JPH0460298B2 - - Google Patents
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- JPH0460298B2 JPH0460298B2 JP14788783A JP14788783A JPH0460298B2 JP H0460298 B2 JPH0460298 B2 JP H0460298B2 JP 14788783 A JP14788783 A JP 14788783A JP 14788783 A JP14788783 A JP 14788783A JP H0460298 B2 JPH0460298 B2 JP H0460298B2
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- JP
- Japan
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- sample
- tilting
- scanning
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- axis
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は試料を傾斜する機構を有した走査電子
顕微鏡に関する。
顕微鏡に関する。
［従来技術］
従来の走査電子顕微鏡は一軸傾斜機構の上に
XY移動機構を載置し、このXY移動機構の上に
試料回転機構を載置し、更にこの試料回転機構の
上に試料を載置した構成の試料装置を有してい
る。そのため、例えば陰極線管に第１図ａに示す
ような凹凸の激しい試料が表示されている場合に
おいて，同図においてイで示される影になつてい
る面をより正面から観察しようとする際には、ま
ず、試料回転機構により試料を回転させて第１図
ｂに示すように面イが試料の傾斜軸の方向に平行
になるようにした後、一軸傾斜機構により試料を
傾斜して、面イに正面から電子線が照射されるよ
うにして第１図ｃに示す如き像を表示するように
している。しかしながら、動作中の集積回路素子
を試料として選んで観察しようとする際には、集
積回路素子には例えば電流を供給するための配線
が接続されているため、前記回転機構により回転
させると、配線が絡まつて試料を好ましい状態で
観察できなくなつたり、試料を破損する恐れもあ
る。
XY移動機構を載置し、このXY移動機構の上に
試料回転機構を載置し、更にこの試料回転機構の
上に試料を載置した構成の試料装置を有してい
る。そのため、例えば陰極線管に第１図ａに示す
ような凹凸の激しい試料が表示されている場合に
おいて，同図においてイで示される影になつてい
る面をより正面から観察しようとする際には、ま
ず、試料回転機構により試料を回転させて第１図
ｂに示すように面イが試料の傾斜軸の方向に平行
になるようにした後、一軸傾斜機構により試料を
傾斜して、面イに正面から電子線が照射されるよ
うにして第１図ｃに示す如き像を表示するように
している。しかしながら、動作中の集積回路素子
を試料として選んで観察しようとする際には、集
積回路素子には例えば電流を供給するための配線
が接続されているため、前記回転機構により回転
させると、配線が絡まつて試料を好ましい状態で
観察できなくなつたり、試料を破損する恐れもあ
る。
［発明の目的］
本発明は、このような従来の欠点を解決して、
試料を回転することなく、試料の所望の面を簡単
に観察することのできる走査電子顕微鏡を提供す
ることを目的としている。
試料を回転することなく、試料の所望の面を簡単
に観察することのできる走査電子顕微鏡を提供す
ることを目的としている。
［発明の構成］
本発明は細く絞られた電子線の試料上において
二次元的に走査し、該走査に伴なう検出信号を該
走査と同期走査されている表示装置に導いて試料
像を表示する装置において、前記試料を載置する
二軸傾斜機構と、前記表示装置に試料を傾斜させ
る際の傾斜軸の方向を表わすマークを表示するた
めの手段と、該マークで表示された傾斜軸の方向
を任意に変化させるための手段と、前記二軸傾斜
機構の駆動を制御することにより該マークで表示
された傾斜軸の方向に前記試料を傾斜するための
制御手段とを具備することを特徴としている。
二次元的に走査し、該走査に伴なう検出信号を該
走査と同期走査されている表示装置に導いて試料
像を表示する装置において、前記試料を載置する
二軸傾斜機構と、前記表示装置に試料を傾斜させ
る際の傾斜軸の方向を表わすマークを表示するた
めの手段と、該マークで表示された傾斜軸の方向
を任意に変化させるための手段と、前記二軸傾斜
機構の駆動を制御することにより該マークで表示
された傾斜軸の方向に前記試料を傾斜するための
制御手段とを具備することを特徴としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述す
る。
る。
第２図は本発明の一実施例を示すためのもの
で、図中１は第１の軸２Ｘと軸２Ｙの回りに回転
可能に取り付けられた二軸試料傾斜台であり、こ
のような二軸試料傾斜台の支持機構としては実公
昭50−8524号に記載のような機構が用いられてい
る。３Ｘ，３Ｙは試料傾斜台１を各々前記軸２
Ｘ，２Ｙの回りに回転させるためのステツプモー
タである。試料傾斜台１の上には試料を軸２Ｘに
沿つて平行移動させるためのＸ移動台４Ｘが載置
されており、更にＸ移動台４Ｘの上には、試料を
軸２Ｙに沿つて移動させるためのＹ移動台4Yが
載置されている。これら移動台４Ｘ，４Ｙも図示
されていないが、ステツプモータによつて、所定
量だけ移動できるようになつている。Ｙ移動台４
Ｙの上には試料５が載置されている。６は電子銃
であり、７は電子銃６より発生した電子線EBを
集束するための集束レンズであり、対物レンズ８
により、試料５の上にフオーカスされる。９はＸ
方向及びＹ方向用の偏向コイルより成る偏向器で
あり、この偏向器９には増幅器１０を介して走査
信号発生回路１１より走査信号が供給される。走
査信号発生回路１１よりの走査信号は増幅器１２
を介して陰極線管１３の偏向器Ｄにも供給されて
おり、陰極線管１３は電子線EBの走査に同期し
て走査される。１４は二次電子検出器であり、こ
の二次電子検出器１４よりの出力信号は増幅器１
５において増幅された後、輝線表示信号加算回路
１６を介して前記陰極線管１３に輝度信号として
供給されている。この輝線表示信号加算回路１６
は陰極線管１３の画面に第３図に示す如き輝線Ｇ
を表示するための信号を作成して，検出器１４よ
りの画像信号に加えるための回路である。１７は
後述する演算制御部１８よりの出力信号に基づい
てを前記ステップモータ２Ｘ，２Ｙを回転させる
ための駆動信号を発生する駆動回路である。１９
は入力装置であり，入力装置１９には陰極線管１
３に表示される前記輝線Ｇの水平走査線に対する
角度θを指示するための嫡子１９ａと、試料５を
この輝線Ｇで表示された軸の回りに正の向きに単
位ステツプ角度回転させるための指示ボタン１９
ｂ＋と同じ軸の回りに負の向きに回転されるため
の指示ボタン１９ｂ−とが備えられている。この
入力装置１９よりの出力信号は演算制御部１８に
供給されており、演算制御部１８は入力装置１９
よりの信号に基づいて、前記陰極線管１３に水平
走査線に対して角度θを成して前記輝線Ｇを表示
するための輝線表示信号を発生させると共に、試
料５を輝度Ｇに対応した軸の回りに前記指示ボタ
ン１９ｂ＋又は１９ｂ−で指示された角度だけ回
転させるのに必要な前記ステツプモータ３Ｘ，３
Ｙの回転角を算出し、この算出された角度だけ、
これらステツプモータ３Ｘ，３Ｙを回転させるた
めの制御信号を発生して駆動回路１７に供給す
る。２０はインダクタンスの小さな補助レンズで
あり、この補助レンズ２０には増幅器２１を介し
て、ダイナミツクフオーカス回路２２より励磁信
号が供給される。ダイナミツクフオーカス回路２
２には前記走査信号発生回路１１よりの走査に同
期した信号と、演算制御部１８よりの試料５の面
の傾斜方向と傾斜角度を表わす信号が供給されて
おり、回路２２はこれら信号に基づいて、補助レ
ンズ２０の励磁強度を電子線の走査に同期して変
化させ、電子線の走査に伴なつて常に電子線EB
が試料５の面上でフオーカスされるように、固定
された励磁電流で励磁されている対物レンズ８を
補う働きをする。
で、図中１は第１の軸２Ｘと軸２Ｙの回りに回転
可能に取り付けられた二軸試料傾斜台であり、こ
のような二軸試料傾斜台の支持機構としては実公
昭50−8524号に記載のような機構が用いられてい
る。３Ｘ，３Ｙは試料傾斜台１を各々前記軸２
Ｘ，２Ｙの回りに回転させるためのステツプモー
タである。試料傾斜台１の上には試料を軸２Ｘに
沿つて平行移動させるためのＸ移動台４Ｘが載置
されており、更にＸ移動台４Ｘの上には、試料を
軸２Ｙに沿つて移動させるためのＹ移動台4Yが
載置されている。これら移動台４Ｘ，４Ｙも図示
されていないが、ステツプモータによつて、所定
量だけ移動できるようになつている。Ｙ移動台４
Ｙの上には試料５が載置されている。６は電子銃
であり、７は電子銃６より発生した電子線EBを
集束するための集束レンズであり、対物レンズ８
により、試料５の上にフオーカスされる。９はＸ
方向及びＹ方向用の偏向コイルより成る偏向器で
あり、この偏向器９には増幅器１０を介して走査
信号発生回路１１より走査信号が供給される。走
査信号発生回路１１よりの走査信号は増幅器１２
を介して陰極線管１３の偏向器Ｄにも供給されて
おり、陰極線管１３は電子線EBの走査に同期し
て走査される。１４は二次電子検出器であり、こ
の二次電子検出器１４よりの出力信号は増幅器１
５において増幅された後、輝線表示信号加算回路
１６を介して前記陰極線管１３に輝度信号として
供給されている。この輝線表示信号加算回路１６
は陰極線管１３の画面に第３図に示す如き輝線Ｇ
を表示するための信号を作成して，検出器１４よ
りの画像信号に加えるための回路である。１７は
後述する演算制御部１８よりの出力信号に基づい
てを前記ステップモータ２Ｘ，２Ｙを回転させる
ための駆動信号を発生する駆動回路である。１９
は入力装置であり，入力装置１９には陰極線管１
３に表示される前記輝線Ｇの水平走査線に対する
角度θを指示するための嫡子１９ａと、試料５を
この輝線Ｇで表示された軸の回りに正の向きに単
位ステツプ角度回転させるための指示ボタン１９
ｂ＋と同じ軸の回りに負の向きに回転されるため
の指示ボタン１９ｂ−とが備えられている。この
入力装置１９よりの出力信号は演算制御部１８に
供給されており、演算制御部１８は入力装置１９
よりの信号に基づいて、前記陰極線管１３に水平
走査線に対して角度θを成して前記輝線Ｇを表示
するための輝線表示信号を発生させると共に、試
料５を輝度Ｇに対応した軸の回りに前記指示ボタ
ン１９ｂ＋又は１９ｂ−で指示された角度だけ回
転させるのに必要な前記ステツプモータ３Ｘ，３
Ｙの回転角を算出し、この算出された角度だけ、
これらステツプモータ３Ｘ，３Ｙを回転させるた
めの制御信号を発生して駆動回路１７に供給す
る。２０はインダクタンスの小さな補助レンズで
あり、この補助レンズ２０には増幅器２１を介し
て、ダイナミツクフオーカス回路２２より励磁信
号が供給される。ダイナミツクフオーカス回路２
２には前記走査信号発生回路１１よりの走査に同
期した信号と、演算制御部１８よりの試料５の面
の傾斜方向と傾斜角度を表わす信号が供給されて
おり、回路２２はこれら信号に基づいて、補助レ
ンズ２０の励磁強度を電子線の走査に同期して変
化させ、電子線の走査に伴なつて常に電子線EB
が試料５の面上でフオーカスされるように、固定
された励磁電流で励磁されている対物レンズ８を
補う働きをする。
次に例えば，第３図ａに示すような表示像中の
影の部分にある面イをより正面から観察しようと
する場合を例にとり、動作を説明する。
影の部分にある面イをより正面から観察しようと
する場合を例にとり、動作を説明する。
走査信号発生回路１１より走査信号を偏向器９
及び陰極線管１３に供給すれば、電子線EBは試
料５を走査し、この走査に伴なつて得られた検出
信号に基づいて、陰極線管１３には第３図ａに示
す如き試料５の像が表示されるが、この像には前
記二軸試料傾斜台１の傾斜軸の方向を示す輝線Ｇ
も表示されている。標準的な状態においては、試
料傾斜台１が表示画面において水平方向に示され
る軸を中心にして回転するものとすれば、最初の
状態においてはこの輝線Ｇは水平の方向に表示さ
れている。第３図ａにおいてイで示される面を正
面から観察するには、試料５を第３図ａにおいて
一点鎖線Ｌで示す軸の周りに回転させなければな
らないため、操作者は入力装置１９の摘子１９ａ
を回転される。その結果、演算制御部１８より輝
線表示信号加算回路１６に供給される信号が変化
するため、輝線表示信号加算回路１６より発生す
る輝線表示信号も変化し、表示される輝線Ｇの水
平線に対する角度θは変化して行く。そこで、こ
の輝線Ｇの動きを観察しながら、この輝線Ｇが第
３図ａにおいて一点鎖線Ｌで示した方向に一致す
るまで回転させて、第３図ｂに表示されるように
する。そこで、次入力装置１９の指示ボタン１９
ｂ＋を押すと、この輝線Ｇの方向を軸として試料
傾斜台１を単位角度だけ正の向きに回転させるよ
う指示する信号が入力装置１９より演算制御部１
８に供給される。演算制御部１８は入力装置１９
よりの前記輝線Ｇの水平方向に対する角度θを表
わす信号と、正の回転か負の回転かを表わす信号
に基づいて、指示された回転を行なうのに必要な
試料傾斜台１の軸２Ｘ及び軸２Ｙの周りの回転角
度α，βを算出し、この角度だけ試料傾斜台１を
回転させるため、ステップモータ駆動回路１７に
駆動信号を供給する。このような駆動信号の供給
により、ステツプモータ３Ｘ，３Ｙは回転するた
め、陰極線管１３に表示された試料の面イは単位
角度だけを上向いて来る。そこで、陰極線管画面
を観察しながら、ボタン１９ｂ＋を複数回押す
と、面イは徐々に上向いて来、遂には第３図ｃに
示すように、イをより正面から見た像を表示する
ことができる。
及び陰極線管１３に供給すれば、電子線EBは試
料５を走査し、この走査に伴なつて得られた検出
信号に基づいて、陰極線管１３には第３図ａに示
す如き試料５の像が表示されるが、この像には前
記二軸試料傾斜台１の傾斜軸の方向を示す輝線Ｇ
も表示されている。標準的な状態においては、試
料傾斜台１が表示画面において水平方向に示され
る軸を中心にして回転するものとすれば、最初の
状態においてはこの輝線Ｇは水平の方向に表示さ
れている。第３図ａにおいてイで示される面を正
面から観察するには、試料５を第３図ａにおいて
一点鎖線Ｌで示す軸の周りに回転させなければな
らないため、操作者は入力装置１９の摘子１９ａ
を回転される。その結果、演算制御部１８より輝
線表示信号加算回路１６に供給される信号が変化
するため、輝線表示信号加算回路１６より発生す
る輝線表示信号も変化し、表示される輝線Ｇの水
平線に対する角度θは変化して行く。そこで、こ
の輝線Ｇの動きを観察しながら、この輝線Ｇが第
３図ａにおいて一点鎖線Ｌで示した方向に一致す
るまで回転させて、第３図ｂに表示されるように
する。そこで、次入力装置１９の指示ボタン１９
ｂ＋を押すと、この輝線Ｇの方向を軸として試料
傾斜台１を単位角度だけ正の向きに回転させるよ
う指示する信号が入力装置１９より演算制御部１
８に供給される。演算制御部１８は入力装置１９
よりの前記輝線Ｇの水平方向に対する角度θを表
わす信号と、正の回転か負の回転かを表わす信号
に基づいて、指示された回転を行なうのに必要な
試料傾斜台１の軸２Ｘ及び軸２Ｙの周りの回転角
度α，βを算出し、この角度だけ試料傾斜台１を
回転させるため、ステップモータ駆動回路１７に
駆動信号を供給する。このような駆動信号の供給
により、ステツプモータ３Ｘ，３Ｙは回転するた
め、陰極線管１３に表示された試料の面イは単位
角度だけを上向いて来る。そこで、陰極線管画面
を観察しながら、ボタン１９ｂ＋を複数回押す
と、面イは徐々に上向いて来、遂には第３図ｃに
示すように、イをより正面から見た像を表示する
ことができる。
上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、
他の態様を取り得る。
他の態様を取り得る。
例えば，上述した実施例においては、マークは
傾斜軸の方向を示したが傾斜方向（即ち、傾斜軸
と垂直な方向）を示すようにしても良い。
傾斜軸の方向を示したが傾斜方向（即ち、傾斜軸
と垂直な方向）を示すようにしても良い。
又、マークは輝線を用いたが、輝線に限らず色
あるいはコントラスト等の違いにより傾斜軸の方
向を示すようにしても良い。
あるいはコントラスト等の違いにより傾斜軸の方
向を示すようにしても良い。
［効果］
上述した説明より明らかなように、本発明に基
づく装置においては、試料を第１、第２の軸の周
りに傾斜させることにより、試料を回転装置によ
り回転させることなく試料の任意の面を観測する
ことができ、動作中のリード線に接続された半導
体試料等を破損の恐れなく観察することができ
る。又、試料を傾斜させる際の傾斜軸の方向を示
すマークを画面に表示して、このマークを画面上
で回転させるだけで、このマークの表わす方向に
自動的に試料を傾斜できるため、操作も極めて容
易である。
づく装置においては、試料を第１、第２の軸の周
りに傾斜させることにより、試料を回転装置によ
り回転させることなく試料の任意の面を観測する
ことができ、動作中のリード線に接続された半導
体試料等を破損の恐れなく観察することができ
る。又、試料を傾斜させる際の傾斜軸の方向を示
すマークを画面に表示して、このマークを画面上
で回転させるだけで、このマークの表わす方向に
自動的に試料を傾斜できるため、操作も極めて容
易である。
第１図は従来装置の欠点を説明するための図、
第２図は本発明の一実施例を示すための図、第３
図は第２図に示した一実施例装置における動作を
説明するための陰極線管の表示例を説明するため
の図である。 １：二軸試料傾斜台、２Ｘ，２Ｙ：傾斜軸、３
Ｘ，３Ｙ：ステツプモータ、４Ｘ，４Ｙ：試料移
動台、５：試料、６：電子銃、７：集束レンズ、
８：対物レンズ、９：偏向器、１１：走査信号発
生回路、１３：陰極線管、１４：二次電子検出
器、１６：輝点表示信号加算回路、１７：駆動回
路、１８：演算制御部、１９：入力装置、Ｇ：輝
線。
第２図は本発明の一実施例を示すための図、第３
図は第２図に示した一実施例装置における動作を
説明するための陰極線管の表示例を説明するため
の図である。 １：二軸試料傾斜台、２Ｘ，２Ｙ：傾斜軸、３
Ｘ，３Ｙ：ステツプモータ、４Ｘ，４Ｙ：試料移
動台、５：試料、６：電子銃、７：集束レンズ、
８：対物レンズ、９：偏向器、１１：走査信号発
生回路、１３：陰極線管、１４：二次電子検出
器、１６：輝点表示信号加算回路、１７：駆動回
路、１８：演算制御部、１９：入力装置、Ｇ：輝
線。
Claims (1)
- １ 細く絞られた電子線を試料上において二次元
的に走査し、該走査に伴なう検出信号を該走査と
同期走査されている表示装置に導いて試料像を表
示する装置において、前記試料を載置する二軸傾
斜機構と、前記表示装置に試料を傾斜させる際の
傾斜軸の方向を表わすマークを表示するための手
段と、該マークで表示された傾斜軸の方向を任意
に変化させるための手段と、前記二軸傾斜機構の
駆動を制御することにより該マークで表示された
傾斜軸の方向に前記試料を傾斜するための制御手
段とを具備することを特徴とする走査電子顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14788783A JPS6039749A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14788783A JPS6039749A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6039749A JPS6039749A (ja) | 1985-03-01 |
| JPH0460298B2 true JPH0460298B2 (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=15440438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14788783A Granted JPS6039749A (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6039749A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6385860U (ja) * | 1986-11-26 | 1988-06-04 | ||
| JP2760786B2 (ja) * | 1987-03-18 | 1998-06-04 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡およびその試料台移動方法 |
| JP4878135B2 (ja) * | 2005-08-31 | 2012-02-15 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 荷電粒子ビーム装置及び試料加工方法 |
-
1983
- 1983-08-12 JP JP14788783A patent/JPS6039749A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6039749A (ja) | 1985-03-01 |
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