JP3470726B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】 本発明は走査電子顕微鏡などの
荷電粒子線装置に関し、更に詳しくは、試料ステージ駆
動機構の移動制御が改善された荷電粒子線装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】走査電子顕微鏡で観察される試料は試料
ステージ駆動機構上に置かれており、試料ステージ駆動
機構はＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動でき、また、傾斜移動も可
能である。この試料ステージ駆動機構の移動には制限が
あり、試料ステージ駆動機構が移動制限位置を越えて移
動すると試料室内壁や対物レンズに衝突し、試料ステー
ジ駆動機構や対物レンズが壊れてしまう。このような問
題が起こらないよう、従来においては次のようなステー
ジ駆動機構の移動制御が行なわれていた。 【０００３】オペレーターが試料ステージ駆動機構の
移動制限位置を表わした表やグラフなどを見ながら、試
料ステージ駆動機構が移動制限位置を越えないように手
動で試料ステージ駆動機構を移動させる。 【０００４】試料ステージ駆動機構の現在位置を監視
し、試料ステージ駆動機構が移動制限位置を越えようと
したとき、試料ステージ駆動機構を自動的に停止させ
る。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記
，のステージ駆動機構の移動制御おいては次の問題
がある。 【０００６】前記においては、オペレーターの負担が
大きい。また、前記においては、設定するステージ駆
動機構の移動位置がステージ駆動機構の移動可能範囲か
どうかステージ駆動機構を移動させる前にわからず、無
駄なステージ駆動機構の移動を行なう場合がある。 【０００７】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、試料ステージ駆動機構をその移動可
能範囲内の所望の位置に迅速に移動できる荷電粒子線装
置を提供することにある。 【０００８】 【課題を解決するための手段】 本発明の荷電粒子線装
置は、試料ステージ駆動機構上に置かれた試料に荷電粒
子線を照射し、試料から得られる信号を検出して試料の
観察や分析を行なう荷電粒子線装置において、前記試料
ステージ駆動機構の移動可能範囲を表示する表示手段
と、該表示手段の画面上の任意の位置を指示するための
手段と、該指示された位置に対応する試料ステージ駆動
機構の位置に該試料ステージ駆動機構を移動させる手段
とを備えている。 【０００９】 【実施例】以下、本発明を図面を参照して詳しく述べ
る。 【００１０】図１は本発明の実施例として示した走査電
子顕微鏡の概略図である。図において、１は電子光学系
を備えた鏡筒、２は試料室である。３は試料を保持した
試料ステージ駆動機構である。図２は、試料ステージ駆
動機構３を詳細に示したものである。図２において、８
は光軸（Ｚ軸）方向に移動可能な光軸方向移動体であ
る。９は移動体８に支持された傾斜体で、軸Ｏを中心に
傾斜可能である。１０は傾斜体９の上に置かれたＸ方向
移動ステージ、１１はＸ方向移動ステージ１０の上に置
かれたＹ方向移動ステージで、それぞれのステージはＸ
Ｙ平面内で移動可能である。４は試料ステージ駆動回路
で、試料ステージ駆動回路４は表示制御回路５からの信
号に基づいて試料ステージ駆動機構３を制御する。６は
表示装置である。７はマーカー制御回路で、表示装置６
上に表示されるマーカーの位置を移動させるものであ
る。マーカー制御回路としてマウスなどが使用される。 【００１１】このような構成の動作は以下の通りであ
る。 【００１２】図３は表示装置６に表示される像を示して
いる。表示制御回路５には、Ｘ，Ｙ方向移動ステージ１
０，１１の移動可能範囲を表す情報と、光軸方向移動体
８の各Ｚ座標値の領域ごとの傾斜体９の傾斜移動可能な
範囲を表す情報が記憶されており、前記図３に示される
グラフはこの情報に基づくものである。図３において、
左のグラフにはＸ，Ｙ方向移動ステージ１０，１１の移
動可能範囲Ａ（内枠内の領域）が図示されており、右の
グラフには光軸方向移動体８の各Ｚ座標値の領域ごとの
傾斜体９の傾斜移動可能な範囲Ｂ（斜線部以外の領域）
が図示されている。また、表示装置６には、表示制御回
路５よりの信号に基づくマーカーＭが表示されている。
このマーカーＭは、マーカー制御回路７を操作すること
により画面上で移動可能である。 【００１３】さて、試料を対物レンズから３０ｍｍ離
し、試料を３０°傾斜させて試料観察を行なう場合、オ
ペレーターはマーカー制御回路７を操作してマーカーＭ
を移動可能範囲Ａ内の領域Ａ₃ に移動させる。マーカー
制御回路としてマウスを使用している場合、マウスのボ
タンを押して試料ステージの移動位置を設定する。表示
制御回路５は、マーカーＭの指示する位置に光軸方向移
動体８および傾斜体９を移動させる信号（Ｚ＝３０ｍ
ｍ，Ｔ＝３０°）を試料ステージ駆動回路４に送る。試
料ステージ駆動回路４はこの信号に基づいて光軸方向移
動体８をＺ＝３０ｍｍの位置に、そして、傾斜体９を３
０°傾斜させる。このように、マーカーＭの指示する位
置に光軸方向移動体８および傾斜体９は移動するが、
Ｘ，Ｙ方向移動ステージの移動についても同様な動作が
行なわれる。 【００１４】以上本発明を走査電子顕微鏡を例にあげて
説明したが、本発明は、試料を移動させて試料の観察や
分析を行なう他の荷電粒子線装置にも応用可能である。 【００１５】また、試料ステージの移動位置を設定する
のにマーカーを用いたが、表示装置の画面上にペンを押
し当てて試料ステージ駆動機構の移動位置を設定するよ
うにしてもよい。 【００１６】 【発明の効果】本発明においては、試料ステージ駆動機
構の移動可能範囲を表示手段に表示し、その表示手段上
で指示された試料ステージ駆動機構の移動位置に試料ス
テージ駆動機構が自動的に移動するので、オペレーター
の負担は減小し、また、試料ステージ駆動機構を移動可
能範囲内の所望の位置に迅速に移動させることができ
る。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の実施例として示した走査電子顕微鏡の
概略図である。 【図２】試料ステージ駆動機構３の詳細を示した図であ
る。 【図３】表示装置６に表示されるグラフを示したもので
ある。 【符号の説明】 １ 鏡筒 ２ 試料室 ３ 試料ステージ駆動機構 ４ 試料ステージ駆動回路 ５ 表示制御回路 ６ 表示装置 ７ マーカー制御回路 ８ 光軸方向移動体 ９ 傾斜体 １０ Ｘ方向移動ステージ １１ Ｙ方向移動ステージ

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】試料ステージ駆動機構上に置かれた試料に
   荷電粒子線を照射し、試料から得られる信号を検出して
   試料の観察や分析を行なう荷電粒子線装置において、前
   記試料ステージ駆動機構の移動可能範囲を表示する表示
   手段と、該表示手段の画面上の任意の位置を指示するた
   めの手段と、該指示された位置に対応する試料ステージ
   駆動機構の位置に該試料ステージ駆動機構を移動させる
   手段とを備えた荷電粒子線装置。