JPS61143931A - 走査形分析装置の多視野観察方式 - Google Patents
走査形分析装置の多視野観察方式Info
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- JPS61143931A JPS61143931A JP26602384A JP26602384A JPS61143931A JP S61143931 A JPS61143931 A JP S61143931A JP 26602384 A JP26602384 A JP 26602384A JP 26602384 A JP26602384 A JP 26602384A JP S61143931 A JPS61143931 A JP S61143931A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、広視野の低倍率像と狭視野の高倍率像とを表
示する走査形分析装置の多視野観察方式％式％ 〔従来の技術〕 走査電子顕微鏡において、広視野の低倍率像観察領域と
狭視野の高倍率像観察領域とを交互に切り換えて走査す
ることによって、別々の表示画面上に同時に低倍率像と
高倍率像とを表示することができる。この場合、広視野
の低倍率像表示画面上に狭視野用の枠を表示し、この領
域を狭視野の高倍率像として表示している。従って、低
倍率像での枠の表示位置が高倍率像の部分に対応するの
で、視野探しにおいて、観察者は、広視野の低倍率像表
示画面上に表示された狭視野用の枠を観て高倍率像の試
料との位置関係を認識することができる。
示する走査形分析装置の多視野観察方式％式％ 〔従来の技術〕 走査電子顕微鏡において、広視野の低倍率像観察領域と
狭視野の高倍率像観察領域とを交互に切り換えて走査す
ることによって、別々の表示画面上に同時に低倍率像と
高倍率像とを表示することができる。この場合、広視野
の低倍率像表示画面上に狭視野用の枠を表示し、この領
域を狭視野の高倍率像として表示している。従って、低
倍率像での枠の表示位置が高倍率像の部分に対応するの
で、視野探しにおいて、観察者は、広視野の低倍率像表
示画面上に表示された狭視野用の枠を観て高倍率像の試
料との位置関係を認識することができる。
上述のような従来の走査形分析装置では、広視野の低倍
率像表示画面上で狭視野用の枠を移動させてゆく場合、
枠を低倍率像表示画面上の端まで移動させると、それ以
上の移動では枠が表示画面上からはみ出してしまうため
、低倍率像の倍率を下げるか、または試料移動を行って
から枠を移動させ視野探しを行わなければならなかった
。その結果、枠と試料との関係の位置合わせをやり直し
たり、枠を中央へ戻してきたりする操作が必要となり、
操作が結構面倒になっていた。
率像表示画面上で狭視野用の枠を移動させてゆく場合、
枠を低倍率像表示画面上の端まで移動させると、それ以
上の移動では枠が表示画面上からはみ出してしまうため
、低倍率像の倍率を下げるか、または試料移動を行って
から枠を移動させ視野探しを行わなければならなかった
。その結果、枠と試料との関係の位置合わせをやり直し
たり、枠を中央へ戻してきたりする操作が必要となり、
操作が結構面倒になっていた。
本発明は、上記の考察に基づくものであって、枠と試料
との関係の位置合わせのやり直しや、枠の中央位置への
再設定などの操作をすることな（、最初の低倍率像の範
囲外へも容易に枠を移動させ視野探しを行うことができ
る走査形分析装置の多視野観察方式を提供することを目
的とするものである。
との関係の位置合わせのやり直しや、枠の中央位置への
再設定などの操作をすることな（、最初の低倍率像の範
囲外へも容易に枠を移動させ視野探しを行うことができ
る走査形分析装置の多視野観察方式を提供することを目
的とするものである。
そのために本発明の走査形分析装置の多視野観察方式は
、広視野の低倍率像を表示する広視野用の表示手段、狭
視野の高倍率像を表示する狭視野用の表示手段、広視野
用の表示手段に高倍率像の枠を表示する枠表示制御手段
、広視野の領域と狭視野の領域とを切り換えて電磁偏向
コイルの走査信号を制御する走査制御手段、該走査制御
手段の切り換えタイミングに同期して表示手段に送る観
察像検出信号を切り換える表示切換手段、及び全体の制
御を行う制御手段を備え、該制御手段は、枠表示制御手
段を制御して広視野用の表示手段における枠の表示位置
を移動するとともに該移動に対応して狭視野の走査領域
を移動する際、枠の表示位置が予め設定された広視野用
の表示手段の表示端を規定する基準線に達したか否かを
判定し、基準線に達したことを条件に枠の表示位置を画
面上の中央の位置まで移動するとともに該移動に対応し
て広視野の走査領域を移動する制御を行うように構成し
たことを特徴とするものである。
、広視野の低倍率像を表示する広視野用の表示手段、狭
視野の高倍率像を表示する狭視野用の表示手段、広視野
用の表示手段に高倍率像の枠を表示する枠表示制御手段
、広視野の領域と狭視野の領域とを切り換えて電磁偏向
コイルの走査信号を制御する走査制御手段、該走査制御
手段の切り換えタイミングに同期して表示手段に送る観
察像検出信号を切り換える表示切換手段、及び全体の制
御を行う制御手段を備え、該制御手段は、枠表示制御手
段を制御して広視野用の表示手段における枠の表示位置
を移動するとともに該移動に対応して狭視野の走査領域
を移動する際、枠の表示位置が予め設定された広視野用
の表示手段の表示端を規定する基準線に達したか否かを
判定し、基準線に達したことを条件に枠の表示位置を画
面上の中央の位置まで移動するとともに該移動に対応し
て広視野の走査領域を移動する制御を行うように構成し
たことを特徴とするものである。
本発明の走査形分析装置の多視野観察方式では、観察者
が視野探しを行い狭視野の走査領域が移動してゆくに従
って、これに対応する広視野用の表示手段の表示画面上
における高倍率像の枠の表示位置が移動してゆくが、そ
の結果枠の表示位置が表示画面上の端と判定される基準
線に達すると、枠の表示されていた基準線付近の画像部
分が表示画面上の中央に表示されるように画面全体が移
動すると同時に枠も表示画面とともに中央に移動する。
が視野探しを行い狭視野の走査領域が移動してゆくに従
って、これに対応する広視野用の表示手段の表示画面上
における高倍率像の枠の表示位置が移動してゆくが、そ
の結果枠の表示位置が表示画面上の端と判定される基準
線に達すると、枠の表示されていた基準線付近の画像部
分が表示画面上の中央に表示されるように画面全体が移
動すると同時に枠も表示画面とともに中央に移動する。
従って観察者は、狭視野用の表示画面を観ながらその画
面の端まで視野探しをしてきた場合において、さらに同
じ視野探しの指示操作を続けても、枠が広視野用の表示
画面から外れることなく、広視野用の表示画面上で試料
と高倍率像との位置関係を認識することができる。
面の端まで視野探しをしてきた場合において、さらに同
じ視野探しの指示操作を続けても、枠が広視野用の表示
画面から外れることなく、広視野用の表示画面上で試料
と高倍率像との位置関係を認識することができる。
以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。
第１図は本発明の１実施例を説明するためのブロック構
成図、第２図は制御部による処理の流れを説明する図、
第３図は広視野の低倍率像表示画面上での表示の変化の
様子を説明するための図、第４図は第３図に示す表示の
変化に対応する各信号の変化の様子を説明するための図
である。
成図、第２図は制御部による処理の流れを説明する図、
第３図は広視野の低倍率像表示画面上での表示の変化の
様子を説明するための図、第４図は第３図に示す表示の
変化に対応する各信号の変化の様子を説明するための図
である。
第１図において、■は電子銃、２は収束レンズ、３は電
磁偏向コイル、４は対物レンズ、５は信号検出器、６は
試料ホルダー、７は直流成分加算回路、８は広／狭視野
振幅切換回路、９は走査電源、１０はモータ駆動電源、
１１は制御部、１２は入力回路、１３は広／狭視野信号
切換回路、１４は枠表示回路、１５は広視野用表示装置
、１６は狭視野用表示装置をそれぞれ示している。
磁偏向コイル、４は対物レンズ、５は信号検出器、６は
試料ホルダー、７は直流成分加算回路、８は広／狭視野
振幅切換回路、９は走査電源、１０はモータ駆動電源、
１１は制御部、１２は入力回路、１３は広／狭視野信号
切換回路、１４は枠表示回路、１５は広視野用表示装置
、１６は狭視野用表示装置をそれぞれ示している。
直流成分加算回路７は、電磁偏向の直流成分を設定する
ものであり、広／狭視野振幅切換回路８は、広視野の走
査と狭視野の走査とに応じて走査の振幅を切り換えるも
のである。これら直流成分加算回路７の直流成分と広／
狭視野振幅切換回路８の振幅とを基に電磁偏向コイル３
が励磁される。
ものであり、広／狭視野振幅切換回路８は、広視野の走
査と狭視野の走査とに応じて走査の振幅を切り換えるも
のである。これら直流成分加算回路７の直流成分と広／
狭視野振幅切換回路８の振幅とを基に電磁偏向コイル３
が励磁される。
そして電子銃１から射出され収束レンズ２と対物レンズ
４により細く収束された電子ビームは、この電磁偏向コ
イル３により制御されて試料上を走査することになる。
４により細く収束された電子ビームは、この電磁偏向コ
イル３により制御されて試料上を走査することになる。
信号検出器５は、試料ホルダー６上に載置された試料面
から発生する２次電子やＸ線などの量子信号を検出する
ものであり、広／狭視野振幅切換回路８の切換タイミン
グと広／狭視野信号切換回路１３の切換タイミングとは
同期し、広視野の振幅により試料面が走査されていると
き検出される信号は、広視野用表示装置１５に送られ、
狭視野の振幅により試料面が走査されているとき検出さ
れる信号は、狭視野用表示装置１６に送られるように、
信号検出器５からの信号が広／狭視野信号切換回路１３
によって切り換えられる。
から発生する２次電子やＸ線などの量子信号を検出する
ものであり、広／狭視野振幅切換回路８の切換タイミン
グと広／狭視野信号切換回路１３の切換タイミングとは
同期し、広視野の振幅により試料面が走査されていると
き検出される信号は、広視野用表示装置１５に送られ、
狭視野の振幅により試料面が走査されているとき検出さ
れる信号は、狭視野用表示装置１６に送られるように、
信号検出器５からの信号が広／狭視野信号切換回路１３
によって切り換えられる。
モータ駆動電源１０は、試料ホルダー６のモータを駆動
するものである。枠表示回路１４は、広視野用表示装置
１５の画面上に枠を表示するものであり、この枠は、狭
視野用表示装置１６の画面上に表示される画像に相当す
る大きさの領域をもつものである。入力回路１２は、観
察者が各種指令やデータなどを入力する手段であり、例
えばキーボードなどである。制御部１１は、この入力回
路１２から入力された各種指令、データなどに基づいて
上記の各回路を制御するものである。
するものである。枠表示回路１４は、広視野用表示装置
１５の画面上に枠を表示するものであり、この枠は、狭
視野用表示装置１６の画面上に表示される画像に相当す
る大きさの領域をもつものである。入力回路１２は、観
察者が各種指令やデータなどを入力する手段であり、例
えばキーボードなどである。制御部１１は、この入力回
路１２から入力された各種指令、データなどに基づいて
上記の各回路を制御するものである。
次に入力回路１２からの枠の移動指令に関係して行われ
る制御部１１の処理を第２図を参照しつつ説明する。
る制御部１１の処理を第２図を参照しつつ説明する。
■ 入力回路１２に対して枠の移動指令があったか否か
を調べる。
を調べる。
ＹＥＳの場合には■の処理を行い、ＮＯの場合には他の
処理を行う。他の処理がない場合には■の処理を繰り返
して行う。
処理を行う。他の処理がない場合には■の処理を繰り返
して行う。
■ 枠の移動指令に従って枠表示回路１４の枠表示位置
を変える。同時に■の処理も行う。
を変える。同時に■の処理も行う。
■ 枠の移動指令に従って枠の表示位置の狭視野像が得
られるよう■の処理による枠の表示位置の移動に相当す
る分だけ直流成分加算回路７の直流成分を変える。次に
■の処理を行う。
られるよう■の処理による枠の表示位置の移動に相当す
る分だけ直流成分加算回路７の直流成分を変える。次に
■の処理を行う。
■ 枠の位置が基準線に達したか否かを調べる。
基準線は、広視野用表示装置１５の画面上で枠の位置が
端まで達したと判定される位置を規定する線であって、
予め設定される。
端まで達したと判定される位置を規定する線であって、
予め設定される。
ＹＥＳの場合には■の処理を行い、ＮＯの場合には■の
処理に戻る。
処理に戻る。
■ 枠表示回路１４における枠の表示位置を広視野用表
示装置１５の画面上の中央に移動する。同時に■の処理
も行う。
示装置１５の画面上の中央に移動する。同時に■の処理
も行う。
■ 広視野用表示装置１５の画像を枠の移動に対応して
移動し、画像と枠の表示位置が変わらないように直流成
分加算回路７の直流成分を変える。
移動し、画像と枠の表示位置が変わらないように直流成
分加算回路７の直流成分を変える。
そして■の処理に戻る。
なお、直流成分加算回路７の直流成分を変える代わりに
モータ駆動電＃ｌＯを制御して試料を移動してもよい。
モータ駆動電＃ｌＯを制御して試料を移動してもよい。
しかしこの場合には、試料の移動に伴って広視野像も狭
視野像も移動してしまうので、移動しない像に対する直
流成分加算回路７の直流成分については、当然その分の
補正が必要となることはいうまでもない。
視野像も移動してしまうので、移動しない像に対する直
流成分加算回路７の直流成分については、当然その分の
補正が必要となることはいうまでもない。
視野探しの具体的な例を第３図及び第４図を参照しつつ
説明する。
説明する。
まず、広視野用表示装置１５の画面上には、第３図Ａに
示す位置に枠２３、試料２１が表示され、基準線２２が
設定されているものとする。
示す位置に枠２３、試料２１が表示され、基準線２２が
設定されているものとする。
そこで、観察者が視野探しを行って枠２３を図の左上方
へ移動した場合、第３図Ｂに示すように枠２３の表示位
置が上側の基準線までくると、第３図Ｃに示すように枠
２３の表示位置が中央（上下の中央）へ戻るとともに、
画像全体も中央へ移動する。
へ移動した場合、第３図Ｂに示すように枠２３の表示位
置が上側の基準線までくると、第３図Ｃに示すように枠
２３の表示位置が中央（上下の中央）へ戻るとともに、
画像全体も中央へ移動する。
従ってこの場合には、第３図ＢとＣの試料２１と枠２３
との関係を見ると明らかなように、枠２３と全体の画像
との相対的な位置関係、すなわち枠２３と試料２１との
位置関係は変わらない。この第３図Ａ、Ｂ、Ｃに至る様
子を、広視野用表示装置１５の画面上での枠のＸ、Ｙ軸
座標の変化により示したのが第４図（ａｌにおけるＡ、
Ｂ、、Ｃの部分であり、電磁偏向の直流成分のうち広視
野用のＸ、Ｙ軸の直流成分の変化により示したのが第４
図（ｂｌにおけるＡ、Ｂ、Ｃの部分であり、電磁偏向の
直流成分のうち狭視野用のＸ、Ｙ軸の直流成分の変化に
より示したのが第４図（ｃ）におけるＡ、Ｂ、Ｃの部分
である。
との関係を見ると明らかなように、枠２３と全体の画像
との相対的な位置関係、すなわち枠２３と試料２１との
位置関係は変わらない。この第３図Ａ、Ｂ、Ｃに至る様
子を、広視野用表示装置１５の画面上での枠のＸ、Ｙ軸
座標の変化により示したのが第４図（ａｌにおけるＡ、
Ｂ、、Ｃの部分であり、電磁偏向の直流成分のうち広視
野用のＸ、Ｙ軸の直流成分の変化により示したのが第４
図（ｂｌにおけるＡ、Ｂ、Ｃの部分であり、電磁偏向の
直流成分のうち狭視野用のＸ、Ｙ軸の直流成分の変化に
より示したのが第４図（ｃ）におけるＡ、Ｂ、Ｃの部分
である。
第３図Ｃに示す表示状態からさらに枠２３を左上方へ移
動する視野探しを行い、枠２３の表示位置が上側の基準
線に達した場合の変化の様子を、画面上の画像の変化に
より示したのが第３図り、Ｅであり、画面上での枠のＸ
、Ｙ軸座標の変化、及び電磁偏向のＸ、Ｙ軸の直流成分
の変化により示したのが第４図（ａ）、（ｂ）、ｆｃｌ
におけるり、Ｅ部分である。
動する視野探しを行い、枠２３の表示位置が上側の基準
線に達した場合の変化の様子を、画面上の画像の変化に
より示したのが第３図り、Ｅであり、画面上での枠のＸ
、Ｙ軸座標の変化、及び電磁偏向のＸ、Ｙ軸の直流成分
の変化により示したのが第４図（ａ）、（ｂ）、ｆｃｌ
におけるり、Ｅ部分である。
なお、本発明は電子顕微鏡に限定されるものではなく、
広視野の低倍率像と狭視野の高倍率像とをともに表示し
ながら視野探しを行う他の走査形分析装置にも適用でき
、その適用に応じて種々の変形が可能であることはいう
までもない。
広視野の低倍率像と狭視野の高倍率像とをともに表示し
ながら視野探しを行う他の走査形分析装置にも適用でき
、その適用に応じて種々の変形が可能であることはいう
までもない。
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、広視
野用表示装置において、狭視野の高倍率像の表示領域を
示す枠が表示画面端の基準線を越えると、枠が中央に戻
ると同時に視野も中央へ移動し、同じ試料上に枠が表示
されるので、最初の広視野の低倍率像の範囲外迄枠を動
かして視野探しを行うことができる。
野用表示装置において、狭視野の高倍率像の表示領域を
示す枠が表示画面端の基準線を越えると、枠が中央に戻
ると同時に視野も中央へ移動し、同じ試料上に枠が表示
されるので、最初の広視野の低倍率像の範囲外迄枠を動
かして視野探しを行うことができる。
第１図は本発明の１実施例を説明するためのブロック構
成図、第２図は制御部による処理の流れを説明する図、
第３図は広視野の低倍率像表示画面上での表示の変化の
様子を説明するための図、第４図は第３図に示す表示の
変化に対応する各信号の変化の様子を説明するための図
である。 １・・・電子銃、２・・・収束レンズ、３・・・電磁偏
向コイル、４・・・対物レンズ、５・・・信号検出器、
６・・・試料ホルダー、７・・・直流成分加算回路、８
・・・広／狭視野振幅切換回路、９・・・走査電源、１
０・・・モータ駆動電源、１１・・・制御部、１２・・
・入力回路、１３・・・広／狭視野信号切換回路、１４
・・・枠表示回路、１５・・・広視野用表示装置、１６
・・・狭視野用表示装置。 特許出願人 日本電子株式会社 代理人弁理士 阿 部 龍 吉 １ ｍ ブ ２ 図 プ ３ ロ ア ４１！１
成図、第２図は制御部による処理の流れを説明する図、
第３図は広視野の低倍率像表示画面上での表示の変化の
様子を説明するための図、第４図は第３図に示す表示の
変化に対応する各信号の変化の様子を説明するための図
である。 １・・・電子銃、２・・・収束レンズ、３・・・電磁偏
向コイル、４・・・対物レンズ、５・・・信号検出器、
６・・・試料ホルダー、７・・・直流成分加算回路、８
・・・広／狭視野振幅切換回路、９・・・走査電源、１
０・・・モータ駆動電源、１１・・・制御部、１２・・
・入力回路、１３・・・広／狭視野信号切換回路、１４
・・・枠表示回路、１５・・・広視野用表示装置、１６
・・・狭視野用表示装置。 特許出願人 日本電子株式会社 代理人弁理士 阿 部 龍 吉 １ ｍ ブ ２ 図 プ ３ ロ ア ４１！１
Claims (1)
- 広視野の低倍率像を表示する広視野用の表示手段、狭視
野の高倍率像を表示する狭視野用の表示手段、広視野用
の表示手段に高倍率像の枠を表示する枠表示制御手段、
広視野の領域と狭視野の領域とを切り換えて電磁偏向コ
イルの走査信号を制御する走査制御手段、該走査制御手
段の切り換えタイミングに同期して表示手段に送る観察
像検出信号を切り換える表示切換手段、及び全体の制御
を行う制御手段を備え、該制御手段は、枠表示制御手段
を制御して広視野用の表示手段における枠の表示位置を
移動するとともに該移動に対応して狭視野の走査領域を
移動する際、枠の表示位置が予め設定された広視野用の
表示手段の表示端を規定する基準線に達したか否かを判
定し、基準線に達したことを条件に枠の表示位置を画面
上の中央の位置まで移動するとともに該移動に対応して
広視野の走査領域を移動する制御を行うように構成した
ことを特徴とする走査形分析装置の多視野観察方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26602384A JPS61143931A (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | 走査形分析装置の多視野観察方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26602384A JPS61143931A (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | 走査形分析装置の多視野観察方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61143931A true JPS61143931A (ja) | 1986-07-01 |
| JPH0464135B2 JPH0464135B2 (ja) | 1992-10-14 |
Family
ID=17425306
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26602384A Granted JPS61143931A (ja) | 1984-12-17 | 1984-12-17 | 走査形分析装置の多視野観察方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61143931A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19911944B4 (de) * | 1998-03-18 | 2009-05-14 | Hitachi, Ltd. | Vorrichtung zum Abbilden eines Bereichs einer Probe |
-
1984
- 1984-12-17 JP JP26602384A patent/JPS61143931A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19911944B4 (de) * | 1998-03-18 | 2009-05-14 | Hitachi, Ltd. | Vorrichtung zum Abbilden eines Bereichs einer Probe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0464135B2 (ja) | 1992-10-14 |
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