JPH0782827B2 - 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 - Google Patents
荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置Info
- Publication number
- JPH0782827B2 JPH0782827B2 JP60080036A JP8003685A JPH0782827B2 JP H0782827 B2 JPH0782827 B2 JP H0782827B2 JP 60080036 A JP60080036 A JP 60080036A JP 8003685 A JP8003685 A JP 8003685A JP H0782827 B2 JPH0782827 B2 JP H0782827B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- image
- cursor
- magnification
- displayed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、荷電粒子を用いた顕微鏡、特に透過型電子顕
微鏡に好適な試料位置調整装置に関する。
微鏡に好適な試料位置調整装置に関する。
電子顕微鏡を用いて試料を高倍率（例えば10万倍）で観
察する場合、試料の観察しようとする観察対称（観察
物）を含む部分を、高倍率の視野の中に入れることは、
なかなか困難である。そこで、従来は、試料の観察物を
高倍率の視野内に入れるため、オペレータが電子顕微鏡
を一度低倍率（例えば100倍）に戻し、観察物が含まれ
ていそうな部分が、低倍率の視野中心部にくるように試
料微動装置により移動させ、その後、電子顕微鏡を高倍
率にセットして観察を行う。そして、高倍率にした視野
の中に、目的の観察物が含まれていないときには、再び
電子顕微鏡を低倍率にセットし、前記の操作を繰り返え
し、試行錯誤して観察物を高倍率の視野に入れていた。
即ち、従来は、高倍率で試料を観察する場合、観察物を
視野内に入れるために多くの時間と繁雑な操作を必要と
していた。
察する場合、試料の観察しようとする観察対称（観察
物）を含む部分を、高倍率の視野の中に入れることは、
なかなか困難である。そこで、従来は、試料の観察物を
高倍率の視野内に入れるため、オペレータが電子顕微鏡
を一度低倍率（例えば100倍）に戻し、観察物が含まれ
ていそうな部分が、低倍率の視野中心部にくるように試
料微動装置により移動させ、その後、電子顕微鏡を高倍
率にセットして観察を行う。そして、高倍率にした視野
の中に、目的の観察物が含まれていないときには、再び
電子顕微鏡を低倍率にセットし、前記の操作を繰り返え
し、試行錯誤して観察物を高倍率の視野に入れていた。
即ち、従来は、高倍率で試料を観察する場合、観察物を
視野内に入れるために多くの時間と繁雑な操作を必要と
していた。
この問題点を解決するために、走査型電子顕微鏡の場
合、低倍率の画像をCRTデイスプレイに表示し、同時に
高倍率で観察したい部分を走査して低倍率の画像上に重
ねて表示するとともに、他のCRTデイスプレイに高倍率
の画像を表示する方法が開発され（Proceedings of the
Fifth Annual Scanning Electron Microscope Symposi
um SCANNING ELECTRON MICROSCOPY/1972（Part I）にお
けるT.Nagatani、M.Okumura and H.Itoによる“SIMULTA
NEOUS DISPLAY SYSTEM OF DIFFERENT MAGNIFICATION IM
AGES IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY"）、試料の視
野探しが極めて容易に行えるようになつた。
合、低倍率の画像をCRTデイスプレイに表示し、同時に
高倍率で観察したい部分を走査して低倍率の画像上に重
ねて表示するとともに、他のCRTデイスプレイに高倍率
の画像を表示する方法が開発され（Proceedings of the
Fifth Annual Scanning Electron Microscope Symposi
um SCANNING ELECTRON MICROSCOPY/1972（Part I）にお
けるT.Nagatani、M.Okumura and H.Itoによる“SIMULTA
NEOUS DISPLAY SYSTEM OF DIFFERENT MAGNIFICATION IM
AGES IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY"）、試料の視
野探しが極めて容易に行えるようになつた。
ところが、透過型電子顕微鏡は、電子ビームを試料の広
い範囲に一度に照射するようにしており、像の結像原理
が走査型電子顕微鏡とまつたく異つている。このため、
透過型電子顕微鏡には、上記の走査型電子顕微鏡につい
ての技術が適用できず、従来通りの試行錯誤による高倍
率での視野探しを行つている。
い範囲に一度に照射するようにしており、像の結像原理
が走査型電子顕微鏡とまつたく異つている。このため、
透過型電子顕微鏡には、上記の走査型電子顕微鏡につい
ての技術が適用できず、従来通りの試行錯誤による高倍
率での視野探しを行つている。
本発明は、透過型電子顕微鏡においても、目的とする観
察物を高倍率の視野内に、容易に入れることができる荷
重粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置を提供するこ
とを目的とする。
察物を高倍率の視野内に、容易に入れることができる荷
重粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置を提供するこ
とを目的とする。
本発明は、荷重粒子のビームによる螢光板上の低倍率を
試料像を、撮像機を介して第１の画像表示器に表示する
とともに、第１の画像表示器に表示した試料の画像に螢
光板の視野中心を示すカーソルを重ねて表示し、試料を
保持している試料移動装置により試料移動し、試料の高
倍率像を得たい部分を指定すると、カーソル移動制御手
段が第１の画像表示器の画面上でカーソルを指定箇所に
移動させ、同時に第２の画像表示器の画面上に、その指
定箇所の高倍率像を表示するようにしたものである。こ
れによって、観察物の高倍率像を容易にかつ短時間に視
野内に入れることができる。
試料像を、撮像機を介して第１の画像表示器に表示する
とともに、第１の画像表示器に表示した試料の画像に螢
光板の視野中心を示すカーソルを重ねて表示し、試料を
保持している試料移動装置により試料移動し、試料の高
倍率像を得たい部分を指定すると、カーソル移動制御手
段が第１の画像表示器の画面上でカーソルを指定箇所に
移動させ、同時に第２の画像表示器の画面上に、その指
定箇所の高倍率像を表示するようにしたものである。こ
れによって、観察物の高倍率像を容易にかつ短時間に視
野内に入れることができる。
本発明に係る顕微鏡の試料位置調整装置の好ましい実施
例を、添付図面に従つて詳説する。
例を、添付図面に従つて詳説する。
第１図は、本発明に係る顕微鏡の試料位置調整装置の一
実施例を示すブロツク図である。
実施例を示すブロツク図である。
第１図において透過型電子顕微鏡（以下単に電子顕微鏡
と称することがある）10は、試料12の保持部を有する試
料微動機構14が設けられており、試料12の上方に図示し
ない電子線源と、電子線源からの電子ビームを試料12に
平行ビームとして照射する収束レンズとが配置されてい
る。試料12の下方には、結像系のレンズ16、18が配設し
てあり、試料12を透過した電子ビーム20を回動可能な観
察用螢光板22に、または画像取込用螢光板24に結像させ
る。
と称することがある）10は、試料12の保持部を有する試
料微動機構14が設けられており、試料12の上方に図示し
ない電子線源と、電子線源からの電子ビームを試料12に
平行ビームとして照射する収束レンズとが配置されてい
る。試料12の下方には、結像系のレンズ16、18が配設し
てあり、試料12を透過した電子ビーム20を回動可能な観
察用螢光板22に、または画像取込用螢光板24に結像させ
る。
画像取込用螢光板24は、透過型電子顕微鏡10の下端部に
設けられており、この画像取込用螢光板24に対向して、
撮像機であるTVカメラ26が配置してある。TVカメラ26
は、切換スイツチ28の可動接点30に電気的に接続してい
る。切換スイツチ28は、可動接点30が接離する固定接点
32、34を有しており、これらの固定接点32、34が画像表
示器に接続している。即ち、固定接点32は、第１の画像
表示器内の画像メモリ36に接続している。画像メモリ36
は、画像合成器38を介して低倍率画像用の第1CRT40に接
続しており、画像メモリ36が記憶している像が試料像39
として第1CRT40に表示される。一方、固定接点34は、第
２の画像表示器である高倍率画像用の第2CRT42に接続し
ている。
設けられており、この画像取込用螢光板24に対向して、
撮像機であるTVカメラ26が配置してある。TVカメラ26
は、切換スイツチ28の可動接点30に電気的に接続してい
る。切換スイツチ28は、可動接点30が接離する固定接点
32、34を有しており、これらの固定接点32、34が画像表
示器に接続している。即ち、固定接点32は、第１の画像
表示器内の画像メモリ36に接続している。画像メモリ36
は、画像合成器38を介して低倍率画像用の第1CRT40に接
続しており、画像メモリ36が記憶している像が試料像39
として第1CRT40に表示される。一方、固定接点34は、第
２の画像表示器である高倍率画像用の第2CRT42に接続し
ている。
前記した試料微動機構14は、試料微動用駆動軸44に試料
12の駆動量を電気信号に変え、増幅するボリユーム46が
設けてある。ボリユーム46は、A/D変換器48を介してカ
ーソル発生器50に接続してある。カーソル発生器50は、
カーソル発生信号を画像合成器38に与え、第1CRT40に十
字状のカーソル52を表示する。なお、カーソル表示手段
とカーソル移動制御手段はカーソル発生器50内に設けら
れている。
12の駆動量を電気信号に変え、増幅するボリユーム46が
設けてある。ボリユーム46は、A/D変換器48を介してカ
ーソル発生器50に接続してある。カーソル発生器50は、
カーソル発生信号を画像合成器38に与え、第1CRT40に十
字状のカーソル52を表示する。なお、カーソル表示手段
とカーソル移動制御手段はカーソル発生器50内に設けら
れている。
上記の如く構成した実施例の試料位置調整は、次の如く
行う。
行う。
まず、試料12を試料微動機構14の試料保持部に取り付
け、透過型電子顕微鏡10内に試料12を挿入する。そし
て、透過型電子顕微鏡を、例えば100倍程度の低倍率に
セツトし、試料12の像を画像取込用螢光板24に結像させ
る。このとき、観察用螢光板22は、図示しない回動装置
により90度回動させられ、電子ビーム20が画像取込用螢
光板24に到達するのを妨げない。
け、透過型電子顕微鏡10内に試料12を挿入する。そし
て、透過型電子顕微鏡を、例えば100倍程度の低倍率に
セツトし、試料12の像を画像取込用螢光板24に結像させ
る。このとき、観察用螢光板22は、図示しない回動装置
により90度回動させられ、電子ビーム20が画像取込用螢
光板24に到達するのを妨げない。
画像取込用螢光板24に結像した試料12の像は、TVカメラ
26により撮像される。切換スイツチ28は、可動接点30が
固定接点32と接続しており、TVカメラ26が撮像した低倍
率の像が画像メモリ36に入力され、記憶される。この画
像メモリ36が記憶している低倍率の像の信号は、画像合
成器38に入力される。一方、カーソル発生器50は、この
時の視野中心を示すカーソル52のカーソル信号を画像合
成器38に入力する。画像合成器38は、画像メモリ36とカ
ーソル発生器50とからの信号により、試料像39を第1CRT
40に表示するとともに、カーソル52を第1CRTの中心部に
試料像39に重ねて表示する。
26により撮像される。切換スイツチ28は、可動接点30が
固定接点32と接続しており、TVカメラ26が撮像した低倍
率の像が画像メモリ36に入力され、記憶される。この画
像メモリ36が記憶している低倍率の像の信号は、画像合
成器38に入力される。一方、カーソル発生器50は、この
時の視野中心を示すカーソル52のカーソル信号を画像合
成器38に入力する。画像合成器38は、画像メモリ36とカ
ーソル発生器50とからの信号により、試料像39を第1CRT
40に表示するとともに、カーソル52を第1CRTの中心部に
試料像39に重ねて表示する。
次に、試料像39の一部分を高倍率で観察したい場合に
は、試料微動機構14により試料12の高倍率で観察したい
部分を視野の中心部に移動させる。即ち、試料微動機構
14を操作すると、試料微動用駆動軸44に設けてあるボリ
ユーム46が、試料の移動方向と移動量とを電気信号に変
換し、増幅してA/D変換器48に送る。A/D変換器48は、ボ
リユーム46からのアナログ信号をデイジタル信号に変換
し、カーソル発生器50に入力する。カーソル発生器50
は、入力されたデイジタル信号に基づき、第1CRT40に表
示してあるカーソルを、試料12の移動量に対応させて移
動させる。一方、第1CRT40に表示してある試料像39は、
画像メモリ36に記憶してある像であるため、試料微動機
構44を操作して試料12を移動させても、静止している。
このため、試料12を移動させると、第1CRT40の合成画像
は、カーソル52のみが移動し、視野中心が現在試料12の
どの位置にあるかを合成画像から知ることができる。そ
して、試料の高倍率観察をしたい部分にカーソル52を移
動させ、透過型電子顕微鏡10を高倍率にセツトする。電
子顕微鏡10が高倍率にセツトされると、切換スイツチ28
の可動接点30が固定接点34側に接続され、TVカメラ26が
撮像した高倍率の像が第2CRT42に表示される。また、第
1CRT40には、低倍率の試料像39とカーソル52とが、その
まま表示される。そして、試料12を観察用螢光板22によ
り観察したい場合には、観察用螢光板22を元の状態に戻
す。
は、試料微動機構14により試料12の高倍率で観察したい
部分を視野の中心部に移動させる。即ち、試料微動機構
14を操作すると、試料微動用駆動軸44に設けてあるボリ
ユーム46が、試料の移動方向と移動量とを電気信号に変
換し、増幅してA/D変換器48に送る。A/D変換器48は、ボ
リユーム46からのアナログ信号をデイジタル信号に変換
し、カーソル発生器50に入力する。カーソル発生器50
は、入力されたデイジタル信号に基づき、第1CRT40に表
示してあるカーソルを、試料12の移動量に対応させて移
動させる。一方、第1CRT40に表示してある試料像39は、
画像メモリ36に記憶してある像であるため、試料微動機
構44を操作して試料12を移動させても、静止している。
このため、試料12を移動させると、第1CRT40の合成画像
は、カーソル52のみが移動し、視野中心が現在試料12の
どの位置にあるかを合成画像から知ることができる。そ
して、試料の高倍率観察をしたい部分にカーソル52を移
動させ、透過型電子顕微鏡10を高倍率にセツトする。電
子顕微鏡10が高倍率にセツトされると、切換スイツチ28
の可動接点30が固定接点34側に接続され、TVカメラ26が
撮像した高倍率の像が第2CRT42に表示される。また、第
1CRT40には、低倍率の試料像39とカーソル52とが、その
まま表示される。そして、試料12を観察用螢光板22によ
り観察したい場合には、観察用螢光板22を元の状態に戻
す。
なお、第2CRT42に表示された高倍率の試料像に目的とす
る観察物が入つていない場合、または試料12の他の個所
を観察したい場合には、第2CRT42に高倍率の試料像を表
示したまま試料微動機構14を操作し、第1CRT40に表示さ
れているカーソル52を任意の位置に移動させ、目的の個
所を高倍率の視野に入れる。
る観察物が入つていない場合、または試料12の他の個所
を観察したい場合には、第2CRT42に高倍率の試料像を表
示したまま試料微動機構14を操作し、第1CRT40に表示さ
れているカーソル52を任意の位置に移動させ、目的の個
所を高倍率の視野に入れる。
このように、本実施例は、低倍率の試料像と高倍率の試
料像とを同時に表示し、高倍率の試料像が試料のどの部
分に該当するかを、低倍率の試料像上のカーソルの位置
により知ることができ、目的の観察物を容易に高倍率の
視野内に入れることができる。また、試料交換を行つた
場合でも、前回高倍率で観察した部分を容易に得ること
ができる。さらに、低倍率像と高倍率像とが同時に表示
されているため、高倍率の解釈が容易となり、透過型電
子顕微鏡における試料観察の能率を飛躍的に向上させる
ことができる。
料像とを同時に表示し、高倍率の試料像が試料のどの部
分に該当するかを、低倍率の試料像上のカーソルの位置
により知ることができ、目的の観察物を容易に高倍率の
視野内に入れることができる。また、試料交換を行つた
場合でも、前回高倍率で観察した部分を容易に得ること
ができる。さらに、低倍率像と高倍率像とが同時に表示
されているため、高倍率の解釈が容易となり、透過型電
子顕微鏡における試料観察の能率を飛躍的に向上させる
ことができる。
第２図は、本発明に係る顕微鏡の試料位置調整装置の他
の実施例を示したものである。
の実施例を示したものである。
本実施例は、顕微鏡10の試料微動装置54が、試料微動機
構14と、この試料微動機構14に設けたパルスモータ56、
このパルスモータ56を制御する信号制御器58とからなつ
ている。信号制御器58は、マイクロコンピユータからな
つており、ジヨイステツク60を有するカーソル発生器50
に接続してある。また、カーソル発生器50は、第1CRT40
に箱型のカーソル52を表示する。
構14と、この試料微動機構14に設けたパルスモータ56、
このパルスモータ56を制御する信号制御器58とからなつ
ている。信号制御器58は、マイクロコンピユータからな
つており、ジヨイステツク60を有するカーソル発生器50
に接続してある。また、カーソル発生器50は、第1CRT40
に箱型のカーソル52を表示する。
上記の如く構成した第２図の実施例は、第１図の実施例
と同様に、TVカメラ26がが撮像した低倍率の像が画像メ
モリ36に記憶され、第1CRT40に試料像39として表示され
る。また、箱型のカーソル52は、第1CRT40の中央部に表
示され、この位置信号が信号制御器58に始点座標として
入力される。そして、観察者が試料12のある部分を高倍
率で観察したい場合には、ジヨイステツク60を操作し
て、カーソル52を試料像39の目的の位置に移動させる。
カーソル52の移動量は、カーソル発生器50から信号制御
器58に入力される。信号制御器58は、カーソル52の移動
量を実際の試料面における移動量に換算し、パルスモー
タ56を駆動して換算して求めた移動量だけ試料12を移動
させる。その後、顕微鏡10を高倍率にセツトすると、前
記の実施例と同様にカーソル52の枠内部が拡大され、第
2CRT42に表示される。
と同様に、TVカメラ26がが撮像した低倍率の像が画像メ
モリ36に記憶され、第1CRT40に試料像39として表示され
る。また、箱型のカーソル52は、第1CRT40の中央部に表
示され、この位置信号が信号制御器58に始点座標として
入力される。そして、観察者が試料12のある部分を高倍
率で観察したい場合には、ジヨイステツク60を操作し
て、カーソル52を試料像39の目的の位置に移動させる。
カーソル52の移動量は、カーソル発生器50から信号制御
器58に入力される。信号制御器58は、カーソル52の移動
量を実際の試料面における移動量に換算し、パルスモー
タ56を駆動して換算して求めた移動量だけ試料12を移動
させる。その後、顕微鏡10を高倍率にセツトすると、前
記の実施例と同様にカーソル52の枠内部が拡大され、第
2CRT42に表示される。
前記実施例においては、透過型電子顕微鏡について説明
したが、走査型電子顕微鏡やイオンマイクロアナライザ
（イオン顕微鏡）にも適用することができる。
したが、走査型電子顕微鏡やイオンマイクロアナライザ
（イオン顕微鏡）にも適用することができる。
以上説明したように、本発明によれば、試料移動装置に
よって試料を移動させると、その試料移動量に応じて第
１の画像表示器の画面上でカーソル位置が移動するの
で、観察物を拡大表示する場合には、画面上でカーソル
をどの方向にどれだけ移動させたら良いかを視覚的にと
らえることができ、拡大表示の作業を容易に且つ短時間
で行うことができる。
よって試料を移動させると、その試料移動量に応じて第
１の画像表示器の画面上でカーソル位置が移動するの
で、観察物を拡大表示する場合には、画面上でカーソル
をどの方向にどれだけ移動させたら良いかを視覚的にと
らえることができ、拡大表示の作業を容易に且つ短時間
で行うことができる。
第１図は本発明に係る試料位置調整装置の一実施例を示
すブロツク図、第２図は他の実施例を示すブロツク図で
ある。 10……透過型電子顕鏡、12……試料、 14……試料微動機構、22……観察用螢光板、 24……画像取込用螢光板、26……TVカメラ、 36……画像メモリ、39……試料像、 40……第1CRT、42……第2CRT、 50……カーソル発生器、52……カーソル、 54……試料微動装置、58……信号制御器。
すブロツク図、第２図は他の実施例を示すブロツク図で
ある。 10……透過型電子顕鏡、12……試料、 14……試料微動機構、22……観察用螢光板、 24……画像取込用螢光板、26……TVカメラ、 36……画像メモリ、39……試料像、 40……第1CRT、42……第2CRT、 50……カーソル発生器、52……カーソル、 54……試料微動装置、58……信号制御器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−32258（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−130054（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−201352（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−29333（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】試料を照射した荷電粒子のビームが結像す
る蛍光板と、この蛍光板に結像した画像を撮像する撮像
機と、この撮像機が撮像した画像を表示する第１の画像
表示器と、この第１の画像表示器に表示された画像中に
カーソルを重ねて表示するカーソル表示手段と、前記試
料を移動させる試料移動手段と、この試料移動手段で試
料を移動したとき、その試料移動量に応じて前記カーソ
ル位置を前記第１の画像表示器の画面上で移動させるカ
ーソル移動制御手段と、この移動したカーソル位置に対
応する部分の、前記蛍光板に結像した拡大画像を表示す
る第２の画像表示器と、を有することを特徴とする荷重
粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置。 - 【請求項２】前記第１の画像表示器は、前記撮像機が撮
像した画像を記憶する画像記憶部と、この画像記憶部が
記憶している画像を表示する表示管とを有していること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の荷重粒子を
用いた顕微鏡の試料位置調整装置。 - 【請求項３】前記カーソル移動制御手段は、前記第１の
画像表示器の画面上で前記カーソルを移動させるジョイ
ステックを備えており、前記試料移動装置は、前記第１
の画像表示器の画面に表示された前記カーソル位置に対
応する試料の位置を、前記蛍光板の視野中心部に移動さ
せる制御部を有することを特徴とする特許請求の範囲第
１項に記載の荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60080036A JPH0782827B2 (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60080036A JPH0782827B2 (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61239553A JPS61239553A (ja) | 1986-10-24 |
| JPH0782827B2 true JPH0782827B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=13707026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60080036A Expired - Lifetime JPH0782827B2 (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0782827B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2818981B2 (ja) * | 1991-04-26 | 1998-10-30 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡 |
| JP3970656B2 (ja) * | 2002-03-27 | 2007-09-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 透過電子顕微鏡による試料観察方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7609574A (nl) * | 1975-09-03 | 1977-03-07 | Siemens Ag | Werkwijze voor de beeldweergave van de uit- gangsinformaties van een toestel dat een objekt aftast. |
| JPS59130054A (ja) * | 1983-01-17 | 1984-07-26 | Jeol Ltd | 透過結像型電子顕微鏡におけるズ−ムウオブラ |
| JPS59201352A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-14 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡における観察視野の記録及び表示装置 |
-
1985
- 1985-04-15 JP JP60080036A patent/JPH0782827B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61239553A (ja) | 1986-10-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06105605B2 (ja) | 電子顕微鏡の像観察装置 | |
| US7041977B2 (en) | Electron microscope | |
| JPH103875A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| EP1061551B1 (en) | Scanning charged-particle beam instrument and method of observing specimen image therewith | |
| JPH0782827B2 (ja) | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 | |
| JP2000162504A (ja) | 拡大観察装置 | |
| Downing et al. | Overview of computer-aided electron microscopy | |
| JP3987636B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH06109979A (ja) | マイクロマニピュレータシステム | |
| JP2787299B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JPS61243648A (ja) | 透過形電子顕微鏡の分析点制御装置 | |
| JPH01109650A (ja) | ２次荷電粒子像の高速表示 | |
| JP2001006588A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP2775812B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JP2838799B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JPH0460298B2 (ja) | ||
| JP3470726B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JPS59201354A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| JPH01151146A (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| JPH0992196A (ja) | 走査イオン顕微鏡 | |
| JPH0935673A (ja) | 集束イオンビーム装置 | |
| JPH0425803Y2 (ja) | ||
| JPH10302704A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
| JPS62257115A (ja) | マイクロマニピユレ−タのオ−トフオ−カス装置 | |
| JPS58169763A (ja) | 定移動ズ−ム装置 |