JP2006261162A - レビュー装置及びレビュー装置における検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 検査装置で検査されて検出された欠陥検査情報を基に、多数の欠陥から複数のアライメント候補を選択して絞り込む欠陥選択部240と、該絞り込まれた複数のアライメント候補の各々を撮像して複数のアライメント候補のSEM画像を取得する検出系21と、該取得された複数のアライメント候補のSEM画像を基に複数のアライメント候補についての特徴量を算出し、該算出された複数のアライメント候補についての特徴量を基に該複数のアライメント候補についてのアライメント適/不適を判定する判定部243とを備えたレビュー装置である。
【選択図】 図1
Description
また、本発明は、前記欠陥選択部は、前記被検査対象の表面を複数のブロックに分割した各ブロックから所定の個数のアライメント候補を選択するように構成したことを特徴とする。
また、本発明は、前記欠陥選択部において、前記欠陥の属性情報として欠陥の大きさ示す情報であることを特徴とする。
また、本発明は、前記画像処理部において、前記アライメント候補についての属性を示す特徴量としてコントラスト及び/又は輪郭形状を算出するように構成し、前記判定部において、該コントラスト及び/又は輪郭形状を基に前記アライメント候補についてのアライメント適/不適を判定するように構成することを特徴とすることを特徴とする。
また、本発明は、前記判定部において、前記アライメント候補の属性を示す特徴量を予め設定した基準値と比較することにより前記アライメント候補についてのアライメント適/不適を判定するように構成することを特徴とする。
また、本発明は、更に、欠陥またはアライメント候補の光学画像を取得する光学顕微鏡を備えたことを特徴とする。
また、検査装置1の種類によっては、欠陥検査情報4として、欠陥の属性を示す大きさ(投影長(dx,dy)や面積Sなど)の情報が得られない場合がある。
なお、試料3の表面を複数の領域(ブロック)に分割する際、試料上の座標系における試料の形状データが必要となる。
なお、二次登録される欠陥特徴量記憶部242と、一次登録される欠陥一次選択記憶部241とを同一メモリ等の記憶手段で構成し、共用してもよい。
(Y+ΔY)=α21X+α21Y+Y0 (1)
以上説明したように相対位置補正部245においてアライメント適のN個の中程度異物を用いてアライメント補正係数(α11,α12,α21,α22,X0,Y0)が算出されて記憶部(図示せず)に記憶されているので、以後レビュー装置2は、統括コンピュータ24においてレビューする欠陥について検査装置1で検出された試料座標系での欠陥の位置座標(x,y)から上記アライメント補正係数を用いて上記(1)式に基づいて座標変換を施すことによってレビュー装置2での試料座標系での欠陥の位置座標(x+Δx,y+Δy)を算出してオフセットとして座標位置補正(Δx,Δy)を求めてレビュー欠陥を512×512画素程度の解像度の高倍率の電子顕微鏡30の視野に位置決めして高倍率のSEM画像により詳細観察をして詳細検査を実施し、欠陥レビュー(ADR)することが可能となる(S814)。さらに、該欠陥レビューを基に欠陥分類(ADC)を実施し(S815)、一連の詳細検査が可能となる。
Claims (14)
- 上流の検査装置で検査された被検査対象の表面上に存在する所望の欠陥についての前記検査装置で得られる位置座標を基にアライメント補正係数で補正したレビュー装置での前記所望の欠陥の補正位置座標を算出し、該算出された補正位置座標を基に前記所望の欠陥をアライメントして電子顕微鏡又は光学顕微鏡で構成される検出系で観察して再検査するレビュー装置であって、
前記検査装置で検査されて検出された被検査対象の表面上に存在する多数の欠陥についての欠陥検査情報を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶された欠陥検査情報に含まれる欠陥の種類及び/又は属性情報を基に、多数の欠陥から複数のアライメント候補を選択して絞り込む欠陥選択部と、
該欠陥選択部で絞り込まれた複数のアライメント候補の各々を撮像して複数のアライメント候補のSEM画像又は光学画像を取得する前記検出系と、
該検出系で取得された複数のアライメント候補のSEM画像又は光学画像から複数のアライメント候補についての属性を示す特徴量を算出する画像処理部と、
該画像処理部で算出された複数のアライメント候補についての属性を示す特徴量を基に該複数のアライメント候補についてアライメント適/不適を判定する判定部と、
該判定部でアライメント適と判定された複数のアライメント候補についての前記欠陥検査情報に含まれる検査装置から得られる位置座標と前記アライメント候補のSEM画像又は光学画像から算出されるレビュー装置での位置座標とからアライメント補正係数を算出する相対位置補正部とを備えたことを特徴とするレビュー装置。 - 上流の検査装置で検査された被検査対象の表面上に存在する所望の欠陥についての前記検査装置で得られる位置座標を基にアライメント補正係数で補正したレビュー装置での前記所望の欠陥の補正位置座標を算出し、該算出された補正位置座標を基に前記所望の欠陥をアライメントして電子顕微鏡で構成される検出系で観察して再検査する電子線式レビュー装置であって、
前記検査装置で検査されて検出された被検査対象の表面上に存在する多数の欠陥についての欠陥検査情報を記憶する記憶部と、
該記憶部に記憶された欠陥検査情報に含まれる欠陥の種類及び/又は属性情報を基に、多数の欠陥から複数のアライメント候補を選択して絞り込む欠陥選択部と、
該欠陥選択部で絞り込まれた複数のアライメント候補の各々を撮像して複数のアライメント候補のSEM画像を取得する前記電子顕微鏡と、
該電子顕微鏡で取得された複数のアライメント候補のSEM画像を基に複数のアライメント候補についての属性を示す特徴量を算出する画像処理部と、
該画像処理部で算出された複数のアライメント候補についての属性を示す特徴量を基に該複数のアライメント候補についてのアライメント適/不適を判定する判定部と、
該判定部でアライメント適と判定された複数のアライメント候補についての前記欠陥検査情報に含まれる検査装置から得られる位置座標と前記アライメント候補のSEM画像から算出されるレビュー装置での位置座標とからアライメント補正係数を算出する相対位置補正部とを備えたことを特徴とするレビュー装置。 - 前記欠陥選択部は、前記欠陥の種類及び/又は属性情報を基に中程度の大きさの球状欠陥を絞り込むように構成することを特徴とする請求項1又は2記載のレビュー装置。
- 前記欠陥選択部は、前記被検査対象の表面を複数のブロックに分割した各ブロックから所定の個数のアライメント候補を選択するように構成したことを特徴とする請求項1又は2記載のレビュー装置。
- 前記欠陥選択部において、前記欠陥の属性情報として欠陥の大きさ示す情報であることを特徴とする請求項1又は2記載のレビュー装置。
- 前記画像処理部において、前記アライメント候補についての属性を示す特徴量としてコントラスト及び/又は輪郭形状を算出するように構成し、
前記判定部において、該コントラスト及び/又は輪郭形状を基に前記アライメント候補についてのアライメント適/不適を判定するように構成することを特徴とすることを特徴とする請求項1又は2記載のレビュー装置。 - 前記判定部において、前記アライメント候補の属性を示す特徴量を予め設定した基準値と比較することにより前記アライメント候補についてのアライメント適/不適を判定するように構成することを特徴とする請求項1又は2記載のレビュー装置。
- 更に、欠陥またはアライメント候補の光学画像を取得する光学顕微鏡を備えたことを特徴とする請求項2記載のレビュー装置。
- 上流の検査装置で検査された被検査対象の表面上に存在する所望の欠陥についての前記検査装置で得られる位置座標を基にアライメント補正係数で補正したレビュー装置での前記所望の欠陥の補正位置座標を算出し、該算出した補正位置座標を基に該所望の欠陥をアライメントして電子顕微鏡又は光学顕微鏡で構成される検出系で観察して再検査するレビュー装置における検査方法であって、
前記検査装置で検査されて検出された被検査対象の表面上に存在する多数の欠陥についての欠陥検査情報を記憶部に記憶する記憶ステップと、
該記憶ステップで記憶された欠陥検査情報に含まれる欠陥の種類及び/又は属性情報を基に、多数の欠陥から複数のアライメント候補を選択して絞り込む欠陥選択ステップと、
該欠陥選択ステップで絞り込まれた複数のアライメント候補の各々を前記検出系で撮像して複数のアライメント候補のSEM画像又は光学画像を取得する画像取得ステップと、
該画像取得ステップで取得された複数のアライメント候補についてのSEM画像又は光学画像から複数のアライメント候補についての属性を示す特徴量を算出する画像処理ステップと、
該画像処理ステップで算出された複数のアライメント候補についての属性を示す特徴量を基に該複数のアライメント候補についてのアライメント適/不適を判定する判定ステップと、
該判定ステップでアライメント適と判定された複数のアライメント候補についての前記欠陥検査情報に含まれる検査装置から得られる位置座標と前記アライメント候補のSEM画像又は光学画像から算出されるレビュー装置での位置座標とから前記アライメントするためのアライメント補正係数を算出する補正係数算出ステップとを有することを特徴とするレビュー装置における検査方法。 - 上流の検査装置で検査された被検査対象の表面上に存在する所望の欠陥についての前記検査装置で得られる位置座標を基にアライメント補正係数で補正したレビュー装置での前記所望の欠陥の補正位置座標を算出し、該算出された補正位置座標を基に前記所望の欠陥をアライメントして電子顕微鏡で構成される検出系で観察して再検査する電子線式レビュー装置における検査方法であって、
前記検査装置で検査されて検出された被検査対象の表面上に存在する多数の欠陥についての欠陥検査情報を記憶部に記憶する記憶ステップと、
該記憶ステップで記憶された欠陥検査情報に含まれる欠陥の種類及び/又は属性情報を基に、多数の欠陥から複数のアライメント候補を選択して絞り込む欠陥選択ステップと、
該欠陥選択ステップで絞り込まれた複数のアライメント候補の各々を前記電子顕微鏡で撮像して複数のアライメント候補についてのSEM画像を取得するSEM画像取得ステップと、
該SEM画像取得ステップで取得された複数のアライメント候補についてのSEM画像を基に複数のアライメント候補についての属性を示す特徴量を算出する画像処理ステップと、
該画像処理ステップで算出された複数のアライメント候補についての属性を示す特徴量を基に該複数のアライメント候補についてのアライメント適/不適を判定する判定ステップと、
該判定ステップでアライメント適と判定された複数のアライメント候補についての前記欠陥検査情報に含まれる検査装置から得られる位置座標と前記アライメント候補のSEM画像から算出されるレビュー装置での位置座標とから前記アライメントするためのアライメント補正係数を算出する補正係数算出ステップとを有することを特徴とするレビュー装置における検査方法。 - 前記欠陥選択ステップにおいて、前記欠陥の種類及び/又は属性情報を基に中程度の大きさの球状欠陥を絞り込むことを特徴とする請求項9又は10記載のレビュー装置における検査方法。
- 前記欠陥選択ステップにおいて、前記被検査対象の表面を複数のブロックに分割した各ブロックから所定の個数のアライメント候補を選択することを特徴とする請求項9又は10記載のレビュー装置における検査方法。
- 前記画像処理ステップにおいて、前記アライメント候補についての属性を示す特徴量としてコントラスト及び/又は輪郭形状を算出し、
前記判定ステップにおいて、該コントラスト及び/又は輪郭形状を基に前記アライメント候補についてのアライメント適/不適を判定することを特徴とすることを特徴とする請求項9又は10記載のレビュー装置における検査方法。 - 前記SEM画像取得ステップにおいて、撮像視野が欠陥観察(ADR)時の視野に対して広視野で、欠陥観察(ADR)時の画像サンプリング数より多い画像サンプリング数でアライメント候補を撮像することを特徴とする請求項10記載のレビュー装置における検査方法。
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