JP5568456B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
102 レンズ
103 偏向器
104 対物レンズ
105 試料
106 試料台
107 電子線
108 二次電子
109 反射電子
110 レンズ制御回路
111 偏向制御回路
112 対物レンズ制御回路
113 アナログ/デジタル変換器
114 アドレス制御回路
115 画像メモリ
116 機構制御回路
117 表示部
118 制御部
119 画像処理部
120 入力部
122 二次電子検出器
123 反射電子検出器
124 移動ステージ
Claims (18)
- 電子線を照射して試料のパターンの欠陥を検査する荷電粒子線装置であって、
前記試料に前記電子線を照射して二次荷電粒子を検出する電子光学系と、
前記二次荷電粒子から得られた被検査画像に対して演算処理することで欠陥を検出する画像処理部と、
前記欠陥の画像を表示する表示部とを有し、
前記画像処理部は、
前記試料の画像に基づいて得られるテンプレート画像を用いて前記パターンの輪郭を抽出する輪郭抽出部と、
前記パターンの輪郭に基づいて検査対象領域を設定する検査対象領域設定部と、
前記被検査画像を前記被検査画像に対応する部分の画像と比較して差分のある複数の隣接した画素を一つの欠陥候補として検出する比較演算部と、
前記一つの欠陥候補と前記検査対象領域とを重ね合わせることで、当該一つの欠陥候補と前記検査対象領域との重なり状態を判定し、前記検査対象領域に対して当該一つの欠陥候補が所定の重なり状態にある場合に当該一つの欠陥候補を欠陥と判定する欠陥判定部と
を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記テンプレート画像は、複数の前記試料の画像を加算した画像であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記電子光学系は前記二次荷電粒子を検出する検出器を複数備え、
前記テンプレート画像と前記被検査画像は異なる検出器から得られた像であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記テンプレート画像は、前記被検査画像を用いて生成されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記被検査画像に対応する部分の画像として、前記テンプレート画像を用いることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、さらに、
検査対象領域を指示する入力手段を有し、
前記検査対象領域設定部は前記入力手段を通して行われたユーザの指示に基づいて前記検査対象領域を設定することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記検査対象領域は前記パターンの内側または外側であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記検査対象領域設定部は、前記パターンの輪郭の全部または一部を、拡大または縮小して検査対象領域とすることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
前記検査対象領域設定部は、前記拡大および縮小されたパターンの輪郭に基づいて得られる領域の差分を検査対象領域とすることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 電子線を照射して試料のパターンの欠陥を検査する荷電粒子線装置であって、
前記試料に前記電子線を照射して二次荷電粒子を検出する電子光学系と、
前記二次荷電粒子から得られた被検査画像に対して演算処理することで欠陥を検出する画像処理部と、
前記欠陥の画像を表示する表示部とを有し、
前記画像処理部は、
前記試料の画像に基づいて得られるテンプレート画像を用いて前記パターンの輪郭を抽出する輪郭抽出部と、
前記パターンの輪郭に基づいて検査対象領域を設定する検査対象領域設定部と、
前記被検査画像と前記検査対象領域とを重ね合わせることで、前記被検査画像における前記検査対象領域に対応する部分を抽出し、前記検査対象領域に対応する部分に含まれるパターンと前記検査対象領域の形状差および位置関係に応じて、当該パターンを分類するパターン分類部とを有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10に記載の荷電粒子線装置において、
前記パターン分類部は、前記被検査画像における前記検査対象領域と前記検査対象領域との形状の差を用いて前記パターンの出来栄えを評価することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項10に記載の荷電粒子線装置において、
前記表示部は、前記検査対象領域の分類結果を統計処理して表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線装置に接続されたコンピュータにおいて実行されるプログラムであって、
試料の画像に基づいて得られるテンプレート画像を用いて前記試料上のパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出処理と、
前記パターンの輪郭に基づいて検査対象領域を設定する検査対象領域設定処理と、
前記試料の被検査画像を前記被検査画像に対応する部分の画像と比較して差分のある複数の隣接した画素を一つの欠陥候補として検出する比較演算処理と、
前記一つの欠陥候補と前記検査対象領域とを重ね合わせることで、当該一つの欠陥候補と前記検査対象領域との重なり状態を判定し、前記検査対象領域に対して当該一つの欠陥候補が所定の重なり状態にある場合に当該一つの欠陥候補を欠陥と判定する欠陥判定処理とを実行するプログラムを記録した記録媒体。 - 荷電粒子線装置に接続されたコンピュータにおいて実行されるプログラムであって、
試料の画像に基づいて得られるテンプレート画像を用いて前記試料上のパターンの輪郭を抽出する輪郭抽出処理と、
前記パターンの輪郭に基づいて検査対象領域を設定する検査対象領域設定処理と、
被検査画像と前記検査対象領域とを重ね合わせることで、前記被検査画像における前記検査対象領域に対応する部分を抽出し、前記検査対象領域に対応する部分に含まれるパターンと前記検査対象領域の形状差および位置関係に応じて、当該パターンを分類するパターン分類処理とを実行するプログラムを記録した記録媒体。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記重なり状態は、前記一つの欠陥候補の領域が前記検査対象領域に含まれる割合または前記一つの欠陥候補の特徴点が前記検査対象領域内に含まれているか否かで判定されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項13に記載のプログラムを記録した記録媒体において、
前記重なり状態は、前記一つの欠陥候補の領域が前記検査対象領域に含まれる割合または前記一つの欠陥候補の特徴点が前記検査対象領域内に含まれているか否かで判定されることを特徴とするプログラムを記録した記録媒体。 - 請求項10に記載の荷電粒子線装置において、
前記形状差および位置関係は、前記検査対象領域に対応する部分に含まれるパターンの占有面積率または前記検査対象領域に対応する部分に含まれるパターンの重心位置で判定されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項14に記載のプログラムを記録した記録媒体において、
前記形状差および位置関係は、前記検査対象領域に対応する部分に含まれるパターンの占有面積率または前記検査対象領域に対応する部分に含まれるパターンの重心位置で判定されることを特徴とするプログラムを記録した記録媒体。
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