JP2913807B2 - 電子線照射型分析装置 - Google Patents
電子線照射型分析装置Info
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- JP2913807B2 JP2913807B2 JP2253062A JP25306290A JP2913807B2 JP 2913807 B2 JP2913807 B2 JP 2913807B2 JP 2253062 A JP2253062 A JP 2253062A JP 25306290 A JP25306290 A JP 25306290A JP 2913807 B2 JP2913807 B2 JP 2913807B2
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- electron beam
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- beam irradiation
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は電子線マイクロアナライザ（EPMA）における
試料位置自動設定装置に関する。
試料位置自動設定装置に関する。
（従来の技術） 鉱物性試料の分析で、試料を薄片状にして偏光透過像
を観察する方法があり、この方法とＸ線分光分析,2次電
子像による表面観察等の電子ビーム照射による分析法と
を併用する場合がある。このような場合従来は試料をEP
MA内にセットし、試料下面から偏光を照射し、試料透過
光をEPMAに付設された光学顕微鏡で結像させて試料の透
過偏光像を目視観察し、電子ビーム照射による分析を行
う点を決め、手動的に試料を駆動させて、分析点を顕微
鏡の視野中心に持って行き、電子ビーム照射を行うと云
う方法をとっていたので、一試料で幾つかの点で分析を
行う場合、一々手動的操作で試料を動かさねばならず、
大へん面倒であった。
を観察する方法があり、この方法とＸ線分光分析,2次電
子像による表面観察等の電子ビーム照射による分析法と
を併用する場合がある。このような場合従来は試料をEP
MA内にセットし、試料下面から偏光を照射し、試料透過
光をEPMAに付設された光学顕微鏡で結像させて試料の透
過偏光像を目視観察し、電子ビーム照射による分析を行
う点を決め、手動的に試料を駆動させて、分析点を顕微
鏡の視野中心に持って行き、電子ビーム照射を行うと云
う方法をとっていたので、一試料で幾つかの点で分析を
行う場合、一々手動的操作で試料を動かさねばならず、
大へん面倒であった。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は、試料透過偏光像と電子ビーム照射を用いた
分析とを関係付けて行う場合において、電子ビーム照射
型分析装置に対する試料位置設定を自動化することによ
り、上述した操作上の面倒さを解消しようとするもので
ある。
分析とを関係付けて行う場合において、電子ビーム照射
型分析装置に対する試料位置設定を自動化することによ
り、上述した操作上の面倒さを解消しようとするもので
ある。
（課題を解決するための手段） 試料に電子ビームを照射する電子光学系と同軸的に構
成された光学顕微鏡と、試料移動台上の試料を下方から
照射する偏光照射手段と、上記光学顕微鏡による試料透
過偏光像を撮像し、映像表示する手段と、電子ビーム照
射された試料から放出される２次放射を検出する手段
と、その検出出力を映像表示する手段と、上記両映表示
手段における表示像で相互対応する３点を指定すると、
それら３点の各映像表示手段上の座標データから、透過
偏光像表示段における表示像上の任意の点に対する、試
料上の電子ビーム照射点の座標を算出し、透過偏光像表
示手段に表示された映像上で指定した複数点の座標を記
憶しておき順次この座標データから上記電子ビーム照射
点の座標を算出して試料移動台を駆動し、電子ビーム照
射による分析データを採取して行く制御装置とで電子ビ
ーム照射型分析装置を構成した。
成された光学顕微鏡と、試料移動台上の試料を下方から
照射する偏光照射手段と、上記光学顕微鏡による試料透
過偏光像を撮像し、映像表示する手段と、電子ビーム照
射された試料から放出される２次放射を検出する手段
と、その検出出力を映像表示する手段と、上記両映表示
手段における表示像で相互対応する３点を指定すると、
それら３点の各映像表示手段上の座標データから、透過
偏光像表示段における表示像上の任意の点に対する、試
料上の電子ビーム照射点の座標を算出し、透過偏光像表
示手段に表示された映像上で指定した複数点の座標を記
憶しておき順次この座標データから上記電子ビーム照射
点の座標を算出して試料移動台を駆動し、電子ビーム照
射による分析データを採取して行く制御装置とで電子ビ
ーム照射型分析装置を構成した。
（作用） 電子ビーム照射型分析装置で電子光学系と同軸的に光
学顕微鏡を設けても、透過偏光像と試料面の電子ビーム
による走査像とは、像の方向や倍率は異っている。しか
し両方の像で相互対応する点は目視観察により容易に見
出すことができる。また透過偏光像の表示面等で制御装
置に対し任意の点を指定することは表示面にカーソルを
表示し、それをマウスを用いて移動させる等周知の方法
で可能であり、このようにして、走査電子ビームによる
像と透過偏光像の互いに対応する３点を指定すると、透
過偏光像上の座標データを走査電子ビームによる像上の
対応点の座標データに変換することができる。従って透
過偏光像の表示面上で分析点を指定すると、走査電子ビ
ームの表示像上の座標が求められ、この座標が求まる
と、電子光学系光軸に対して試料分析点の座標が決ま
り、それに従って試料移動装置を駆動することができ
る。分析点は何点であっても、記憶させておけばよいの
で、一度分析点を指定してしまえば後は自動的に電子ビ
ーム照射による分析を行って行くことができる。
学顕微鏡を設けても、透過偏光像と試料面の電子ビーム
による走査像とは、像の方向や倍率は異っている。しか
し両方の像で相互対応する点は目視観察により容易に見
出すことができる。また透過偏光像の表示面等で制御装
置に対し任意の点を指定することは表示面にカーソルを
表示し、それをマウスを用いて移動させる等周知の方法
で可能であり、このようにして、走査電子ビームによる
像と透過偏光像の互いに対応する３点を指定すると、透
過偏光像上の座標データを走査電子ビームによる像上の
対応点の座標データに変換することができる。従って透
過偏光像の表示面上で分析点を指定すると、走査電子ビ
ームの表示像上の座標が求められ、この座標が求まる
と、電子光学系光軸に対して試料分析点の座標が決ま
り、それに従って試料移動装置を駆動することができ
る。分析点は何点であっても、記憶させておけばよいの
で、一度分析点を指定してしまえば後は自動的に電子ビ
ーム照射による分析を行って行くことができる。
（実施例） 第１図は本発明の一実施例のEPMAを示す。１は電子
鏡、2,3は電子レンズで電子ビームｅを試料Ｓの表面に
収束させる。４は電子ビームを偏向させて試料面を走査
する走査コイルである。５は光学顕微鏡の対物鏡であ
り、6,7は光学顕微鏡の光路をEPMAの筺体外に導く反射
鏡であり、光学顕微鏡の光軸と、電子レンズ2,3等から
なる電子光学系の光軸とは一致させてある。８は試料移
動台でx,y,z3方向に試料を移動させることができる。試
料移動台で試料の下の部分は開放されていて光源L,偏光
子Ｐ、集光レンズＧ等よりなる偏光照明系９が配置され
て、試料Ｓを下方から偏光で照明できるようになってい
る。光学顕微鏡においてＱは検光子、10はビデオカメラ
で、その出力映像信号はアンプA1,A/D変換器AD1を通し
て画像メモリ11に記憶せしめられる。12は２次電子検出
器で電子ビームｅの照射を受けた試料から放出される２
次電子を吸引検出し、その出力はアンプA2,A/D変換器AD
2を通して画像メモリ13に記憶せしめられる。CRT1は画
像メモリ11の記憶画像を表示し、CRT2は画像メモリ13に
記憶された画像を表示する。CPUは装置全体を制御して
いる制御装置である。14はマウスでCRT1或はCRT2に表示
されているカーソルを移動させて、表示画面上の任意の
点の座標データをCPUに読込ませることができる。
鏡、2,3は電子レンズで電子ビームｅを試料Ｓの表面に
収束させる。４は電子ビームを偏向させて試料面を走査
する走査コイルである。５は光学顕微鏡の対物鏡であ
り、6,7は光学顕微鏡の光路をEPMAの筺体外に導く反射
鏡であり、光学顕微鏡の光軸と、電子レンズ2,3等から
なる電子光学系の光軸とは一致させてある。８は試料移
動台でx,y,z3方向に試料を移動させることができる。試
料移動台で試料の下の部分は開放されていて光源L,偏光
子Ｐ、集光レンズＧ等よりなる偏光照明系９が配置され
て、試料Ｓを下方から偏光で照明できるようになってい
る。光学顕微鏡においてＱは検光子、10はビデオカメラ
で、その出力映像信号はアンプA1,A/D変換器AD1を通し
て画像メモリ11に記憶せしめられる。12は２次電子検出
器で電子ビームｅの照射を受けた試料から放出される２
次電子を吸引検出し、その出力はアンプA2,A/D変換器AD
2を通して画像メモリ13に記憶せしめられる。CRT1は画
像メモリ11の記憶画像を表示し、CRT2は画像メモリ13に
記憶された画像を表示する。CPUは装置全体を制御して
いる制御装置である。14はマウスでCRT1或はCRT2に表示
されているカーソルを移動させて、表示画面上の任意の
点の座標データをCPUに読込ませることができる。
試料Ｓに電子ビームと偏光を照射し、電子ビームで走
査を行い、CRT1、CRT2を作動させると、CRT1上には試料
の偏光顕微鏡像が表示され、CRT2には走査型電子顕微鏡
像が表示される。第２図Ａは走査電子像、同Ｂは偏光顕
微鏡像である。両像の目視観察により、相互対応が明白
である点が幾つも見出される。マウス14を使ってCRT1,C
RT2の画面上で互いに対応する３対の点例えば第２図で
A,B,C,A′,B′,C′を指定すると、CPUはそれらの点の各
画像上での座標を検出して記憶し、両画像間の座標の変
換式を作る。この変換式の作成には画面上の任意の三点
を指定すれば充分である。その後マウス14を操作して、
CRT1の画面上で分析したい点を次々と指定して行くと、
CPUはそれらの点の座標を検出し、走査電子像上の座標
データに変換して登録して行く。その後CPUを自動分析
モードにすると、CPUは登録された座標データに基き
し、試料移動台８を駆動して、指定された分析点を順次
分析して行く。
査を行い、CRT1、CRT2を作動させると、CRT1上には試料
の偏光顕微鏡像が表示され、CRT2には走査型電子顕微鏡
像が表示される。第２図Ａは走査電子像、同Ｂは偏光顕
微鏡像である。両像の目視観察により、相互対応が明白
である点が幾つも見出される。マウス14を使ってCRT1,C
RT2の画面上で互いに対応する３対の点例えば第２図で
A,B,C,A′,B′,C′を指定すると、CPUはそれらの点の各
画像上での座標を検出して記憶し、両画像間の座標の変
換式を作る。この変換式の作成には画面上の任意の三点
を指定すれば充分である。その後マウス14を操作して、
CRT1の画面上で分析したい点を次々と指定して行くと、
CPUはそれらの点の座標を検出し、走査電子像上の座標
データに変換して登録して行く。その後CPUを自動分析
モードにすると、CPUは登録された座標データに基き
し、試料移動台８を駆動して、指定された分析点を順次
分析して行く。
（発明の効果） 走査電子顕微鏡像はきわめて鮮鋭であるが、主として
試料面の形状を表示しているので、微細な不純物等識別
困難な場合があり、Ｘ線分光分析等を行うための分析点
の選定がむつかしかったが、本発明によれば、偏光顕微
鏡によって分析点を指定するので、偏光顕微鏡像は試料
の物質の集合組織を明瞭に表現するから、分析点の選定
が容易的確にでき、予め分析点を指定しておけば、以後
は自動的に分析が行われるので、分析作業が能率的にな
る。
試料面の形状を表示しているので、微細な不純物等識別
困難な場合があり、Ｘ線分光分析等を行うための分析点
の選定がむつかしかったが、本発明によれば、偏光顕微
鏡によって分析点を指定するので、偏光顕微鏡像は試料
の物質の集合組織を明瞭に表現するから、分析点の選定
が容易的確にでき、予め分析点を指定しておけば、以後
は自動的に分析が行われるので、分析作業が能率的にな
る。
第１図は本発明の一実施例装置のブロック図、第２図は
同実施例における表示画面の図である。 １……電子鏡、2,3……電子レンズ、５……対物鏡、８
……試料移動台、Ｓ……試料、９……偏光照明系、10…
…撮像カメラ、11,13……画像メモリ、14……マウス。
同実施例における表示画面の図である。 １……電子鏡、2,3……電子レンズ、５……対物鏡、８
……試料移動台、Ｓ……試料、９……偏光照明系、10…
…撮像カメラ、11,13……画像メモリ、14……マウス。
Claims (1)
- 【請求項１】試料に電子ビームを照射する電子光学系と
同軸的に構成された光学顕微鏡と試料移動台上の試料を
下方から照射する偏光照射手段と、上記光学顕微鏡によ
る試料透過偏光像を撮像し、映像表示する手段と、電子
ビーム照射された試料から放出される２次放射を検出す
る手段と、その検出出力を映像表示する手段と、上記両
映表示手段における表示像で相互対応する３点を指定す
ると、それら３点の各映像手段上の座標データから、透
過偏光像表示段における表示像上の任意の点に対する、
試料上の電子ビーム照射点の座標を算出し、透過偏光像
表示手段に表示された映像上で指定した複数点の座標を
記憶しておき、順次この座標データから上記電子ビーム
照射点の座標を算出して電子ビーム照射点を設定し、電
子ビーム照射による分析データを採取して行く制御装置
とよりなることを特徴とする電子線照射型分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253062A JP2913807B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 電子線照射型分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253062A JP2913807B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 電子線照射型分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04132150A JPH04132150A (ja) | 1992-05-06 |
| JP2913807B2 true JP2913807B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=17245964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2253062A Expired - Lifetime JP2913807B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 電子線照射型分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2913807B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006331852A (ja) * | 2005-05-26 | 2006-12-07 | Jeol Ltd | 表面観察分析装置 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP2253062A patent/JP2913807B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04132150A (ja) | 1992-05-06 |
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