JP2003031172A - 偏向器とその製造方法、及び荷電粒子露光装置 - Google Patents

偏向器とその製造方法、及び荷電粒子露光装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】小電流でも強い偏向場を供給し、しかも温度変
化に対しても安定な偏向場を作ることができ、更には渦
電流の影響も少なく、コイル及びコアの幾何学的精度に
よる収差も少ない偏向器及びその製造方法を提供する。 【解決手段】偏向器のコアとして磁性体テープ積層体を
使用する。また、光造形方法及び電鋳を用いて高精度な
コイル及び磁性体テープ積層体の位置決めを行う。更
に、リソグラフィにより作製されたレジストパターンを
用いて磁性体テープ積層体の位置決めを行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、荷電粒子露光装置
で使用される偏向器及びその製造方法並びに偏向器を使
用した荷電粒子露光装置に関するものであり、さらに詳
しくは、収差が少なく、小さい電流でも強い偏向場を発
生し、温度変化があっても偏向磁場強度の変動が少な
く、しかも渦電流による影響も小さい偏向器及びその製
造方法並びにその偏向器を用いた荷電粒子露光装置を提
供する。
【0002】
【従来の技術】近年、より微細な半導体集積回路を作製
できる荷電粒子露光装置の研究開発が盛んに行われてい
る。その中で注目されているのが、電子線による露光装
置である。すなわち、ＥＢ（電子線）レチクルと呼ばれ
る回路パターンを電子光学系の投影レンズによりウエハ
に縮小転写する装置である。
【0003】ＥＢレチクルは直径約２００ｍｍのウエハから
作製されるが、電子線露光装置の露光視野は２５０μｍ
程度と小さいため、数十ｍｍ四方のチップを露光するた
めに、細分化されたパターンを繋ぎながら露光する。パ
ターンを繋ぎ合わせるために、電子線を偏向しながら露
光を繰り返す技術（USP4,376,249,Variable axis elect
ron beam projection system）が提案されている。
【0004】電子線露光装置では、どのような電子線露光装
置でも、電子線を偏向することが必須であり、この技術
無くしては電子線露光装置は成り立たない。従って、ど
の電子線露光装置にも偏向器がいくつか備わっており、
重要な構成部品の一つとなっている。
【0005】電子線露光装置に良く使われる偏向器としてサ
ドル型偏向器がある。これは、四角形のボビンにコイル
を巻線した後、コイルを円筒側面に押し付けて湾曲させ
ることにより作製されている。この方法では、コイルの
巻線の精度自体に高い精度を期待できないばかりか、コ
イルを湾曲させることにより更にコイルの精度を悪化さ
せていた。また、偏向器に用いるコアに関しても、コア
の位置決め精度に問題があった。
【0006】電子線露光装置に使われるもう一つの偏向器と
してはベーン・ヨーク（Vane Yoke）式のトロイダル型
偏向器がある。図１６を用いて説明する。この偏向器
は、銅板をワイヤーカットで切断してコイル３４を作製
し、そのコイル３４を石英基板３３の両面に位置決めし
て貼り付けたものである。石英基板３３の片側に右巻
き、反対側に左巻きのコイル３３を貼り付け、コイル３
３の中心部で両面のパターンが導通されている。これは
ベーンと呼ばれており、ベーン３２は、光軸３６を中心
として放射状に配置され、偏向器３１として構成されて
いる。
【0007】電子線自体には以下のような性質がある。電子
線はお互いに反発するため、電流を上げると像が歪んだ
りボケたりすることはクーロン効果という名前で広く知
られている。そのため、クーロン効果を低減しようと、
電流を下げると、露光装置の露光時間を長くしないとレ
ジストに十分な露光量を与えることが難しくなり、結局
スループットが下がる。
【0008】他のクーロン効果の低減方法としては、鏡筒長
を短くすることが挙げられる。鏡筒長を短くすると、電
子線の相互作用が働く距離（時間）が短くなり、クーロ
ン効果を低減できる。しかし、鏡筒長を短くすると、短
距離で電子線を偏向しなければならなくなる。そのため
には、偏向器に電流を多く流す必要があり，すると、偏
向器の発熱が大きくなる。偏向器の発熱が大きくなる
と、偏向器の温度が高くなり、また、温度の変動も大き
くなる。
【0009】また、鏡筒長を短くすると、偏向器自体の大き
さや、周囲のスペースも少なくなり、発熱がより小さい
領域に集中し、周囲のスペースの都合で、偏向器の冷却
も難しくなるという弊害ももたらされる。そのため、偏
向器の温度は更に上昇し、温度変動もより大きくなる。
偏向器の温度が変動すると、偏向器に使われている材料
の熱膨張により、偏向器の大きさが変化する。偏向器が
膨張すると、その偏向器で発生する磁場が強くなり、電
子線が必要以上に偏向される。つまり、電子線の結像位
置が温度変化により変動し、パターンの繋ぎ精度に影響
を与える。
【0010】小さな電流でも強い偏向場を得る方法として、
磁性体のコアにコイルを巻きつけた偏向器がある。偏向
器は一般に高周波の磁場を発生するため、コアには電気
抵抗の高いフェライトが用いられており、渦電流を軽減
するようになっている。このタイプの偏向器は小さな電
流でも、比較的強い偏向場を作ることができ、多くの装
置で利用されている。
【0011】また、電子線を偏向させるための技術として良
く知られたものにMOL(Moving Objective Lens)(E.Goto,
et ａl .Optik Vol.48,255-270(1977))があり、一般に
MOLと呼ばれている。この技術は、光学的パターンのひ
ずみやボケ（収差）を低減しつつ電子線を偏向させるた
めのもので、電子線を集光する磁気レンズと、電子線を
偏向する、フェライトコアを備えた偏向器を光軸回りに
同心円状に配置したものである。このような構成を採る
と、レンズ場に交わる方向の磁場を重畳させ、レンズ主
点をシフトさせ、偏向した電子線が常にレンズの主点付
近を通過させることができ、偏向による収差の悪化を改
善することができる。そのため、単純に偏向するだけで
は、電子線がレンズ中心から遠く離れた位置を通らなけ
ればならないことにより、光学的な収差が拡大してしま
うという問題を著しく改善することができる。
【0012】レンズ場は、ほぼ定常的な場を発生させれば良
いが、レンズの主点を瞬時にシフトさせる偏向器は、電
子線の偏向と同期した高周波の磁場を発生させる。そう
すると、その交流磁場は、同心円状外側に配置してある
磁気レンズにも作用を及ぼす。磁気レンズは銅の巻線コ
イル、あるいは、銅の巻線コイルとその周囲をポールピ
ースで覆ったものであり、ここに交流磁場が作用する
と、渦電流が流れ、偏向場の静定が著しく遅くなる。
【0013】これを防止するため、図１７を用いて従来から
行われている技術を説明する。図１７（ａ）は電子線を
偏向するための偏向器と磁気レンズを同軸で組み込んだ
ものを示している。偏向コイル１１が内側に配置され、
その外側に磁気レンズコイル１２が配置されている。磁
気レンズコイル１２の外周には、磁気レンズコイル１２
を覆うようにポールピース１３が配置されている。積層
型フェライト１４は、偏向コイル１１と磁気レンズコイ
ル１２と間に置かれ、偏向コイル１１によって引き起こ
される交流磁場から磁気レンズコイル１２を磁気的にシ
ールドしている。
【0014】次に図１７（ｂ）を用いて積層型フェライト１
４の効果を説明する。図１７（ｂ）は、図１７（ａ）の
光軸１５に垂直な断面を示したものである。偏向コイル
１１の光軸１５に近い部分から発生する磁力線ｃ１６は
光軸１５付近を通り、また偏向コイル１１に戻ってく
る。一方、偏向器１１の光軸１５に遠い部分から発生す
る磁力線ｄ１７は、偏向コイル１１の周囲を取り巻く積
層型フェライト１４に引き込まれ、偏向コイル１１の外
側を回って再び偏向器１１に戻ってくる。ここで偏向コ
イル１１の外側を回る磁力線は、ほぼ全てが、周囲の積
層型フェライト１４に吸収され、その外側にある磁気レ
ンズコイル１２、ポールピース１３には及ばない。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】電子線露光装置に使わ
れる偏向器には、コイル及びコアの形状に非常に高い精
度が要求される。この精度が十分でないと，電子線を偏
向させた時に期待される磁場と実際に生じる磁場の差が
生じ、その結果、収差が発生し、大きな問題となる。し
かしながら、その製造方法は確立しておらず、電子線露
光装置を用いたリソグラフィーにおいて、収差の影響に
よる悪影響が出ていた。
【0016】また、フェライトを偏向器に用いる際には、二
つの大きな問題を有している。第一の問題は、フェライ
トの温度が変化すると、透磁率も変化する点である．
キュリー点は透磁率が極小になる点であるが、フェライ
トのキュリー点は２００℃近辺にある。偏向器を室温で
使用する場合は、フェライトのキュリー点からはかなり
下の温度であるが、それでも、温度が変化すると透磁率
も変化する。
【0017】第二の問題点は、フェライトの材料組成にばら
つきが大きい点である。フェライトは複数の材料を粉末
の状態で混合して製造するため、混合に不均一を生じ易
く、また、磁気特性は燒結条件にも左右されるため、製
品のばらつきの原因となる。特に、透磁率にばらつきが
あると、非点収差等の原因となり、好ましくない。
【0018】そのため、フェライトをコアとした偏向器を使
用する場合、フェライトの第一の問題により、フェライ
トの温度変動によって透磁率が変動した時に、偏向器の
発生する偏向磁場強度も変化し、電子線を所定の位置に
偏向させることができなくなる。第二の問題としては、
非点収差が発生し易くなる。
【0019】上記積層型フェライトによりＭＯＬを構成した
場合でも、フェライトに起因する２つの問題点により以
下の現象が起きる。先ず、第一の問題点により、フェラ
イトの温度が変化すると、透磁率もそれに伴い変化す
る。図１７（ｂ）に示したように、偏向器からの磁場の
一部は積層型フェライトの中を通る。ここで、例えば、
この積層型フェライトの透磁率が増加すると、積層型フ
ェライトに飛び込む磁力線の本数も増加する。つまり、
光軸上を通過していた磁力線の幾つかが偏向器の外側に
回り込むようになり、結果として光軸の上の偏向磁場が
減少する。その結果、所定の距離だけ偏向しなくなる。
また、第二の問題により、透磁率にばらつきがあると、
非点収差等の原因となる。
【0020】本発明はこのような問題点に鑑みてなされたも
ので、収差が少なく、少ない電流でも大きな偏向場を作
れ、温度変化にも偏向場の強度の変化が少なく、しか
も、渦電流による影響を低減でき高速に電子線を位置決
めすることができる、高精度のリソグラフィーが可能な
偏向器及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】温度変化に伴うフェライ
トの透磁率の変化による偏向磁場強度の変化、及びフェ
ライトの材料組成のばらつきに起因する非点収差の発生
を少なくするために、本発明では、第１に「（請求項
１）リング状のコアを持つトロイダル型偏向器であっ
て、コアが磁性体テープ積層体であることを特徴とする
偏向器。」を提供する。
【0022】トロイダル型偏向器に磁性体のコアを挿入する
と、空芯で使う場合に比べ、発生する磁場強度を数倍に
大きくできる。これは、低電流で所望の磁場を得られる
点で有利である。まず電流源（ドライバー）の負荷を減
らすことができ、したがって静定時間を短縮し易い。ま
た小さいパワーですむため、ノイズの点でも有利であ
る。フェライトは電気伝導率が低く渦電量損失が小さい
ため、交流磁場が作用する偏向器のコアに適しており、
通常、偏向器のコアはフェライトが使われている。しか
し、偏向器のコアとして好適な材料としてはフェライト
が唯一の材料というわけではなく、材料として、磁性体
を積層したものを用いると、フェライトを用いた場合に
生じていた多くの問題点を解決できる。
【0023】先ず、磁性体の金属を薄い箔とした磁性体テー
プは金属の厚さが１０μｍ程度と非常に薄いため、高周
波磁場が作用した時でも、渦電流が流れにくく、渦電流
損失が少ない。そのため、磁性体テープも同様に渦電流
損失が小さく、交流磁場に対しても十分な透磁率を持つ
ことができる。
【0024】次に、金属の磁性材料は一般にキュリー点が５
００℃程度と、フェライトに比べて高い。そのため、室
温付近で温度が少々変化しても、その時の透磁率の変化
はフェライトに比べても極めて小さい。そのため、磁性
体テープを積層したものをトロイダル偏向器のコアとし
て使用した場合、コアの温度が変動しても、コアの透磁
率の変化が小さいため、偏向磁場強度も変動が少ない。
【0025】更に、金属材料は溶解されて作られるため、粉
末を混合して作るフェライトに比べ、材料の均一性が高
く、透磁率のばらつきも小さい。そのため、磁性体テー
プをコアとして使用した場合、非点収差等が発生しにく
い。これらの理由により、磁性体テープは、トロイダル
型偏向器のコアとして使用するのに適しているものであ
ることがわかる。
【0026】また、本発明では第２に「前記磁性体テープの
積層体の両端に通電用端子を設けたことを特徴とする請
求項１に記載の偏向器。（請求項２）」を提供する。こ
れにより、磁気レンズを新たに備えることなく、光軸に
対称のレンズ場を発生することができ、偏向器と磁気レ
ンズを別個に備えた場合に比べて大幅に部品を節約する
ことができる。また、これは、積層型フェライトを用い
ずにMOLを実現できることも意味している。更に、電子
線露光装置に使用する場合は、電子レンズ鏡筒の長さを
短くする時に特に有効である。
【0027】また、本発明では第３に「平面基板上にコイル
を形成したトロイダル型偏向器であって、コイル中心部
分に磁性体テープ積層体が設けられていることを特徴と
する偏向器。（請求項３）」を提供する。これにより、
コイル中心部の磁性体が磁化し、発生する磁場強度をよ
り強くする事ができる。これは、低電流で所望の磁場を
得られる点で有利である。また温度変化に伴うフェライ
トの透磁率の変化による偏向磁場強度の変化、及びフェ
ライトの材料組成のばらつきに起因する非点収差の発生
が少なく、しかも電子線をすばやく静定できるトロイダ
ル型偏向器を提供することができる。
【0028】また、本発明では第４に「前記磁性体テープ積
層体が複数部分に分割されている磁性体テープの積層体
であることを特徴とする請求項３に記載の偏向器。（請
求項４）」を提供する。これにより、一体となった磁性
体テープ積層体を用いた偏向器よりも更に渦電流による
影響が小さいトロイダル型偏向器を提供することができ
る。
【0029】また、本発明では第５に「前記複数部分に分割
されている磁性体テープ積層体が、光軸から離れている
部分の積層厚が大きいことを特徴とする請求項４に記載
の偏向器。（請求項５）」を提供する。これにより、磁
性体テープ積層体の総体としての体積が増加し、小さな
電流で強い偏向場を供給できるトロイダル型偏向器を提
供することができる。
【0030】また、本発明では第６に「円筒基板の内周と外
周にコイルを形成したサドル型偏向器であって、円筒基
盤に設けられた貫通穴を通じて内側コイルと外側コイル
が導通していることを特徴とする偏向器。（請求項
６）」を提供する。これにより、内側コイルと外側コイ
ルを結ぶ配線が最短距離になるため、収差の少ないサド
ル型偏向器を提供することができる。また、電流の流入
ワイヤーと流出ワイヤーの、サドル型偏向器への接点が
非常に近接するため、それらをすぐにツイストさせる事
ができる。ワイヤーも磁場を発生するが、流入流出のワ
イヤー同志をツイストさせると、ワイヤーから発生する
磁場をキャンセルさせる事ができ、さらに収差を抑える
事ができる。
【0031】また、本発明では第７に「前記内側コイルと前
記外側のコイル位置関係が光軸回りに９０度向きの異な
るように配置されたことを特徴とする請求項６に記載の
偏向器。（請求項７）」を提供する。これにより、１軸
偏向器の大きさで２軸偏向器として作用することのでき
るコンパクトな偏向器を提供することができる。
【0032】また、本発明では第８に「円筒基板にコイルを
形成したサドル型偏向器であって、円筒基板の直径が異
なる複数のサドル型偏向器を同軸で組み込んだときに、
前記複数のサドル型偏向器の三次元的位置関係を一つに
決める位置決め部材が設けられていることを特徴とする
偏向器。（請求項８）」を提供する。これにより、１軸
偏向器の大きさで２軸偏向器として作用することのでき
るコンパクトな偏向器を提供することができる。
【0033】また、本発明では第９に「コイル中心部分に磁
性体テープ積層体が設けられていることを特徴とする請
求項６から８に記載の偏向器。（請求項９）」を提供す
る。これにより、コイル中心部の磁性体が磁化し、発生
する磁場強度をより強くする事ができる。これは、低電
流で所望の磁場を得られる点で有利である。また温度変
化に伴うフェライトの透磁率の変化による偏向磁場強度
の変化、及びフェライトの材料組成のばらつきに起因す
る非点収差の発生が少なく、しかも電子線をすばやく静
定できるサドル型偏向器を提供することができる。
【0034】また、本発明では第１０に「前記磁性体テープ
積層体が複数に分割されていることを特徴とする請求項
９に記載の偏向器。（請求項１０）」を提供する。これ
により、更に渦電流による影響が小さいサドル型偏向器
を提供することができる。
【0035】また、本発明では第１１に「平面基板上にコイ
ル及び磁性体テープ積層体を形成する偏向器の製造方法
であって、前記磁性体テープ積層体は、リソグラフィー
により作製されたレジストパターン位置を基準として前
記平面基板上に固定することを特徴とする偏向器の製造
方法。（請求項１１）」を提供する。これにより、磁性
体テープ積層体を精度良く平面基板上に位置決めするこ
とができ、収差の小さいトロイダル型偏向器を提供する
ことができる。
【0036】また、本発明では第１２に「平面基板上にコイ
ル及び磁性体テープ積層体を形成する偏向器の製造方法
であって、前記磁性体テープ積層体は、リソグラフィー
により作製された導体のパターン位置を基準として前記
平面基板上に固定することを特徴とする偏向器の製造方
法。（請求項１２）」を提供する。これにより、磁性体
テープ積層体を精度良く平面基板上に位置決めすること
ができ、収差の小さいトロイダル型偏向器の製造方法を
提供することができる。
【0037】また、本発明では第１３に「請求項１２に記載
の偏向器の製造方法において、前記磁性体テープ積層体
と前記導体のパターンの間には絶縁処理を行うことを特
徴とする偏向器の製造方法。（請求項１３）」を提供す
る。これにより、渦電流が効果的に低減されたトロイダ
ル型偏向器を製造する方法を提供することができる。
【0038】また、本発明では第１４に「平面基板上にコイ
ル及び磁性体テープ積層体を形成する偏向器の製造方法
であって、前記磁性体テープ積層体及びコイルの厚さを
機械加工により所定の厚さに仕上げることを特徴とする
偏向器の製造方法。（請求項１４）」を提供する。これ
により、磁性体テープ積層体を効果的に配置することが
でき、大きな偏向強度を得ることができるトロイダル型
偏向器の製造方法を提供することができる。また、コイ
ルの断面積が外側では増加するため、コイルの電気抵抗
が減少し、コイルでの発熱を低減できる。
【0039】また、本発明では第１５に「円筒基板外周上に
コイルを形成する偏向器の製造方法であって、コイルと
なる部分以外の部分に光造形方法によってレジンを形成
し、レジンが形成されていない部分に電鋳により銅を形
成した後、レジンを除去することを特徴とする偏向器の
製造方法。（請求項１５）」を提供する。これにより、
高精度のコイルを製造することができ、コイルの精度不
良に起因する収差の影響が少ない偏向器の製造方法を提
供できる。
【0040】また、本発明では第１６に「円筒型基板内外周
上にコイルを形成する偏向器の製造方法であって、基板
の所定位置に貫通穴を開け、その後、円筒型基板内外周
上にコイルとなる部分以外の部分に光造形方法によって
レジンを形成し、レジンが形成されていない部分に電鋳
により銅を形成することにより、コイルを形成し同時に
貫通穴により内外のコイルの導通を取った後、レジンを
除去することを特徴とする偏向器の製造方法。（請求項
１６）」を提供する。これにより、高精度なコイルを円
筒基板の内外に持ち、小さな電流でも強い偏向場を供給
できる偏向器の製造方法を提供できる。
【0041】また、本発明では第１７に「円筒型基板の内外
周上にコイルを形成する偏向器の製造方法であって、磁
性体テープを円筒に巻きつけて成型した後、円筒から取
り外し、取り外した磁性体テープ積層体を前記円筒基板
に貼り付けることを特徴とする偏向器の製造方法。（請
求項１７）」を提供する。これにより、コイル中心部の
磁性体が磁化し、発生する磁場強度をより強くする事が
できる。これは、低電流で所望の磁場を得られる点で有
利である。温度変化に伴うフェライトの透磁率の変化に
よる偏向磁場強度の変化、及びフェライトの材料組成の
ばらつきに起因する非点収差の発生の少なく、しかも渦
電流による影響が少なく、電子線をすばやく静定できる
偏向器の製造方法を提供することができる。
【0042】また、本発明では第１８に「請求項１７に記載
の偏向器の製造方法において、前記磁性体テープ積層体
を前記円筒基板に貼り付ける際、光造形法または、それ
に続く電鋳プロセスにより作製した突起を用いて行うこ
とを特徴とする偏向器の製造方法。（請求項１８）」を
提供する。これにより、コイルを精度良く円筒基板上に
位置決めすることができ、収差の小さい偏向器の製造方
法を提供することができる。
【0043】また、本発明では第１９に「請求項１から請求
項１０のうち何れか１項に記載の偏向器を備えたことを
特徴とする荷電粒子露光装置。（請求項１９）」を提供
する。これにより、収差が少なく、温度変化に対しても
偏向場の変化が少なく、しかも渦電流の影響も少ない、
パターン繋ぎ精度の高い荷電粒子露光装置を提供するこ
とができる。
【0044】
【実施例】以下、図を用いて本発明の実施形態を説明す
る。図１は本発明の第１実施形態である偏向器を示す概
略図であり、トロイダル型偏向器を示している。１は偏
向器、２は磁性体テープ積層体、３はコイル、４はコイ
ル端子である。コイル３は、偏向器１の光軸を中心とし
てほぼ８等分に配置されている。磁性体テープ積層体２
は、偏向器１のコアとしての役割を持つもので、従来で
はフェライトを用いていたものである。図１（ｂ）は、
偏向器１を用いて、偏向場を発生させた時を示してい
る。８個のコイル３のうち、４個のコイル３に所定の向
きに同じ電流を流すと、図の上から下に向かう磁力線ａ
５が発生する。左右方向の磁力線を発生させるために
は、８個のコイル３の内、別の４個のコイル３に所定の
向きの電流を流せば良い。
【0045】図２は、本発明の第２実施形態である偏向器と
磁気レンズを兼ねた装置を示す概略図である。磁性体テ
ープ積層体２の巻き始めと巻き終わりに通電用端子６が
取りつけられており、この通電用端子６に電流を流すこ
とにより、磁性体テープ積層体２に電流が流れるように
なっている。
【0046】磁性体テープ積層体２に電流を通電すると、図
２（ｂ）に示すように、磁性体テープ積層体２の周囲に
磁力線7が発生し、これがレンズ場として作用する。こ
こで、第１実施形態と同様に、偏向コイル３に通電する
と、レンズ場に偏向場が重畳される。すると、レンズ場
は偏向場が重畳された方向にシフトし、MOLとなる。こ
の様子を、レンズの軸方向から見た時の等磁位線８を図
２（ｃ）に示している。十字マークで示しているレンズ
主点９は下方向にシフトしている。
【0047】図３は本発明の第３実施形態である偏向器を示
す概略図である。図３を用いて本発明の第３実施形態の
構成を説明する。銅板をワイヤーカットで切断されたコ
イル３４は石英基板３３に位置決めされて貼り付けられ
ている。石英基板３３の裏側には、逆向きに巻かれたコ
イル３４が同様に位置決めされて貼り付けられている。
表と裏のコイル３４は中央付近で導通されている。更
に、磁性体テープ積層体３５はコイル中心部に貼り付け
られている。コイル３４を貼り付けられた石英基板はベ
ーン３２と呼ばれている。このベーン３２は光軸３６回
りに放射状に配置され、偏向器３１として構成されてい
る。つまり、これは、いわゆるベーン・ヨーク（Vane Y
oke）式のトコイダル型偏向器のコイル34中心部に磁性
体テープ積層体３５を貼り付けたものになっている。偏
向器３１に所定の向きの電流を流すと、各磁性体テープ
の積層体３５がコイルの発生する磁化方向３７の向きに
磁化し、最終的に得られる磁場を強める働きをする。そ
のため、光軸３６付近では、流す電流が小さくとも大き
な偏向場が得られる。
【0048】図４は本発明の第４実施形態である、偏向器の
製造方法を示す概略図である。図４を用いて、偏向器３
１の製造方法を説明する。先ず、平面の石英基板３３に
スパッタリング、無電界メッキ等を用いて渦巻き状金属
パターン３８を形成する（図４（ａ））。この渦巻き状
金属パターン３８はその後の電鋳プロセスでの電極とな
る。次に、圧膜レジスト３９を石英基板３３の両面に塗
布し、その後、リソグラフィーにより所定の形状にパタ
ーニングする（図４（ｂ））。この圧膜レジスト３９の
パターンは以後の電鋳プロセスで、電鋳の成長方法を基
板から垂直方向に制限する役割を果たす。次に、電鋳に
より、銅を電極上に析出させていく（図４（ｃ））。圧
膜レジスト３９により、膜の成長方向が制限され、アス
ペクト比の高い銅パターンが形成される。一方、磁性体
テープ積層体３５は、別の工程で積層後、プレス等の機
械加工により所定の形状に加工されている。その磁性体
テープ積層体３５を、圧膜レジスト３９を用いて位置決
めしながら、石英基板３３に接着剤を用いて貼り付ける
（図４（ｄ））。最後に、圧膜レジスト３９を取り去
り、ベーン３２が完成する。本実施形態では、基板に石
英を用いたが、アルミナ等の基板を用いても良い。この
場合、銅の電極はスパッタリング等の方法ではなく、よ
り密着力の高い共晶結合を使っても良い。
【0049】図５は本発明の第５実施形態である、偏向器の
製造方法を示す概略図である。図５を用いて、偏向器３
１の製造方法を説明する。前記第４の実施形態では，圧
膜レジスト３９により磁性体テープ積層体３５を位置決
めしたが、本実施形態では、石英基板３３上に位置決め
マーク４０を銅の電鋳により作製し、圧膜レジスト除去
後に（図５（ａ））、位置決めマーク４０により磁性体
テープの積層体３５を位置決めし、接着しても良い（図
５（ｂ））。この場合、銅製の位置決めマークと磁性体
テープ積層体３５は電気的に絶縁しておいた方が望まし
い。これは、渦電流を効果的に低減するためである。磁
性体テープ積層体３５の各層に電気的に導通があると、
渦電流が流れ易くなり好ましくない。
【0050】図６は本発明の第６実施形態である、偏向器を
示す概略図である。図６を用いて、偏向器の構成を説明
する。第３実施形態では磁性体テープ積層体３５は一つ
の連続した構造であったが、渦電流による損失を考慮し
た場合、図６（ｂ）から図６（ｄ）に示すように、磁性
体テープ積層体３５を幾つかに分割した方が、好ましい
場合がある。図６（ａ）は、コイル３４に電流を流した
時の、磁性体テープ積層体３５内部に生じる渦電流を示
している。矢印の電流方向４１に電流を流すと、渦電流
方向４２に渦電流は流れる。コイル３４を流れる電流の
向きとは反対方向に渦電流が流れるのが分かる。この渦
電流はコイル内部に発生する磁場を打ち消すように流れ
るため、偏向器の応答特性を悪くする。そのため、図６
（ｂ）のように、磁性体テープ積層体３５を磁性体テー
プ積層体３５ａと磁性体テープ積層体３５ｂとに２分割
しても良い。この場合、磁性体テープ積層体３５a、３
５ｂに流れる渦電流の大きさは小さくなり、この渦電流
をコイルと見なすと、インダクタンスが半分以下に減少
し、それに伴い応答特性も改善される。図６（ｃ）に示
すように、磁性体テープ積層体３５を４分割すると、更
に効果が上がる。また、図６（ｄ）に示すように、光軸
３６から離れている側の磁性体テープ積層体３５の厚さ
を大きくすると、磁性体テープ積層体３５ｉ、３５ｊの
体積が増加し、磁場をより強めてくれる。光軸３６から
離れている側の磁性体テープ積層体３５ｉ、３５ｊの厚
さを大きくできるのは、光軸３６から離れている側の方
がベーン３２間の距離が大きいためである。
【0051】図７は本発明の第７実施形態である、偏向器の
製造方法を示す概略図である。図７を用いて、偏向器の
製造方法を説明する。図７を用いて第７の実施形態を説
明する。図６（ｄ）に示した第６の実施形態では、磁性
体テープ積層体３５の厚みを２段階に分けて変化させた
が、図７に示すように、予めコイル３４と磁性体テープ
積層体３５を厚めに形成しておき、その石英基板３３全
体を所定角度傾けて、上面を切削あるいは研削等の機械
加工で仕上げても同様の効果が得られる。このようにす
ると、各ベーンの間隔の無駄が生じないように、磁性体
テープ積層体３５を配置することができ、最大の偏向強
度が得られる。また、コイル３４の断面積が光軸３６か
ら離れている部分ほど増加するので、コイル３４の電気
抵抗が減少し、コイル３４での発熱が低減できる。ま
た、電源の負荷をも低減できる。更には、電鋳を行う
際、膜厚を正確にコントロールする必要が無くなるとい
う利点もある。
【0052】図８は本発明の第８実施形態である、サドル型
偏向器の製造方法を示す概略図である。図８を用いて、
サドル型偏向器の製造方法を説明する。先ず、アルミナ
製の円筒基板５１の外周に無電界メッキやスパッタリン
グにより、３μｍ程度の厚さでメタライズする（図８
（ａ））。この銅５２は銅電鋳の際に電極として用いら
れる。次に、この円筒基板５１を立てて、光造形用のレ
ジン槽５３の中に設置する。この状態で、形成するコイ
ルの間隙部となる部分にレーザ６２を当てて、レジンを
所定の形状に固めていく。光造形は先ず円筒基板５１の
最下部からはじめ、１層のパターニングを完了したら、
円筒基板５１を所定量だけレジン槽５３の中に沈める。
そして、次の上層部分にレーザ６２を照射し、レジンを
硬化させていく（図８（ｂ））。このようにして、レジ
ン５４を円筒基板５１上に形成した時の断面を図８
（ｃ）に示している。その後、レジンで覆われていない
電極部分５５に銅電鋳により銅をパターニングするとコ
イル５６が形成される（図８（ｄ））。その円筒基板基
板５１を８００℃程度の真空炉に入れて加熱するとレジ
ン５４は燃えて無くなり、円筒基板５１上には銅５２と
コイル５６だけが残る（図８（ｅ））。この時、銅５２
はアルミナで出来ている円筒基板５１と共晶結合を起こ
し、銅５２の密着が向上する。最後に、不要な部分の銅
５２を塩化第２鉄の銅エッチング液を用いてエッチング
除去した後コイル５６に配線を施し、サドル型偏向器が
完成する（図８（ｆ））。
【0053】次に、図９を用いて、このようにして完成した
偏向器を説明する。アルミナ製の円筒基板５１の上にア
スペクト比の高い銅製のコイル５６が形成されている。
このコイル５６に電流を図９（ｂ）中の電流方向５７の
向きに流すと、磁力線方向５８の向きに磁力線が発生す
る。この偏向場により電子線を偏向することができる。
図９（ｃ）は偏向器の中央断面図である。コイル５６に
通電することにより、磁力線５９が発生する。
【0054】図１０は本発明の第９実施形態である、偏向器
の製造方法を示す概略図である。図１０を用いて、偏向
器の製造方法を説明する。先ず、所定位置に導通用貫通
穴６１ａが開いているアルミナ製の円筒基板６１を用意
し、このアルミナ製の円筒基板６１の内周及び外周に無
電界メッキやスパッタリングにより、３μｍ程度の厚さ
でメタライズする（図１０（ａ））。この銅６３は銅電
鋳の際に電極として用いられる。次に、この円筒基板６
１を立てて、光造形用レジン槽（図示せず）の中に設置
する。この状態で、形成するコイルの間隙部となる部分
にレーザを当てて、レジンを所定の形状に固めていく。
光造形は先ず円筒基板６１の最下部からはじめ、１層の
パターニングを完了したら、円筒基板６１を所定量だけ
レジン槽（図示せず）の中に沈める。そして、次の上層
部分にレーザを照射し、レジンを硬化させていく。この
時、円筒基板６１の内側の電極部分６５と外側の電極部
分６５とは巻く方向を反対にさせておく。（図１０
（ｂ））。その後、レジン６４で覆われていない電極部
分６５に銅電鋳により銅をパターニングするとコイル６
６が形成される。その際、内外のコイル６６を導通する
ためのコイル導通部６６ａも形成される。（図１０
（ｃ））。円筒基板基板６１を８００℃程度の真空炉に
入れて加熱するとレジン６４は燃えて無くなり、円筒基
板６１上には銅６３とコイル６６だけが残る（図１０
（ｄ））。この時、銅６３はアルミナで出来ている円筒
基板６１と共晶結合を起こし、銅６３の密着が向上す
る。最後に、不要な部分の銅５２を塩化第２鉄の銅エッ
チング液を用いてエッチング除去した後コイル６６に配
線を施し、サドル型偏向器が完成する（図１０
（ｅ））。配線を行う場合、導通用貫通穴６１ａが内外
のコイル６６の中心側の端で導通させると、配線は内外
のコイル６６の外周側の端で行えば良い。配線を流れる
電流も磁場を発生するため、偏向器への配線は短い距離
で、しかも二本の線をより線にするのが望ましいが、本
実施形態の場合には、その配線処理も容易となる。これ
により、電流の流入ワイヤーと流出ワイヤーの、サドル
型偏向器への接点近傍で、それらをすぐにツイストさせ
る事ができ、ワイヤーが発生する磁場を効率よくキャン
セルさせる事ができ、収差を抑えられる。このように、
円筒の内外にコイルを形成すると、コイルの巻数が多く
なり、より低電力でより強い磁場を発生することができ
る。また、内側コイルと外側コイルを結ぶ配線が最短距
離になるため、収差の少ないサドル型偏向器を提供する
ことができる。
【0055】第８実施形態及び第９実施形態では、１軸方向
にのみ偏向することができるサドル型偏向器の製造方法
を示した。しかし、実際には、電子線は２軸方向に偏向
させることが必要であり、２軸方向に偏向することがで
きるサドル型偏向器が必要になる。そこで、図１１を用
いて、本発明の第１０の実施形態について説明する。図
１１（ｂ）は２軸偏向器７１を示している。これは、１
軸方向にのみ偏向することができるＸ軸偏向器７１ａ
と、同様に１軸方向にのみ偏向することができるＹ軸偏
向器７１ｂとから構成されており、図１１（ａ）に示す
ように、大きめの内径を持ったＸ軸偏向器７１ａの中に
小さめの外径を持ったＹ軸偏向器７１ｂを挿入したもの
である。Ｘ軸偏向器７１ａとＹ軸偏向器７１ｂはフラン
ジが円筒部にフランジ７１ｃ、７１ｄが設けられてお
り、Ｘ軸偏向器７１ａとＹ軸偏向器７１ｂの三次元的位
置関係が一つに決まるようになっている。
【0056】図１２は本発明の第１１実施形態である、偏向
器の製造方法を示す概略図である。図１２を用いて、偏
向器の製造方法を説明する。先ず、アルミナ製の円筒基
板８１を用意し、このアルミナ製の円筒基板８１の内周
及び外周に無電界メッキやスパッタリングにより、３μ
ｍ程度の厚さでメタライズする（図１２（ａ））。この
銅８３は銅電鋳の際に電極として用いられる。次に、こ
の円筒基板８１を立てて、光造形用レジン槽（図示せ
ず）の中に設置する。この状態で、形成するコイルの間
隙部となる部分にレーザを当てて、レジンを所定の形状
に固めていく。光造形は先ず円筒基板８１の最下部から
はじめ、１層のパターニングを完了したら、円筒基板８
１を所定量だけレジン槽（図示せず）の中に沈める。そ
して、次の上層部分にレーザを照射し、レジンを硬化さ
せていく。この時、レジン８４で覆わない電極部分８５
については、内側と外側で光軸回りに９０度ずれた位置
にパターニングする（図１１（ｂ））。その後、レジン
８４で覆われていない電極部分８５に銅電鋳により銅を
パターニングするとコイル８６が形成される（図１２
（ｃ））。その円筒基板基板８１を８００℃程度の真空
炉に入れて加熱するとレジン８４は燃えて無くなり、円
筒基板８１上には銅８３とコイル８６だけが残る（図１
２（ｄ））。この時、銅８３はアルミナで出来ている円
筒基板８１と共晶結合を起こし、銅８３の密着が向上す
る。最後に、不要な部分の銅８２を塩化第２鉄の銅エッ
チング液を用いてエッチング除去した後コイル５６に配
線を施し、サドル型偏向器が完成する（図１２
（ｅ））。このように、円筒の内外に光軸回りに９０度
ずれたコイルを形成することにより、２軸偏向器８０を
製造することができる。
【0057】図１３は本発明の第１２実施形態である、偏向
器を示す概略図である。図１３を用いて、偏向器の構成
を説明する。これは、図９に示した偏向器５０のコイル
５６の中心部に磁性体テープ積層体９５を設けた構造に
なっている。図１３（ｂ）に示す電流方向９７の向きに
電流を流すと、磁力線方向９８に磁力線が発生するが、
磁性体テープ積層体９５が分極するため、図１３（ｃ）
に示すように、光軸上に発生する磁場が強くなる。
【0058】図１４は本発明の第１３実施形態である、偏向
器の製造方法を示す概略図である。図１３を用いて、偏
向器の製造方法を説明する。図１４（ａ）に示すよう
に、円筒１０２に磁性体テープを巻き付け、各層を接着
し、磁性体テープ積層体１０５を形成する。その後、カ
ッタ１０３にて巻き付けた磁性体テープ積層体１０５を
二分割するように研削加工または、切削加工をする。次
に、磁性体テープ積層体１０５を円筒１０２から取り外
す（図１４（ｂ））。次に、外された磁性体テープ積層
体１０５を第８実施形態と同様の製造方法で作製された
サドル型偏向器の円筒基板１０１に位置決めして接着す
る。この場合、光造形法や、それに続く電鋳プロセスで
磁性体テープ積層体１０５を位置決めするための突起
（図示せず）を設けておくと、位置決めが正確に短時間
でできる。この磁性体テープ積層体を貼り付ける方法は
光造形法で作られた偏向器以外の偏向器以外にも適用で
きる。また、この磁性体テープ積層体を複数個に分割し
て貼り付けても、ほぼ同じ磁場強度を得ることができる
だけでなく、渦電流の効果を低減できる。そのため、偏
向器の時定数をより短くすることができる。
【0059】図１５は本発明の第１４実施形態である、本発
明の偏向器を使用した電子線露光装置の例を示したもの
である。図１５を用いて、本発明の電子線露光装置を説
明する。図１５において、１１６は電子銃、１１５は照
明光学系、２１はレチクル、１１３はレチクルステー
ジ、１１１は投影レンズ、２２は散乱アパーチャ、２３
はウエハ、１１４はウエハステージ、１１２は投影レン
ズである。電子銃１１６より電子線が放出され、それが
照明光学系１１５を通過して、レチクル２１に照射され
る。レチクル２１面を照射した電子線のうち、レチクル
２１に形成されたパターンを通過したものは、投影レン
ズ１１１、１１２によりパターン像をウエハ２３面に縮
小転写される。本発明にかかる偏向器１は、電子線の起
動を制御可能にシフトするために設けられている。な
お、上述の説明では、偏向器１を全ての個所に用いた
が、必ずしも、偏向器１を全ての個所に用いる必要はな
い。本発明の実施形態で挙げた、偏向器３１、５０、６
０、７１、８０、９０から任意に選んで用いても構わな
いし、各偏向器３１、５０、６０、７１、８０、９０か
ら任意の組み合わせで使用しても構わない。更に、偏向
器と磁気レンズの両方の機能を持つ複合光学部材１０を
用いても構わない。また、以上の例は投影光学系に関す
るものであったが、、照明光学系にも同様に本発明によ
る偏向器を使うことができることは言うまでもない。
【0060】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のうち請求
項１〜５、９、１０に係わる発明においては、コイル中
心部の磁性体が磁化し、発生する磁場強度をより強くす
る事ができる。これは、低電流で所望の磁場を得られる
点で有利である。また温度変化に伴うフェライトの透磁
率の変化による偏向磁場強度の変化、及びフェライトの
材料組成のばらつきに起因する非点収差の発生が少な
く、しかも、渦電流損失の少ない偏向器を提供できる。
【0061】請求項２に係わる発明においては、磁気レンズ
を新たに備えることなく、光軸に対称のレンズ場を発生
することができ、偏向器と磁気レンズを別個に備えた場
合に比べて大幅に部品を節約することができる。また、
これは、積層型フェライトを用いずにMOLを実現できる
ことも意味している。更に、荷電粒子線露光装置に使用
する場合は、電子レンズ鏡筒の長さを短くする時に特に
有効である。
【0062】請求項６に係わる発明においては、内側コイル
と外側コイルを結ぶ配線が最短距離になるため、配線か
ら発生する磁場が少なく、収差の少ないサドル型偏向器
を提供することができる。
【0063】請求項７，８に係わる発明においては、１軸偏
向器の大きさで２軸偏向器として作用することのできる
コンパクトな偏向器を提供することができる。
【0064】請求項１１，１２、１８に係わる発明において
は、磁性体テープ積層体を精度良く基板上の所定位置に
位置決めすることができ、収差の小さいトロイダル型偏
向器の製造方法を提供することができる。
【0065】請求項１３に係わる発明においては、渦電流が
効果的に低減されたトロイダル型偏向器を製造する方法
を提供することができる。
【0066】請求項１４に係わる発明においては、磁性体テ
ープ積層体を効果的に配置することができ、より大きな
偏向強度を得ることができるトロイダル型偏向器の製造
方法を提供することができる。また、コイルの断面積が
外側では増加するため、コイルの電気抵抗が減少し、コ
イルでの発熱を低減できる。
【0067】請求項１５、１６に係わる発明においては、高
精度のコイルを製造することができ、コイルの精度不良
に起因する収差の影響が少ない偏向器の製造方法を提供
できる。
【0068】請求項１６に係わる発明においては、高精度な
コイルを円筒基板の内外に持ち、小さな電流でも強い偏
向場を供給できる偏向器の製造方法を提供できる。
【0069】請求項１７に係わる発明においては、コイル中
心部の磁性体が磁化し、発生する磁場強度をより強くす
る事ができる。これは、低電流で所望の磁場を得られる
点で有利である。また温度変化に伴うフェライトの透磁
率の変化による偏向磁場強度の変化、及びフェライトの
材料組成のばらつきに起因する非点収差の発生の少な
く、しかも、渦電流による影響が少なく電子線をすばや
く静定できる偏向器の製造方法を提供することができ
る。
【0070】請求項１９に係わる発明においては、コイル中
心部の磁性体が磁化し、発生する磁場強度をより強くす
る事ができる。これは、低電流で所望の磁場を得られる
点で有利である。また収差が少なく、温度変化に対して
も偏向場の変化が少なく、しかも渦電流の影響も少な
い、パターン繋ぎ精度の高い荷電粒子露光装置を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態による偏向器を示す図で
ある。
【図２】本発明の第２実施形態による偏向器を示す図で
ある。
【図３】本発明の第３実施形態による偏向器を示す図で
ある。
【図４】本発明の第４実施形態による偏向器の製造方法
を示す図である。
【図５】本発明の第５実施形態による偏向器の製造方法
を示す図である。
【図６】本発明の第６実施形態による偏向器を示す図で
ある。
【図７】本発明の第７実施形態による偏向器の製造方法
を示す図である。
【図８】本発明の第８実施形態による偏向器の製造方法
を示す図である。
【図９】本発明の第８実施形態により製造された偏向器
を示す図である。
【図１０】本発明の第９実施形態による偏向器の製造方
法を示す図である。
【図１１】本発明の第１０実施形態による偏向器を示す
図である。
【図１２】本発明の第１１実施形態による偏向器の製造
方法を示す図である。
【図１３】本発明の第１２実施形態による偏向器を示す
図である。
【図１４】本発明の第１３実施形態による偏向器の製造
方法を示す図である。
【図１５】本発明による偏向器を使用した荷電粒子露光
装置の例を示す図である。
【図１６】従来のベーン・ヨーク式の偏向器を示す図で
ある。
【図１７】従来の偏向器と磁気レンズを組み込んだもの
を示す図である。
【符号の説明】
１ 偏向器 ２ 磁性体テープ積層体 ３ コイル ４ コイル端子 ５ 磁力線ａ ６ 通電用端子 ７ 磁力線 ８ 等磁位線 ９ レンズ主点 １０ 複合光学部材 １１ コイル １２ 磁気レンズコイル １３ ポールピース １４ 積層型フェライト １５ 光軸 １６ 磁力線ｃ １７ 磁力線ｄ ２１ レチクル ２２ 散乱アパーチャ ２３ ウエハ ３１ 偏向器 ３２ ベーン ３３ 石英基板 ３４ コイル ３５ 磁性体テープ積層体 ３５ａ〜ｊ 磁性体テープ積層体 ３６ 光軸 ３７ 磁化方向 ３８ 渦巻き状金属パターン ３９ 圧膜レジスト ４０ 位置決めマーク ４１ 電流方向 ４２ 渦電流方向 ４３ カッター ４４ 加工面 ４５ 偏向場 ５０ 偏向器 ５１ 円筒基板 ５２ 銅 ５３ レジン槽 ５４ レジン ５５ 電極部分 ５６ コイル ５７ 電流方向 ５８ 磁力線方向 ５９ 磁力線 ６０ 偏向器 ６１ 円筒基板 ６１ａ 導通用貫通穴 ６２ レーザ ６３ 銅 ６４ レジン ６５ 電極部分 ６６ コイル ６６ａ コイル導通部 ７１ ２軸偏向器 ７１ａ Ｘ軸偏向器 ７１ｂ Ｙ軸偏向器 ７１ｃ フランジ ７２ｄ フランジ ８０ ２軸偏向器 ８１ 円筒基板 ８３ 銅 ８４ レジン ８５ 電極部分 ８６ コイル ９０ 偏向器 ９１ 円筒基板 ９３ 磁化方向 ９５ 磁性体テープ積層体 ９６ コイル ９７ 電流方向 ９８ 磁力線方向 ９９ 磁力線 １０１ 円筒基板 １０２ 円筒 １０３ カッター １０４ 加工面 １０５ 磁性体テープ積層体 １０６ コイル １１１ 投影レンズ １１２ 投影レンズ １１３ レチクルステージ １１４ ウエハステージ １１５ 照明光学系 １１６ 電子銃

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】リング状のコアを持つトロイダル型偏向器
    であって、コアが磁性体テープ積層体であることを特徴
    とする偏向器。
  2. 【請求項２】前記磁性体テープの積層体の両端に通電用
    端子を設けたことを特徴とする請求項１に記載の偏向
    器。
  3. 【請求項３】平面基板上にコイルを形成したトロイダル
    型偏向器であって、コイル中心部分に磁性体テープ積層
    体が設けられていることを特徴とする偏向器。
  4. 【請求項４】前記磁性体テープ積層体が複数部分に分割
    されている磁性体テープの積層体であることを特徴とす
    る請求項３に記載の偏向器。
  5. 【請求項５】前記複数部分に分割されている磁性体テー
    プ積層体の光軸から離れている部分の積層厚が大きいこ
    とを特徴とする請求項４に記載の偏向器。
  6. 【請求項６】円筒基板の内周と外周にコイルを形成した
    サドル型偏向器であって、円筒基盤に設けられた貫通穴
    を通じて内側コイルと外側コイルが導通していることを
    特徴とする偏向器。
  7. 【請求項７】前記内側コイルと前記外側のコイル位置関
    係が光軸回りに９０度向きの異なるように配置されたこ
    とを特徴とする請求項６に記載の偏向器。
  8. 【請求項８】円筒基板にコイルを形成したサドル型偏向
    器であって、円筒基板の直径が異なる複数のサドル型偏
    向器を同軸で組み込んだときに、前記複数のサドル型偏
    向器の三次元的位置関係を一つに決める位置決め部材が
    設けられていることを特徴とする偏向器。
  9. 【請求項９】コイル中心部分に磁性体テープ積層体が設
    けられていることを特徴とする請求項６から８に記載の
    偏向器。
  10. 【請求項１０】前記磁性体テープ積層体が複数に分割さ
    れていることを特徴とする請求項９に記載の偏向器。
  11. 【請求項１１】平面基板上にコイル及び磁性体テープ積
    層体を形成する偏向器の製造方法であって、前記磁性体
    テープ積層体は、リソグラフィーにより作製されたレジ
    ストパターン位置を基準として前記平面基板上に固定す
    ることを特徴とする偏向器の製造方法。
  12. 【請求項１２】平面基板上にコイル及び磁性体テープ積
    層体を形成する偏向器の製造方法であって、前記磁性体
    テープ積層体は、リソグラフィーにより作製された導体
    のパターン位置を基準として前記平面基板上に固定する
    ことを特徴とする偏向器の製造方法。
  13. 【請求項１３】 請求項１２に記載の偏向器の製造方法
    において、前記磁性体テープ積層体と前記導体のパター
    ンの間には絶縁処理を行うことを特徴とする偏向器の製
    造方法。
  14. 【請求項１４】平面基板上にコイル及び磁性体テープ積
    層体を形成する偏向器の製造方法であって、前記磁性体
    テープ積層体及びコイルの厚さを機械加工により所定の
    厚さに仕上げることを特徴とする偏向器の製造方法。
  15. 【請求項１５】円筒基板外周上にコイルを形成する偏向
    器の製造方法であって、コイルとなる部分以外の部分に
    光造形方法によってレジンを形成し、レジンが形成され
    ていない部分に電鋳により銅を形成した後、レジンを除
    去することを特徴とする偏向器の製造方法。
  16. 【請求項１６】円筒型基板内外周上にコイルを形成する
    偏向器の製造方法であって、基板の所定位置に貫通穴を
    開け、その後、円筒型基板内外周上にコイルとなる部分
    以外の部分に光造形方法によってレジンを形成し、レジ
    ンが形成されていない部分に電鋳により銅を形成するこ
    とにより、コイルを形成し、同時に貫通穴により内外の
    コイルの導通を取った後、レジンを除去することを特徴
    とする偏向器の製造方法。
  17. 【請求項１７】円筒型基板の内外周上にコイルを形成す
    る偏向器の製造方法であって、磁性体テープを円筒に巻
    きつけて成型した後、円筒から取り外し、取り外した磁
    性体テープ積層体を前記円筒基板に貼り付けることを特
    徴とする偏向器の製造方法。
  18. 【請求項１８】請求項１７に記載の偏向器の製造方法に
    おいて、前記磁性体テープ積層体を前記円筒基板に貼り
    付ける際、光造形法または、それに続く電鋳プロセスに
    より作製した突起を用いて行うことを特徴とする偏向器
    の製造方法。
  19. 【請求項１９】請求項１から請求項１０のうち何れか１
    項に記載の偏向器を備えたことを特徴とする荷電粒子露
    光装置。
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