JPS6122549A - 電子顕微鏡の試料観察位置表示方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子Ｗ４微鏡の倍率と連動して試料位置の移
動軌跡を記憶し、表示するようにした電子顕微鏡の試料
観察位置表示方式に関するものである。

〔従来の技術〕

電子顕微鏡においては、１つの観察試料の多数個所につ
いて各種の倍率で観察することが多い。

この場合オペレータは、小さな試料のさらに小さな部分
を観るので、視野移動を行うとき試料のどの点を観てい
るかを知ることが難しく、視野捜しに多くの時間を費や
すことになる。そのため、試料位置を表示装置で示すこ
とが行われているが、このような従来の試料位置表示装
置では、試料位置を点として記憶若しくは表示させてい
た。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述の如き従来の試料位置表示装置では、試料位置の点
としてのみの座標が記憶、表示されていたため、試料移
動の経路順番が不明確であった。

また、試料位置の表示では、電子顕微鏡の倍率との連動
表示が行われていないため、電子類゛微鏡の倍率が高く
なると、試料位置表示が不明確になってしまうという問
題があった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、係る点に鑑み、試料移動の経路が判り、且つ
電子顕微鏡の倍率と連動して記憶、表示される電子顕微
鏡の試料観察位置表示方式を提供することを目的とする
ものである。そのために本発明の電子顕微鏡の試料観察
位置表示方式は、移動可能な試料ステージに試料を載置
して、試料面内に電子線を照射し、指定された倍率に従
って所定の領域を走査して像観察を行う電子顕微鏡の試
料観察位置表示方式であって、電子顕微鏡の試料ステー
ジの移動によって像観察可能な範囲を仮想的に微小の単
位エリアに分割した記憶領域が確保された記憶手段、表
示手段、及び制御手段を備え、制御手段は、像観察の倍
率を基に試料ステージの移動に伴って観察位置を対応す
る記憶手段の番地に記憶すると共に、該記憶手段に記憶
した観察位置を像観察の倍率に従って表示手段に表示す
る処理を行うように構成されたことを特徴とするもので
ある。

〔作用〕

本発明の電子顕微鏡の試料位置表示方式は、上記の各手
段を備えることによって、電子顕微鏡の試料ステージに
試料を載置し、像観察の倍率を指定して視野移動を行う
と、その移動に伴って観察位置が記憶手段の対応する番
地に逐次記憶される。

そして記憶手段に記憶されたこれらの内容が指定された
倍率に従って表示きれ、例えば、試料の形状に沿って視
野移動を行うと、その形状が記憶手段に記憶され、表示
手段に表示される。また像観察の倍率を大きくして微小
部分の像観察を行うと、その微小部分についてもその倍
率に従った記憶と表示が行われる。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説明する。

第１図は本発明の１実施例を説明するための図、第２図
は本発明による試料移動の経路の記憶、表示の例を示す
図である。

第１図において、１は倍率回路、２は走査回路、３はメ
モリ、４は制御回路（ＣＰＵ）　、５は入力回路、６は
試料ステージ・ポジショナ−１７はＣＲＴ、８は試料ス
テージ、９はＸ、Ｙ偏向コイル、ＩＯは試料、１１は電
子線、１２は電子銃、１３と１４は集束レンズをそれぞ
れ示している。第１図図示の装置では、電子線１１が電
子銃１２から放射され第１、第２の集束レンズ１３．１
４によって細く集束された状態で試料１０を照射する。

またこの電子線１１は、倍率回路１を介して走査回路２
から走査信号が供給されるＸ、Ｙ偏向コイル９により偏
向され、試料面内の任意の領域を二次元的に走査する。

電子線１１の照射によって試料１０から放射される二次
電子等は、図示しないが検出器によって電気信号として
検出される。このようにして像観察を行う場合における
像＠倍率は、倍率回路１の信号増幅率を可変することに
よって設定され、像観察の視野移動は、試料１０を載置
する試料ステージ８のｘ、Ｙ方向移動機構を駆動するモ
ータ（図示省略）を制御することによって行われる。試
料ステージ・ボジシジナー６は、試料ステージ８の移動
に伴って変化する観察位置を逐次検出するものである。

メモリ３は、第２図図示の如く、試料ステージ８の移動
によって像観察の可能な範囲Ｗを仮想的に総数例えば１
ｏｏｏ　ｘ　１ｏｏｏに分割した微小な単位エリアＳに
応じた記憶領域が確保されている記憶手段であり、この
記憶領域に観察位置が記憶される。制御回路４は、この
装置全体の制御を行うものであり、倍率回路１から得ら
れた倍率及び試料ステージ・ポジショナ−６から得られ
た観察位置に応じてＸ。

Ｙ方向の位置信号をメモリ３に記憶させる。同時に、メ
モリ３に記憶された位置信号を記憶された番地に対応す
るＣＲＴ７の画面位置に輝点として表示する。このよう
にして順次視野を変えて同様の走査を繰り返すと、第２
図図示しの如く視野移動の軌跡がＣＲＴ７の画面上に表
示される。このようなメモリ３への記憶指金やその解除
は、オペレータが入力回路５を用いて行うものである。

なお、メモリ３への観察位置の記憶は、試料ステージ８
の移動に伴って連続的に行ってもよいが、試料ステージ
８が所定距離以上移動したとき、或いは入力回路５から
のオペレータの指示があったとき等、一定の条件の下に
その位置を記憶し且つ前回の記憶位置との間に線を描く
ようにしてもよい。

例えば、走査線を低倍率から高倍率に変化させて像観察
を行う場合にも、まず、像倍率を低倍率（例えば２００
０倍）に指定して視野を移動させ、試料の大体の観察指
定領域を決定する。次に、この観察領域の中で高倍率に
より観察する領域に視野移動し、高倍率を指定して像観
察を行う。このようにすると、ＣＲＴに試料の大体の観
察指定領域が表示されるので、この観察指定領域に対応
する試料に観察領域内のみを移動するように視野移動手
段を制御することができるので、視野捜しを重複するこ
となく効率良く且つ容易に行うことができる。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、試料
観察位置が記憶され、それらの位置が連続する軌跡とし
てＣＲＴに表示されるので、例えば試料観察経路が一目
瞭然となり、観察済領域を容易に知ることができ、予め
試料の外形や試料内の成る特定の部分に沿って試料観察
位置を移動させることによって試料の形状、試料内の含
有物の形状等を容易に観察することができる。また、像
観察の倍率と連動して観察軌跡を記憶、表示するので、
各倍率で観察予定（済）領域等の表示ができ、広範囲の
試料外形を読み取ることができると共に、試料全体から
みた微小部分の相対的な位置や大きさ等も観察すること
ができる。さらには、入力回路からの指令によって試料
位置の記憶走査を停止させ、輝度を変えたり、点滅させ
たり、表示色を変えたりして表示態様を変えて試料位置
を表示することによって試料の外形及び観察済試料位置
に対して観察時点での相対位置を知ることも容易となる
。パノラマ写真撮影の際にも、撮影の状況が一目でわか
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例を説明するための図、第２図
は本発明による試料移動の経路の記憶、表示の例を示す
図である。 １・・・倍率回路、２・・・走査回路、３・・・メモリ
、４・・・制御回路（ＣＰＵ）　、５・・・入力回路、
６・・・試料ステージ・ポジショナ−１７・・・ＣＲＴ
、８・・・試料ステージ、９・・・Ｘ、Ｙ偏向コイル、
１０・・・試料、１１・・・電子線、１２・・・電子銃
、１３と１４・・・集束レンズ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 移動可能な試料ステージに試料を載置して試料面内に電
   子線を照射し、指定された倍率に従って所定の領域を走
   査して像観察を行う電子顕微鏡の試料観察位置表示方式
   であって、電子顕微鏡の試料ステージの移動によって像
   観察可能な範囲を仮想的に微小の単位エリアに分割した
   記憶領域が確保された記憶手段、表示手段、及び制御手
   段を備え、制御手段は、像観察の倍率を基に試料ステー
   ジの移動に伴って観察位置を対応する記憶手段の番地に
   記憶すると共に、該記憶手段に記憶した観察位置を像観
   察の倍率に従って表示手段に表示する処理を行うように
   構成されたことを特徴とする電子顕微鏡の試料観察位置
   表示方式。