JP4945463B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
2 第一陽極
3 一次電子ビーム
4 第二陽極
5 サプレッサ電極
6 第一集束レンズ
7 対物しぼり
8 第二集束レンズ
9 上段偏向コイル
10 下段偏向コイル
11 対物レンズ
12 試料
13 試料微動装置
14 反射電子信号
15 二次電子信号
16 直交電極界(EXB)装置
17,19 検出器
18,20 増幅器
21 高電圧制御回路
22 第一集束レンズ制御回路
23 第二集束レンズ制御回路
24 倍率制御回路
25 対物レンズ制御回路
26 信号制御回路
27 試料微動制御回路
28 コンピュータ
29 表示装置
30 入力装置
31 物点検出用偏向器
32 物点検出用偏向回路
33 物点
Claims (5)
- 荷電粒子線を発生する荷電粒子源と、
前記荷電粒子線を試料上に集束する対物レンズと、
前記荷電粒子線源と前記対物レンズとの間に配置された第1のコンデンサレンズと、
前記第1のコンデンサレンズと前記対物レンズとの間に配置された第2のコンデンサレンズと、
前記荷電粒子線を走査する走査偏向器と、
前記試料への荷電粒子線の照射によって発生する電子を検出する検出器を有する荷電粒子線装置であって、
前記第2のコンデンサレンズと前記対物レンズとの間に配置され、前記荷電粒子線を偏向する偏向器を有し、
前記荷電粒子線装置の光学条件として前記第1のコンデンサレンズの縦倍率が1より大きい場合に、
当該偏向器により異なる2つの偏向量に対して試料像を取得して、
当該2つの試料像間の像移動量が最小となるように、前記第2のコンデンサレンズに流す励磁電流を調整することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線装置は、複数の荷電粒子線の集束点において、前記異なる2つの偏向量に対する試料像間の像移動量が最小となるように前記第2のコンデンサレンズに流す励磁電流を調整することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線装置において、
前記第2のコンデンサレンズには、前記荷電粒子線の集束位置を、前記偏向器の位置に配置するように、励磁電流が流されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1乃至3のいずれかの請求項に記載の荷電粒子線装置において、
前記偏向器は鉛直方向に複数配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1又は3のいずれかに記載の荷電粒子線装置において、
前記偏向器は、鉛直方向に移動可能な移動機構を備え、
当該偏向器の複数の位置において、前記異なる2つの偏向量に対する試料像間の像移動量が最小となるように前記第2のコンデンサレンズに流す励磁電流を調整することを特徴とする荷電粒子線装置。
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