JPS61239553A - 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 - Google Patents
荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置Info
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- JPS61239553A JPS61239553A JP8003685A JP8003685A JPS61239553A JP S61239553 A JPS61239553 A JP S61239553A JP 8003685 A JP8003685 A JP 8003685A JP 8003685 A JP8003685 A JP 8003685A JP S61239553 A JPS61239553 A JP S61239553A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ｉ ・
本発明は、荷電粒子を用いた顕微鏡、特に透過 −
。
。
ｍｓ＋’ｇ＊ｍｖｃｔｓ＊ｉｙ“＋ｇｚｔｐａｕ１ｉｃ
ｒａ−ｔ、ａ・ １１、〔発明の背景〕
１．１・ 電子顕微鏡を用いて試料を高倍率（例えば１． （＞
、 ’ｉテ１゜ 万倍）で観察する場合、試料の観察１−ようとすふ
ゞ：゛・ １゛・・ 観察対称（観察物）を含む部分を、高倍率の視野、
）の中に入れることは、なかなか困難である。そこで
、従来は、試料の観察物を高倍率の視野内に入れるため
、オペレータが電子顕微鏡を゛−一度倍率（例えば１０
０倍）に戻し、観察物が含まれていそうな部分が、低倍
率の視野中心部にくるように試料微動装置により移動さ
せ、その後、電子顕微鏡を高倍率にセットして観察を行
う。そして、高倍率にした視野の中に、目的の観察物が
含まれていないときには、再び電子顕微鏡を低倍率にセ
ットし、前記の操作を繰り返えし、試行錯誤して観察物
を高倍率の視野に入れていた。即ち、従来は、高倍率で
試料を観察する場合、゛観察物を視野内に入れるために
多くの時間と繁雑な操作を必要としていた。
ｒａ−ｔ、ａ・ １１、〔発明の背景〕
１．１・ 電子顕微鏡を用いて試料を高倍率（例えば１． （＞
、 ’ｉテ１゜ 万倍）で観察する場合、試料の観察１−ようとすふ
ゞ：゛・ １゛・・ 観察対称（観察物）を含む部分を、高倍率の視野、
）の中に入れることは、なかなか困難である。そこで
、従来は、試料の観察物を高倍率の視野内に入れるため
、オペレータが電子顕微鏡を゛−一度倍率（例えば１０
０倍）に戻し、観察物が含まれていそうな部分が、低倍
率の視野中心部にくるように試料微動装置により移動さ
せ、その後、電子顕微鏡を高倍率にセットして観察を行
う。そして、高倍率にした視野の中に、目的の観察物が
含まれていないときには、再び電子顕微鏡を低倍率にセ
ットし、前記の操作を繰り返えし、試行錯誤して観察物
を高倍率の視野に入れていた。即ち、従来は、高倍率で
試料を観察する場合、゛観察物を視野内に入れるために
多くの時間と繁雑な操作を必要としていた。
この問題点を解決するために、走査型電子顕微鏡の場合
、低倍率の画像をＣＥｌ、 Ｔディスプレイに表示し、
同時に高倍率で観察したい部分を走査し； て低倍
率の画像上に重ねて表示するとともに、他のＣＲＴディ
スプレイに高倍率の画像を表示する方法が開発され（ｐ
ｒｏｃｅｅａｔｎｇｓ ｏｆ ｔｈｅ Ｆ土ｆｔｈＡｎ
ｎｕａｌ ８ｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ
Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ ＳｙｍｐｏｓｉｕｍＳＣＡ
ＮＮＩＮＧ ＥＬＥＣＴＲＯＮ ＭＩＣＲＯ８ＣＯ
ＰＹ／１９７２（Ｐａ’ｒｔ Ｉ ”） におけるＴ
、 Ｎａｇａｔａｎｉ、Ｍ 、 Ｏｋｕｍｕｒａａｎｄ
Ｈ，Ｉ ｔｏによる“ＳＩＭＵＬＴＡＮＥＯＵ８ ＤＩ
ＳＰＬＡＹＳＹＳＴＥＭ ＯＦ ＤＩＦＦＥＲＥＮ
Ｔ’ ＭＡＧＮＩＦＩＣＡＴＩＯＮＩＭＡＩ）ＥＳ
１：Ｎ ＳＣ’ＡＮＮＩＮＣ） ＥＬＢＣＴＲＯ
ＮＭＩＣＲＯ６ＣＯＰＹ ” ）、 試料の視野探しか
゛極めて容易に行えるようになった。
、低倍率の画像をＣＥｌ、 Ｔディスプレイに表示し、
同時に高倍率で観察したい部分を走査し； て低倍
率の画像上に重ねて表示するとともに、他のＣＲＴディ
スプレイに高倍率の画像を表示する方法が開発され（ｐ
ｒｏｃｅｅａｔｎｇｓ ｏｆ ｔｈｅ Ｆ土ｆｔｈＡｎ
ｎｕａｌ ８ｃａｎｎｉｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ
Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ ＳｙｍｐｏｓｉｕｍＳＣＡ
ＮＮＩＮＧ ＥＬＥＣＴＲＯＮ ＭＩＣＲＯ８ＣＯ
ＰＹ／１９７２（Ｐａ’ｒｔ Ｉ ”） におけるＴ
、 Ｎａｇａｔａｎｉ、Ｍ 、 Ｏｋｕｍｕｒａａｎｄ
Ｈ，Ｉ ｔｏによる“ＳＩＭＵＬＴＡＮＥＯＵ８ ＤＩ
ＳＰＬＡＹＳＹＳＴＥＭ ＯＦ ＤＩＦＦＥＲＥＮ
Ｔ’ ＭＡＧＮＩＦＩＣＡＴＩＯＮＩＭＡＩ）ＥＳ
１：Ｎ ＳＣ’ＡＮＮＩＮＣ） ＥＬＢＣＴＲＯ
ＮＭＩＣＲＯ６ＣＯＰＹ ” ）、 試料の視野探しか
゛極めて容易に行えるようになった。
ところが、透過型電子顕微鏡は、電子ビームを試料の広
い範囲に一度に照射するようにしておね、像の結像原理
が走査型電子顕微鏡とまったく異っている。このため、
透過型電子顕微鏡には、上記の走査型電子顕微鏡につい
ての技術が適用できず、従来通りの試行錯誤による高倍
率での視野探しを行っている。
い範囲に一度に照射するようにしておね、像の結像原理
が走査型電子顕微鏡とまったく異っている。このため、
透過型電子顕微鏡には、上記の走査型電子顕微鏡につい
ての技術が適用できず、従来通りの試行錯誤による高倍
率での視野探しを行っている。
本発明は、透過型電子顕微鏡においても、目的とする観
察物を高倍率の視野内に、容易に入れることができる荷
電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置を提供するこ
とを目的とする。
察物を高倍率の視野内に、容易に入れることができる荷
電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置を提供するこ
とを目的とする。
本発明は、荷電粒子のビームによる螢光板上の低倍率の
試料像を、撮像機を介して第１の画像光１ 示器に
表示するとともに、第１の画像表示器に表示した試料の
画像に螢光板の視野中心を示すカーソルを重ねて表示し
、試料を保持している試料移動装置により試料を移動し
、試料の高倍率像を得たい部位をカーソルの位置と一致
させ高倍率の像を第２の画像表示器に表示し、目的の観
察物を容易に高倍率の視野内に入れることができるよう
に構成したものである。
試料像を、撮像機を介して第１の画像光１ 示器に
表示するとともに、第１の画像表示器に表示した試料の
画像に螢光板の視野中心を示すカーソルを重ねて表示し
、試料を保持している試料移動装置により試料を移動し
、試料の高倍率像を得たい部位をカーソルの位置と一致
させ高倍率の像を第２の画像表示器に表示し、目的の観
察物を容易に高倍率の視野内に入れることができるよう
に構成したものである。
５、 本発明に係る顕微鏡の試料位置調整装置の好
ましい実施例を、添付図面に従って詳説する。
ましい実施例を、添付図面に従って詳説する。
、” 第１図は１本発明に係る顕微鏡の試料位置
調整１′ や、。−カ３カ、ヤオオ７．。ッ□アあ
、。
調整１′ や、。−カ３カ、ヤオオ７．。ッ□アあ
、。
′ 第１図において透過型電子顕鏡（以下単一に
電子顕微鏡と称することがある）１０は、試料１２の保
持部を有する試料微動機構１４が設けられており、試料
１２の上方に図示しない電子線源と、電子線源からの電
子ビームを試料１２に平行ビームとして照射する収束レ
ンズとが配置されている。
電子顕微鏡と称することがある）１０は、試料１２の保
持部を有する試料微動機構１４が設けられており、試料
１２の上方に図示しない電子線源と、電子線源からの電
子ビームを試料１２に平行ビームとして照射する収束レ
ンズとが配置されている。
試料１２の下方には、結像系のレンズ１６．１８が配設
してあり、試料１２を透過した電子ビーム２０を回動可
能な観察用螢光板２２に、または画像取込用螢光板２４
に結像させる。
してあり、試料１２を透過した電子ビーム２０を回動可
能な観察用螢光板２２に、または画像取込用螢光板２４
に結像させる。
画像取込用螢光板２４は、透過型電子顕微鏡１゜の下端
部に設けられており、この画像取込用螢光板２４に対向
して、撮像機であるＴＶカメラ２６が配置しである。Ｔ
Ｖカメラ２６は、切換スイッチ２８の可動接点３０に電
気的に接続している。
部に設けられており、この画像取込用螢光板２４に対向
して、撮像機であるＴＶカメラ２６が配置しである。Ｔ
Ｖカメラ２６は、切換スイッチ２８の可動接点３０に電
気的に接続している。
切換スイッチ２８は、可動接点３０が接離する固定接点
３２．３４を有しており、これらの固定接点３２，３４
が画像表示器に接続している。即ち、 ゛固定接
点３２は、第１の画像表示器内の画像メモ “□ す３６に接続している。画像メモリ３６は、画像
□合成器３８を介して低倍率画像用の第１ＣＲＴ４０
に接続しており、画像メモリ３６が記憶している像が試
料像３９として第１ＣＲ’Ｉ’４０に表示される。一方
、固定接点３４は、第２の画像表示器である高倍率画像
用の第２ ＣＲ，Ｔ ４２に接続している。
３２．３４を有しており、これらの固定接点３２，３４
が画像表示器に接続している。即ち、 ゛固定接
点３２は、第１の画像表示器内の画像メモ “□ す３６に接続している。画像メモリ３６は、画像
□合成器３８を介して低倍率画像用の第１ＣＲＴ４０
に接続しており、画像メモリ３６が記憶している像が試
料像３９として第１ＣＲ’Ｉ’４０に表示される。一方
、固定接点３４は、第２の画像表示器である高倍率画像
用の第２ ＣＲ，Ｔ ４２に接続している。
前記した試料微動機構１４は、試料微動用駆動軸４４に
試料１２の駆動量を電気信号に変え、増幅するボリュー
ム４６が設けである。ボリューム４６は、Ａ／Ｄ変換器
４Ｂを介してカーソル発生器５０に接続しである。カー
ソル発生器５０は、カーソル発生信号を画像合成器３８
に与え、第１ＣＲＴ４０に十字状のカーソル５２を表示
する。
試料１２の駆動量を電気信号に変え、増幅するボリュー
ム４６が設けである。ボリューム４６は、Ａ／Ｄ変換器
４Ｂを介してカーソル発生器５０に接続しである。カー
ソル発生器５０は、カーソル発生信号を画像合成器３８
に与え、第１ＣＲＴ４０に十字状のカーソル５２を表示
する。
上記の如く構成した実施例の試料位置調整は、次の如く
行う。
行う。
まず、試料１２を試料微動機構１４の試料保持部に取り
付け、透過型電子顕微鏡１０内に試料１２を挿入する。
付け、透過型電子顕微鏡１０内に試料１２を挿入する。
そして、透過型電子顕微鏡を、例えば１００倍程鹿の低
倍率にセットし、試料１２の像を画像取込用螢光板２４
に結像させる。このとき、観察用螢光板２２は、図示し
ない回動装置に； より９０度回動させられ、電子
ビーム２０が画像取込用螢光板２４に到達するのを妨げ
ない。
倍率にセットし、試料１２の像を画像取込用螢光板２４
に結像させる。このとき、観察用螢光板２２は、図示し
ない回動装置に； より９０度回動させられ、電子
ビーム２０が画像取込用螢光板２４に到達するのを妨げ
ない。
画像取込用螢光板２４に結像した試料１２の像は、ＴＶ
カメラ２６により撮像される。切換スイッチ２８は、可
動接点３０が固定接点３２と接続 ゛しており、Ｔ
Ｖカメラ２６が撮像した低倍率の像が画像メモリ３６に
入力され、記憶される。この画像メモリ３６が記憶して
いる低倍率の像・の信号は、画像合成器３８に入力され
る。一方、カーソル発生器５０は、この時の視野中心を
示すカーソル５２のカーソル信号を画像合成器３８に入
力する。画像合成器３８は、画像メモリ３６とカーソ第
１ＣＲＴの中心部に試料像３９に重ねて表示する０ 次に、試料像３９の一部分を高倍率で観察したい場合に
は、試料微動機構１４により試料１２の高倍率で観察し
たい部分を視野の中心部に移動させる。即ち、試料微動
機構１４を操作すると、試 □料微動用駆動軸４４
に設けであるボリューム４６ ：が・試料０移動方
向と移動量とを電１号に弯換 冒し・増幅してＡ
／ Ｄ変換器４８に送る・Ａ／Ｄ変 １゜換器４８
は、ボリューム４６がらのアナログ信号をディジタル信
号に変換し、カーソル発生器５゜に入力する。カーソル
発生器５ｏは、入力されたディジタル信号に基づき、第
１ＣＲＴ４０に表示しであるカーソルを、試料１２の移
動量に対応させて移動させる。一方、第１ＣＲＴ４０に
表示しである試料像３９は、画像メモリ３６に記憶しで
ある像でおるため、試料微動機構４４を操作して試料１
２を移動させても、静止している。このため、試料１２
を移動させると、第１ＣＲＴ４０の合成画像は、カーソ
ル５２のみが移動し、視野中心が現在試料１２のどの位
置にあるかを合成画像から知ることができる。そして、
試料の高倍率観察をしたい部分にカーソル５２を移動さ
せ、透過型電子顕微鏡１０を高倍率にセットする。電子
顕微鏡１０が高倍率にセットされると、切換スイッチ２
８の可動接点３０が固定接点３４側に接続され、ＴＶカ
メラ２６が撮像した高倍率の像が第２ＣＲＴ４２に表示
される。また、第１ＣＲＴ４０には、低倍率の試料像３
９とカーノλ５２とが、そのまま表示される。そして、
試料１２を観察用螢光板２２により観察したい場合には
、観察用螢光板２２を元の状態に戻す。
カメラ２６により撮像される。切換スイッチ２８は、可
動接点３０が固定接点３２と接続 ゛しており、Ｔ
Ｖカメラ２６が撮像した低倍率の像が画像メモリ３６に
入力され、記憶される。この画像メモリ３６が記憶して
いる低倍率の像・の信号は、画像合成器３８に入力され
る。一方、カーソル発生器５０は、この時の視野中心を
示すカーソル５２のカーソル信号を画像合成器３８に入
力する。画像合成器３８は、画像メモリ３６とカーソ第
１ＣＲＴの中心部に試料像３９に重ねて表示する０ 次に、試料像３９の一部分を高倍率で観察したい場合に
は、試料微動機構１４により試料１２の高倍率で観察し
たい部分を視野の中心部に移動させる。即ち、試料微動
機構１４を操作すると、試 □料微動用駆動軸４４
に設けであるボリューム４６ ：が・試料０移動方
向と移動量とを電１号に弯換 冒し・増幅してＡ
／ Ｄ変換器４８に送る・Ａ／Ｄ変 １゜換器４８
は、ボリューム４６がらのアナログ信号をディジタル信
号に変換し、カーソル発生器５゜に入力する。カーソル
発生器５ｏは、入力されたディジタル信号に基づき、第
１ＣＲＴ４０に表示しであるカーソルを、試料１２の移
動量に対応させて移動させる。一方、第１ＣＲＴ４０に
表示しである試料像３９は、画像メモリ３６に記憶しで
ある像でおるため、試料微動機構４４を操作して試料１
２を移動させても、静止している。このため、試料１２
を移動させると、第１ＣＲＴ４０の合成画像は、カーソ
ル５２のみが移動し、視野中心が現在試料１２のどの位
置にあるかを合成画像から知ることができる。そして、
試料の高倍率観察をしたい部分にカーソル５２を移動さ
せ、透過型電子顕微鏡１０を高倍率にセットする。電子
顕微鏡１０が高倍率にセットされると、切換スイッチ２
８の可動接点３０が固定接点３４側に接続され、ＴＶカ
メラ２６が撮像した高倍率の像が第２ＣＲＴ４２に表示
される。また、第１ＣＲＴ４０には、低倍率の試料像３
９とカーノλ５２とが、そのまま表示される。そして、
試料１２を観察用螢光板２２により観察したい場合には
、観察用螢光板２２を元の状態に戻す。
なお、第２ ＣＲＴ ４２に表示された高倍率の試料像
に目的とする観察物が入っていない場合、ま ′た
は試料１２の他の個所を観察したい場合には、 □
第２ＣＲＴ４２に高倍率の試料像を表示したまま
”試料微動機構１４を操作し、第１ ＣＲＴ ４０１’
１．表示 ゛されているカーソル５２を任意の位置
に移動させ、目的の個所を高倍率の視野に入れる。
に目的とする観察物が入っていない場合、ま ′た
は試料１２の他の個所を観察したい場合には、 □
第２ＣＲＴ４２に高倍率の試料像を表示したまま
”試料微動機構１４を操作し、第１ ＣＲＴ ４０１’
１．表示 ゛されているカーソル５２を任意の位置
に移動させ、目的の個所を高倍率の視野に入れる。
このように、本実施例は、低倍率の試料像と高倍率の試
料像とを同時に表示し、高倍率の試料像が試料のどの部
分に該当するかを、低倍率の試料像上のカーソルの位置
により知ることができ、目的の観察物を容易に高倍率の
視野内に入れることができる。また、試料交換を行った
場合でも、前回高倍率で観察した部分を容易に得ること
ができ ・る。さらに、低倍率像と高倍率像とが同
時に表示 。
料像とを同時に表示し、高倍率の試料像が試料のどの部
分に該当するかを、低倍率の試料像上のカーソルの位置
により知ることができ、目的の観察物を容易に高倍率の
視野内に入れることができる。また、試料交換を行った
場合でも、前回高倍率で観察した部分を容易に得ること
ができ ・る。さらに、低倍率像と高倍率像とが同
時に表示 。
されているため、高倍率像の解釈が容易となり、
□透過型電子顕微鏡における試料観察の能率を飛躍的に
向上させることができる。
□透過型電子顕微鏡における試料観察の能率を飛躍的に
向上させることができる。
第２図は、本発明に係る顕微鏡の試料位置調整装置の他
の実施例を示したものである。
の実施例を示したものである。
本実施例は、顕微鏡１０の試料微動装置５４が、試料機
゛動機構１４と、この試料微動機構１４に設けたパルス
モータ５６、このパルスモータ５６を制御する信号制御
器５８とからなっている。信号制御器５８は、マイクロ
コンピュータからなっており、ジョイステック６０を有
するカーソル発生器５０に接続しである。！！た、カー
ソル発生器５０は、第１ＣＲＴ４０に箱型のカーソル５
２を表示する。
゛動機構１４と、この試料微動機構１４に設けたパルス
モータ５６、このパルスモータ５６を制御する信号制御
器５８とからなっている。信号制御器５８は、マイクロ
コンピュータからなっており、ジョイステック６０を有
するカーソル発生器５０に接続しである。！！た、カー
ソル発生器５０は、第１ＣＲＴ４０に箱型のカーソル５
２を表示する。
上記の如く構成した第２図の実施例は、第１図の実施例
と同様に、ＴＶカメラ２６が撮像した低倍率の像が画像
メモリ３６に記憶され、第１ＣＲＴ４０に試料像３９と
して表示される。また、箱型のカーソル５２は、第１Ｃ
ＲＴ４０の中央部に表示され、この位置信号が信号制御
器５８に始点座標として入力される。そして、観察者が
試料１２のある部分を高倍率で観察したい場合には、ジ
ョイステック６０を操作して、カーソル５２を試料像３
９０目的の位ｆｔに移動させる。カーソル５２の移動量
は、カーソル発生器５０から信号制御器５８に入力され
る。信号制御器５８は、カーソル５２の移動量を実際の
試料面における移動量に換算し、パルスモータ５６を駆
動して換算して求めた移動量だけ試料１２を移動させる
。その後、顕微鏡１０を高倍率にセットすると、前記の
実施例前記実施例においては、透過型電子顕微鏡につい
て説明したが、走査型電子顕微鏡やイオンマイクロアナ
ライザ（イオン顕微鏡）にも適用することができる。
と同様に、ＴＶカメラ２６が撮像した低倍率の像が画像
メモリ３６に記憶され、第１ＣＲＴ４０に試料像３９と
して表示される。また、箱型のカーソル５２は、第１Ｃ
ＲＴ４０の中央部に表示され、この位置信号が信号制御
器５８に始点座標として入力される。そして、観察者が
試料１２のある部分を高倍率で観察したい場合には、ジ
ョイステック６０を操作して、カーソル５２を試料像３
９０目的の位ｆｔに移動させる。カーソル５２の移動量
は、カーソル発生器５０から信号制御器５８に入力され
る。信号制御器５８は、カーソル５２の移動量を実際の
試料面における移動量に換算し、パルスモータ５６を駆
動して換算して求めた移動量だけ試料１２を移動させる
。その後、顕微鏡１０を高倍率にセットすると、前記の
実施例前記実施例においては、透過型電子顕微鏡につい
て説明したが、走査型電子顕微鏡やイオンマイクロアナ
ライザ（イオン顕微鏡）にも適用することができる。
以上に説明した如く、本発明によれば、試料の目的とす
る観察物を含む部分を、容易に高倍率の視野内に入れる
ことができる。
る観察物を含む部分を、容易に高倍率の視野内に入れる
ことができる。
第１図は本発明に係る試料位置調整装置の一実施例を示
すブロック図、第２図は他の実施例を示すブロック図で
ある。 １０・・・透過型電子顕鏡、１２・・・試料、３６・・
・画像メモリ、 ３９・・・試料像、４０・・・第
１ＣＲＴ、 ４２・・・第２ Ｃ’ Ｒ’ｒ。 ５０・・・カーソル発生器、５２・・・カーソル、５４
・・・試料微動装置、 ５８・・・信号制御器。 代理人 鵜 沼 辰 之 手続補正書（獄） 昭和６０年８月−１７日 昭和６０年特許願第８００３６号 ２、発明の名称 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 名称 （５１，０）株式会社日立製作所４、代理人 住所 東京都新宿区西新宿−丁目２５番１号（〒１６０
新宿センタービル内私書箱第４０１１号）鵜沼特許事務
所 ６、補正の対象 委任状および明細書の発明の詳細な説明の欄。 ７、補正の内容 （１）委任状を別紙のとおり提出する。 （２）明細書第２頁第１４行の「〔発明の詳細な説明〕
」を次のとおり改める。 「３、発明の詳細な説明 〔発明の利用分野〕ｊ 以」二
すブロック図、第２図は他の実施例を示すブロック図で
ある。 １０・・・透過型電子顕鏡、１２・・・試料、３６・・
・画像メモリ、 ３９・・・試料像、４０・・・第
１ＣＲＴ、 ４２・・・第２ Ｃ’ Ｒ’ｒ。 ５０・・・カーソル発生器、５２・・・カーソル、５４
・・・試料微動装置、 ５８・・・信号制御器。 代理人 鵜 沼 辰 之 手続補正書（獄） 昭和６０年８月−１７日 昭和６０年特許願第８００３６号 ２、発明の名称 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置３、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 名称 （５１，０）株式会社日立製作所４、代理人 住所 東京都新宿区西新宿−丁目２５番１号（〒１６０
新宿センタービル内私書箱第４０１１号）鵜沼特許事務
所 ６、補正の対象 委任状および明細書の発明の詳細な説明の欄。 ７、補正の内容 （１）委任状を別紙のとおり提出する。 （２）明細書第２頁第１４行の「〔発明の詳細な説明〕
」を次のとおり改める。 「３、発明の詳細な説明 〔発明の利用分野〕ｊ 以」二
Claims (3)
- （１）試料を照射した荷電粒子のビームが結像する螢光
板と、前記試料を移動させる試料移動装置と、前記螢光
板に結像した像を撮像する撮像機と、この撮像機が撮像
した像を表示する第１の画像表示器と、前記ビームによ
る前記螢光板上の視野中心部を示すカーソルを、前記第
１の画像表示器の画像に重ねて表示するカーソル発生器
と、前記第１の画像表示器に表示されたカーソルの位置
に対応する部分の前記螢光板に結像した拡大像を表示す
る第２の画像表示器とを有することを特徴とする顕微鏡
の試料位置調整装置。 - （２）前記第１の画像表示器は、前記撮像機が撮像した
像を記憶する画像記憶部と、この画像記憶部が記憶して
いる像を表示する表示管とを有しており、前記カーソル
発生器は、前記試料の移動量に対応させて、前記表示管
に表示したカーソルを移動させる演算部を有しているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の顕微鏡の
試料位置調整装置。 - （３）前記第１の画像表示器は、前記撮像機が撮像した
像を記憶する画像記憶部と、この画像記憶部が記憶して
いる像を表示する表示管とを有しており、前記カーソル
発生器は、前記表示管に表示した前記カーソルを移動さ
せるジヨイステツクを備えており、前記試料移動装置は
、前記表示管に表示された像上の前記カーソル位置に対
応する前記試料の位置を、前記視野中心部に移動させる
制御部を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の顕微鏡の試料位置調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60080036A JPH0782827B2 (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60080036A JPH0782827B2 (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61239553A true JPS61239553A (ja) | 1986-10-24 |
| JPH0782827B2 JPH0782827B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=13707026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60080036A Expired - Lifetime JPH0782827B2 (ja) | 1985-04-15 | 1985-04-15 | 荷電粒子を用いた顕微鏡の試料位置調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0782827B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04328233A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-17 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| DE10313593B4 (de) * | 2002-03-27 | 2010-07-15 | Hitachi High-Technologies Corporation | Verfahren zum Betrachten einer Probe mittels eines Transmissionselektronenmikroskops und entsprechendes Transmissionselektronenmikroskop |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5232258A (en) * | 1975-09-03 | 1977-03-11 | Siemens Ag | Method of indicating picture of image pickup output information |
| JPS59130054A (ja) * | 1983-01-17 | 1984-07-26 | Jeol Ltd | 透過結像型電子顕微鏡におけるズ−ムウオブラ |
| JPS59201352A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-14 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡における観察視野の記録及び表示装置 |
-
1985
- 1985-04-15 JP JP60080036A patent/JPH0782827B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5232258A (en) * | 1975-09-03 | 1977-03-11 | Siemens Ag | Method of indicating picture of image pickup output information |
| JPS59130054A (ja) * | 1983-01-17 | 1984-07-26 | Jeol Ltd | 透過結像型電子顕微鏡におけるズ−ムウオブラ |
| JPS59201352A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-14 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡における観察視野の記録及び表示装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04328233A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-17 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| DE10313593B4 (de) * | 2002-03-27 | 2010-07-15 | Hitachi High-Technologies Corporation | Verfahren zum Betrachten einer Probe mittels eines Transmissionselektronenmikroskops und entsprechendes Transmissionselektronenmikroskop |
| DE10313593B8 (de) * | 2002-03-27 | 2010-12-09 | Hitachi High-Technologies Corporation | Verfahren zum Betrachten einer Probe mittels eines Transmissionselektronenmikroskops und entsprechendes Transmissionselektronenmikroskop |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0782827B2 (ja) | 1995-09-06 |
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