検査装置で検出した欠陥を画面上にマップ上に表示し、該マップ上に表示した全て
の欠陥について前記分類器を用いて分類することを特徴とする請求項1記載の欠陥分類方法。 - 前記分類器を設計する工程において、前記試料を設計する際に作成されたCAD情報を更に用いることを特徴とする請求項1記載の欠陥分類方法。
- 欠陥を分類する装置であって、
試料を解像度の低い検査装置で検査して得た欠陥の情報と該検査装置で検出した欠陥の
中からサンプリングした欠陥を解像度の高いレビュー装置で観察して分類された欠陥分類
情報に基づいて前記検査装置で検出した欠陥を前記レビュー装置で定義している欠陥クラ
スに分類する分類器を設計する分類器設計手段と,
前記検査装置で検出された欠陥のうち前記レビュー装置で観察されていない欠陥に対し
て前記検査装置から得られた欠陥情報に基づいて前記分類器設計手段で設計した分類器を
用いて前記レビューした欠陥の欠陥クラスと同じ定義の欠陥クラスを与える欠陥分類手段
と
を備えたことを特徴とする欠陥分類装置。 - 前記分類器設計手段は、前記検査装置から入力した欠陥の情報に基づいて該検出した欠
陥を前記試料上で偏在する欠陥と偏在していない欠陥とに分類する偏在欠陥抽出部と、該
偏在欠陥抽出部で偏在していないと判断された欠陥について前記詳細観察装置で観察して
分類した分類情報に基いて分類器を設計する分類器設計部とを有することを特徴とする請
求項6記載の欠陥分類装置。 - 前記欠陥分類手段は、前記検査装置から入力した全ての欠陥を分類することを特徴とす
る請求項6記載の欠陥分類装置。 - 表示画面を有する表示手段を更に備え、前記検査装置で検出した欠陥を前記表示手段の
画面上にマップ状に表示し、該マップ状に表示した全ての欠陥について前記欠陥分類手段
で前記分類器を用いて分類することを特徴とする請求項6記載の欠陥分類装置。 - 前記分類器設計手段は、工程において、前記試料を設計する際に作成されたCAD情報を更に用いて前記分類器を設計することを特徴とする請求項6記載の欠陥分類装置。
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