JP2012083147A - 欠陥分類システム及び欠陥分類装置及び画像撮像装置 - Google Patents
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Abstract
性質が異なる画像を取得する複数種類の観察装置を用いた欠陥分類システムにおいて、分類性能及びシステムの操作性を向上させる。
【解決手段】
被検査対象を撮像する複数の画像撮像手段と、上記画像撮像手段から得られた画像を分類する欠陥分類装置と、上記複数の画像撮像手段と、上記欠陥分類との間のデータ伝送を行う為の伝送手段からなる欠陥分類システムにおいて、上記欠陥分類装置に、画像撮像手段から得られた画像データを記憶する画像記憶手段と入力画像データに関する付随情報を記憶する情報記憶手段と、上記、付随情報に応じて画像の処理方式あるいは表示方式を変更する手段を備える。
【選択図】 図1
Description
(1)被検査対象である試料表面の欠陥を複数の画像撮像装置で撮像して得た複数の画像を分類する欠陥分類装置であって、前記複数の画像撮像装置で撮像して得た複数の画像を格納する画像記憶手段と、前記複数の画像各々を撮像した前記複数の画像撮像装置の種類を特定する情報又は前記複数の画像を撮像した際の検出条件の情報の少なくとも一つを含む、前記複数の画像各々に対応付けられた付随情報を記憶する付随情報記憶手段と、前記付随情報記憶部に記憶された前記付随情報に基づいて、前記複数の画像同士が互いに類似するように前記複数の画像の一部又は全部を加工する画像加工処理手段と、前記画像加工処理手段により処理された前記複数の画像に基づいて、前記複数の画像を分類する分類処理手段と、を有することを特徴とする欠陥分類装置である。
(2)欠陥部位を含む被検査対象を撮像する複数の画像撮像装置によって得られた画像を分類する欠陥分類装置であって、欠陥分類装置に、画像撮像装置から入力された各欠陥部位の画像データを記憶する画像記憶手段と、各画像データを取得した画像撮像装置の種類を特定する情報あるいは取得された画像データの検出条件情報からなる付随情報を記憶する付随情報記憶手段と、画像を分類するための画像処理手段と、分類結果を表示するための表示手段を備え、前記の付随情報記憶手段に記憶された付随情報に応じて、画像処理手段における処理内容や表示手段での表示内容を変更することを特徴とする欠陥分類装置である。
(3)被検査対象である試料表面の欠陥の画像を取得する画像撮像装置であって、予め取得した欠陥の位置情報に基づいて、前記試料表面に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、前記電子ビーム照射手段による電子ビームの照射により前記試料表面から発生する2次電子又は後方散乱電子を複数の検出器により検出して複数の画像を取得する画像取得手段と、前記複数の画像各々に対応付けられた、前記複数の画像を撮像した際の検出条件の情報を有する付随情報を作成する付随情報作成手段と、前記付随情報作成手段により作成された前記複数の画像各々に対応する付随情報に基づいて、前記複数の画像同士が互いに類似するように前記複数の画像の一部又は全部を加工する画像加工処理手段と、を有することを特徴とする画像取得装置である。
(4)欠陥分類システムであって、被検査対象である試料表面の欠陥の画像を取得する複数の画像撮像装置と、前記複数の画像撮像装置で撮像して得た複数の画像を格納する画像記憶手段と、前記複数の画像各々を撮像した前記複数の画像撮像装置の種類を特定する情報又は前記複数の画像を撮像した際の検出条件の情報の少なくとも一つを含む、前記複数の画像各々に対応付けられた付随情報を記憶する付随情報記憶手段と、を備える欠陥分類装置と、前記付随情報記憶部に記憶された前記付随情報に基づいて、前記複数の画像同士が互いに類似するように前記複数の画像の一部又は全部を加工する画像加工処理手段と、を有し、前記欠陥分類装置は、さらに、前記画像加工処理手段により処理された前記複数の画像に基づいて、前記複数の画像を分類する分類処理手段、を有することを特徴とする欠陥分類システムである。
図13は、実施例2にかかる欠陥分類装置102’の構成を示したものである。欠陥分類装置102’は、図1に示す欠陥分類装置102に対し、表示画像情報記憶部1301が付加されている。この表示画像情報記憶部1301にて保存される情報をテーブル形式にまとめた表を図14に示す。ここでは、表示する画像を選択する条件として、分類結果・欠陥のサイズ・プロセスを指定した例を示している。例えば、分類結果が、その表面が凸状であることに特徴がある異物である場合は、凹凸状況を確認しやすい後方散乱電子を検出した左画像あるいは右画像を表示するように指定される。また、分類結果「SEM Invisible」であれば、視野の広い低倍画像を表示するように指定される。さらに、欠陥サイズがある規定より大きい場合、視野の広い低倍画像を表示するものが指定され、対象プロセスがMetalであって、この工程で特に観察したい欠陥が上方画像において確認しやすい場合であればその画像が指定される。なお、この表では、各条件において指定される表示画像は、図11に示した取得画像及び加工処理後の画像一覧データにおいて、各画像に付されたIDを用いて指定されている。複数の条件の間に優先度を定義しておくことで(例えば、図14に示す表では、1,2,3,4の順で優先度が高いとする)、ある欠陥が複数の条件に一致する場合であっても、その欠陥の表示画像を一意に決定できる。なお、図14に示したテーブル形式の情報は、入出力部108の画面を通じて、操作者が、任意のタイミングで設定・更新することができる。
Claims (16)
- 被検査対象である試料表面の欠陥を複数の画像撮像装置で撮像して得た複数の画像を分類する欠陥分類装置であって、
前記複数の画像撮像装置で撮像して得た複数の画像を格納する画像記憶手段と、
前記複数の画像各々を撮像した前記複数の画像撮像装置の種類を特定する情報又は前記複数の画像を撮像した際の検出条件の情報の少なくとも一つを含む、前記複数の画像各々に対応付けられた付随情報を記憶する付随情報記憶手段と、
前記付随情報記憶部に記憶された前記付随情報に基づいて、前記複数の画像同士が互いに類似するように前記複数の画像の一部又は全部を加工する画像加工処理手段と、
前記画像加工処理手段により処理された前記複数の画像に基づいて、前記複数の画像を分類する分類処理手段と、
を有することを特徴とする欠陥分類装置。 - 請求項1記載の欠陥分類装置であって、
さらに、前記分類処理手段による分類結果を表示する表示手段を有し、
前記表示手段は、前記画像加工処理手段により加工された画像を表示する際に、前記加工された画像になされた加工処理内容を併せて表示することを特徴とする欠陥分類装置。 - 請求項1記載の欠陥分類装置であって、
さらに、前記分類処理手段による分類結果を表示する表示手段を有し、
前記表示手段は、前記付随情報を表示することを特徴とする欠陥分類装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の欠陥分類装置であって、
前記複数の画像各々に対応付けられた付随情報の検出条件の情報は、前記複数の画像各々の取得に用いた前記複数の画像撮像手段の検出器の種類を特定するための情報、又は、前記複数の画像各々を取得した際の撮像条件の情報、の少なくとも一つを含むことを特徴とする欠陥分類装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の欠陥分類装置であって、
前記画像加工処理手段は、前記複数の画像に基づいて新たな1以上の画像を生成することにより、互いに類似する複数の画像を得ることを特徴とする欠陥分類装置。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の欠陥分類装置であって、
前記画像加工処理手段は、画像の回転処理又は鏡像反転処理、若しくは、画像の画質を向上させる処理のいずれか1つ以上を実行すること特徴とする欠陥分類装置。 - 被検査対象である試料表面の欠陥の画像を取得する画像撮像装置であって、
予め取得した欠陥の位置情報に基づいて、前記試料表面に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と、
前記電子ビーム照射手段による電子ビームの照射により前記試料表面から発生する2次電子又は後方散乱電子を複数の検出器により検出して複数の画像を取得する画像取得手段と、
前記複数の画像各々に対応付けられた、前記複数の画像を撮像した際の検出条件の情報を有する付随情報を作成する付随情報作成手段と、
前記付随情報作成手段により作成された前記複数の画像各々に対応する付随情報に基づいて、前記複数の画像同士が互いに類似するように前記複数の画像の一部又は全部を加工する画像加工処理手段と、
を有することを特徴とする画像取得装置。 - 欠陥分類システムであって、
被検査対象である試料表面の欠陥の画像を取得する複数の画像撮像装置と、
前記複数の画像撮像装置で撮像して得た複数の画像を格納する画像記憶手段と、前記複数の画像各々を撮像した前記複数の画像撮像装置の種類を特定する情報又は前記複数の画像を撮像した際の検出条件の情報の少なくとも一つを含む、前記複数の画像各々に対応付けられた付随情報を記憶する付随情報記憶手段と、を備える欠陥分類装置と、
前記付随情報記憶部に記憶された前記付随情報に基づいて、前記複数の画像同士が互いに類似するように前記複数の画像の一部又は全部を加工する画像加工処理手段と、
を有し、
前記欠陥分類装置は、さらに、前記画像加工処理手段により処理された前記複数の画像に基づいて、前記複数の画像を分類する分類処理手段、
を有することを特徴とする欠陥分類システム。 - 請求項8記載の欠陥分類システムであって、
前記画像加工処理手段は、前記欠陥分類装置に含まれることを特徴とする欠陥分類システム。 - 請求項9記載の欠陥分類システムであって、
前記欠陥分類装置は、さらに、前記分類処理手段による分類結果を表示する表示手段を有し、前記表示手段は、前記画像加工処理手段により加工された画像を表示する際に、前記加工された画像になされた加工処理内容を併せて表示することを特徴とする欠陥分類システム。 - 請求項9記載の欠陥分類システムであって、
前記欠陥分類装置は、さらに、前記分類処理手段による分類結果を表示する表示手段を有し、前記表示手段は、前記付随情報を表示することを特徴とする欠陥分類システム。 - 請求項9乃至11のいずれかに記載の欠陥分類システムであって、
前記複数の画像各々に対応付けられた付随情報の検出条件の情報は、前記複数の画像各々の取得に用いた前記複数の画像撮像手段の検出器の種類を特定するための情報、又は、前記複数の画像各々を取得した際の撮像条件の情報、の少なくとも一つを含むことを特徴とする欠陥分類システム。 - 請求項9乃至12のいずれかに記載の欠陥分類システムであって、
前記画像加工処理手段は、前記複数の画像に基づいて新たな1以上の画像を生成することにより、互いに類似する複数の画像を得ることを特徴とする欠陥分類システム。 - 請求項9乃至13のいずれかに記載の欠陥分類システムであって、
前記画像加工処理手段は、画像の回転処理又は鏡像反転処理、若しくは、画像の画質を向上させる処理のいずれか1つ以上を実行すること特徴とする欠陥分類システム。 - 請求項8記載の欠陥分類システムであって、
前記画像加工処理手段は、前記複数の画像撮像手段各々に含まれていることを特徴とする欠陥分類システム。 - 請求項8乃至15記載の欠陥分類システムであって、
さらに、前記複数の画像撮像装置及び前記欠陥分類装置と通信手段を介して接続され、前記被検査対象である試料表面の欠陥を検出する検査装置を有することを特徴とする欠陥分類システム。
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