JPH0425803Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は透過型電子顕微鏡において、加速電圧
や観察倍率等の各種データを表示する装置の改良
に関する。

［従来の技術］ 近時、透過型電子顕微鏡においては、透過電子
顕微鏡像等を得る際の使用条件、即ち加速電圧，
観察倍率，スポツト径，試料位置，フイルム番号
や未撮影フイム枚数等の各種データを集中表示す
るために、陰極線管が備えられている。

［考案が解決しようとする問題点］ 斯かる陰極線管に表示されるデータはオペレー
タが操作ツマミを操作しながら観察できる方が便
利であるため、陰極線管は操作パネル上に操作ツ
マミと並べて設置される。そのためスペースの制
約上の問題が発生し、陰極線管は例えば６インチ
程度の小さいものが使用されている。その結果、
表示文字が非常に小さく、見づらくなつてしま
う。

一方、透過型電子顕微鏡に走査像観察装置を組
込むことにより同一試料の透過電子顕微鏡像と走
査電子顕微鏡像を同時に観察できるようになした
装置が広く使用されている。この場合、走査電子
顕微鏡像を表示する陰極線管は、一般には前記デ
ータ表示用の陰極線管に比べて大きな（例えば９
インチ）ものが使用されている。しかも、斯かる
陰極線管は、電子顕微鏡像観察モードのときには
使用されていない。

そこで、本考案は斯様な点に鑑み、電子顕微鏡
像観察モードのとき各種データを大きな走査電子
顕微鏡像表示用陰極線管に表示されることにより
データを見やすくすることを目的とするものであ
る。

［問題点を解決するための手段］ そのため本考案は、透過電子顕微鏡像を表示す
るための蛍光板と、走査電子顕微鏡像を観察する
ための走査顕微鏡像観察用陰極線管と、観察像を
透過電子顕微鏡像と走査電子顕微鏡像間で切換え
るための観察モード切換手段と、各種データを表
示するための前記走査顕微鏡像観察用陰極線管よ
りも小さい観察画面を有するデータ表示用陰極線
管を備えた電子顕微鏡において、前記観察モード
切換手段による観察像の走査電子顕微鏡像から透
過型電子顕微鏡像への切換えに連動して前記各種
データが表示される陰極線管を前記データ表示用
陰極線管から前記走査顕微鏡像観察用陰極線管に
切換えるための手段を備える透過型電子顕微鏡を
特徴としている。

［実施例］ 以下本考案の実施例を図面に基づき詳説する。

第１図は本考案の一実施例のブロツク線図であ
り、１は電子銃である。この電子銃から発生した
電子線は集束レンズ２及び３により細かく集束さ
れ、対物レンズ４内に置かれた試料５に照射され
る。該対物レンズとしては強励磁のものが使用さ
れ、試料５はそのレンズ磁場の中心付近に置かれ
ている。その結果、試料より前方のレンズ磁場は
電子線の集束に寄与し、後方のレンズ磁場は試料
透過電子の結像に寄与する。対物レンズ４によつ
て結ばれた像は中間レンズ６，投影レンズ７によ
り拡大されて蛍光板８上に終像を結ぶ。９は前期
電子銃１に印加する加速電圧を制御する加速電圧
制御回路、１０は前期集束レンズ２，３の励磁電
流を制御する集束レンズ制御回路である。１１は
前期対物レンズ４，中間レンズ６，投影レンズ７
の励磁電流を夫々制御するための結像レンズ制御
回路で、このレンズ制御回路を任意に制御するこ
とにより蛍光板８上に所望の倍率の透過電子顕微
鏡像を結像することができる。

１２はコンピユーター（以下CPUと称す）で、
加速電圧選択スイツチ１３によつて指定された加
速電圧の値が得られるように加速電圧制御回路９
を制御したり、また倍率選択スイツチ１４により
指定された倍率の値が得られるように結像レンズ
制御回路１１を制御するものである。

１５は前期集束レンズ３と対物レンズ４との間
に置かれた偏向コイルで、走査信号発生回路１６
からの走査信号の供給を受けて、前期電子線を試
料５上で２次元的に走査するためのものである。
この電子線の走査により試料５から発生する２次
電子は対物レンズ４の前方磁場によつて螺旋状に
集束されて上方に取り出され、２次電子検出器１
７により検出される。この検出された信号は増幅
器１８により増幅された後、切替スイツチS1を
介して第１の陰極線管１９のグリツドに輝度変調
信号として供給される。この陰極線管の偏向コイ
ルには前期走査信号発生回路１６から前期偏向コ
イル１５への走査信号と同期した走査信号が供給
されるため、陰極線管１９には２次電子による走
査電子顕微鏡像が表示される。また、この陰極線
管１９としては走査電子顕微鏡像をできるだけ大
きく詳しく観察するために、例えば９インチ程度
の大きなものが用いられる。２０はこの陰極線管
１９に表示される走査電子顕微鏡の倍率を調整す
る倍率制御回路で、偏向コイル１５に供給される
走査信号の振幅を変えて試料５上における電子線
走査範囲を変化させることにより倍率が変化す
る。また、この倍率制御回路はCPU１２によつ
て制御される。２１及び２２は前期走査信号発生
回路１６の走査速度を指定する走査速度指定回路
で、この内、２１は高速（テレビジヨン周期）の
速度指定信号を発生し、他方の２２は低速から高
速までの任意の走査速度指定信号を発生できるよ
うになしてあり、両指定信号は夫々切替スイツチ
S2を介して走査信号発生回路１６に供給される。
２３ａ，２３ｂは走査信号を増幅するための増幅
器、S3は前期走査信号発生回路１６からの走査
信号を偏向コイル１５に供給あるいは停止させる
ための切替えスイツチである。

２４及び２５は切替スイツチS4，S5を介して
第２の陰極線管２６に文字，数字，記号等を表示
するための第１及び第２の文字表示回路で、この
内、第１の文字表示回路２４にはCPU１２から
例えば加速電圧及び倍率選択スイツチ１３，１４
により指定された夫々の値に対応する信号、つま
り透過電子顕微鏡像を得る際の使用条件の各種デ
ータに対応する信号が供給される。また他方の第
２の文字表示回路２５にはCPU１２に予めメモ
リされた例えばレンズの軸合わせ手順や真空排気
系統図等のデータに対応する信号が供給されるよ
うになしてある。２７は前期第２の陰極線管２６
の走査電源で、前期第１，第２の文字表示回路２
４，２５と同期している。前期第２の陰極線管２
６としては図示外の操作パネルに組込まれる関係
上、例えば６インチ程度の小さいものが用いられ
る。

前期各切替スイツチＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，
Ｓ５は夫々連動されており、CPU１２により制
御される。

２８はCPU１２に接続された透過電子顕微鏡
像観察モードと走査電子顕微鏡像観察モードとの
切替えを行うモード選択スイツチである。

斯かる装置における動作を以下に詳説する。

今、モード選択スイツチ２８により透過電子顕
微鏡像モードに切替えると、各切替スイツチＳ
１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５は第１図でその状態
を示すように端子ａ側に切替わる。これにより走
査信号発生回路１６からの走査信号は偏向コイル
１５へ供給されなくなるため、加速電圧及び倍率
選択スイツチ１３，１４により指定された加速電
圧及び倍率に基づく透過電子顕微鏡像が蛍光板８
上に投影される。また、走査信号発生回路１６は
走査速度指定回路２１に接続されるため、第１の
陰極線管１９の走査速度は高速で行われると共
に、この陰極線管１９のグリツドには第１の文字
表示回路２４からの映像信号が供給されるため、
画面上には蛍光板８に投影されている。透過電子
顕微鏡像の使用条件データである加速電圧や倍率
等が第２図で示すように表示される。一方、第２
の陰極線管２６には第２の文字表示回路２５から
の映像信号が供給されるため、図示外の選択スイ
ツチによりCPU１２にメモリされている種々の
データを任意に表示させることができる。このと
き、図示しないが走査信号発生回路１６と第１の
文字表示回路２４とは同期されることは言うまで
もない。

次に、モード選択スイツチ２８を透過電子顕微
鏡像観察モードから走査電子顕微鏡像観察モード
に切替えると、切替スイツチＳ１，Ｓ２，Ｓ３，
Ｓ４，Ｓ５が夫々端子ｂ側に切替わるため、走査
信号発生回路１６からの走査信号が偏向コイル１
７に供給され、電子線が試料５上の一定の領域を
走査する。また、CPU１２により対物レンズの
励磁状態が強励磁状態に切替えられるため、電子
線の走査によつて試料から発生する２次電子が対
物レンズの前方磁界により螺旋状に集束されなが
ら上方に取出され、２次電子検出器１７に検出さ
れる。その検出信号は増幅器１８により増幅され
た後切替えスイツチＳ１を介して第１の陰極線管
１９のグリツドに供給されるため、画面上に走査
電子顕微鏡像が表示される。このとき走査信号発
生回路１６は走査速度指定回路２２と接続される
ため、走査速度は低速から高速までの任意な速度
に設定することができる。一方、第２の陰極線管
２６は第１の文字表示回路２４と接続されるた
め、画面上には第２図に示すような走査電子顕微
鏡像を得る際の使用条件データが表示される。

なお、前述の説明は本考案の一例であり、実施
にあたっては種々の変更が可能である例えば透過
電子顕微鏡像モードに切替えた際い、第１の陰極
線管１９に加速電圧等の使用条件データを、また
第２の陰極線管２６にその以外のデータを夫々表
示させるように述べたが、これに限定されること
なく、第１と第２とに表示されるデータの内容を
入れ替えて表示しても良く、また、第２の陰極線
管への表示は停止しても良い。

又、第１の陰極線管１９に透過電子顕微鏡像の
観察条件データを表示した状態でこの陰極線管の
画面を撮影すれば、プリンター等を別個に設ける
ことなく、これらデータを記録することができ
る。

［考案の効果］ 以上のような構成と成せば、文字データを観察
モードの切換えにかかわらず常に表示できるだけ
でなく、電子顕微鏡像の観察時には大きな表示画
面に文字データを表示することができ、電子顕微
鏡像観察に伴うデータを操作者にとつて見易い形
で表示することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示すブロツク図、
第２図は陰極線管上に表示されるデータの一例を
示す図である。 １……電子銃、２，３……集束レンズ、４……
対物レンズ、５……試料、６……中間レンズ、７
……投影レンズ、８……蛍光板、９……加速電圧
制御回路、１１……結像レンズ制御回路、１２…
…コンピユータ、１３……加速電圧選択スイツ
チ、１４……倍率選択スイツチ、１５……偏向コ
イル、１６……走査信号発生回路、１７……２次
電子検出器、１８，２３ａ，２３ｂ……増幅器、
１９，２６……第１及び第２の陰極線管、２０…
…倍率制御回路、２１，２２……走査速度指定回
路、２４，２５……第１及び第２の文字表示回
路、２７……走査電源、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ
４，Ｓ５……切替スイツチ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 透過電子顕微鏡像を表示するための蛍光板と、
   走査電子顕微鏡像を観察するための走査顕微鏡像
   観察用陰極線管と、観察像を透過電子顕微鏡像と
   走査電子顕微鏡像間で切換えるための観察モード
   切換手段と、各種データを表示するため前記走査
   顕微鏡像観察用陰極線管よりも小さい観察画面を
   有するデータ表示用陰極線管を備えた電子顕微鏡
   において、前記観察モード切換手段による走査電
   子顕微鏡像から透過電子顕微鏡像への観察像の切
   換えに連動して前記各種データが表示される陰極
   線管を前記データ表示用陰極線管から前記走査顕
   微鏡像観察用陰極線管に切換えるための手段を備
   える透過型電子顕微鏡。