JP6336887B2 - 試料作製装置及び試料作製方法 - Google Patents
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Description
察像に対して前記イオンビームの照射範囲を示す円状のマーカーを合成し、前記試料の断面観察像に対して前記イオンビームの照射範囲を示す帯状のマーカーを合成してもよい。
、観察倍率を変更した場合であっても、観察像におけるイオンビームの照射範囲を正確に示すことができる。
図1は、本実施形態に係る試料作製装置の構成の一例を示す図である。なお本実施形態の試料作製装置は図1の構成要素(各部)の一部を省略した構成としてもよい。
次に本実施形態の手法について図面を用いて説明する。
に、ステージ40をイオン銃30の下方に移動させ、試料にイオンビームを30〜60秒程度照射して試料にビーム痕を形成する。次に、ステージ40を走査型電子顕微鏡10(或いは、光学顕微鏡20)の下方に移動させ、観察像(電子顕微鏡像)で試料上のビーム痕を観察する。次に、操作部70を操作して、図6(A)に示すように、観察像OIの中心とビーム痕BKの中心が一致するように試料を移動させる。次に、操作部70を操作して、図6(B)に示すように、初期値の径を有するマーカーMKを観察像OIに重畳して表示させ、マーカーMKとビーム痕BKが一致するようにマーカーMKの大きさ(径)を調整して、マーカー径を設定する(図6(B)参照)。次に、操作部70を操作して、設定したマーカー径の情報を記憶部74に記憶させる。観察時には、記憶部74に記憶されたマーカー径の情報が、観察像OI1、OI2に合成されるマーカーMK1、MK2の径(又は、幅)として適用される。
次に、本実施形態の試料作製装置の処理の一例について図7のフローチャートを用いて説明する。ここでは、走査型電子顕微鏡10によって試料を観察する場合を例にとり説明する。
銃30を制御して、位置調整が行われた遮蔽材50と試料Sに対してイオンビームを照射させる制御を行う。これにより、位置決めされた遮蔽材50の端面を境界とした加工位置にイオンビームが照射されて試料Sが切削され、所望の断面を有する試料が作製される。
Claims (7)
- 試料を撮像して前記試料の観察像を出力する撮像部と、
前記試料に照射されるイオンビームを発生するイオンビーム発生部と、
前記観察像に対して前記イオンビームの照射範囲を示すマーカーを合成して合成画像を生成し、生成した合成画像を表示部に出力する画像処理部とを含む、試料作製装置。 - 請求項1において、
前記画像処理部は、
前記試料の表面観察像に対して前記イオンビームの照射範囲を示す円状のマーカーを合成し、前記試料の断面観察像に対して前記イオンビームの照射範囲を示す帯状のマーカーを合成する、試料作製装置。 - 請求項1又は2において、
前記撮像部によって撮像された前記試料の観察像を記憶する記憶部を更に含み、
前記画像処理部は、
前記撮像部からリアルタイムに出力された前記観察像に対して前記イオンビームの照射範囲を示す第1マーカーを合成して第1合成画像を生成し、前記記憶部に記憶された前記観察像に対して前記イオンビームの照射範囲を示す第2マーカーを合成して第2合成画像を生成し、前記第1合成画像と前記第2合成画像とを前記表示部に出力する、試料作製装置。 - 請求項3において、
前記画像処理部は、
前記試料を保持する試料ホルダの移動に応じて、前記第2合成画像における前記第2マーカーの位置を変更する、試料作製装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項において、
前記画像処理部は、
前記撮像部の観察倍率の変更に応じて、前記観察像に対して合成する前記マーカーの大きさを変更する、試料作製装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1項において、
前記画像処理部は、
操作部からの操作入力に基づいて、前記観察像に対して合成する前記マーカーの透過度を変更する、試料作製装置。 - 撮像部によって試料を撮像して前記試料の観察像を出力する撮像工程と、
前記観察像に対して、前記試料に照射されるイオンビームの照射範囲を示すマーカーを合成して合成画像を生成し、生成した合成画像を表示部に出力する画像処理工程と、
前記イオンビームを発生するイオンビーム発生工程とを含む、試料作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014215560A JP6336887B2 (ja) | 2014-10-22 | 2014-10-22 | 試料作製装置及び試料作製方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014215560A JP6336887B2 (ja) | 2014-10-22 | 2014-10-22 | 試料作製装置及び試料作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016081878A JP2016081878A (ja) | 2016-05-16 |
JP6336887B2 true JP6336887B2 (ja) | 2018-06-06 |
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JP2014215560A Active JP6336887B2 (ja) | 2014-10-22 | 2014-10-22 | 試料作製装置及び試料作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6336887B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7190076B1 (ja) | 2022-05-25 | 2022-12-14 | 古河電気工業株式会社 | ヒートシンク |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6796524B2 (ja) * | 2017-03-23 | 2020-12-09 | 日本電子株式会社 | 画像処理装置、観察装置、および画像処理方法 |
WO2021044544A1 (ja) * | 2019-09-04 | 2021-03-11 | 株式会社日立ハイテク | 試料画像表示システムおよび荷電粒子線装置 |
JP7312778B2 (ja) * | 2021-03-08 | 2023-07-21 | 日本電子株式会社 | 試料加工装置の調整方法および試料加工装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2760802B2 (ja) * | 1988-06-01 | 1998-06-04 | 株式会社日立製作所 | 集束イオンビーム処理装置 |
JP3041403B2 (ja) * | 1990-10-12 | 2000-05-15 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 荷電ビーム断面加工・観察装置 |
JPH05198282A (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-06 | Hitachi Ltd | 集束荷電粒子を用いた加工領域位置決め方法 |
JP3875841B2 (ja) * | 2000-03-28 | 2007-01-31 | アロカ株式会社 | 医療システム |
JP2004158392A (ja) * | 2002-11-08 | 2004-06-03 | Keyence Corp | 電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体 |
JP4634134B2 (ja) * | 2004-12-24 | 2011-02-16 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 観察位置表示方法及び装置ならびに試料加工方法及び装置 |
JP5280983B2 (ja) * | 2009-10-23 | 2013-09-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、荷電粒子線装置に使用する位置特定方法及びプログラム |
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2014
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JP7190076B1 (ja) | 2022-05-25 | 2022-12-14 | 古河電気工業株式会社 | ヒートシンク |
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Publication number | Publication date |
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JP2016081878A (ja) | 2016-05-16 |
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