JP2008078159A - 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 - Google Patents
荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008078159A JP2008078159A JP2007317834A JP2007317834A JP2008078159A JP 2008078159 A JP2008078159 A JP 2008078159A JP 2007317834 A JP2007317834 A JP 2007317834A JP 2007317834 A JP2007317834 A JP 2007317834A JP 2008078159 A JP2008078159 A JP 2008078159A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- image
- sample
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
本発明は、測定対象へのダメージの低減と、測定の高精度化の両立が可能な荷電粒子線装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
上記目的を解決するため、本発明によれば、試料上に形成された第1のパターンへの荷電粒子線の走査に基づいて形成される第1の画像に基づいて、荷電粒子線の焦点,画像の明るさ、及び/又は画像のコントラストを調整し、当該調整された荷電粒子線、及び/又は調整された画像を形成する調整条件を用いて、第1のパターンとは異なる第2のパターンに対する前記荷電粒子線の走査を行う。
【選択図】図2
Description
Claims (3)
- 試料への荷電粒子線の走査によって、前記試料から放出される荷電粒子を検出し、当該荷電粒子の検出に基づいて、前記試料上の走査領域の画像を形成し、当該形成された画像に基づいて、前記荷電粒子線の焦点を調整する荷電粒子線装置の調整方法において、
前記試料に対する前記荷電粒子線の走査を、前記荷電粒子線の焦点を変化させながら行うことによって、焦点の合った画像を得るための制御パラメータを取得する調整方法であって、前記焦点の合った画像を得るための制御パラメータが取得された後も、前記荷電粒子線の走査回数が、予め定められた所定回数に達するまでは、前記荷電粒子線の走査を繰り返すことを特徴とする荷電粒子線装置の調整方法。 - 請求項1において、
前記焦点調整は、前記試料を集束するための対物レンズの調整、或いは前記試料に印加される電圧を調整することによって行われることを特徴とする荷電粒子線装置の調整方法。 - 荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出された荷電粒子線を走査する走査偏向器と、前記荷電粒子線の照射に基づいて試料から放出される荷電粒子を検出する検出器と、当該検出器の出力に基づいて試料から放出される荷電粒子を検出する検出器と、当該検出器の出力に基づいて画像を形成する制御装置を備えた荷電粒子線装置において、
前記制御装置は、前記試料に対する前記荷電粒子線の走査を、前記荷電粒子線の焦点を変化させながら行うことによって、焦点の合った画像を得るための制御パラメータを取得すると共に、前記焦点の合った画像を得るための制御パラメータが取得された後も、前記荷電粒子線の走査回数が、予め定められた所定回数に達するまでは、前記荷電粒子線の走査を繰り返すことを特徴とする荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007317834A JP4231891B2 (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007317834A JP4231891B2 (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004144284A Division JP4194526B2 (ja) | 2004-05-14 | 2004-05-14 | 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008078159A true JP2008078159A (ja) | 2008-04-03 |
JP4231891B2 JP4231891B2 (ja) | 2009-03-04 |
Family
ID=39349968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007317834A Expired - Lifetime JP4231891B2 (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4231891B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012009289A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Hitachi High-Technologies Corp | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 |
-
2007
- 2007-12-10 JP JP2007317834A patent/JP4231891B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012009289A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Hitachi High-Technologies Corp | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4231891B2 (ja) | 2009-03-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7154090B2 (en) | Method for controlling charged particle beam, and charged particle beam apparatus | |
JP4881677B2 (ja) | 荷電粒子線走査方法及び荷電粒子線装置 | |
JP5937171B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡及び試料観察方法 | |
JP5500871B2 (ja) | テンプレートマッチング用テンプレート作成方法、及びテンプレート作成装置 | |
JP2006332296A (ja) | 電子ビーム応用回路パターン検査における焦点補正方法 | |
US7521678B2 (en) | Charged particle beam apparatus, charged particle beam focusing method, microstructure measuring method, microstructure inspecting method, semiconductor device manufacturing method, and program | |
JP4231798B2 (ja) | 荷電粒子線装置および倍率計測法 | |
JP2007187538A (ja) | 荷電粒子線装置及びそれを用いた画像取得方法 | |
TWI813618B (zh) | 掃描電子顯微鏡的自動對焦方法 | |
JP2005310602A (ja) | 荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
TW201447225A (zh) | 圖案測定方法、帶電粒子束裝置之裝置條件設定方法、以及帶電粒子束裝置 | |
US9110384B2 (en) | Scanning electron microscope | |
JP5222994B2 (ja) | 試料観察方法および走査電子顕微鏡 | |
JP2006173035A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2009054508A (ja) | ローカル帯電分布精密計測方法及び装置 | |
JP2005338102A (ja) | 試料寸法測長方法及び走査電子顕微鏡 | |
JP6343508B2 (ja) | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JP2005005055A (ja) | 試料の高さ情報取得方法 | |
JP4231891B2 (ja) | 荷電粒子線の調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JP6207893B2 (ja) | 試料観察装置用のテンプレート作成装置 | |
JP4431624B2 (ja) | 荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JP2009016356A (ja) | 荷電粒子線を用いた検査方法および検査装置 | |
JP2009259878A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP2011179819A (ja) | パターン測定方法及びコンピュータプログラム | |
US20240144560A1 (en) | Training Method for Learning Apparatus, and Image Generation System |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080826 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081202 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4231891 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111212 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121212 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131212 Year of fee payment: 5 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |