JPS6020439A - 荷電粒子線装置における試料回転装置 - Google Patents
荷電粒子線装置における試料回転装置Info
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- JPS6020439A JPS6020439A JP12904183A JP12904183A JPS6020439A JP S6020439 A JPS6020439 A JP S6020439A JP 12904183 A JP12904183 A JP 12904183A JP 12904183 A JP12904183 A JP 12904183A JP S6020439 A JPS6020439 A JP S6020439A
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- Japan
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- rotation
- knob
- signal
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子顕微鏡等の試料回転操作時に発生する視
野ずれを防止するための装置に関する。
野ずれを防止するための装置に関する。
電子顕微鏡等に組込まれる機械的な試料回転移動機構の
多くは、電子線による試料照射位置と試料回転させた時
の回転中心とが一致していないために種々の不都合が生
じる。例えば、走査電子顕微鏡は観察試料の表面におけ
る凹凸が激しくても鮮明な像が得られるという利点があ
るが、この利点を充分に活かすためには照射電子線に対
して試料表面を任意の方向を軸として傾斜できるように
して凹凸の影に相当する部分を観察可能にする必要があ
る。所が試料位置を変化させる試料装置は多くの場合、
試料傾斜の方向が一方向に固定されているので、そのま
までは所望の試料傾斜を行なうことができない。第１図
はこのような従来の試料装置の構成を示すもので、試料
室の側壁１に傾斜機構２が取付けられており、その傾斜
軸はＸ方向に固定されている。該傾斜機構２の上部には
ＸＹ移動機構３が、更にその上部には回転機構４が載置
されており、観察試料５は回転機構４にホルダーを介し
て取付けられる。このような試料装置を用いて試料照射
電子線６に対する試料表面を任意方向へ傾けるためには
回転機構４と傾斜機構２を組合せて操作すればよいが、
ＸＹ移動機構３の操作によって回転機構における回転中
心が光軸Ｚからずれている場合には、回転機構４の操作
によって観察中の走査像の視野が逃げてしまう欠点があ
った。
多くは、電子線による試料照射位置と試料回転させた時
の回転中心とが一致していないために種々の不都合が生
じる。例えば、走査電子顕微鏡は観察試料の表面におけ
る凹凸が激しくても鮮明な像が得られるという利点があ
るが、この利点を充分に活かすためには照射電子線に対
して試料表面を任意の方向を軸として傾斜できるように
して凹凸の影に相当する部分を観察可能にする必要があ
る。所が試料位置を変化させる試料装置は多くの場合、
試料傾斜の方向が一方向に固定されているので、そのま
までは所望の試料傾斜を行なうことができない。第１図
はこのような従来の試料装置の構成を示すもので、試料
室の側壁１に傾斜機構２が取付けられており、その傾斜
軸はＸ方向に固定されている。該傾斜機構２の上部には
ＸＹ移動機構３が、更にその上部には回転機構４が載置
されており、観察試料５は回転機構４にホルダーを介し
て取付けられる。このような試料装置を用いて試料照射
電子線６に対する試料表面を任意方向へ傾けるためには
回転機構４と傾斜機構２を組合せて操作すればよいが、
ＸＹ移動機構３の操作によって回転機構における回転中
心が光軸Ｚからずれている場合には、回転機構４の操作
によって観察中の走査像の視野が逃げてしまう欠点があ
った。
本発明は、このような欠点を解決して従来の試料装置を
利用したままで観察試料を回転させても視野ずれが生じ
ないようにすることを目的とするものであり、その装置
は互いに直交するＸＹ二方向へ試料を移動させるＸＹ移
動機構と、該ＸＹ移動機構に載置される回転機構と、試
料を照射する電子線□又は試料を透過する電子線を偏向
することによって電子顕微鏡像の視野を電気的に移動さ
せる電気的ＸＹ移動手段を備えた装置において、試料回
転操作の直前における前記ＸＹ移動機構と回転機構の状
態を初期信号として記憶しておき前記回転機構の初期状
態からの変化を示】変化信号と前記初期信号とに基づい
て前記電気的ＸＹ移動手段へ電子顕微鏡像の視野移動を
防止するための制御信号を供給する視野補正手段を設け
たことを特徴とするものである。
利用したままで観察試料を回転させても視野ずれが生じ
ないようにすることを目的とするものであり、その装置
は互いに直交するＸＹ二方向へ試料を移動させるＸＹ移
動機構と、該ＸＹ移動機構に載置される回転機構と、試
料を照射する電子線□又は試料を透過する電子線を偏向
することによって電子顕微鏡像の視野を電気的に移動さ
せる電気的ＸＹ移動手段を備えた装置において、試料回
転操作の直前における前記ＸＹ移動機構と回転機構の状
態を初期信号として記憶しておき前記回転機構の初期状
態からの変化を示】変化信号と前記初期信号とに基づい
て前記電気的ＸＹ移動手段へ電子顕微鏡像の視野移動を
防止するための制御信号を供給する視野補正手段を設け
たことを特徴とするものである。
第２図は本発明の一実施例装置を示ず略図であり、図中
第１図と同一符号を付したものは同一構成要素を表わし
ている。第２図においｘ１試料５は細く集束された電子
線６にＪ：つて照射され、その照射位置は偏向コイル７
Ｘ、７Ｙに供給される偏向信号によって変化層る。偏向
コイル７Ｘ、７Ｙへは走査回路８からの走査信号が倍率
回路９及び加篩回路１０を介して供給されるため、試料
５の一定領域が電子線によって二次元的に走査さｉｔ、
その広さは可変増幅器からなるイ８率回路９の操作によ
って変えられる。走査回路８の出力１ま陰極線管１１の
偏向コイル１２Ｘ、１２Ｙにも供給されており、陰極線
管１１の輝度変調信号として試事斗５から放射される二
次電子の信号を検出する検出器１３の出力が増幅器１４
を介して供給されるｌこめ陰極線管１１の画面には輝度
変調走査像が表示される。又、図中１５．１６は夫々Ｘ
方向移動用とＹ方向移動用のくパルス）モータを示し、
１７゜１８は夫々回転機構４と傾斜機構２を駆動するｌ
こめのくパルス）モータを示している。これらのモータ
は中央制御回路１９からの制御信号に基づ（為で制御さ
れるが、各モータに対する駆動制御は、中央制御回路１
９に接続されたＸ移動つまみ２０゜Ｙ移動つまみ２１．
傾斜つまみ２２及び回転つまみ２３の操作によって行わ
れる。回転つまみ２３に関しては中央制御回路１９との
間に切換回路２４が設けられており、該切換回路２４は
回転つまみ２３から与えられた視野回転制御に関する回
転信号をセット回路２６からの入力信号に応じて輝線表
示回路２５又は中央制御回路１９へ印加するように構成
されている。前記輝線表示回路２５は、走査回路８と回
転つまみ２３からの信号に基づいて第３図に示すように
、陰極線管１１の画面に回転つまみ２３による視野回転
量と回転方向を表わす輝線２７を表示させる信号を発生
するためのものである。このような構成において、回転
機構４によって試料５を回転させると陰極線管画面に表
示される視野が回転するが、その回転中心はＸＹ移動機
構３を操作することによって移動する。そこで、この視
野回転の中心が陰極線管画面の中心と一致する状態にお
いてＸＹ試料移動機構３が示すＸＹ座標を座標原点（０
，０＞と定義する。
第１図と同一符号を付したものは同一構成要素を表わし
ている。第２図においｘ１試料５は細く集束された電子
線６にＪ：つて照射され、その照射位置は偏向コイル７
Ｘ、７Ｙに供給される偏向信号によって変化層る。偏向
コイル７Ｘ、７Ｙへは走査回路８からの走査信号が倍率
回路９及び加篩回路１０を介して供給されるため、試料
５の一定領域が電子線によって二次元的に走査さｉｔ、
その広さは可変増幅器からなるイ８率回路９の操作によ
って変えられる。走査回路８の出力１ま陰極線管１１の
偏向コイル１２Ｘ、１２Ｙにも供給されており、陰極線
管１１の輝度変調信号として試事斗５から放射される二
次電子の信号を検出する検出器１３の出力が増幅器１４
を介して供給されるｌこめ陰極線管１１の画面には輝度
変調走査像が表示される。又、図中１５．１６は夫々Ｘ
方向移動用とＹ方向移動用のくパルス）モータを示し、
１７゜１８は夫々回転機構４と傾斜機構２を駆動するｌ
こめのくパルス）モータを示している。これらのモータ
は中央制御回路１９からの制御信号に基づ（為で制御さ
れるが、各モータに対する駆動制御は、中央制御回路１
９に接続されたＸ移動つまみ２０゜Ｙ移動つまみ２１．
傾斜つまみ２２及び回転つまみ２３の操作によって行わ
れる。回転つまみ２３に関しては中央制御回路１９との
間に切換回路２４が設けられており、該切換回路２４は
回転つまみ２３から与えられた視野回転制御に関する回
転信号をセット回路２６からの入力信号に応じて輝線表
示回路２５又は中央制御回路１９へ印加するように構成
されている。前記輝線表示回路２５は、走査回路８と回
転つまみ２３からの信号に基づいて第３図に示すように
、陰極線管１１の画面に回転つまみ２３による視野回転
量と回転方向を表わす輝線２７を表示させる信号を発生
するためのものである。このような構成において、回転
機構４によって試料５を回転させると陰極線管画面に表
示される視野が回転するが、その回転中心はＸＹ移動機
構３を操作することによって移動する。そこで、この視
野回転の中心が陰極線管画面の中心と一致する状態にお
いてＸＹ試料移動機構３が示すＸＹ座標を座標原点（０
，０＞と定義する。
第２図の装置を用いた視野回転操作は以下のような手順
で行われる。
で行われる。
（ａ ）先ず始めに、回転機構４と傾斜機構２をす準の
状態、即ち回転角φ−０．傾斜角θ−０に保ち、この初
期状態から陰極線管画面に所望の視野が得られるように
ＸＹ移動機１３を操作する。
状態、即ち回転角φ−０．傾斜角θ−０に保ち、この初
期状態から陰極線管画面に所望の視野が得られるように
ＸＹ移動機１３を操作する。
このときの座標を（Ｘ＋ 、Ｙ＋ ）とすると原点から
の距離ｒは、ｒ＝ １；θ７下ｈ Ｙ’＋−とケる。
の距離ｒは、ｒ＝ １；θ７下ｈ Ｙ’＋−とケる。
（ｂ）次に、回転っまみ２３を操作して所望の視野回転
方向と回転量φ０を決める。このときゼット回路２６は
未だ操作されＣいないため、回転つまみ２６からの回転
信号は輝線表示回路２５にのみ印加され、実際の試料回
転は行われない。輝線表示回路２５により陰極線管画面
内には、第３図に示（如く通常の試料像に重畳して視野
回転の量と方向を示１輝線２７が画面の水平方向を基準
として表示され、この輝線２７を回転っまみ２３の操作
の目安として利用することができる。
方向と回転量φ０を決める。このときゼット回路２６は
未だ操作されＣいないため、回転つまみ２６からの回転
信号は輝線表示回路２５にのみ印加され、実際の試料回
転は行われない。輝線表示回路２５により陰極線管画面
内には、第３図に示（如く通常の試料像に重畳して視野
回転の量と方向を示１輝線２７が画面の水平方向を基準
として表示され、この輝線２７を回転っまみ２３の操作
の目安として利用することができる。
（Ｃ）次に、セラｂ回路２６を操作して保持回路２４に
おける信号出力を切換えて、回転つまみ２３からの回転
信号が輝度表示回路２５でなく中央制御回路１９に入ツ
ノされるようにＪる。その結果、陰極線管１１の画面か
ら輝線２７が消え、それと同時に中央制御回路１９にパ
ノｊされＩＣ回転信号に基づく制御信号がモータ１７に
与えられ、回転機構４によって試料５がＸＹ座標の原点
を中心に角麿φ０回転する。この回転により、試料５は
その座標位置も変化してしまうが、その状態を示したも
のが第４図である。第４図において、試料回転前の座標
位置をＳｏ （Ｘ＋ 、Ｙ＋ ）とし、微小角度φ０回
転させたときの座標位置をＳ＋ （Ｘ１＋ΔＸ、Ｙ＋＋
ΔＹ）とすると、ＳｏからＳｌへ移動する際のＸ方向変
化分△ＸとＹ方向変化分ΔＹは次のように表わされる。
おける信号出力を切換えて、回転つまみ２３からの回転
信号が輝度表示回路２５でなく中央制御回路１９に入ツ
ノされるようにＪる。その結果、陰極線管１１の画面か
ら輝線２７が消え、それと同時に中央制御回路１９にパ
ノｊされＩＣ回転信号に基づく制御信号がモータ１７に
与えられ、回転機構４によって試料５がＸＹ座標の原点
を中心に角麿φ０回転する。この回転により、試料５は
その座標位置も変化してしまうが、その状態を示したも
のが第４図である。第４図において、試料回転前の座標
位置をＳｏ （Ｘ＋ 、Ｙ＋ ）とし、微小角度φ０回
転させたときの座標位置をＳ＋ （Ｘ１＋ΔＸ、Ｙ＋＋
ΔＹ）とすると、ＳｏからＳｌへ移動する際のＸ方向変
化分△ＸとＹ方向変化分ΔＹは次のように表わされる。
ΔＸ＝−ｒ−φ０−ｓｉｎφ０
ΔＹ＝ｒ−φＱ−ＣＯ３φ０
このような試料回転に基づく試料移動を補正するため、
中央制御回路１９は上式の移動成分を演算して、その逆
方向の視野移動が行われるような補正偏向信号を加算回
路１０に印加する。加算回路１０はＸ、Ｙ走査信号にこ
れらの補正幅１向信号を加粋して試料５を走査覆る電子
線の走査中心をＸ方向へ一ΔＸ、Ｙ方向ヘー△Ｙ移動さ
せる。その結果、陰極線管画面における視野ずれは防止
される。
中央制御回路１９は上式の移動成分を演算して、その逆
方向の視野移動が行われるような補正偏向信号を加算回
路１０に印加する。加算回路１０はＸ、Ｙ走査信号にこ
れらの補正幅１向信号を加粋して試料５を走査覆る電子
線の走査中心をＸ方向へ一ΔＸ、Ｙ方向ヘー△Ｙ移動さ
せる。その結果、陰極線管画面における視野ずれは防止
される。
所で、角度φ０が微小でない場合や試料５が傾斜機構２
によって傾いていて初期状態が上記動作例と異なる場合
には、第４図に代わる幾何学的な考察から視野ずれを防
止するための偏向成分を演ｎするためのプログラムを予
め中央制御回路１９に記憶させておけばよい。
によって傾いていて初期状態が上記動作例と異なる場合
には、第４図に代わる幾何学的な考察から視野ずれを防
止するための偏向成分を演ｎするためのプログラムを予
め中央制御回路１９に記憶させておけばよい。
第５図は透過電子顕微鏡に本発明を適用した場合の実施
例を示１もので、第２図に用いた記号と同一記号を付し
たものは同一構成要素を表わしている。第５図において
、２８は薄膜状試料５の下方に配置される結像レンズ系
（図示せず）の更に下方に配置された螢光板を示し、２
９．３０は試料５の上下に配置された偏向コイルを示す
。コイル２９’、３０へは偏向電源３１から互いに一定
比率の強度を有する偏向電流が供給されており、偏向電
源３１の出力を調整して試料照射電子線の経路を例えば
図中破線で示すように変化させて螢光板上に結像する電
子顕微鏡像の視野を移動させることが可能である。又、
１１の陰極線管は回転つまみ２３からの回転信号を輝線
表示回路３２に受けて螢光板上に結ｆＸ１１る透過電子
顕微鏡像の視野回転の方向と量を表わす輝線を表示する
ためのものである。第５図の装置の動作は電気的視野移
動の方式が多少異なる点を除（プば、第２図の装置の動
作と略同じであるが、螢光板上に結像する電子顕微鏡像
の視野と陰極線管画面の対応が多少掴みにくくなるので
陰極線管１１．切換回路２４及びセット回路２６を省略
しても差支えない。
例を示１もので、第２図に用いた記号と同一記号を付し
たものは同一構成要素を表わしている。第５図において
、２８は薄膜状試料５の下方に配置される結像レンズ系
（図示せず）の更に下方に配置された螢光板を示し、２
９．３０は試料５の上下に配置された偏向コイルを示す
。コイル２９’、３０へは偏向電源３１から互いに一定
比率の強度を有する偏向電流が供給されており、偏向電
源３１の出力を調整して試料照射電子線の経路を例えば
図中破線で示すように変化させて螢光板上に結像する電
子顕微鏡像の視野を移動させることが可能である。又、
１１の陰極線管は回転つまみ２３からの回転信号を輝線
表示回路３２に受けて螢光板上に結ｆＸ１１る透過電子
顕微鏡像の視野回転の方向と量を表わす輝線を表示する
ためのものである。第５図の装置の動作は電気的視野移
動の方式が多少異なる点を除（プば、第２図の装置の動
作と略同じであるが、螢光板上に結像する電子顕微鏡像
の視野と陰極線管画面の対応が多少掴みにくくなるので
陰極線管１１．切換回路２４及びセット回路２６を省略
しても差支えない。
以上のように本発明によれば、従来の試料装置を利用し
たまま視野ずれを伴わずに試料回転操作を行うことが可
能となるが、本発明の構成は第２図や第５図の実施例装
置に限定されるものではない。例えば、視野ずれ防止の
ための制御を偏向装置をのみによって行なうと次第に偏
向歪の影響が大きくなるので、適当な時に偏向装置によ
る補正をＸＹ移動機構３による補正に置換えるように構
成しでもよい。又、本発明は電子顕微鏡以外でもＸ線マ
イクロアナライザーやイオンマイクロアナライザ等のよ
うに荷電粒子線によつ−Ｃ試料に関する像情報を表示す
る機能を有１−る装置であれば容易に適用りることか可
能である。
たまま視野ずれを伴わずに試料回転操作を行うことが可
能となるが、本発明の構成は第２図や第５図の実施例装
置に限定されるものではない。例えば、視野ずれ防止の
ための制御を偏向装置をのみによって行なうと次第に偏
向歪の影響が大きくなるので、適当な時に偏向装置によ
る補正をＸＹ移動機構３による補正に置換えるように構
成しでもよい。又、本発明は電子顕微鏡以外でもＸ線マ
イクロアナライザーやイオンマイクロアナライザ等のよ
うに荷電粒子線によつ−Ｃ試料に関する像情報を表示す
る機能を有１−る装置であれば容易に適用りることか可
能である。
第１図は従来の試料装置の構造を示す略図、第２図は本
発明の一実施例装置を示す略図、第３図及び第４図は第
２図の装置の動作を説明りるｌこめの略図、第５図は本
発明の他の実施例装置を示す略図である。 １：試料室側壁、２：傾斜機構、３：ＸＹ移動機構、４
：回転機構、５：試料、６：電子線、７Ｘ、７Ｙ：偏向
コイル、８：走査回路、９：イ８率回路、１０：加算回
路、１１：陰極線管、１２Ｘ。 １２ｙ：偏向コイル、１３：検出器、１４：増幅器、１
５，１６，１７，１８：モータ、１９：中央制御回路、
２０：Ｘ移動つまみ、２１：Ｙ移動つまみ、２２：傾斜
つまみ、２３：回転つまみ、２４：切換回路、２５：輝
線表示回路、２６−セット回路、２７：１ｌｌｉ！ｉ線
、２８：螢光板、２９．３０：偏向コイル、３１：偏向
電源、３２：輝ＩＩＡ表示回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
発明の一実施例装置を示す略図、第３図及び第４図は第
２図の装置の動作を説明りるｌこめの略図、第５図は本
発明の他の実施例装置を示す略図である。 １：試料室側壁、２：傾斜機構、３：ＸＹ移動機構、４
：回転機構、５：試料、６：電子線、７Ｘ、７Ｙ：偏向
コイル、８：走査回路、９：イ８率回路、１０：加算回
路、１１：陰極線管、１２Ｘ。 １２ｙ：偏向コイル、１３：検出器、１４：増幅器、１
５，１６，１７，１８：モータ、１９：中央制御回路、
２０：Ｘ移動つまみ、２１：Ｙ移動つまみ、２２：傾斜
つまみ、２３：回転つまみ、２４：切換回路、２５：輝
線表示回路、２６−セット回路、２７：１ｌｌｉ！ｉ線
、２８：螢光板、２９．３０：偏向コイル、３１：偏向
電源、３２：輝ＩＩＡ表示回路。 特許出願人 日本電子株式会社 代表者 伊藤 −夫
Claims (2)
- （１）互いに直交するＸＹ二方向へ試料を移動させるＸ
Ｙ移動機構と、該ＸＹ移動機構に載置される回転機構と
、試料を照射する電子線又は試料を透過する電子線を偏
向することによって電子顕微鏡像の視野を電気的に移動
させる電気的ＸＹ移動手段を備えた装置において、試料
回転操作の直前における前記ＸＹ移動機構と回転機構の
状態を初期信号として記憶しておき、前記回転機構の初
期状態からの変化を示す変化信号と前記初期信号とに基
づいて前記電気的ＸＹ移動手段へ電子顕微鏡像の視野移
動を防止するための制御信号を供給する視野補正手段を
備えたことを特徴とする荷電粒子線装置における試料回
転装置。 - （２）互いに直交するＸＹ二方向へ試料を移動させるＸ
Ｙ移動機構と、該ＸＹ移動機構に載置される回転機構と
、試料を照射する電子線又は試料を透過する電子線を、
偏向することによって電子顕微鏡像の視野を電気的に移
動させる電気的ＸＹ移動手段を備えた装置において、試
料回転操作の直前における前記ＸＹ移動機構と回転機構
の状態を初期信号として記憶しておき、前記回転機構の
初期状態からの変化を示す変化信号と前記初期信号とに
基づいて前記電気的ＸＹ移動手段へ電子顕微鏡像の視野
移動を防止するための制御信号を供給する視野補正手段
と、前記回転機構に回転信号を供給する回転操作手段か
らの出力によって陰極線管画面内に回転操作による視野
の回転方向と回転量を表わすマークを表示する手段を設
けたことを特徴とする荷電粒子線装置における試料回転
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12904183A JPS6020439A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 荷電粒子線装置における試料回転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12904183A JPS6020439A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 荷電粒子線装置における試料回転装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6020439A true JPS6020439A (ja) | 1985-02-01 |
| JPH057817B2 JPH057817B2 (ja) | 1993-01-29 |
Family
ID=14999632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12904183A Granted JPS6020439A (ja) | 1983-07-15 | 1983-07-15 | 荷電粒子線装置における試料回転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020439A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03174239A (ja) * | 1989-03-22 | 1991-07-29 | Nippon Zeon Co Ltd | 分散剤およびその使用方法 |
| JP2007192741A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Sharp Corp | 元素分析方法及び元素分析装置 |
| JP2008311214A (ja) * | 2007-05-11 | 2008-12-25 | Hamamatsu Univ School Of Medicine | 電子顕微鏡用試料ホルダ及び電子顕微鏡 |
| US10431418B1 (en) | 2018-04-05 | 2019-10-01 | B Dot Medical Inc. | Focusing magnet and charged particle irradiation apparatus |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5766854U (ja) * | 1980-10-08 | 1982-04-21 |
-
1983
- 1983-07-15 JP JP12904183A patent/JPS6020439A/ja active Granted
Patent Citations (1)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH057817B2 (ja) | 1993-01-29 |
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