JPS59201354A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS59201354A JPS59201354A JP7542183A JP7542183A JPS59201354A JP S59201354 A JPS59201354 A JP S59201354A JP 7542183 A JP7542183 A JP 7542183A JP 7542183 A JP7542183 A JP 7542183A JP S59201354 A JPS59201354 A JP S59201354A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- electron microscope
- image
- scanning
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、透過電子顕微鏡像と走査電子顕微鏡像の表示
機能を有する電子顕微鏡における視野移動の操作を円滑
に行なうための装置に関する。
機能を有する電子顕微鏡における視野移動の操作を円滑
に行なうための装置に関する。
最近の電子顕微鏡は、透過電子顕微鏡像を表示するため
の本体に走査電子顕微鏡像を表示するための付属装置を
組込んだタイプのものが多い。このタイプの装置は、透
過電子顕微鏡像と走査電子顕微鏡像のどちらか一方を蛍
光板上又は陰極線管両面に切換えて表示するが、透過電
子顕微鏡像観察モード（ＴＥＭモード）と走査電子顕微
鏡ＶＪ！観察モード（ＳＥＭモード）における視野移動
の操作が円滑に行なわれないと画像の対比観察に支障を
来たす。例えば、視野移動の操作はＴＥＭモードとＳＥ
Ｍモードにおいて共通の操作つまみを用いて行われるの
が酋通であるが、蛍光板上に結像する透過電子顕微鏡像
が倍率によって回転する用象のため、共通に設けた視野
移動用のつまみによる視野の移動方向が倍率によって変
化してしまうだけでなく、ＴＥＭモードとＳＥＭモード
における視野移動方向も異なってしまう欠点が生じる。
の本体に走査電子顕微鏡像を表示するための付属装置を
組込んだタイプのものが多い。このタイプの装置は、透
過電子顕微鏡像と走査電子顕微鏡像のどちらか一方を蛍
光板上又は陰極線管両面に切換えて表示するが、透過電
子顕微鏡像観察モード（ＴＥＭモード）と走査電子顕微
鏡ＶＪ！観察モード（ＳＥＭモード）における視野移動
の操作が円滑に行なわれないと画像の対比観察に支障を
来たす。例えば、視野移動の操作はＴＥＭモードとＳＥ
Ｍモードにおいて共通の操作つまみを用いて行われるの
が酋通であるが、蛍光板上に結像する透過電子顕微鏡像
が倍率によって回転する用象のため、共通に設けた視野
移動用のつまみによる視野の移動方向が倍率によって変
化してしまうだけでなく、ＴＥＭモードとＳＥＭモード
における視野移動方向も異なってしまう欠点が生じる。
本発明は、このような欠点を解決することを目的とし、
透過電子顕微鏡像と走査電子類ｍ鏡像とを切換えて表示
づる機能を有する装置において、透過電子ｆ４微鏡像を
結像するためのレンズ系において発生する像の回転量に
対応する信号を発生する回転信号発生手段と、走査電子
顕微鏡像を表示する際に用いられる試ｙＰ１走査信号の
走査方向を前記回転信号発生手段の出力に基づいて回転
させるだめの手段と、蛍光板上に結像する透過電子顕微
鏡像をＸＹ二方向へ移動させる信号を発生する視野移動
操作手段と、該視野移動操作手段と前記回転信号発生手
段からの信号に基づいて前記試料の移動方向を制御覆る
ための手段を備えたことを特徴とする。
透過電子顕微鏡像と走査電子類ｍ鏡像とを切換えて表示
づる機能を有する装置において、透過電子ｆ４微鏡像を
結像するためのレンズ系において発生する像の回転量に
対応する信号を発生する回転信号発生手段と、走査電子
顕微鏡像を表示する際に用いられる試ｙＰ１走査信号の
走査方向を前記回転信号発生手段の出力に基づいて回転
させるだめの手段と、蛍光板上に結像する透過電子顕微
鏡像をＸＹ二方向へ移動させる信号を発生する視野移動
操作手段と、該視野移動操作手段と前記回転信号発生手
段からの信号に基づいて前記試料の移動方向を制御覆る
ための手段を備えたことを特徴とする。
第１図は、本発明の一実施例装置を示す略図である。図
中、１は電子銃を表わしており、ＴＦＭモードの場合に
は、電子銃１より放射される電子線２は集束レンズ３に
よって略平行な状態で試料移動装置４に保持された試料
（図示せず）を照射する。試料を透過した電子線は対物
レンズ５．中間１ノンズ６．投影レンズ７によって蛍光
板８上に透過電子顕微鏡像を結像する。この透過電子顕
微鏡像の倍率は、レンズ６．７への励磁電流を供給する
結像レンズ電源９の出力によって決まるが、結像レンズ
電ｍ９は倍率指定手段１０からの倍率信号にＪ：って制
御される。蛍光板上に表示される透過電子顕微鏡像の視
野を移動する手段としては、試料ステージ４のｘｙ移動
機構を駆動するモータ１１．１２が用いられる。モータ
１１．１２の駆動電源１３には制御回路１４からの制御
信号が印加されているが、この制御信号は、制御回路１
４に供給される視野移動操作手段１５から９移動信号と
結像レンズ電源９からの像回転信号に基づいて生成され
る。視野移動操作手段１５には螢光板に固定されたＸＹ
二方向への視野移動を指定するＸ方向つまみとＹ方向つ
まみとが設けられており、これらの移動つまみを操作す
ることによって蛍光板上の透３１！５雷子顕微鏡像を移
動させる。
中、１は電子銃を表わしており、ＴＦＭモードの場合に
は、電子銃１より放射される電子線２は集束レンズ３に
よって略平行な状態で試料移動装置４に保持された試料
（図示せず）を照射する。試料を透過した電子線は対物
レンズ５．中間１ノンズ６．投影レンズ７によって蛍光
板８上に透過電子顕微鏡像を結像する。この透過電子顕
微鏡像の倍率は、レンズ６．７への励磁電流を供給する
結像レンズ電源９の出力によって決まるが、結像レンズ
電ｍ９は倍率指定手段１０からの倍率信号にＪ：って制
御される。蛍光板上に表示される透過電子顕微鏡像の視
野を移動する手段としては、試料ステージ４のｘｙ移動
機構を駆動するモータ１１．１２が用いられる。モータ
１１．１２の駆動電源１３には制御回路１４からの制御
信号が印加されているが、この制御信号は、制御回路１
４に供給される視野移動操作手段１５から９移動信号と
結像レンズ電源９からの像回転信号に基づいて生成され
る。視野移動操作手段１５には螢光板に固定されたＸＹ
二方向への視野移動を指定するＸ方向つまみとＹ方向つ
まみとが設けられており、これらの移動つまみを操作す
ることによって蛍光板上の透３１！５雷子顕微鏡像を移
動させる。
ＴＥＭモードからＳＥＭモードへの切換えは、モード切
換え手段１６によって行われ、ＳＥＭモードへ切換１え
られると集束レンズ３と対物レンズ５への励磁電流を供
給するレンズ電）ｌｉ：ｔ１７の出力が変化して試料上
に細く集束した状態で電子線が照射される。それと同時
に、走査回路１８からの走査信号が倍率回路１９と回転
回路２０を軒で供給される偏向コイル２１により、試料
面上の一定。
換え手段１６によって行われ、ＳＥＭモードへ切換１え
られると集束レンズ３と対物レンズ５への励磁電流を供
給するレンズ電）ｌｉ：ｔ１７の出力が変化して試料上
に細く集束した状態で電子線が照射される。それと同時
に、走査回路１８からの走査信号が倍率回路１９と回転
回路２０を軒で供給される偏向コイル２１により、試料
面上の一定。
領域が電子Ｉａ２によって二次元的に走・査される。
電子線照射によって試料から発生した二次電子等の信号
は検、出器２２によって検出され、その検出信号はアン
プ２３を介して陰極線管２４に輝度変調信号として印加
される。陰極線管２４の偏向コイルには、前記走査回路
１８からの走査信号が供給されているので、陰極線管２
４の両面には二次電子線による走査電子顕微鏡像が表示
される。敗ｗ１線管の画面内におりる走査電子顕微鏡像
の倍率切換えは、ＴＥＭモードにおけると同じく倍率指
定回路１０の操作によって行われ、倍率指定回路１０か
らの信号が供給されると倍率回路１９における走査信号
増幅率が変化する。視野移動に関しても、ＴＦＭモード
と同じく視野移動操作手段１５を操作して試料ステージ
に保持される試料位置を移動することによってなされる
。又、回転回路２０には制御回路１４からの回転制御信
号が与えられており、該回転制御信号に基づいて走査信
号に回転成分を与え、試料上における電子線の走査方向
を回転させる。回転制御信号はレンズ電源９から供給さ
れる回転信号に応じて制御回路１４において生成される
。
は検、出器２２によって検出され、その検出信号はアン
プ２３を介して陰極線管２４に輝度変調信号として印加
される。陰極線管２４の偏向コイルには、前記走査回路
１８からの走査信号が供給されているので、陰極線管２
４の両面には二次電子線による走査電子顕微鏡像が表示
される。敗ｗ１線管の画面内におりる走査電子顕微鏡像
の倍率切換えは、ＴＥＭモードにおけると同じく倍率指
定回路１０の操作によって行われ、倍率指定回路１０か
らの信号が供給されると倍率回路１９における走査信号
増幅率が変化する。視野移動に関しても、ＴＦＭモード
と同じく視野移動操作手段１５を操作して試料ステージ
に保持される試料位置を移動することによってなされる
。又、回転回路２０には制御回路１４からの回転制御信
号が与えられており、該回転制御信号に基づいて走査信
号に回転成分を与え、試料上における電子線の走査方向
を回転させる。回転制御信号はレンズ電源９から供給さ
れる回転信号に応じて制御回路１４において生成される
。
第２図は、電子線照射方向から試料を眺めたものであり
、ＴＥＭモードにおけるモータ１１と１２による試料移
動方向をＸ、！：Ｖで示している。第３図は蛍光板８上
における透過電子顕微鏡像の様子を表わすもので、視野
移動操作手段１５のＸ方向つまみとＹ方向つまみによる
ＸＹ移動方向をＸＹで示している。このように、第３図
に、おけるＸＹの方向と第２図におけるｘｙの方向とが
一致していれば、Ｘ方向つまみ又はＹ方向つまみの操作
に基づく信号をそのまま、モータ１１又は１２へ供給す
るだけで蛍光板上の視野をＸ方向又はＹ方向へ移動させ
ることが出来る。又、ＳＥＭモードにおける試料Ｓ上の
電子線走査領域Ｓの電子線走査の方向が第２図に示すよ
うに×■の方向と一致していれぽ、陰極線管２／Ｉの両
面に表示される走査電子顕微鏡像の視野移動方向ｔ３第
４図中にＨ，Ｖで示ｔ Ｊ、うになる。このように、第
２図、第３図、第４図に示す状態が保たれれば、ＳＦＭ
モードとＴ［Ｍモードにお（プる視野移動操作をスムー
ズに行なうことが出来る。
、ＴＥＭモードにおけるモータ１１と１２による試料移
動方向をＸ、！：Ｖで示している。第３図は蛍光板８上
における透過電子顕微鏡像の様子を表わすもので、視野
移動操作手段１５のＸ方向つまみとＹ方向つまみによる
ＸＹ移動方向をＸＹで示している。このように、第３図
に、おけるＸＹの方向と第２図におけるｘｙの方向とが
一致していれば、Ｘ方向つまみ又はＹ方向つまみの操作
に基づく信号をそのまま、モータ１１又は１２へ供給す
るだけで蛍光板上の視野をＸ方向又はＹ方向へ移動させ
ることが出来る。又、ＳＥＭモードにおける試料Ｓ上の
電子線走査領域Ｓの電子線走査の方向が第２図に示すよ
うに×■の方向と一致していれぽ、陰極線管２／Ｉの両
面に表示される走査電子顕微鏡像の視野移動方向ｔ３第
４図中にＨ，Ｖで示ｔ Ｊ、うになる。このように、第
２図、第３図、第４図に示す状態が保たれれば、ＳＦＭ
モードとＴ［Ｍモードにお（プる視野移動操作をスムー
ズに行なうことが出来る。
所で、蛍光板上にお（プる透過電子顕微鏡像の方向は倍
率を変えることによって第３図の状態から第６図に示す
状態に変化（回転）する。このような場合には、モータ
１１と１２による視野の移動ＩＪ向は第６図中Ｘ’ 、
Ｙ’ となりＸ、Ｙと角度０をなして一致しなくなり、
視野移動の操作性が損われる。そのλ１策として第１図
の装置においては、視野移動操作手段１５のＸ方向つま
みを操作したどきにはモータ１１を駆動するだけではな
く、モータ１２に対しても一定の割合で駆動信号を与え
、試１’ｌの移動方向が第５図中Ｘ′で示すように×の
方向と角度−０をなすように制御する。又、Ｙ方向つま
みについＣも同様である。このような制御によって、視
野移ＩＪ＋操作手段１５のＸ方向つまみとＹ方向つまみ
の表わす移動方向を、蛍光板上における×、Ｙ方向に一
致させることが可能となる。
率を変えることによって第３図の状態から第６図に示す
状態に変化（回転）する。このような場合には、モータ
１１と１２による視野の移動ＩＪ向は第６図中Ｘ’ 、
Ｙ’ となりＸ、Ｙと角度０をなして一致しなくなり、
視野移動の操作性が損われる。そのλ１策として第１図
の装置においては、視野移動操作手段１５のＸ方向つま
みを操作したどきにはモータ１１を駆動するだけではな
く、モータ１２に対しても一定の割合で駆動信号を与え
、試１’ｌの移動方向が第５図中Ｘ′で示すように×の
方向と角度−０をなすように制御する。又、Ｙ方向つま
みについＣも同様である。このような制御によって、視
野移ＩＪ＋操作手段１５のＸ方向つまみとＹ方向つまみ
の表わす移動方向を、蛍光板上における×、Ｙ方向に一
致させることが可能となる。
このような制御により、透過電子顕微鏡像と視野移動つ
まみによる移動方向の関係は倍率に拘わりなく常に一定
に保たれるようになるが、走査電子顕微鏡像と視野移動
つまみとの関係は倍率によって変化してしまう欠点が生
じる。即ち、陰極線管画面における視野移動方向は、第
７図に示すようにＨ，ＶからＨ’ 、Ｖ’ のように変
化してしまう。
まみによる移動方向の関係は倍率に拘わりなく常に一定
に保たれるようになるが、走査電子顕微鏡像と視野移動
つまみとの関係は倍率によって変化してしまう欠点が生
じる。即ち、陰極線管画面における視野移動方向は、第
７図に示すようにＨ，ＶからＨ’ 、Ｖ’ のように変
化してしまう。
そこで第１図の装置においては、制御回路１４からの信
号により試料移動方向を回転させた角度−θと同じ回転
量を有する回転制御信号を回転回路２０へ供給すること
により、試料走査信号に回転成分を加え、試別走査の領
域を第５図中破線Ｓ′で示すように変化させる。その結
果、陰極線管両面には第８図に示すように第７図と比較
して角度＋θ回転した走査電子顕微鏡像が表示されるよ
うになるが、視野移動つまみの操作に基づく視野移動方
向は陰極線管画面の横方向Ｈと縦方向Ｖに一致するよう
になり、ＳＦＭモードにおける視野移動の１・トイ１が
スムーズに？−７；ｂねイ）Ｊ、うになる。
号により試料移動方向を回転させた角度−θと同じ回転
量を有する回転制御信号を回転回路２０へ供給すること
により、試料走査信号に回転成分を加え、試別走査の領
域を第５図中破線Ｓ′で示すように変化させる。その結
果、陰極線管両面には第８図に示すように第７図と比較
して角度＋θ回転した走査電子顕微鏡像が表示されるよ
うになるが、視野移動つまみの操作に基づく視野移動方
向は陰極線管画面の横方向Ｈと縦方向Ｖに一致するよう
になり、ＳＦＭモードにおける視野移動の１・トイ１が
スムーズに？−７；ｂねイ）Ｊ、うになる。
双子の１−うに本発明によれば、ＴＦＭモードとＳＦＭ
ｔ−−ドにお【−１６視野移動を共通の視野移動つＪ：
みで行うに際し、その操作性が損われｆ、ｒいので、透
過電子顕微鏡像と走査電子顕微鏡像の表示機能を有する
電子顕微鏡を用いた透過電子顕微鏡像と走査電子顕微鏡
像の対比観察に大ぎな効宋が１ｑられる。
ｔ−−ドにお【−１６視野移動を共通の視野移動つＪ：
みで行うに際し、その操作性が損われｆ、ｒいので、透
過電子顕微鏡像と走査電子顕微鏡像の表示機能を有する
電子顕微鏡を用いた透過電子顕微鏡像と走査電子顕微鏡
像の対比観察に大ぎな効宋が１ｑられる。
第１図は本発明の一実施例装置を示す略図、第２図乃至
第８図は第１図の装置の動作を説明するための略図であ
る。 ・１：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ、４：試ｒ
１ステージ、５：対物レンズ、６：中間レンズ、７：投
影レンズ、８：蛍光板、９：レンズ電源、１０：倍率指
定回路、ｉｉ、１２：モータ、１３：駆動回路、１４：
制御回路、１５：視野移動操作手段、１６：モード切換
え回路、１７：レンズ電源、１８：走査回路、１９：倍
率回路、２０：回転回路、２１：偏向コイル、２２：検
出器、２３：アンプ。 特許出願人 日木電子株式会社 代表者 伊腔 −夫
第８図は第１図の装置の動作を説明するための略図であ
る。 ・１：電子銃、２：電子線、３：集束レンズ、４：試ｒ
１ステージ、５：対物レンズ、６：中間レンズ、７：投
影レンズ、８：蛍光板、９：レンズ電源、１０：倍率指
定回路、ｉｉ、１２：モータ、１３：駆動回路、１４：
制御回路、１５：視野移動操作手段、１６：モード切換
え回路、１７：レンズ電源、１８：走査回路、１９：倍
率回路、２０：回転回路、２１：偏向コイル、２２：検
出器、２３：アンプ。 特許出願人 日木電子株式会社 代表者 伊腔 −夫
Claims (1)
- 透過電子顕微鏡像と走査電子顕微鏡像とを切換えて表示
する機能を有する装置において、透過電子顕微鏡像を結
像するためのレンズ系において発生する像の回転量に対
応する信号を発生する回転信号発生手段ど、走査電子顕
微鏡像を表示する際に用いられる試料走査信号の走査方
向を前記回転信号発生手段の出力にＩＪづいて回転させ
るための手段と、蛍光板上に結像する透過電子類ｍ鏡像
を×Ｙ二り向へ移動させる信号を発生する視野移動操作
子〇と、該視野移動操作手段と前記回転信号発生手段か
らの信号に基づいて前記試料の移動方向を制御するため
の手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7542183A JPS59201354A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7542183A JPS59201354A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59201354A true JPS59201354A (ja) | 1984-11-14 |
Family
ID=13575708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7542183A Pending JPS59201354A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59201354A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06234294A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Atsumi Komori | レタリング用プレート |
-
1983
- 1983-04-28 JP JP7542183A patent/JPS59201354A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06234294A (ja) * | 1993-02-09 | 1994-08-23 | Atsumi Komori | レタリング用プレート |
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