KR101361374B1 - 결함 관찰 방법 및 결함 관찰 장치 - Google Patents

Abstract

교시 결함 및 교시 결함의 화상 처리에 의한 이상 출력을 입력하고, 결함종의 분류에 필요한 화상 처리 파라미터의 설정 작업을 용이 또한 고속으로 행할 수 있는 결함 관찰 장치를 제공한다. 결함 관찰 장치에 있어서, 교시 결함의 정보 및 교시 결함의 이상 출력의 정보를 입력하고, 결정된 화상 처리 파라미터 세트에 의한 처리 결과를 표시하는 입출력부(123), 전체 화상 처리 파라미터 세트 중에서 전체 화상 처리 파라미터 세트의 총 수보다도 적은 수의 화상 처리 파라미터 세트를 선택하고, 입력한 결함 화상에 대하여 선택된 화상 처리 파라미터 세트에 의한 화상 처리 결과를 산출하고, 선택된 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 일치도를 산출하여 선택된 화상 처리 파라미터 세트에 대한 일치도의 분포로부터 전체 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 지표값의 분포를 추정하고, 전 화상 처리 파라미터 세트 중에서 높은 일치도가 되는 화상 처리 파라미터 세트를 결정하는 자동 결정부(124)를 구비하였다.

Description

결함 관찰 방법 및 결함 관찰 장치{DEFECT OBSERVATION METHOD AND DEFECT OBSERVATION DEVICE}

본 발명은 시료 상의 결함 등을 관찰하는 결함 관찰 방법 및 결함 관찰 장치에 관한 것으로, 특히 그 사용 편의성의 향상에 관한 것이다.

반도체의 제조 공정에 있어서, 수율을 향상시키기 위해 반도체 웨이퍼 상의 결함의 발생 원인을 신속하게 구명하는 것이 중요해지고 있다. 현재, 반도체 제조 현장에서는 결함 검사 장치와 결함 관찰 장치를 이용하여 결함의 해석을 하고 있다.

결함 검사 장치란 광학적인 수단 혹은 전자선을 사용하여 웨이퍼를 관측하여 검출된 결함의 위치 좌표를 출력하는 장치이다. 결함 검사 장치는 넓은 범위를 고속으로 처리하는 것이 중요하기 때문에, 가능한 한 취득하는 화상의 화소 크기를 크게(즉, 저해상도화)함에 따른 화상 데이터량의 삭감을 행하고 있고, 대부분의 경우, 검출한 저해상도의 화상으로부터는 결함의 존재는 확인할 수 있어도, 그 결함의 종류(결함종)를 상세하게 판별할 수는 없다.

따라서, 결함 관찰 장치가 사용된다. 결함 관찰 장치란, 결함 검사 장치의 출력 정보를 이용하여 웨이퍼의 결함 좌표를 고해상도로 촬상하고, 화상을 출력하는 장치이다. 반도체 제조 프로세스는 미세화가 진행하고, 거기에 따른 결함 크기도 수십 나노미터 오더(order)에 달하고 있는 것도 있고, 결함을 상세하게 관찰하기 위해서는 수 나노미터 오더의 분해능이 필요하다.

그 때문에, 최근 주사형 전자 현미경을 이용한 결함 관찰 장치(리뷰(review) SEM이라고 함)가 널리 사용되고 있다. 리뷰 SEM은, 결함 검사 장치가 출력한 결함 좌표를 이용하여, 웨이퍼 상 결함의 고해상도 화상(결함 화상)을 자동 수집하는 ADR(Automatic Defect Review) 기능을 구비한다.

최근, 리뷰 SEM의 ADR의 스루풋(throughput)이 향상되고 있으므로, 수집된 다량의 결함 화상보다, 결함종을 판별하는 작업을 자동화하는 것이 요망되고 있다. 리뷰 SEM은 결함 화상으로부터 결함종을 자동으로 판별하여 분류하는 ADC(Automatic Defect Classification) 기능을 탑재하고 있다. ADC에 관련하는 종래 기술로는 예를 들어 후술하는 특허문헌 1 등이 있다.

일본 특허 공개 제2001-331784호 공보 일본 특허 공개 제2004-294358호 공보

ADC는 결함 화상으로부터, 결함의 크기, 높이, 형상, 주위의 회로 패턴과의 위치 관계 등에 의해, 결함의 특징을 정량화한 값(특징량)을 산출하고, 그들 정보를 사용하여 결함종의 분류를 행한다. 이 특징량의 산출을 행할 때에는, 결함 화상 중의 결함 영역을 추출하는 결함 인식 처리, 결함 주위의 회로 패턴(배선 부위)을 인식하는 배선 인식 처리, 결함 표면의 요철 상황을 판정하는 요철 판정 처리 등, 복수의 화상 처리가 실시된다. 이들 화상 처리의 결과(중간 결과)를 이용하여 특징량이 산출된다.

이들 화상 처리에서는 통상적으로 화상 처리 파라미터의 지정이 필요하다. 이 화상 처리 파라미터는, 화상 처리 알고리즘의 내용에 의존하지만, 예를 들어 인식 대상을 그 화상 상에서의 명도를 이용하여 인식할 때에는, 그 명도에 대한 임계값(2치화 임계값)이나, 복수종의 화상을 병용하여 물체를 인식하는 처리에서는 그들 복수 화상의 합성 비율인 혼합비 등을 들 수 있다. 통상의 경우, 하나의 화상 처리 알고리즘에 대하여, 복수개의 화상 처리 파라미터가 필요해지는 경우가 많다. 이 결과, 동일한 화상 처리 알고리즘이어도 화상 처리 파라미터의 설정을 변경함으로써, 각각의 화상 처리의 중간 결과 및 최종적인 인식 결과가 변화하게 된다.

또한, 화상 처리 파라미터를 복수개 준비할 뿐만 아니라, 화상 처리 알고리즘 자체를 복수 준비하여 처리 대상이 되는 화상에 따라서 적합한 방법을 선택한 후에, 그 선택된 방법에 대하여, 적절한 화상 처리 파라미터를 부여하여 처리를 행하는 경우도 있다. 즉, 이들 화상 처리 알고리즘은 알고리즘마다 갖는 파라미터의 수나 종류가 상이하고, 또한 이용하는 화상 처리 알고리즘의 종류나 화상 처리 파라미터의 설정값에 따라서 최종적인 인식 결과가 변화하게 된다. 상술한 ADC의 처리에 있어서는 동일한 결함 화상을 이용한 경우에 있어서도, 화상 처리 파라미터나 화상 처리 알고리즘의 설정을 바꿈으로써, 인식되는 결함 영역의 크기나 얻어지는 특징량의 값이 변화하고, ADC의 분류 정밀도가 변화한다.

현재, 특징량 산출에 이용하는 화상 처리 파라미터 값의 조합(화상 처리 파라미터 세트)의 설정에는 숙련자에 의한 시행 착오를 필요로 한다.

특징량 산출에 있어서의 제1 스텝으로서 필요한, 화상으로부터 결함 영역을 추출하는 처리(결함 인식)를 예로 들면, 구체적인 순서는 이하와 같다.

(1) 하나하나의 결함 화상에 대하여, 설정한 화상 처리 파라미터 세트에 의한 추출 영역의 결과를 확인한다,

(2) 추출 영역이 바람직하지 않은 경우에는 화상 처리 파라미터 세트를 재설정하여 결함 영역의 추출을 다시 한다,

(3) (1)(2)의 작업을 전체 결함 화상에 대하여 바람직한 결과가 될 때까지 반복하여 행하고, 화상 처리 파라미터 세트를 결정한다.

이들 작업은 장치에 대하여 고도의 익숙도를 요구한다. 장치를 그다지 상용하지 않는 자나, 장치의 초심자에 대해서는 많은 시간과 수고를 요구하고, 장치를 사용함에 있어서 큰 장벽이 되고 있다.

이들 장벽을 제거하고, 장치를 용이하게 사용하기 위하여, 예를 들어 특허문헌 1에서는, 설정한 화상 처리 파라미터 세트와 그 결과를 일람 표시하고, 시각적으로 이해하기 쉽게 하는 방법이 제안되어 있다. 이 기술은 모든 결함 화상에 대하여 전체 화상 처리 파라미터 세트로 계산한 처리 결과를 일람 표시하는 것이다.

그러나, 설정 대상의 화상 처리 파라미터의 수가 많은 경우, 화상 처리 파라미터 세트의 수가 방대한 수가 된다. 유저(user)는 표시되어 있는 방대한 수의 화상 처리 파라미터 세트에 의한 처리 결과 중에서 최적인 화상 처리 파라미터 세트를 선택하는 것이 요구된다. 또한, 전체 파라미터 세트에 있어서의 화상 처리 결과의 일람을 출력하기 위해서는 전체 파라미터 세트에 대하여 화상 처리를 실시할 필요가 있고, 출력될 때까지 장시간을 필요로 한다. 또한, 최적인 화상 처리 파라미터 세트를 선택할 때, 여전히 고도의 숙련도를 필요로 하는 과제가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 상기 과제를 해결하고, 결함종의 분류에 필요한 화상 처리 파라미터의 설정 작업을 용이하고 고속으로 행할 수 있는 결함 관찰 방법 및 결함 관찰 장치를 제공하는 데에 있다. 파라미터 설정 작업의 용이화에 관련된 종래 기술로는 예를 들어 상술한 특허문헌 2 등이 있다.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 신규인 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에서 분명해질 것이다.

본 출원에서 개시되는 발명 중, 대표적이지만 개요를 간단하게 설명하면 다음과 같다.

(1) 시료의 결함을 관찰하는 결함 관찰 방법으로서, 미리 검출된 시료의 결함 좌표에 기초하여 전자 현미경에 의해 복수의 결함 화상을 촬상하는 스텝과, 상기 촬상된 복수의 결함 화상 중에서 선택된 교시용 결함 화상을, 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트의 각 조건을 이용하여 처리하고, 상기 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 각각에 대응한 복수의 결함 영역을 추출하는 스텝과, 상기 선택된 교시용 결함 화상에 대응하여 설정된 이상 결함 영역과 상기 추출된 복수의 결함 영역을 비교하고, 상기 복수의 결함 영역마다 일치도를 산출하는 스텝과, 상기 복수의 결함 영역마다 산출된 일치도를 이용하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트와는 다른 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 각각에 대하여 일치도의 추정값을 산출하는 스텝과, 상기 산출된 복수의 일치도 및 일치도의 추정값에 기초하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 중에서, 1 또는 복수의 화상 처리 파라미터 세트를 선택하는 스텝과, 상기 선택된 화상 처리 파라미터 세트를 이용하여, 상기 전자 현미경에 의해 촬상된 상기 복수의 결함 화상을 화상 처리하고, 상기 화상 처리된 결함 화상에 기초하여 상기 시료의 결함을 분류하는 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법이다.

(2) (1)에 기재된 결함 관찰 방법으로서, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트의 수는, 상기 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트의 수보다도 적은 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법이다.

(3) 시료의 결함을 관찰하는 결함 관찰 방법으로서, 미리 검출된 시료의 결함 좌표에 기초하여 전자 현미경에 의해 복수의 결함 화상 및 양품 화상을 촬상하는 스텝과, 상기 촬상된 양품 화상 중에서 선택된 교시용 배선 화상을 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합의 각 조건을 이용하여 처리하고, 상기 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합 각각에 대응한 복수의 배선 영역을 추출하는 스텝과, 상기 선택된 교시용 배선 화상에 대응하여 설정된 이상 배선 영역과 상기 추출된 복수의 배선 영역을 비교하고, 상기 복수의 배선 영역마다 일치도를 산출하는 스텝과, 상기 복수의 배선 영역마다 산출된 일치도를 사용하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합과는 다른 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합 각각에 대하여 일치도의 추정값을 산출하는 스텝과, 상기 산출된 복수의 일치도 및 일치도의 추정값에 기초하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합 및 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합 중에서 1 또는 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘을 선택하는 스텝과, 상기 선택된 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘을 사용하여, 상기 전자 현미경에 의해 촬상된 상기 복수의 결함 화상을 화상 처리하고, 상기 화상 처리된 결함 화상에 기초하여 상기 시료의 결함을 분류하는 스텝을 갖는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법이다.

(4) 시료의 결함 화상을 취득하는 화상 취득부와, 기억부 및 입출력부를 포함하고, 상기 화상 취득부부터의 화상 정보가 입력되어, 상기 시료 상의 상기 화상 정보에 대하여 미리 설정된 화상 처리 파라미터 세트를 이용하고, 상기 시료 상의 결함의 인식이나 결함종의 분류를 하기 위한 화상 처리를 행하는 연산부를 구비하고, 상기 화상 처리 파라미터 세트의 설정 후보를 자동으로 결정하는 자동 결정부를 구비하는 결함 관찰 장치에 있어서의 결함 관찰 방법으로서, 상기 입출력부에 서 1 혹은 복수의 대표 결함을 선택하는 스텝과, 상기 연산부에 있어서의 상기 화상 처리의 상기 대표 결함에 대한 이상 출력을 입력하는 스텝과, 소수의 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 상기 대표 결함의 상기 화상 처리에 의한 출력 결과와, 상기 이상 출력의 일치도를 산출하는 스텝과, 상기 일치도로부터 상기 소수의 화상 처리 파라미터 세트에 포함되지 않는 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 일치도의 추정값을 산출하는 스텝과, 상기 일치도의 추정값 및 상기 일치도로부터 화상 처리 파라미터 세트의 설정 후보를 1 세트 혹은 복수 세트를 결정하는 스텝과, 상기 입출력부에서, 상기 설정 후보의 화상 처리 파라미터 세트 및 상기 설정 후보의 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 상기 대표 결함의 상기 화상 처리에 의한 출력 결과를 표시하는 스텝을 구비한 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법이다.

(5) 시료에 전자선을 조사하고, 상기 시료에서 반사된 1차 전자 및／또는 상기 시료로부터 발생한 2차 전자를 검출하여 화상을 취득하는 화상 취득 수단과, 상기 화상 취득 수단에서 취득된 화상을 처리하는 신호 처리 수단을 구비한 결함 관찰 장치로서, 상기 신호 처리 수단은 유저에 의한 지시 정보를 접수하는 입출력부와, 상기 화상 취득 수단에 의해 취득된 복수의 결함 화상을 저장하고, 상기 입출력부가 접수한 지시 정보에 기초하여 상기 복수의 결함 화상 중에서 선택된 교시용 결함 화상을 출력하는 결함 정보 기억부와, 상기 결함 정보 기억부로부터 출력된 교시용 결함 화상을 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트의 각 조건을 이용하여 처리하고, 상기 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 각각에 대응한 복수의 결함 영역을 추출하는 결함 인식부와, 상기 결함 인식부에서 추출된 복수의 결함 영역과, 상기 입출력부가 접수한 지시 정보에 기초하여 설정된 이상 결함 영역을 비교하고, 상기 복수의 결함 영역마다 일치도를 산출하는 일치도 산출부와, 상기 일치도 산출부에서 산출된 상기 복수의 결함 영역마다의 일치도를 사용하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트와는 다른 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 각각에 대하여 일치도의 추정값을 산출하는 일치도 추정부와, 상기 일치부 산출부 및 상기 일치도 추정부에서 산출된 복수의 일치도 및 일치도의 추정값에 기초하여 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 중에서, 1 또는 복수의 화상 처리 파라미터 세트를 선택하는 파라미터 결정부와, 상기 파라미터 결정부에서 선택된 화상 처리 파라미터 세트를 이용하여, 상기 화상 취득 수단에 의해 취득된 상기 복수의 결함 화상의 결함 영역을 정하고, 상기 복수의 결함 화상의 결함 영역에서의 특징량을 산출하는 특징량 산출부와, 상기 특징량 산출부에 의해 산출된 특징량에 기초하여 상기 시료의 결함을 분류하는 분류부를 갖는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 장치이다.

(6) (1)에 기재된 결함 관찰 방법으로서, 상기 이상 결함 영역은 유저로부터 지정, 혹은 랜덤하게 선택된 화상 처리 파라미터 세트에 의해 처리된 화상 처리 결과 중에서 선택된 것인 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법이다.

(7) (1)에 기재된 결함 관찰 방법으로서, 상기 교시용 결함 화상은 상기 촬상된 복수의 결함 화상에 기초하는 결함종의 정보를 기준으로 하여 자동 선택된 것인 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법이다.

(8) (5)에 기재된 결함 관찰 장치로서, 상기 입출력부는 유저에 의한 지정, 혹은 랜덤에 의해 선택된 복수의 화상 처리 파라미터 세트에 의한 결함 인식 결과를 더 일람 표시하고, 상기 일람 표시된 결함 인식 결과 중에서 유저에 의해 선택된 하나의 교시 결함에 대하여 하나 또는 복수의 결함 인식 결과를 상기 이상 결함 영역을 설정하는 지시 정보로서 접수하는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 장치이다.

(9) (8)에 기재된 결함 관찰 장치로서, 상기 입출력부는 유저에 의한 지정, 혹은 랜덤에 의해 선택된 복수의 화상 처리 파라미터 세트에 의한 결함 인식 결과를 특징량순 또는 인식된 영역의 크기순으로 일람 표시하는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 장치이다.

특히, 상기 결함 관찰 장치의 입출력부와, 일치도 산출부·일치도 추정부·파라미터 결정부를 포함하여 구성되는 화상 처리 파라미터 세트의 자동 결정부는 각각 이하와 같은 기능을 갖는다.

예를 들어, 입출력부는, 1)자동 수집된 다수의 결함 화상 중에서 선택된, 화상 처리 파라미터 세트를 자동 결정하기 위한 평가용 결함 화상(교시 결함)과 그 평가 화상에 대하여 화상 처리를 실행한 경우의 이상적인 출력 결과(이상 출력)의 정보를 입력한다, 2)결정된 화상 처리 파라미터 세트에 의한 처리 결과를 표시한다, 와 같은 기능을 구비할 수 있다.

또한, 화상 처리 파라미터 세트의 자동 결정부는, 1)전체 화상 처리 파라미터 세트 중에서 선택된, 전체 화상 처리 파라미터 세트의 총 수보다도 적은 수의 화상 처리 파라미터 세트를 이용하여, 입력한 결함 화상에 대하여 화상 처리 결과를 산출한다, 2)선택된 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 화상 처리 결과와 이상 출력과의 일치의 정도를 나타내는 지표값(일치도)을 산출한다, 3)선택된 화상 처리 파라미터 세트에 대한 일치도의 분포로부터 전체 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 지표값의 분포를 추정한다, 4)전체 화상 처리 파라미터 세트 중에서 높은 일치도가 되는 화상 처리 파라미터 세트를 결정한다, 와 같은 기능을 구비할 수 있다.

본 발명에 따르면, 상기한 과제를 해결하고, 결함종의 분류에 필요한 화상 처리 파라미터의 설정 작업을 용이하고 고속으로 행할 수 있는 결함 관찰 방법 및 결함 관찰 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 관찰 장치의 구성을 도시하는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정부에 있어서의 장치 구성 및 데이터의 흐름을 도시하는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정부의 처리를 나타내는 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 관찰 장치의 교시 결함의 선택 및 결함 인식의 이상 출력을 입력하기 위한 인터페이스의 일례를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정부에서 결정된, 화상 처리 파라미터 세트에 의한 결함 인식 결과를 표시하기 위한 인터페이스의 일례를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 관찰 장치의 일치도 산출부에서 생성된 일치도 테이블의 일례를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시 형태 2에 관한 결함 관찰 장치의 배선 인식부에 있어서 복수의 화상 처리 알고리즘을 갖는 경우에 있어서의 특징량 산출 처리의 일례를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시 형태 2에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정부에 있어서의 장치 구성 및 데이터의 흐름을 도시하는 도면이다.
도 9는 본 발명의 실시 형태 3에 관한 결함 관찰 장치의 교시 결함의 선택 및 결함 인식의 이상 출력을 입력하기 위한 인터페이스의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시 형태 1 내지 3에 관한 결함 관찰 장치의 결함에 관한 정보를 입력하기 위한 인터페이스의 일례를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시 형태 3에 관한 결함 관찰 장치의 교시 결함의 선택 및 결함 인식의 이상 출력을 입력하기 위한 인터페이스의 일례를 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태 3에 관한 결함 관찰 장치의 교시 결함의 선택 및 배선 인식의 이상 출력을 입력하기 위한 인터페이스의 일례를 나타내는 도면이다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 또한, 실시 형태를 설명하기 위한 전체 도면에 있어서, 동일한 부재에는 원칙으로서 동일한 부호를 부여하고, 반복된 설명은 생략한다.

(실시 형태 1)

본 발명에 관한 결함 관찰 장치 및 결함 관찰 방법의 제1 실시 형태에 대해서, 도 1 내지 도 3을 사용하여 설명한다.

도 1에 도시하는 결함 관찰 장치는 SEM 화상 취득부(130)와 신호 처리부(131)로 구성되어, SEM 화상 취득부(130)와 신호 처리부(131)의 사이가 버스(132)로 연결되어 있다.

SEM 화상 취득부(130)는 1차 전자(108)를 발생시키는 전자원(101), 1차 전자를 가속하기 위한 가속 전극(102), 1차 전자를 수렴하기 위한 집속 렌즈(103), 1차 전자를 2차원 주사 편향하는 편향기(104), 1차 전자를 시료(106) 상에 수렴시키기 위한 대물 렌즈(105), 시료(106)를 탑재하는 XY 평면내에서 이동 가능한 스테이지(107), 시료로부터 발생된 2차 전자(109)를 검출하는 검출기(110), 시료면에서 반사된 1차 전자를 검출하는 검출기(111), 검출된 신호를 디지털화(A/D 변환)하기 위한 디지털화 수단(112)을 적절히 사용하여 구성되고, 이들 각 부위는 버스(132)를 통하여 결함 관찰 장치 전체를 제어하는 전체 제어부(113)에 접속되어 있다. 또한, 여기에서는 검출기가 3개인 예를 나타냈지만 이에 한정되는 것은 아니고, 다양한 변경이 가능하다.

신호 처리부(131)는 전체 제어부(113), 연산부(118), 기억부(114), 장치에 대해 지시를 내리기 위한 키보드, 마우스, 펜형 입력 장치, 터치 패널 등의 디바이스 및 장치로부터의 데이터를 출력하는 모니터나 프린터 등으로 이루어지는 입출력부(123), 화상 처리 파라미터 세트 등을 자동으로 결정하는 자동 결정부(124)를 적절하게 구비하여 구성되어 있고, 이들 사이에는 버스(132)에 의해 서로 접속되어 있다.

연산부(118)는 결함 화상·양품 화상을 적절히 이용하여 결함의 영역을 인식하는 결함 인식부(119), 양품 화상으로부터 회로 패턴 중의 배선을 인식하는 배선 인식부(120), 결함 인식부(119) 및 배선 인식부(120) 등으로부터 얻어진 인식 결과에 기초하여 결함의 특징량을 산출하는 특징량 산출부(121), 특징량 산출부(121)에서 산출된 특징량으로부터 결함종의 판별을 행하는 분류부(122)를 적절히 구비하여 구성된다. 도 1의 예에서는, 특징량 산출을 위한 중간 결과를 출력하는 수단으로서 결함 인식부(119) 및 배선 인식부(120)만을 도시했지만, 이들에 한하지 않고, 기타 연산 결과가 특징량 산출에 사용할 수 있는 수단을 적절히 사용해도 상관없다. 또한, 상기한 자동 결정부(124)가 연산부(118)에 포함되는 것과 같은 구성으로 해도 상관없다.

또한, 기억부(114)는 촬상된 화상 데이터나 다른 검사 장치에 의해 검출된 결함 좌표 등의 결함에 관한 정보를 저장하는 결함 정보 기억부(115), 화상 촬상할 때의 각종 전자 광학계 조건이나, 2치화 임계값, 혼합비 등 특징량을 산출할 때에 이용하는 화상 처리 파라미터를 레시피(recipe)로서 저장하는 레시피 기억부(116)를 적절하게 구비하여 구성된다.

이어서, 도 2 및 도 3을 사용하여 본 발명에 관한 화상 처리 파라미터의 자동 조절 방법에 대하여 설명한다.

도 2는, 자동 결정부에 있어서의 장치 구성 및 데이터의 흐름을 나타낸다. 자동 결정부(124)는 자동 결정에 사용하는 복수의 자동 결정용 레시피(본 실시 형태에서는, 화상 처리 파라미터 세트를 의미함)를 생성하는 자동 결정용 레시피 생성부(201), 자동 결정용 레시피에 대해 일치도를 산출하는 일치도 산출부(202), 일치도 산출부(202)의 결과로부터 일치도를 산출하지 않는 화상 처리 파라미터 세트에 대해 일치도를 추정하는 일치도 추정부(203), 일치도 추정부(203)의 결과로부터 자동 설정하는 화상 처리 파라미터 세트를 결정하는 파라미터 결정부(204)를 적절히 구비하여 구성된다.

도 3은 결함 인식 처리의 화상 처리 파라미터 세트의 자동 조절의 처리를 나타내는 흐름도의 일례이다.

도 3에 도시하는 (S301 내지 S307)의 각 스텝의 처리를 행함으로써, 최적인 화상 처리 파라미터 세트의 결정을 행한다. 이하에서는, 도 3의 (S301 내지 S307)의 각 스텝에 따라, 처리의 상세 및 도 2의 데이터의 흐름에 대하여 설명한다.

1) (S301)에서는, 유저로부터의 지시 정보에 기초하여 교시 결함이 선택된다.

도 2의 입출력부(123)에 있어서 유저가 선택한 교시 결함의 정보가 결함 정보 기억부(115)에 입력된다. 결함 정보 기억부(115)는 유저로부터의 지시 정보에 기초하여 교시 결함의 결함 화상·양품 화상을 결함 인식부(119)에 입력한다. 본 실시 형태에서는 동일한 1 결함에 대하여 2차 전자의 검출기(110)에서 취득된 화상(SE상), 반사된 전자의 검출기(111)에서 취득된 2매의 화상(L상, R상)의 계 3매의 화상을 결함 화상 및 양품 화상으로서 각각에 대하여 입력한다. 또한, 교시 결함은 1 결함에 한하지 않고, 복수 결함을 이용해도 좋다.

2) (S302)에서는, 유저로부터의 지시 정보에 기초하여 교시 결함에 대한 결함 인식 처리의 이상 출력이 설정된다.

도 2의 입출력부(123)에서 유저로부터의 입력에 의해 교시 결함의 이상 출력, 예를 들어 이상적인 결함 영역이 설정된다. 이 처리에서는, 예를 들어 유저는 입출력부에 표시된 결함 화상을 육안으로 보면서, 결함 인식 처리로서 얻어지는 결과의 이상적인 상태(이상적인 결함 인식 결과, 즉 이상 출력)를 입력한다. 구체적인 입력 순서에 대해서는, 도 4를 이용하여 후술한다. 또한, 입력된 이상 출력의 정보는, 후속 처리(S305)를 위하여 일치도 산출부(202)에 입력된다. 이때, 입력되는 이상 출력은 교시 결함 1개에 대해 1개에 한하지 않고, 복수개를 입력해도 좋다.

3) (S303)에서는, 자동 결정용 레시피를 생성한다.

도 2의 자동 결정용 레시피 생성부(201)는 입출력부(123)가 접수된 유저로부터의 지시 정보에 기초하여 자동 결정용 레시피를 생성하고, 결함 인식부(119)에 입력한다. 본 실시 형태에 있어서 이 자동 결정용 레시피란, 화상 처리 파라미터 세트의 자동 결정 처리(S304에서 S307)에 사용하는, 복수의 화상 처리 파라미터 세트의 집합을 의미한다.

4) (S304)에서는 교시 결함에 대하여 자동 결정용 레시피의 조건에서 결함 인식 처리를 행한다.

도 2의 결함 인식부(119)는 결함 정보 기록부(115)로부터 입력된 결함 화상·양품 화상에 대하여, 자동 결정용 레시피 생성부(201)에서 입력된 자동 결정용 레시피의 조건을 이용하여 결함 인식 처리를 행하고, 인식 결과(예를 들어 각 조건에서 처리된 결함 영역)를 일치도 산출부(202)에 입력한다.

5) (S305)에서는, 결함 인식 결과와 이상 출력의 일치도를 산출한다. 또한, (S304 및 S305)는 모든 자동 결정용 레시피에 대하여 일치도를 산출할 때까지 처리를 계속한다.

도 2의 일치도 산출부(202)는 입출력부(123)에서(S302에 있어서) 입력된 교시 결함의 이상 출력과, 결함 인식부(119)에서 입력된 인식 결과를 비교하여 그 일치도를 산출한다. 이 일치도란 이상 출력과 인식 결과의 유사도를 나타내는 것으로, 예를 들어 각각의 화상을 중첩한 때에, 겹침이 발생하는 픽셀의 화소수와, 이상 출력상의 결함 영역의 화소수와의 비 등으로 나타낸다.

또한, 교시 결함 1개에 대하여 복수개의 이상 출력이 입력된 경우, 입력된 복수의 이상 출력의 합성 화상과 인식 결과의 결함 영역을 비교하여, 일치도를 계산해도 좋다. 합성 화상에는, 예를 들어 복수의 인식 결과에 있어서의 결함 영역을 중첩했을 때, 모든 인식 결과에서 결함 영역으로서 인식된 영역(적 영역)이나, 1개 이상의 인식 결과에 있어서 결함 영역으로서 인식된 영역(합 영역) 등을 생각할 수 있다. 일치도는, 화소수의 비율 등으로 한정되는 것이 아니라, 예를 들어 이상 출력이나 합성 화상에 있어서의 특징량(예를 들어 원형도 등)을 계산하고, 인식 결과의 특징량과 비교하여 계산하는 것도 좋다.

또한, 자동 결정용 레시피 생성부(201)에서 생성된 자동 결정용 레시피와 일치도와의 대응표(일치도 테이블)를 생성하고, 일치도 추정부(203)에 입력한다. 또한, 일치도는 교시 결함이 복수인 경우에는, 각 교시 결함의 일치도의 평균 등을 사용하면 좋다.

6) (S306)에서는 자동 결정 레시피에 포함되지 않는 화상 처리 파라미터 세트에 대해 일치도의 추정을 행한다. 이 일치도의 추정에서는, 실제로 일치도를 산출하는 소수의 화상 처리 파라미터 세트(샘플 점)의 일치도를 이용하여 샘플 점 이외의 일치도를 추정한다. 예를 들어, 샘플 점의 일치도를 학습시킴으로써, 샘플 점 이외의 일치도를 출력하는 다층 퍼셉트론(perceptron) 신경망(Neural Network), 직교 표에 기초하여 샘플 점을 정하고, 샘플 점의 일치도에 대하여 분산 분석을 행함으로써 샘플 점 이외의 일치도를 추정하는 실험 계획법 등을 사용해도 좋다. (S306)은 모든 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 추정이 종료될 때까지 처리를 계속한다. (S306)의 예에서는, 모든 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 추정을 행하는 예를 나타냈지만, 일부의 예를 들어 일치도가 높아지는 전망이 높은 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 추정하는 것도 좋다.

도 2의 일치도 추정부(203)는, 일치도 산출부(202)에서 입력된 일치도 테이블로부터 일치도 테이블에 포함되어 있지 않은 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 일치도를 추정하고, 일치도의 추정 결과를 파라미터 자동 결정부(204)에 입력한다.

7) (S307)에서는 일치도의 추정값이 높아진 화상 처리 파라미터 세트를 설정 후보로서 결정하고 표시한다.

도 2의 파라미터 자동 결정부(204)는 일치도 추정부(203)에서 입력된 일치도 테이블로부터, 설정 후보가 되는 화상 처리 파라미터 세트를 결정하고, 레시피 기억부(116)에 출력한다. 또한, 결정된 파라미터 세트는 입출력부(123)에 표시된다. 입출력부(123)의 GUI 표시 내용은 도 5에서 후술한다. 출력하는 화상 처리 파라미터 세트는 1 세트에 한정되지 않고 복수 세트라도 좋다.

레시피 기억부(116)는, 파라미터 자동 결정부(204)에서 입력된 파라미터 결정 결과로부터, 결정된 화상 처리 파라미터 세트를 보존한다. 또한, 복수 세트의 화상 처리 파라미터 세트가 설정 후보로서 결정된 경우, 최종적으로 설정하는 1 세트의 화상 처리 파라미터 세트를 유저에게 선택시킨다.

상술한 순서에 의하면, 소수의 교시 결함에 대한 이상 출력의 정보를 이용하여 다수의 화상 처리 파라미터 세트의 일치도 추정값까지 산출해 비교하여 선택 할 수 있기 때문에, 적절한 화상 처리 파라미터 세트를 결정하는 것이 가능해진다. 또한, 가령, 결정한 화상 처리 파라미터 세트에 의한 결함 인식 결과가 불충분했을 경우에는, 결정한 화상 처리 파라미터에 의한 결함 인식 결과를 이용하여 교시 결함을 추가, 혹은 삭제하여 (S301 내지 S307)의 처리를 반복해서 행해도 좋다.

이어서, (S302)에 있어서의 이상 출력 정보를 입력하는 인터페이스의 예를 도 4의 (S307)에 있어서의 자동 결정된 화상 처리 파라미터 세트에 의한 결함 인식 결과를 표시하는 인터페이스 도 5에서 설명한다.

도 4는, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 관찰 장치에 있어서의 교시 결함의 선택 및 결함 인식의 이상 출력의 입력을 접수하는 입출력부(123)의 GUI(Graphical User Interface)의 일례이다. 이하, 도 4를 이용하여, 교시 결함의 선택 및 이상 출력의 입력의 방법에 대하여 설명한다.

(401)은 결함 정보 기억부(115)에 보존된 결함의 식별 번호이며, (402)는 식별 번호에 대응한 결함의 화상이다. (403)은 결함 화상에 포함되는 결함이다. 금회는, 4 결함의 화상을 나란히 하여 표시한 예를 나타낸다. 결함수가 많고, 1 화면으로 전부 표시할 수 없는 경우에는, 슬라이드 바(slide bar) 등을 이용하여 표시하는 결함을 전환해도 좋고, 혹은 별도의 GUI 윈도우 등에 표시해도 좋다.

식별 번호(401) 혹은 결함 화상(402)을 마우스로 클릭하는 것 등의 수단에 의해 교시 결함을 선택한다.

(404)는 교시 결함으로서 선택된 결함 화상이다.

(407)은 식별 번호(401) 혹은 결함 화상(403)에서 선택된 결함의 결함 인식 처리에 있어서의 이상 출력을 입력하는 영역이다. 금회의 예에서는, 선택된 결함의 화상을 배경 화상으로 표시하고 있다.

(410)에 의해, 이상 출력의 입력 영역(407)의 배경 화상으로서 표시하는 결함 화상을 선택한다. 금회의 예에서는, 1 결함에 대하여 SE상, L상, R상의 3매의 결함 화상이 있는 예를 나타낸다. 이상 출력의 입력 영역(407)에 표시하는 화상은, 선택된 결함에 관한 복수 화상의 혼합 화상을 표시해도 좋고, 복수 화상을 나란히 하여 표시해도 좋다.

또한, 미리 입력한 결함종의 정보를 이용하여 교시 결함을 자동으로 선택해도 좋다. 또한, 결함종의 정보를 이용하여 교시 결함으로서 선택하는 결함의 후보를 좁히고, 좁힌 결과를 GUI 상에 표시해도 좋다. 교시 결함의 자동 선택을 실행하기 위한 지시 입력을 접수하는 GUI의 예에 대해서는 도 10을 사용하여 후술한다.

이상 출력의 입력 영역(407) 내를 마우스로 클릭하는 등의 수단에 의해 위치를 지정하고, 지정한 위치를 연결하여 생성한 폐쇄한 영역을 이상 출력으로 입력한다.

(405)는 마우스에 의한 클릭 등의 수단에 의해 지정된 위치, (406)은 지정된 위치를 연결한 선을 나타내고 있다. (408)은 마우스 등에 의해 조작되는, 위치를 지정하기 위한 포인터이다.

또한, 지정한 위치를 직선으로 연결함으로써 생성된 다각형을 이상 출력으로 입력했지만, 곡선에 의해 연결한 영역을 이상 출력으로 해도 좋다. 이상 출력의 입력법에 대해서도, 순차 위치를 지정하는 것에 의한 입력에 한하지 않고, 미리 이상 출력의 영역을 지정한 화상이나 선분 데이터 등의 데이터를 준비하여 입력해도 좋다. 혹은, GUI 상에 각종 영역 묘화용 툴(프리 핸드(free hand)에 의해 선의 묘화를 행하는 프리 핸드 툴, 묘화한 영역을 삭제하는 지우개 툴, 영역 지정을 행하는 범위 지정 툴, 직선이나 곡선 묘화를 행하는 선 묘화 툴, 지정된 영역을 빈틈없이 칠하는 전부 칠하는 툴 등)을 배치하고, 이상 출력의 입력 영역(407)에 직접, 폐쇄한 도형을 묘화함으로써, 이상 출력을 입력해도 좋다.

교시 결함의 선택 및 이상 출력의 입력 후, 등록 버튼(411)에 의해 교시 결함 및 이상 출력의 입력 정보를 등록한다.

(409)는 선택된 교시 결함이 DOI인지 여부를 지정하는 체크 박스(check box)이다. 지금까지의 설명에서는, (S302)에 있어서 교시 결함에 대한 이상 출력의 정보만을 입력하고, 그 정보를 이용하여, (S304 내지 S307)의 처리에 있어서, 화상 처리 파라미터 세트를 자동 결정하고 있었다. 그러나, 결함종이 증가(예를 들어 15 종류 이상)하면, 어느 결함종에 대해서도 양호한 인식 결과가 얻어지는 화상 처리 파라미터 세트를 결정하는 것이 현실적으로 곤란해지는 경우도 있을 수 있다. 이 때에는, 특히 검사 및 수율 관리에 중요한 결함만에 대하여 양호한 인식 결과가 얻어지는 것 같은 화상 처리 파라미터 세트를 결정할 필요가 있는 경우도 있다. 이러한 경우에는 이상 출력의 정보뿐만 아니라, 그 교시 결함이 중요하다는 것을 나타내는 플래그(DOI:Defect of Interest)를 지정해 두고, 그 플래그가 설정된 결함에 대해서는 특히 이상 출력과 인식 결과가 근접하도록 화상 처리 파라미터 세트를 자동 결정하는 것이 유용해진다. 이 DOI를 지정하기 위한 부위가 (409)의 체크 박스이다. 또한, 이 DOI가 설정된 경우에 있어서의, 화상 처리 파라미터 세트의 결정은 (S305)에 있어서 복수의 교시 결함의 일치도를 평균으로 산출할 경우에 교시 결함이 DOI인 경우에는 높은 가중치, 그렇지 않을 경우에는 낮은 가중치를 설정한 가중치 평균으로 일치도를 산출함으로써 행해진다.

GUI에서의 구체적인 조작으로는 우선, DOI 설정 체크 박스(409)에 체크를 하고 이어서, 등록 버튼(411)에 의한 등록을 행함으로써, DOI인지의 여부의 정보도 함께 등록한다. 본 예에서는, 교시 결함에 대하여 DOI의 설정이 가능한 GUI에 의해 유저에 DOI인지 아닌지를 설정시키는 예를 나타냈지만, 미리 교시 결함의 결함종의 정보를 부여함으로써, 자동으로 DOI 정보를 부가해도 좋다.

도 10은, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정용 레시피 작성부(201)에 있어서, 유저로부터 교시 결함의 자동 선택을 실행하는 입력 지시를 접수하는 GUI의 일례이다. 결함 정보 기억부(115)에 보존되어 있는 결함에 관한 정보로부터 결함종의 정보나 DOI 정보 등을 이용하여 교시 결함을 자동 선택한다. 이하, 도 10을 이용하여 교시 결함을 자동 선택하는 일례에 대하여 설명한다.

(1101)은 결함 정보 기억부(115)에 보존된 결함에 있어서의 결함종의 리스트이며, (1102)는 각 결함종에 속하는 결함수이다. 여기서, 결함종의 리스트(1101)의 표시로는, 도 10에 도시한 예에 한하지 않고, 각 결함종의 대표 화상을 표시해도 좋고, 이물질이나 스크래치 등 결함종의 종류나 형상의 특징을 나타내는 용어를 사용하여 표시해도 좋다. (1102)에서는 결함의 개수를 표시하는 예를 나타냈지만, 그 밖에도 교시 결함 자동 선택의 기준으로 하는 특징량 등의 값을 지표로 하여 표시해도 좋다. (1103)은 대응하는 결함종이 각각 DOI인지 아닌지를 지정하는 체크 박스이다.

(1104)는 각 결함종으로부터, (1102)에 표시한 각 결함종에 있어서의 결함수 또는 그 밖의 지표에 대하여, 몇％의 결함을 선택할지의 정보를 지정하는 텍스트 박스(text box)이다. 본 예에서는 결함종마다 지정하는 예를 나타냈지만, 전 결함종에 대하여 동일값을 지정하는 것 같은 GUI를 설치해도 좋다. 교시 결함을 선택하는 비율이 아니고, 선택하는 수를 입력하는 항목을 설치하고, 선택하는 수를 직접 입력하도록 해도 좋다. 또한, 도 10에서는 선택하는 교시 결함의 비율을 (1104)로 지정하는 예를 나타냈지만, 선택하는 비율이나 수를 유저로 지정시키지 않고, (1103) 등의 정보에 의해 자동 설정하는 방법도 생각할 수 있다. (1103)에 의해, DOI 정보가 설정된 결함종으로부터는 DOI 정보가 설정되어 있지 않은 결함종보다도 많은 결함을 선택하는 등의 설정 방법을 생각할 수 있다.

(1105)는 (1101, 1102)의 정보 및 (1103, 1104)의 설정에 기초하여 결함의 자동 선택을 실행하는 버튼이다. 교시 결함의 자동 선택의 방법으로는 결함종마다 (1104)로 지정된 비율의 결함 수분, 랜덤하게 뽑아내는 방법이나 과거에 교시 결함으로서 선택된 것을 우선적으로 뽑아 내는 방법 등을 생각할 수 있다. 도 10의 결함종 1의 예에서는, 결함수 20에 대하여 선택율이 30 ％이기 때문에, 6개의 결함이 랜덤하게 뽑아져서 교시 결함으로서 선택된다. 또한, 도 11과 같이, 6개의 결함의 모두가 1 화면 상으로 표시할 수 없는 경우에는 슬라이드 바 등을 사용하면 된다.

(1106)은 자동 선택된 결함의 표시부이다. 여기에서는, 대응하는 결함종마다 나누어서 표시한 예를 나타내고 있고, (1107)의 콤보 박스(combo box)에 의해 표시하는 화상(SE상, L상, R상 등)을 변경 가능하다. 또한, (1106)에 2매 이상의 화상을 혼합시킨 화상을 표시하는 것도 좋다. 이 경우, 랜덤하게 뽑아낸 화상이 복수매인 경우에는 자동으로 합성하게 미리 설정해 두어도 좋고, 또한 복수매의 화상을 뽑아 낸 후, 그 안에서 유저가 선택한 복수의 화상에 대하여 합성하도록 해도 좋다. (1106)으로 표시된 선택 결과가 불충분한 경우, (1108)의 버튼에 의해 수동에 의한 결함의 추가도 가능하다. (1109)는 (1106)에 표시한 결함을 교시 결함으로서 등록하는 버튼이다.

또한, 도 10에서는 결함종의 정보를 기준으로 하여 교시 결함을 자동 선택하는 예에 대하여 설명했지만, 기준으로 하는 정보는 결함종만에 한정하지 않는다. 예를 들어, 배선 인식을 대상으로 한 경우에는, 양품 화상에 있어서의 회로 패턴의 조밀 등의 특징량을 기준으로 해도 좋고, 기준이 되는 지표는 여러가지 선택 가능하다.

도 5는, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정부의 자동 결정 결과(실시 형태 1에서는 결정된 화상 처리 파라미터 세트를 가리킴)에 의한 결함 인식 결과를 표시하고, 설정하는 화상 처리 파라미터 세트를 지정하는 GUI의 일례이다. 도 5는, 복수개의 자동 결정 결과가 출력되어, 2개의 결정 결과에 의한 3교시 결함의 결함 인식 결과가 표시되어 있는 예이다.

(501)은 교시 결함의 식별 번호이며, (502)는 결정 결과의 식별명의 표시이며, (503)은 자동 결정된 1개째의 결정 결과에 있어서의 결함 인식 결과를 나란히 하여 표시한 예이다.

(504)는 결함 인식된 영역이다. 본 예에서는 교시 결함의 화상과 겹쳐서 폐쇄한 선에 의해 표시되어 있지만, 결함 인식 결과를 교시 결함의 화상과 나란히 하여 표시해도 좋고, 다른 GUI 윈도우에 표시해도 좋다. 또한, 이상 출력에 대해서도 결함 인식 결과와 함께, 교시 결함의 화상에 겹쳐서 표시하거나, 나란히 하여 표시하거나, 별도의 GUI 윈도우에 표시해도 좋다. 또한, 결함 인식된 영역이나 이상 출력은 색이나 선의 굵기, 선종 등을 변경하여 표시해도 좋고, 영역을 배경색과 상이한 색이나 배경색과 상이한 색의 반투명색에서 빈틈없이 칠하는 것으로 표시해도 좋다.

(505)는 1개째의 결정 결과에 있어서의 일치도의 추정값, 그밖의 유저가 최종적으로 설정하는 결정 결과의 선택에 이용 가능한 지표값의 값이다. 선택된 결정 결과에 의해 실제로 결함 인식 처리를 행하고, 산출한 일치도를 표시해도 좋다. 본 예에서는 일치도의 추정값 외에 1종류의 지표값만을 표시한 예이지만, 복수의 지표값을 표시해도 좋다.

(506)은 최종적으로 설정하는 결정 결과를 선택하는 라디오 버튼이며, 선택후, (507)의 설정 버튼에 의해 결정 결과를 결정한다.

또한, 결함 인식 결과, 결정 결과 및 지표값의 표시에 대해서, 1 화면에 표시할 수 없는 경우에는 슬라이드 바 등을 이용하여 표시하는 결함을 전환해도 좋고, 혹은 별도의 GUI 윈도우 등에 표시해도 좋다.

(508)은 결함 인식 결과의 표시를 재배열하는 기준을 선택 가능한 리스트 박스(list box)이며, 일치도나 지표값 등을 선택한다.

(509)는 (508)의 기준에 대하여, 표시하는 결정 결과를 고저의 순서대로 재배열하는 버튼이다. 또한, 미리 임계값을 설정해 두고, 산출된 일치도나 지표값이 임계값 이상인 것만 표시하도록 해도 좋고, 일치도 또는 지표값이 가장 큰 것을 자동으로 선택하도록 설정하고 있어도 상관없다.

이어서, 도 6에 의해 일치도 테이블에 대하여 설명한다.

일치도 테이블은 자동 결정용 레시피에 대한 일치도를 저장한 표이며, 도 2의 일치도 산출부(202)에서 생성된다.

도 6은 자동 결정용 레시피의 수가 7 세트, 설정 대상의 화상 처리 파라미터 세트에 포함되는 파라미터 수가 6 개, 각 파라미터의 설정 가능한 값이 1 내지 9인 경우의 일치도 테이블의 예이다.

도 6에서 (601)은 자동 결정용 레시피의 번호이며, (602)는 1번의 자동 결정용 레시피(실시 형태 1에서는, 화상 처리 파라미터 세트를 가리킴)를 나타낸다. 본 예에서는, 화상 처리 파라미터 세트의 표기로서, 각 화상 처리 파라미터의 설정값을 순서대로 나란히 하여 표시했다. (602)의 예에서는 1번째의 화상 처리 파라미터의 설정값이 3, 2번째의 화상 처리 파라미터의 설정값이 5이다.

(603)은 1번째의 자동 결정용 레시피에 있어서 산출된 일치도이다. 또한, 교시 결함이 복수인 경우에는, 각 교시 결함에 관한 일치도를 저장해도 좋고, 산출된 각 교시 결함의 일치도를 합성함으로써 1개의 일치도로 저장해도 좋다. 또한, 본 예에서는 지표값으로서, 일치도만을 일치도 테이블에 저장했지만, 저장하는 지표값은 일치도만에 한하지 않고, 기타 화상 처리 파라미터 세트의 결정에 이용 가능한 지표값이나 DOI인지 아닌지 등의 정보도 함께 저장해도 좋다.

이상 설명한 본 발명의 제1 실시 형태에서는, 결함 인식부(119)에 있어서의 화상 처리 파라미터의 자동 결정의 예를 설명했지만, 이것은 일례에 지나지 않고, 동 취지의 범위 내에서, 예를 들어 이하에 기재한 바와 같이 여러가지 변경한 변형을 이용해도 상관없다.

a) 화상 처리 파라미터 세트를 자동 결정하는 장치

여기까지의 설명에서는, 결함 인식부(119)에 대한 처리를 예로 본 발명의 형태를 설명했지만, 본 발명의 형태는 이에 한정하지 않고, 배선 인식부(120)나 그 밖의 화상 처리에 사용되는 복수의 화상 처리 파라미터를 갖는 장치에 대해서도 마찬가지로 적용 가능하다.

b) 입력하는 결함 화상 및 양품 화상의 매수

(S301)에서는, 결함 인식부(119)에 입력되는 결함 화상 및 양품 화상은 1교시 결함에 대하여 각각 3매의 화상을 입력하는 것을 설명했다. 본 예에서는, 검출기가 3개인 장치를 예로 했기 때문에, 상기와 같이 3매의 화상을 입력한다고 하지만, 본 발명은 이에 한정되지 않고, 검출기의 수 등에 의존하여, 임의의 수의 화상을 입력할 수 있다.

c) 자동 결정용 레시피

(S303)에서는 생성되는 자동 결정용 레시피는 자동 결정용 레시피 생성부(201)에서 생성되는 것으로 했지만, 이렇게 자동 생성되는 것과는 한정되지 않고, 유저에 의해 임의로 설정되어 있거나, 혹은 미리 정의되어 있어도 좋다.

d) 화상 처리 파라미터 세트 결정 방법

(S307)에 있어서 화상 처리 파라미터 세트를 결정할 때에 복수의 단계의 추정 처리 및 결정 처리에 의해 출력하는 화상 처리 파라미터 세트의 후보를 좁히는 방법을 사용해도 좋다. 예를 들어, 화상 처리 파라미터 세트 결정의 제1 단계로서 일치도의 추정값이 높은 화상 처리 파라미터 세트를 복수개 결정하고, 제2 단계로서 제1 단계에서 결정한 복수의 화상 처리 파라미터 세트를 사용하여, 자동 결정용 레시피를 재생성하고, 일치도 산출 처리 및 일치도 추정 처리를 반복하는 방법도 생각된다.

또한, 일치도의 추정값만을 기준으로 화상 처리 파라미터 세트를 결정하는 방법에 한하지 않고, 실제로 결함 인식부(119)에서 결함 인식 처리를 행하고, 일치도 산출부(202)에서 이상 출력과의 일치도를 산출한 결과를 이용하여, 설정 후보의 화상 처리 파라미터 세트를 결정해도 좋다.

예를 들어, 일치도가 높은 화상 처리 파라미터 세트로부터 순서대로 1세트,혹은 복수 세트의 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 결함 인식 처리 및 일치도 계산을 행하고, 일치도 계산을 행한 중에서 일치도가 높은 화상 처리 파라미터 세트를 설정 후보로서 결정하는 등의 방법을 생각할 수 있다.

또한, 화상 처리 파라미터 세트의 결정 처리에 있어서, 파라미터의 탐색 범위가 상이한 복수의 처리 모드를 준비하고, 미리 유저에 선택시킨 모드의 처리를 행하는 것도 좋다. 이 경우, 탐색 범위가 충분히 넓은 경우의 모드에서는 높은 일치도를 얻을 수 있는 파라미터 세트를 결정할 수 있는 가능성이 높지만, 탐색 시간이 증가할 가능성이 있다. 한편, 탐색 범위가 좁은 모드에서는 낮은 일치도의 파라미터 세트밖에 얻어지지 않을지도 모르지만, 고속으로 파라미터 세트를 결정하는 것이 가능하게 된다. 유저는 정밀도와 처리 시간의 관점에서 복수의 처리 모드로부터 하나를 선택해 실행하게 된다. 또한, 모드는 GUI를 이용하여 유저가 대화적으로 지정해도 좋고, 미리 배치 파일(batch file) 형식으로 파라미터 결정 처리와 그 때의 처리 모드와의 관계를 기재한 데이터를 준비해 두고, 그 내용에 기초하여, 복수회 파라미터 결정 처리를 실행하는 것 같은 형태로 해도 좋다.

이상과 같이, 본 실시 형태에서는 입력 정보를 이상 출력으로 함으로써, 화상 처리 파라미터 세트의 설정에 대하여 감각적인 설정이 가능하게 되고, 정보의 입력 후, 화상 처리 파라미터 세트를 자동으로 결정함으로써, 유저에 의한 시행 착오의 수고를 생략하는 것이 가능하게 되고, 한정된 소수의 화상 처리 파라미터 세트만에 대하여 화상 처리를 행하고, 전체 화상 처리 파라미터 세트의 결과를 추정 함으로써, 전체 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 화상 처리를 행하는 것과 비교하여 처리 속도를 고속화하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 결함종의 분류에 필요한 화상 처리 파라미터 세트를 용이 또한 고속으로 설정하는 것이 가능하게 된다.

(실시 형태 2)

실시 형태 2는 실시 형태 1에서 결함 인식부(119)나 배선 인식부(120)가 화상 처리 알고리즘을 복수개 갖는 경우에 대해서, 화상 처리 파라미터 세트의 결정뿐만 아니라, 화상 처리 알고리즘도 자동 결정하도록 한 것이며, SEM 화상 취득부(130) 등 자동 결정부 외의 결함 관찰 장치의 구성 및 자동 결정 처리 외의 처리에 대해서는, 실시 형태 1과 마찬가지이기 때문에, 차이점만을 주로 하여 설명한다. 또한, 실시 형태 2에서는 실시 형태 1에 있어서의 자동 결정용 레시피, 일치도 테이블, 일치도 추정 결과, 자동 결정의 결정 결과에 포함되는 화상 처리 파라미터 세트는 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트의 조합이 된다.

도 7을 이용하여, 본 발명의 실시 형태 2에 관한 결함 관찰 장치의 배선 인식부(120)에 있어서, 복수의 화상 처리 알고리즘을 갖는 경우의 특징량 산출에 대하여 설명한다.

도 7은 본 발명의 실시 형태 2에 관한 결함 관찰 장치의 배선 인식부(120)에 있어서의 복수의 화상 처리 알고리즘의 처리에 의한 특징량 산출의 흐름을 도시한 도면이다. 본 예에서는, 휘도값을 기준으로 하여 배선 인식을 행하는 알고리즘 1 및 배선의 에지 정보를 기초로 배선을 인식하는 알고리즘 2에 의해 특징량 산출하는 예를 나타낸다.

도 7에서 (701)은 배선 인식부(120)에 입력하는 교시 결함의 화상(교시용 배선 화상)이며, (702)는 결함 화상, (703)은 양품 화상이다. 또한, (704)는 배선 부분, (705)는 하지 배선을 나타낸다.

(706)에 화상 처리 알고리즘 1에 의한 화상 처리의 중간 결과, (707)에 화상 처리 알고리즘 2에 의한 화상 처리의 중간 결과를 나타낸다. 중간 결과를 생성하기 위해서는, 화상 처리 알고리즘 1은 배선으로 인식하기 위한 휘도값의 임계값, 화상 처리 알고리즘 2는 에지 검출을 행하기 위한 화상 처리 필터의 크기 등, 이용하는 화상 처리 알고리즘에 의해 다른 파라미터의 설정을 필요로 한다. 또한, 화상 처리 알고리즘 1과 2에 있어서, 혼합비 등이 공통인 파라미터를 갖고 있어도 좋다. 또한, 여기에서는 2개의 화상 처리 알고리즘을 이용한 예를 나타내지만, 이에 한정되지 않고, 다른 배선 처리의 화상 처리 알고리즘을 이용하거나, 또한 3개 이상을 이용해도 상관없다.

(708)은 화상 처리 알고리즘 1에 의해 산출된 특징량, (709)는 화상 처리 알고리즘 2에 의해 산출된 특징량이다. 배선 인식부(120)에 의해 산출되는 특징량은 이용하는 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트에 의해 상이한 결과를 출력한다.

도 8을 사용하여, 본 발명의 실시 형태 2에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정부(124)에 있어서의 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트 결정 방법에 대하여 설명한다.

도 8은 본 발명의 실시 형태 2에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정부(124)에 있어서의 장치 구성 및 데이터의 흐름을 나타내는 도면이다.

실시 형태 1에서는, 교시 결함의 이상 출력(화상 내의 결함의 영역)과 자동 결정용 레시피에 의해 산출된 화상 처리 결과와의 일치도를 일치도 산출부(202)로 구하고, 그 결과로부터, 일치도 추정부(203)에 있어서 일치도 추정을 행한 후, 일치도 추정 결과를 파라미터 자동 결정부(204)에 입력하고, 화상 처리 파라미터 세트의 결정을 행하고 있었다.

실시 형태 2에서는 대상을 배선 인식으로 간주하고 있기 때문에, 교시 결함의 이상 출력은 결함 영역이 아니고, 인식 대상인 배선 영역이 된다. 구체적으로는, 화상 내에서 배선이 촬상되어 있는 영역(배선 영역 704)의 정보가 이상 배선 영역으로서 이상 출력이 된다. 또한, 본 실시예에서는, 자동 결정부(124)에 화상 처리 알고리즘을 결정하는 알고리즘 자동 결정부(801)가 추가되는 점에서, 실시 형태 1과 상이하다.

일치도 산출부(202)에서, 모든 자동 결정용 레시피(실시 형태 2에서는 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트의 조합)에 대하여 일치도의 산출을 행하고, 일치도 테이블을 생성하여 일치도 추정부(127)에 입력한다.

일치도 추정부(203)에서, 모든 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트의 조합에 대해 일치도의 추정을 행하고, 일치도 추정 결과를 알고리즘 자동 결정부(801) 및 파라미터 자동 결정부(204)에 입력한다.

알고리즘 자동 결정부(801)에서, 화상 처리 알고리즘을 결정하고, 일치도 추정 결과로부터 파라미터 자동 결정부(204)에서 결정한 화상 처리 알고리즘에 있어서의 화상 처리 파라미터 세트를 결정한다.

결정 후, 자동 결정부(124)에 의해 결정된 결정 결과(실시 형태 2에서는, 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트의 조합을 가리킴)에 의한 결함 인식 결과를 표시한다.

또한, 실시 형태 2에서는 배선 인식부(120)에 있어서의 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트의 자동 결정의 예를 설명했지만, 본 발명은 결함 인식부(119)나 배선 인식부(120)에 한하지 않고, 기타 연산 결과가 특징량 산출에 사용할 수 있는 장치로 또한 복수의 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터를 갖는 장치에 대해서도 적용 가능해서, 그들 장치의 화상 처리 알고리즘이 상이한 종류 및 수의 화상 처리 파라미터를 갖고 있어도 적용 가능하다.

이에 의해, 본 실시 형태에서는 연산 결과가 특징량 산출에 사용할 수 있는 장치로 또한 복수의 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터를 갖는 장치에 대해서도, 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트를 용이 또한 고속으로 설정하는 것이 가능하게 된다.

(실시 형태 3)

실시 형태 3은, 실시 형태 1에서 교시 결함의 선택 방법 및 이상 출력의 입력 방법을 변경한 것으로, 결함 관찰 장치의 구성 및 처리에 대해서는 실시 형태 1과 마찬가지이며, 생략하여 설명한다. 또한, 본 발명은 실시 형태 1과 같이 화상 처리 파라미터 세트를 자동 결정하는 경우만에 한정하지 않고, 실시 형태 2와 같은 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트를 자동 결정하는 경우에 있어서도 적용 가능하다.

이하에서는, 도 9를 이용하여, 본 발명의 실시 형태 3에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정부에 있어서의 교시 결함의 선택 방법 및 이상 출력의 입력 방법에 대하여 설명한다. 도 9는, 본 발명의 실시 형태 3에 관한 교시 결함의 선택 및 결함 인식의 이상 출력을 입력하기 위한 GUI의 일례를 나타내는 도면이다.

실시 형태 1 및 2에서는, 도 4에 도시하도록 배열한 결함 화상 중에서 교시 결함으로서 사용하는 결함을 선택하고, 결함 인식의 이상 출력의 영역을 마우스로 클릭하는 등의 수단에 의해 위치를 지정하고, 지정한 위치를 연결하여 생성한 폐쇄한 영역을 이상 출력으로서 입력하고 있었다. 본 실시 형태에서는, 도 9에 도시한 바와 같이, 몇세트의 화상 처리 파라미터 세트에 의한 결함 인식 결과의 일람으로부터, 결함 인식 결과를 교시 결함마다 선택함으로써, 이상 출력을 입력한다. 또한, 도 9의 예에서는 3 세트의 화상 처리 파라미터 세트 및 4 결함에 대하여 결함 인식 결과의 일람이 표시되어 있지만, 1 화면으로 전부 표시할 수 없는 경우에는, 슬라이드 바 등을 사용하여 표시하는 결함을 전환해도 좋고, 혹은 다른 GUI 윈도우등에 표시해도 좋다.

도 9에 있어서, (901)은 규정수의 화상 처리 파라미터 세트를 랜덤하게 선택하여 결함 화상에 대하여 각각의 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 결함 인식 처리를 행하고, 결함 인식 결과의 일람을 표시하는 버튼이다. 규정수는 미리 용이 되어 있어도 좋고, 유저에 의해 임의로 지정되어도 좋다. 또한, 실시 형태 2와 같이 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트의 조합을 자동 결정하는 경우는 화상 처리 알고리즘 및 화상 처리 파라미터 세트의 조합을 랜덤하게 선택하고, 각각의 조합에 대하여 결함 인식 처리를 행한 결과의 일람을 표시한다. 또한, 본 발명에 있어서, 일람 표시에 사용되는 화상 처리 파라미터 세트는 랜덤하게 선택되는 경우에 한정하지 않고, 미리 준비한 화상 처리 파라미터 세트의 테이블을 사용하여 선택되어도 좋고, 유저에 의해 임의로 선택되어도 좋다.

일람 표시에 사용되는 화상 처리 파라미터 세트는 일치도 추정부에서 실험 계획법을 사용하는 경우에 이용하는 직교 표에 정의된 화상 처리 파라미터 세트를 사용해도 좋다. 직교 표에 정의된 화상 처리 파라미터 세트를 일람 표시에 사용하는 예에 대해서는, 도 11, 도 12를 사용하여 후술한다.

또한, 금회의 예에서는 모든 결함에 대하여 동일한 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 결함 인식 처리를 행한 결과의 일람을 표시했지만, 결함마다 상이한 파라미터 세트에 대하여 결함 인식 처리를 행한 결과의 일람을 표시해도 좋다.

(902)는 결함의 식별 번호이며, (903)은 선택된 1번째의 화상 처리 파라미터 세트에 대응하는 결함의 결함 인식 결과이고, (904)는 선택된 화상 처리 파라미터 세트의 식별 번호이다.

(905)는 결함 인식 결과의 영역이며, 금회의 예에서는 결함 화상과 겹쳐서 선에 의해 표시했다. 또한, (905)는 도 5의 (504)와 마찬가지로, 결함 인식 결과를 결함의 화상과 나란히 하여 표시해도 좋고, 다른 GUI 윈도우에 표시해도 좋다. 또한, 이상 출력에 대해서도 결함 인식 결과와 함께, 결함의 화상에 겹쳐서 표시하거나, 나란히 하여 표시하거나, 다른 GUI 윈도우에 표시해도 좋다. 또한, 결함 인식된 영역이나 이상 출력은 색이나 선의 굵기, 선종 등을 변경하여 표시해도 좋고, 영역을 배경색과 상이한 색이나 배경색과 상이한 색의 반투명색으로 빈틈없이 칠함으로써 표시해도 좋다.

(906)은 선택된 교시 결함 및 이상 출력으로서 이용하는 결함 인식 결과이다. (905)의 결함 인식 결과로부터, 이상 출력으로서 이용하는 결함 인식 결과를 각 결함에 대하여 1개 혹은 복수개 선택한다. 또한, 모든 결함에 대하여 이상 출력을 선택해도 좋고, 교시 결함으로서 이용하는 가능성이 있는 결함에 대해서만 선택해도 좋다.

(907)은 선택된 결함 및 결함 인식 결과를 교시 결함 및 이상 출력으로서 등록하는 버튼이다. 교시 결함 및 이상 출력으로서 사용하는 결함 인식 결과를 선택 후, 버튼을 누르는 것으로, 교시 결함 및 이상 출력을 등록할 수 있다.

또한, 실시 형태 3에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정부(124)에 있어서의 교시 결함의 선택 방법 및 이상 출력의 입력 방법에서는, 도 9의 GUI 대신에 도 11 및 도 12와 같은 GUI를 적용하는 것도 가능하다. 이하에서는 도 11, 도 12를 이용하여, 본 발명의 실시 형태 3에 관한 결함 관찰 장치의 자동 결정부에 있어서의 교시 결함의 선택 방법 및 이상 출력의 입력 방법에 대하여 설명한다.

도 11은 본 발명의 실시 형태 3에 관한 교시 결함의 선택 및 결함 인식의 이상 출력을 입력하기 위한 GUI의 일례, 도 12는 본 발명의 실시 형태 3에 관한 교시 결함의 선택 및 배선 인식의 이상 출력을 입력하기 위한 GUI의 일례를 나타내는 도면이다. 또한, 도 11 및 도 12는 하나의 GUI 윈도우에 대하여, 1개의 교시 결함에 있어서의 화상 처리 결과를 표시하는 예이다. 유저는 교시 결함 1개에 대한 이상 출력을 입력하고, GUI 윈도우를 전환하여 다른 교시 결함에 대하여 이상 출력을 입력한다.

도 11에 있어서 (1201)은 결함 인식 결과의 영역이며, 금회의 예로 결함 화상과 겹쳐서 선에 의해 표시했다. 또한, (1201)은 도 9의 (905)와 마찬가지로, 결함 인식 결과를 결함의 화상과 나란히 하여 표시해도 좋고, 다른 GUI 윈도우에 표시해도 좋다. 또한, 이상 출력에 대해서도 결함 인식 결과와 함께, 결함의 화상에 겹쳐서 표시하거나, 나란히 하여 표시하거나, 다른 GUI 윈도우에 표시해도 좋다. 또한, 결함 인식된 영역이나 이상 출력은 색이나 선의 굵기, 선종 등을 변경하여 표시해도 좋고, 영역을 배경색과 상이한 색이나 배경색과 상이한 색의 반투명색으로 빈틈없이 칠하는 것으로 표시해도 좋고, 다양한 변경이 가능하다.

(1202)는 직교 표에 정의된 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 결함 인식 결과의 일람이며, 인식된 결함 영역의 크기순으로 나란히 하여 표시되어 있다. (1202)에 표시하는 결함 인식 결과는 직교 표에 정의된 전체 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 표시해도 좋고, 일부만에 대하여 표시해도 좋다. (1202)에 표시하는 화상 처리 결과는 직교 표에 기술된 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 화상 처리 결과에 한정하지 않고, 사전에 유저가 정의한 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 화상 처리 결과로 해도 좋고, 랜덤으로 설정된 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 화상 처리 결과로 해도 좋다. 또한, (1202)의 결함 인식 결과의 일람은 인식된 영역의 크기순으로 한정하지 않고, 화상 처리 파라미터 세트내의 화상 처리 파라미터 값의 순서나, 결함 인식 결과의 특징량(원형도 등)의 값 등으로 나란히 하여 표시해도 좋고, 이들 재배열은 소정의 조건에서 재배열을 실행하는 재배열 버튼(도시 생략) 등에 의해 유저가 선택 가능하다.

(1203)은 선택된 이상 출력으로 이용하는 결함 인식 결과이며, 도 11의 예에서는 선택된 결함 인식 결과를 유저가 판별할 수 있도록, 굵은 프레임으로 강조 표시하고 있다. (1202)의 결함 인식 결과 일람으로부터 이상 출력으로 이용하는 결함 인식 결과를 각 교시 결함에 대하여 1개 혹은 복수개 선택한다. 또한, 이상 처리 결과를 1개도 선택하지 않는 것도 가능하고, 1개도 선택하지 않음으로써 윈도우에 화상 처리 결과가 표시되어 있는 결함을 교시 결함으로부터 제외한다(즉 일치도 계산을 행하지 않음) 등의 처리를 행해도 좋다.

(1204 및 1205)는 표시하는 화상 처리 결과를 다른 교시 결함의 화상 처리 결과로 변경하는 버튼이며, (1206)에 현재 표시 중인 교시 결함의 번호 및 전체 교시 결함의 개수가 표시되어 있다. 도 11의 예에서는 22개의 교시 결함 중 5번째의 교시 결함에 대하여 화상 처리 결과를 표시하고 있다. (1204)를 누름으로써 4번째의 교시 결함의 화상 처리 결과, (1205)를 누름으로써 6번째의 교시 결함의 화상 처리 결과를 표시한다. 화상 처리 결과를 표시하고 있는 교시 결함에 대하여 이상 출력의 입력을 행한다. 또한, 교시 결함의 순서는 결함 ID의 순서나, 결함종마다 연속한 순서대로 하는 것 등을 생각할 수 있다. 또한, GUI 상의 (1204, 1205)의 버튼에 의해 화상 처리 결과를 표시하는 교시 결함을 변경하는 방법에 한하지 않고, 키보드로부터의 키 입력이나 마우스의 휠 조작 및 오른쪽 클릭 등의 입력에 의해 교시 결함을 변경하는 방법도 생각된다.

(1207)은 화상 처리 결과를 표시 중인 교시 결함에 있어서의 결함종을 나타내고 있다. (1207)에는, 그 외, 교시 결함에 관한 정보(DOI 설정, 특징량 등)를 표시해도 좋다.

(1208)은 유저가 선택한 결함 인식 결과의 합성 영역, 예를 들어 유저가 선택한 복수의 결함 인식 결과에 있어서의 결함 영역의 합 영역이나, 적 영역 등의 표시부이다. 도 11에서는 굵은 프레임으로 둘러싸인 3개의 결함 인식 결과가 선택되고 있어, 각 결함 인식 결과에서 결함 영역이 상이하다. 이들 상이한 영역에 있어서의 합 영역, 적 영역 등의 합성 영역을 결함 화상에 겹쳐서 표시하고 있다. 합성 영역의 표시는 복수의 결함 인식 결과를 선택함으로써 자동으로 표시되도록 해도 좋고, 또한 복수의 결함 인식 결과를 선택한 후에 합성 버튼(도시 생략)을 누르는 것으로 표시하도록 해도 좋다. 또한, 선택된 결함 인식 결과에 있어서의 결함 영역에서, 동일한 영역을 나타내는 결과가 있었을 경우에 있어서도 적용은 가능하다. 또한, 합성 영역의 표시는, (1203)과 마찬가지로, 선에 의해 표시해도 좋고, 결함 인식 결과를 결함의 화상과 나란히 하여 표시해도 좋고, 다른 GUI 윈도우로 표시해도 좋고, 여러가지 설정이 가능하다. 또한, 이상 출력에 대해서도 결함 인식 결과와 함께, 결함의 화상에 겹쳐서 표시하거나, 나란히 하여 표시하거나, 다른 GUI 윈도우에 표시해도 좋다. 또한, 결함 인식된 영역이나 이상 출력은 색이나 선의 굵기, 선종 등을 변경하여 표시해도 좋고, 영역을 배경색과 상이한 색이나 배경색과 상이한 색의 반투명색으로 빈틈없이 칠하는 것으로 표시해도 좋다.

(1209)는 결함 화상을 나란히 하여 표시한 것이다. 도 11의 예에서는 SE상, L상, R상을 나란히 하여 표시하고 있다. 또한, 표시는 결함 화상에 한정하지 않고, 양품 화상을 표시해도 좋다.

(1210)은, (1201)에 중첩하는 화상을 지정하는 콤보 박스이다. 도 11의 예에서는 SE상이 선택되고 있고, L상, R상 등의 지정이 가능하지만, 표시하는 화상은 이에 한정하지 않고, L상, R상 등의 혼합 화상 등을 표시해도 좋다. 또한, 도 11에서는 결함 인식에 있어서의 이상 결함 영역의 입력의 1의 예를 나타냈지만, 배선 인식이나 기타 화상 처리에 있어서의 이상 출력의 입력 형태에도 적용 가능하다.

도 12는 도 11에서 나타낸 이상 출력을 입력하기 위한 GUI에 대해서, 화상 처리 결과를 화상 처리 파라미터 세트내의 특정한 화상 처리 파라미터(특정 파라미터)의 값마다 나누어서 표시하는 예이다. 또한, 도 12의 예에서는 배선 인식에 있어서의 이상 처리 결과의 입력하기 위한 GUI를 나타내고, 결정 대상의 화상 처리 파라미터 세트는 화상 처리 파라미터가 5개(파라미터 1 내지 5)이며, 각각 1 혹은 2의 값이 설정 가능(설정 가능 수준수가 2)하다고 한다.

(1301)은 배선 인식 결과이며, 금회의 예에서는 인식된 배선 영역을 백색, 그 밖의 영역을 흑색의 2치 화상으로 표시했다. 또한, (1301)은 (1201)과 마찬가지로 결함 화상, 혹은 양품 화상과 겹쳐서 선에 의해 표시해도 좋고, 배선 인식 결과를 결함의 화상, 혹은 양품 화상과 나란히 하여 표시해도 좋고, 다른 GUI 윈도우로 표시해도 좋고, 다양한 변경이 가능하다. 또한, 이상 출력에 대해서도 배선 인식 결과와 함께, 결함의 화상,혹은 양품 화상에 겹쳐서 표시하거나, 나란히 하여 표시하거나, 다른 GUI 윈도우에 표시해도 좋다. 또한, 배선 인식된 영역이나 이상 출력은 색이나 선의 굵기, 선종 등을 변경하여 표시해도 좋고, 영역을 배경색과 상이한 색이나 배경색과 상이한 색의 반투명색으로 빈틈없이 칠하는 것으로 표시해도 좋다.

(1302)는 특정 파라미터의 값을 나타내고 있다. 도 12의 예에서는, 특정 파라미터는 파라미터 1 및 파라미터 2이며, (1302)는 특정 파라미터의 값이 양쪽 모두 1인 경우의 예이다. (1303)은, 특정 파라미터의 값이 (1302)로 표시한 값인 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 배선 인식 결과의 일람이다. 이 때, 특정 파라미터 외의 화상 처리 파라미터(파라미터 3 내지 5)의 값은 임의의 값으로 한다. (1304 내지 1306)은 (1303)과 마찬가지로, 화상 처리 파라미터 세트 중의 특정 파라미터 값이 대응하는 특정 파라미터의 값인 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 화상 처리 결과의 일람이다. 또한, 직교 표에서 정의되어 있는 화상 처리 파라미터 세트에 의한 배선 인식 결과를 (1303 내지 1306)에 특정 파라미터의 값마다 나누어서 표시하는 방법도 생각할 수 있다. (1303 내지 1306)에 표시하는 화상 처리 결과는, 직교 표에 기술된 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 화상 처리 결과만에 한정하지 않고, 사전에 유저가 정의한 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 화상 처리 결과로 해도 좋고, 랜덤에서 설정된 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 화상 처리 결과로 해도 좋다. 또한, (1303 내지 1306)에 표시하는 화상 처리 결과는 직교 표에 정의된 전체 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 표시해도 좋고, 일부만에 대하여 표시해도 좋다. (1303 내지 1306)의 화상 처리 결과의 일람은 인식된 영역의 크기순에 한정하지 않고, 화상 처리 파라미터 세트내의 화상 처리 파라미터 값의 순서나, 화상 처리 결과의 특징량(배선 인식에 있어서는 인식된 회로 패턴의 조밀 등)의 값 등으로 나란히 하여 표시해도 좋다.

(1307)은 선택된 이상 출력으로 이용하는 배선 인식 결과이며, 도 12의 예에서는 선택된 배선 인식 결과를 유저가 판별할 수 있도록, 굵은 프레임으로 강조 표시하고 있다. (1303 내지 1306)의 배선 인식 결과로부터, 이상 출력으로서 사용하는 배선 인식 결과를 각 교시 결함(배선 인식에서는 양품 화상을 가리킴)에 대하여 1개 혹은 복수개 선택한다. 또한, 이상 처리 결과를 1개도 선택하지 않는 것도 가능하고, 1개도 선택하지 않음으로써 GUI 윈도우에 화상 처리 결과가 표시되어 있는 결함(배선 인식에서는 양품 화상을 가리킴)을 교시 결함으로부터 제외하는(즉 일치도 계산을 행하지 않음) 등의 처리를 행해도 좋다.

(1308)은 유저가 선택한 배선 인식 결과의 합성 영역, 예를 들어 유저가 선택한 복수의 배선 인식 결과에 있어서의 배선 영역의 합 영역이나, 적 영역 등의 표시부이다. 도 12에서는, 7개의 배선 인식 결과가 선택되고 있어, 각 배선 인식 결과에서 배선 영역이 상이하다. 이들 상이한 영역에 있어서의 합 영역, 적 영역 등의 합성 영역을 양품 화상에 겹쳐서 표시하고 있다. 또한, 선택된 배선 인식 결과에 있어서의 배선 영역에서, 동일한 영역을 나타내는 결과가 있었을 경우에 있어서도 적용은 가능하다. 또한, 선택된 모든 배선 인식 결과를 사용하여 합성 영역을 생성할 경우에 한정하지 않고, 특정 파라미터의 값마다 선택된 배선 인식 결과의 합성 영역을 표시하거나 특정 파라미터가 특정한 값에 대해서만 선택된 배선 인식 결과의 합성 영역을 표시하는 것도 좋다. 합성 영역의 표시는 (1203)과 마찬가지로, 선에 의해 표시해도 좋고, 배선 인식 결과를 결함의 화상, 혹은 양품 화상과 나란히 하여 표시해도 좋고, 다른 GUI 윈도우에 표시해도 좋다. 또한, 이상 출력에 대해서도 배선 인식 결과와 함께, 결함의 화상(배선 인식에서는 양품 화상을 가리킴)에 겹쳐서 표시하거나, 나란히 하여 표시하거나, 다른 GUI 윈도우에 표시해도 좋다. 또한, 배선 인식된 영역이나 이상 출력은 색이나 선의 굵기, 선종 등을 변경하여 표시해도 좋고, 영역을 배경색과 상이한 색이나 배경색과 상이한 색의 반투명색으로 빈틈없이 칠하는 것으로 표시해도 좋다.

화상 처리 결과의 표시의 방법으로는 특정 파라미터의 값마다 나누어서 표시하는 것만에 한정하지 않고, 화상 처리 시에 이용한 화상 처리 알고리즘의 종류마다 나누어서 표시하는 것도 좋다. 도 12에서는 배선 인식에 있어서의 이상 배선 영역의 입력의 1의 예를 나타냈지만, 결함 인식이나 기타 화상 처리에 있어서의 이상 출력의 입력 형태에도 적용 가능하다. 또한, 화상 처리 파라미터의 수, 설정 가능한 수준수가 도 12의 예와 상이한 경우에 있어서도 적용이 가능하다.

본 실시 형태에서는 이상 출력의 입력을 복수의 후보 중에서 선택시키기 위해 입력하는 수고를 경감하고, 입력에 필요한 시간을 단축하는 것이 가능하게 된다.

이상, 본 발명자에 의해 이루어진 발명을 실시 형태에 기초하여 구체적으로 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니라, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러가지 변경 가능한 것은 말할 필요도 없다. 여기에서 설명한 실시 형태는 리뷰 SEM으로 촬상한 결함 화상을 자동 분류하는 기능(ADC)을 예로 들고, 그 구체적인 처리 내용인 결함 인식 처리나 배선 인식 등으로 필요해지는 화상 처리 파라미터의 결정 방법을 설명했지만, 이렇게 취득한 화상으로부터 그 결함이나 배선 부위를 인식하는 처리를 포함하는 다른 결함 관찰 장치·검사 장치에도 적용 가능하다. 예를 들어, 리뷰 SEM에서는 자동 분류용 결함 화상을 수집하기 위해 한번에 시야가 넓은(예:수 마이크로미터) 결함 화상을 촬상해 두고, 그로부터 그 결함 위치를 화상 처리에서 인식한 뒤에, 그 인식된 부위를 중심으로 배율이 높은(시야가 좁은, 예:0.5 내지 0.1 마이크로미터) 화상을 촬상하지만, 이 시야가 넓은 화상을 대상으로 한 결함 인식 처리에 있어서도, 결함 부위를 정확하게 인식하기 위해 임계값 등의 복수의 화상 처리 파라미터를 설정하는 것이 필요하고 이 경우에도, 본 발명에서 설명한 화상 처리 파라미터 결정 방법을 사용하여 그 화상 처리 파라미터를 결정하는 것이 가능하다. 또한, 결함 검사 장치로는 본 설명에서 설명한 리뷰 SEM과 같은 전자선식 화상 촬상 수단이 아니고, 광학식 화상 촬상 수단을 갖는 검사 장치도 존재한다. 광학식 검사 장치에 있어서도, 취득한 화상에 대하여, 복수의 화상 처리 파라미터를 설정하여 화상 처리를 적용함으로써 결함을 인식하는 것이 행해지고 있고, 설정해야 할 복수의 화상 처리 파라미터는 본 발명에서 나타낸 결정 방법에 의해 결정하는 것이 가능하게 된다. 본 발명에서는 리뷰 SEM에 있어서 3개의 검출기가 있을 경우 설명했지만, 광학식 검사 장치에 있어서도 복수의 검출기를 설치하고 한번의 검사로 복수종의 화상을 얻는 것도 가능하고, 또한, 조명광이나 검출의 조건을 바꿈으로써, 1개의 검출기로부터 복수의 화상을 취득하는 것도 가능하다. 이렇게 복수의 화상을 임의의 비율로 조합한 뒤에, 적절한 화상 처리 파라미터를 사용하여 결함을 인식할 때에도 본 발명에 의한 화상 처리 파라미터 결정 방법에 의해 화상의 비율이나 화상 처리 파라미터를 결정하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명에 의해 얻어지는 효과를 예시하면 이하와 같이 본 발명에 따르면, 다수의 화상 처리 파라미터의 조정에 있어서 시스템에 입력하는 정보를 파라미터의 값이 아니고, 이상적인 화상 처리 결과로 함으로써, 화상 처리 파라미터 세트의 설정을 감각적으로 행하는 것이 가능하게 된다. 또한, 화상 처리 파라미터 세트는 자동으로 결정되기 때문에, 유저에 의한 시행 착오의 수고를 생략하는 것이 가능하게 된다. 또한, 파라미터 세트의 자동 결정에 있어서는 모든 화상 처리 파라미터 세트의 결과를 화상 처리에 의해 구하는 것이 아니고, 한정된 소수의 화상 처리 파라미터 세트만에 대하여 화상 처리를 행하고, 그 결과로부터 상술한 한정된 소수의 화상 처리 파라미터 세트 이외의 화상 처리 파라미터 세트의 처리 결과를 추정한다. 이에 의해, 모든 파라미터 세트에 대하여 화상 처리를 행하는 것과 비교하여 처리를 고속화하는 것이 가능하게 된다. 그 결과, 본 발명에 따르면 결함종의 분류에 필요한 화상 처리 파라미터 세트를 용이 또한 고속으로 설정하는 것이 가능하게 된다.

101: 전자원
102: 가속 전극
103: 집속 렌즈
104: 편향기
105: 대물 렌즈
106: 시료
107: 스테이지
108: 1차 전자
109: 2차 전자
110: 검출기
111: 검출기
112: 디지털화 수단
113: 전체 제어부
114: 기억부
115: 결함 정보 기억부
116: 레시피 기억부
118: 연산부
119: 결함 인식부
120: 배선 인식부
121: 특징량 산출부
122: 분류부
123: 입출력부
124: 자동 결정부
130: SEM 화상 취득부
131: 신호 처리부
132: 버스
201: 자동 결정용 레시피 생성부
202: 일치도 산출부
203: 일치도 추정부
204: 파라미터 결정부

Claims (39)

1. 삭제
2. 시료의 결함을 관찰하는 결함 관찰 방법으로서,
   미리 검출된 시료의 결함 좌표에 기초하여 전자 현미경에 의해 복수의 결함 화상을 촬상하는 스텝과,
   상기 촬상된 복수의 결함 화상 중에서 선택된 교시용 결함 화상을, 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트의 각 조건을 사용하여 처리하고, 상기 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 각각에 대응한 복수의 결함 영역을 추출하는 스텝과,
   상기 선택된 교시용 결함 화상에 대응하여 설정된 이상 결함 영역과 상기 추출된 복수의 결함 영역을 비교하여, 상기 복수의 결함 영역마다 일치도를 산출하는 스텝과,
   상기 복수의 결함 영역마다 산출된 일치도를 사용하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트와는 다른 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 각각에 대하여 일치도의 추정값을 산출하는 스텝과,
   상기 산출된 복수의 일치도 및 일치도의 추정값에 기초하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 중에서, 1 또는 복수의 화상 처리 파라미터 세트를 선택하는 스텝과,
   상기 선택된 화상 처리 파라미터 세트를 사용하여, 상기 전자 현미경에 의해 촬상한 상기 복수의 결함 화상을 화상 처리하고, 상기 화상 처리된 결함 화상에 기초하여 상기 시료의 결함을 분류하는 스텝
   을 갖고,
   상기 시료의 결함을 분류하는 스텝은,
   상기 선택된 화상 처리 파라미터 세트를 사용하여, 상기 전자 현미경에 의해 촬상한 상기 복수의 결함 화상의 결함 영역을 추출하는 스텝과,
   상기 추출된 상기 결함 화상의 결함 영역에서의 특징량을 산출하고, 상기 산출된 특징량에 기초하여 상기 시료의 결함을 분류하는 스텝을 갖는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
3. 시료의 결함을 관찰하는 결함 관찰 방법으로서,
   미리 검출된 시료의 결함 좌표에 기초하여 전자 현미경에 의해 복수의 결함 화상을 촬상하는 스텝과,
   상기 촬상된 복수의 결함 화상 중에서 선택된 교시용 결함 화상을, 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트의 각 조건을 사용하여 처리하고, 상기 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 각각에 대응한 복수의 결함 영역을 추출하는 스텝과,
   상기 선택된 교시용 결함 화상에 대응하여 설정된 이상 결함 영역과 상기 추출된 복수의 결함 영역을 비교하여, 상기 복수의 결함 영역마다 일치도를 산출하는 스텝과,
   상기 복수의 결함 영역마다 산출된 일치도를 사용하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트와는 다른 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 각각에 대하여 일치도의 추정값을 산출하는 스텝과,
   상기 산출된 복수의 일치도 및 일치도의 추정값에 기초하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 중에서, 1 또는 복수의 화상 처리 파라미터 세트를 선택하는 스텝과,
   상기 선택된 화상 처리 파라미터 세트를 사용하여, 상기 전자 현미경에 의해 촬상한 상기 복수의 결함 화상을 화상 처리하고, 상기 화상 처리된 결함 화상에 기초하여 상기 시료의 결함을 분류하는 스텝
   을 갖고,
   상기 일치도의 추정값을 산출하는 스텝에서는, 상기 복수의 결함 영역마다 산출된 일치도의 분포로부터, 상기 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트에 대한 일치도를 추정함으로써, 일치도의 추정값을 얻는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
4. 시료의 결함을 관찰하는 결함 관찰 방법으로서,
   미리 검출된 시료의 결함 좌표에 기초하여 전자 현미경에 의해 복수의 결함 화상을 촬상하는 스텝과,
   상기 촬상된 복수의 결함 화상 중에서 선택된 교시용 결함 화상을, 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트의 각 조건을 사용하여 처리하고, 상기 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 각각에 대응한 복수의 결함 영역을 추출하는 스텝과,
   상기 선택된 교시용 결함 화상에 대응하여 설정된 이상 결함 영역과 상기 추출된 복수의 결함 영역을 비교하여, 상기 복수의 결함 영역마다 일치도를 산출하는 스텝과,
   상기 복수의 결함 영역마다 산출된 일치도를 사용하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트와는 다른 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 각각에 대하여 일치도의 추정값을 산출하는 스텝과,
   상기 산출된 복수의 일치도 및 일치도의 추정값에 기초하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 중에서, 1 또는 복수의 화상 처리 파라미터 세트를 선택하는 스텝과,
   상기 선택된 화상 처리 파라미터 세트를 사용하여, 상기 전자 현미경에 의해 촬상한 상기 복수의 결함 화상을 화상 처리하고, 상기 화상 처리된 결함 화상에 기초하여 상기 시료의 결함을 분류하는 스텝
   을 갖고,
   상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트의 수는, 상기 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트의 수보다도 적은 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
5. 삭제
6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
9. 시료의 결함을 관찰하는 결함 관찰 방법으로서,
   미리 검출된 시료의 결함 좌표에 기초하여 전자 현미경에 의해 복수의 결함 화상 및 양품 화상을 촬상하는 스텝과,
   상기 촬상된 양품 화상 중에서 선택된 교시용 배선 화상을, 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합의 각 조건을 사용하여 처리하고, 상기 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합 각각에 대응한 복수의 배선 영역을 추출하는 스텝과,
   상기 선택된 교시용 배선 화상에 대응하여 설정된 이상 배선 영역과 상기 추출된 복수의 배선 영역을 비교하고, 상기 복수의 배선 영역마다 일치도를 산출하는 스텝과,
   상기 복수의 배선 영역마다 산출된 일치도를 사용하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합과는 다른 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합 각각에 대하여 일치도의 추정값을 산출하는 스텝과,
   상기 산출된 복수의 일치도 및 일치도의 추정값에 기초하여, 상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합 및 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합 중에서 1 또는 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘을 선택하는 스텝과,
   상기 선택된 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘을 사용하여, 상기 전자 현미경에 의해 촬상한 상기 복수의 결함 화상을 화상 처리하고, 상기 화상 처리된 결함 화상에 기초하여 상기 시료의 결함을 분류하는 스텝
   을 갖는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
10. 제9항에 있어서,
    상기 미리 설정된 제1 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합의 수는, 상기 제2 복수의 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합의 수보다도 적은 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
11. 제9항에 있어서,
    상기 이상 배선 영역은, 유저에 의해 지정, 혹은 랜덤하게 선택된 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합에 의해 처리된 화상 처리 결과 중에서 선택된 것인 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
12. 시료의 결함 화상을 취득하는 화상 취득부와, 기억부 및 입출력부를 포함하고, 상기 화상 취득부로부터의 화상 정보가 입력되어, 상기 시료 상의 상기 화상 정보에 대하여, 미리 설정된 화상 처리 파라미터 세트를 사용하여, 상기 시료 상의 결함의 인식이나 결함종의 분류를 하기 위한 화상 처리를 행하는 연산부를 갖고, 상기 화상 처리 파라미터 세트의 설정 후보를 자동적으로 결정하는 자동 결정부를 갖는 결함 관찰 장치에 있어서의 결함 관찰 방법으로서,
    상기 입출력부에 있어서, 1 혹은 복수의 대표 결함을 선택하는 스텝과,
    상기 연산부에 있어서의 상기 화상 처리의 상기 대표 결함에 대한 이상 출력을 입력하는 스텝과,
    소수의 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 상기 대표 결함의 상기 화상 처리에 의한 출력 결과와, 상기 이상 출력의 일치도를 산출하는 스텝과,
    상기 일치도로부터, 상기 소수의 화상 처리 파라미터 세트에 포함되지 않는 화상 처리 파라미터 세트에 대하여 일치도의 추정값을 산출하는 스텝과,
    상기 일치도의 추정값 및 상기 일치도로부터, 화상 처리 파라미터 세트의 설정 후보를 1 세트 혹은 복수 세트를 결정하는 스텝과,
    상기 입출력부에서, 상기 설정 후보의 화상 처리 파라미터 세트 및 상기 설정 후보의 화상 처리 파라미터 세트에 있어서의 상기 대표 결함의 상기 화상 처리에 의한 출력 결과를 표시하는 스텝
    을 구비한 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
13. 제12항에 있어서,
    상기 이상 출력은 유저에 의해 지정, 혹은 랜덤하게 선택된 화상 처리 파라미터 세트에 의해 처리된 화상 처리 결과 중에서 선택된 것인 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
14. 제12항에 있어서,
    상기 화상 처리의 화상 처리 알고리즘이 복수 준비되어 있는 경우, 상기 자동 결정부에 있어서, 화상 처리 알고리즘 및 대응하는 화상 처리 파라미터 세트의 조합의 설정 후보를 자동적으로 결정하는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
15. 제14항에 있어서,
    상기 이상 출력은, 유저에 의해 지정, 혹은 랜덤하게 선택된 화상 처리 파라미터 세트 및 화상 처리 알고리즘의 조합에 의해 처리된 화상 처리 결과 중에서 선택된 것인 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
16. 제12항에 있어서,
    상기 일치도의 추정값을 산출하는 스텝 및 상기 설정 후보를 결정하는 스텝에 있어서, 처리 시간 또는 결정하는 설정 후보가 변화하는 상이한 복수의 처리 모드를 갖는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
17. 제12항에 있어서,
    상기 대표 결함 화상에 복수의 화상의 혼합 화상을 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
18. 제12항에 있어서,
    상기 화상 처리 파라미터 세트에 포함되는 파라미터에, 화상의 혼합비를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
19. 제12항에 있어서,
    상기 설정 후보를 결정하는 스텝에 있어서, DOI의 정보를 이용하는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
20. 제12항에 있어서,
    상기 결정된 설정 후보에 의한 상기 화상 처리의 결과가 불충분할 경우, 상기 결정된 설정 후보에 의한 상기 화상 처리의 결과를 기초로, 대표 결함의 추가와 삭제를 행하고, 상기 자동 결정부에 있어서의 상기 설정 후보의 결정을 반복해 행하는 것을 특징으로 하는 결함 관찰 방법.
21. 삭제
22. 삭제
23. 삭제
24. 삭제
25. 삭제
26. 삭제
27. 삭제
28. 삭제
29. 삭제
30. 삭제
31. 삭제
32. 삭제
33. 삭제
34. 삭제
35. 삭제
36. 삭제
37. 삭제
38. 삭제
39. 삭제

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