JP5947016B2 - キーパターン決定方法 - Google Patents
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Description
2 テーブル移動基台
3 装置本体
4 支持部
6 ブレード移動基台
7 制御手段
8 操作手段
9 撮像手段
10 チャックテーブル
20 加工手段
21 切削ブレード
22 スピンドル
23 ハウジング
30 撮像部
31 撮像処理部
40 X軸移動手段
50 Y軸移動手段
60 Z軸移動手段
70 カセットエレベータ
80 仮置き手段
90 洗浄・乾燥手段
100 演算処理部
101 パターンマッチング部
102 画像処理部
110 記憶部
111 キーパターン記憶部
112 位置関係記憶部
113 画像記憶部
CP 特徴領域
IP 統合画像
KP キーパターン
Lx、Ly ストリート
W 被加工物
w1、w1a〜w1m デバイス
Claims (2)
- 複数の分割予定ラインが規則に従って区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された該被加工物を撮像し画像を生成する複数の画素からなる撮像部を備えた撮像手段と、該撮像手段によって撮像された加工すべき領域を加工する加工手段と、を少なくとも含み、
該撮像手段は、デバイスの特徴領域をキーパターンとして記憶するキーパターン記憶部と、該キーパターンと該分割予定ラインとの位置関係を記憶する位置関係記憶部と、該撮像部で撮像した画像と該キーパターンとの類似度を算出して類似度の高い画像を検出するパターンマッチング部と、を備えた加工装置において、該撮像部で撮像した画像から適正なキーパターンを決定するキーパターン決定方法であって、
任意のデバイスを該撮像部で撮像しキーパターンとして最適な特徴領域の画像をキーパターン候補として画像記憶部に記憶するキーパターン候補記憶工程と、
該分割予定ラインの該規則に従って該撮像部と該保持手段とを相対的に1つの軌跡で移動して複数の該デバイスを該撮像部で撮像し該任意のデバイスで撮像した同じ該特徴領域の画像を該画像記憶部に記憶する複数画像記憶工程と、
該画像記憶部に記憶された複数の画像を統合し、統合画像を算出する統合画像算出工程と、
前記統合画像をキーパターンとして決定し、該キーパターン記憶部に記憶するキーパターン決定工程と、
から構成されるキーパターン決定方法。 - 複数の分割予定ラインが規則に従って区画された領域に複数のデバイスが形成された被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された該被加工物を撮像し画像を生成する複数の画素からなる撮像部を備えた撮像手段と、該撮像手段によって撮像された加工すべき領域を加工する加工手段と、を少なくとも含み、
該撮像手段は、デバイスの特徴領域をキーパターンとして記憶するキーパターン記憶部と、該キーパターンと該分割予定ラインとの位置関係を記憶する位置関係記憶部と、該撮像部で撮像した画像と該キーパターンとの類似度を算出して類似度の高い画像を検出するパターンマッチング部と、を備えた加工装置において、該撮像部で撮像した画像から適正なキーパターンを決定するキーパターン決定方法であって、
任意のデバイスを該撮像部で撮像しキーパターンとして最適な特徴領域の画像をキーパターン候補として画像記憶部に記憶するキーパターン候補記憶工程と、
該分割予定ラインの該規則に従って該撮像部と該保持手段とを相対的に移動して、離れた位置に存在する複数の該デバイスを該撮像部で撮像し該任意のデバイスで撮像した同じ該特徴領域の画像を該画像記憶部に記憶する複数画像記憶工程と、
該画像記憶部に記憶された複数の画像を統合し、統合画像を算出する統合画像算出工程と、
前記統合画像をキーパターンとして決定し、該キーパターン記憶部に記憶するキーパターン決定工程と、
から構成され、
前記統合画像とは、複数の画像を構成する同じ位置の画素の輝度値の平均値により構成される画像、前記同じ位置の画素の輝度値の中央値により構成される画像又は前記同じ位置の画素の輝度値の最頻値により構成される画像のいずれかであるキーパターン決定方法。
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