JP5998004B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
以下では、SEM式欠陥観察装置における第1実施例に係る実行条件の最適化処理を説明する。図4は、フレーム画像積算枚数最適化処理のフローチャートである。以下では、実行条件の一例として、フレーム画像の積算枚数を最適化する処理について説明する。ここでは、以下の処理の主体は、全体制御部および解析部113とする。
以下では、SEM式欠陥観察装置における第2実施例に係る実行条件の最適化処理を説明する。第2実施例は、欠陥自動観察(ADR:Automatic Defect ReviewまたはRedetection)の欠陥検出率とスループットを両立させる最適な観察条件設定処理に関するものである。ADRは、上位の欠陥検査装置が出力する欠陥座標の誤差を補正し、欠陥領域、欠陥座標などを検出し、高画質の欠陥画像を取得する処理である。図7は、ADRの欠陥検出率とスループットを両立させる条件設定処理のフローチャートである。以下では、実行条件の一例として、フレーム画像の積算枚数を最適化する処理について説明する。
ステップ701において、まず、全体制御部および解析部113は、解析パラメータ記憶部204からフレーム積算枚数に関する複数のパラメータを取得する。そして、全体制御部および解析部113は、評価対象となる最大数のフレーム画像を画像データ記憶部203から取得する。
以下では、SEM式欠陥観察装置における第3実施例に係る実行条件の最適化処理を説明する。第3実施例は、欠陥自動分類(ADC:Automatic Defect Classification)の分類正解率とスループットを両立させる最適な観察条件設定処理に関するものである。ADCは、高画質で取得した欠陥画像をもとに、欠陥の種類を分類する(欠陥種を特定する)処理である。図9は、ADCの分類正解率とスループットを両立させる条件設定処理のフローチャートである。以下では、実行条件の一例として、フレーム画像の積算枚数を最適化する処理について説明する。
ステップ901において、まず、全体制御部および解析部113は、解析パラメータ記憶部204からフレーム積算枚数に関する複数のパラメータを取得する。そして、全体制御部および解析部113は、評価対象となる最大数のフレーム画像を画像データ記憶部203から取得する。
以下では、SEM式欠陥観察装置における第4実施例に係る実行条件の最適化処理を説明する。第4実施例は、ADRの欠陥検出率とスループットの両立、及びADCの分類正解率とスループットの両立を実現する観察条件設定処理に関するものである。図11は、ADRの欠陥検出率とスループットの両立、及びADCの分類正解率とスループットの両立を実現する条件設定処理のフローチャートである。以下では、実行条件の一例として、フレーム画像の積算枚数を最適化する処理について説明する。
ステップ1101において、まず、全体制御部および解析部113は、解析パラメータ記憶部204からフレーム積算枚数に関する複数のパラメータを取得する。そして、全体制御部および解析部113は、評価対象となる最大数のフレーム画像を画像データ記憶部203から取得する。
102 :レンズ
103 :走査偏向器
104 :対物レンズ
105 :試料
106 :ステージ
107 :一次電子ビーム
108 :二次粒子
109 :二次粒子検出器
110 :電子光学系制御部
111 :A/D変換部
112 :ステージ制御部
113 :全体制御部および解析部
114 :画像処理部
115 :操作部
116 :記憶装置
117 :光学式顕微鏡
201 :操作・解析部
202 :欠陥データ記憶部
203 :画像データ記憶部
204 :解析パラメータ記憶部
205 :解析結果データ記憶部
Claims (15)
- 試料上の欠陥を観察する欠陥観察装置を備える荷電粒子線装置であって、
制御部と、
表示部と、を備え、
前記制御部が、
前記欠陥観察装置で取得された1枚以上の画像に対して複数の補正条件でドリフト補正処理を実行し、
前記複数の補正条件と、前記ドリフト補正処理を実行した複数の補正画像とを対応させて前記表示部に第1の画面として表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、前記複数の補正画像に対して欠陥自動観察処理を実行して、前記欠陥自動観察処理によって検出された欠陥位置を、前記複数の補正画像に重ねて前記第1の画面に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、前記複数の補正画像に対する前記欠陥自動観察処理のスループット情報を、前記複数の補正条件に対応させて前記第1の画面に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、ユーザが選択した前記複数の補正条件の分布及び前記複数の補正条件毎の前記欠陥自動観察処理の検出率の少なくとも一方を前記表示部に第2の画面として表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、前記1枚以上の画像に対する前記ドリフト補正処理の実行時間及び前記複数の補正画像に対する前記欠陥自動観察処理のスループット情報の少なくとも一方を前記第2の画面に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、前記複数の補正画像に対して欠陥自動分類処理を実行して、前記欠陥自動分類処理によって得られた分類結果を、前記複数の補正画像に対応させて前記第1の画面に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、前記複数の補正画像に対する前記欠陥自動分類処理のスループット情報を、前記複数の補正条件に対応させて前記第1の画面に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、ユーザが選択した前記複数の補正条件の分布及び前記複数の補正条件毎の前記欠陥自動分類処理の正解率の少なくとも一方を第2の画面として前記表示部に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、前記1枚以上の画像に対する前記ドリフト補正処理の実行時間及び前記複数の補正画像に対する前記欠陥自動分類処理のスループット情報の少なくとも一方を前記第2の画面に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、前記1枚以上の画像に対する前記ドリフト補正処理の実行時間を、前記複数の補正条件に対応させて前記第1の画面に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、前記ドリフト補正処理前の前記1枚以上の画像を、前記複数の補正条件に対応させて前記第1の画面に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、ユーザが選択した前記複数の補正条件の分布を前記表示部に第2の画面として表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項12に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、前記1枚以上の画像に対する前記ドリフト補正処理の実行時間を、前記複数の補正条件の前記分布に対応させて前記第2の画面に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、
前記複数の補正画像に対して欠陥自動観察処理を実行して、前記欠陥自動観察処理によって検出された欠陥位置を、前記複数の補正画像に重ねて前記第1の画面に表示し、
前記複数の補正画像に対して欠陥自動分類処理を実行して、前記欠陥自動分類処理によって得られた分類結果を、前記複数の補正画像に対応させて前記表示部に第2の画面として表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項14に記載の荷電粒子線装置において、
前記制御部が、前記複数の補正画像に対する前記欠陥自動観察処理のスループット情報と、前記複数の補正画像に対する前記欠陥自動分類処理のスループット情報とを前記第2の画面に区別して表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
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