JPS6166860U - - Google Patents

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JPS6166860U
JPS6166860U JP15102084U JP15102084U JPS6166860U JP S6166860 U JPS6166860 U JP S6166860U JP 15102084 U JP15102084 U JP 15102084U JP 15102084 U JP15102084 U JP 15102084U JP S6166860 U JPS6166860 U JP S6166860U
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electron microscope
scanning
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ray tube
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示すブロツク図、
第２図は陰極線管上に表示されるデータの一例を
示す図である。 １：電子銃、２，３：集束レンズ、４：対物レ
ンズ、５：試料、６：中間レンズ、７：投影レン
ズ、８：蛍光板、９：加速電圧制御回路、１１：
結像レンズ制御回路、１２：コンピユータ、１３
：加速電圧選択スイツチ、１４：倍率選択スイツ
チ、１５：偏向コイル、１６：走査信号発生回路
、１７：２次電子検出器、１８，２３ａ，２３ｂ
：増幅器、１９，２６：第１及び第２の陰極線管
、２０：倍率制御回路、２１，２２：走査速度指
定回路、２４，２５：第１及び第２の文字表示回
路、２７：走査電源、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４，
Ｓ５：切替スイツチ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 電子線を試料に照射し、該試料を透過した
    電子を結像して透過電子顕微鏡像を観察する装置
    に、細く集束した電子線を試料上で走査し、この
    走査に関連して試料から発する情報を検出し、前
    記走査と同期した陰極管に輝度信号として供給し
    、走査電子顕微鏡像を観察する装置を付加し、更
    に各種データを表示する前記走査電子顕微鏡像観
    察用陰極線管よりも小さい陰極線管を備えた装置
    において、前記走査像観察装置を使用していない
    ときには、前記各種データをデータ表示用陰極線
    管から走査電子顕微鏡像観察用陰極線管に切替え
    て表示するように構成してなる透過型電子顕微鏡
    。 (2) 前記走査像観察装置を使用していないとき
    には、この走査電子顕微鏡像観察用陰極線管とデ
    ータ表示用陰極線管に夫々異なつた前記各種デー
    タを表示するように構成したことを特徴とする実
    用新案登録請求の範囲第１項に記載の透過型電子
    顕微鏡。
JP1984151020U 1984-10-05 1984-10-05 Expired JPH0425803Y2 (ja)

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JP1984151020U JPH0425803Y2 (ja) 1984-10-05 1984-10-05

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JPS6166860U true JPS6166860U (ja) 1986-05-08
JPH0425803Y2 JPH0425803Y2 (ja) 1992-06-22

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ID=30709152

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5477060A (en) * 1977-12-01 1979-06-20 Hitachi Ltd Electron microscope
JPS54148372A (en) * 1978-05-12 1979-11-20 Jeol Ltd Electron microscope
JPS56147351A (en) * 1980-04-18 1981-11-16 Jeol Ltd Image photographying device for transmission type electron microscope

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5477060A (en) * 1977-12-01 1979-06-20 Hitachi Ltd Electron microscope
JPS54148372A (en) * 1978-05-12 1979-11-20 Jeol Ltd Electron microscope
JPS56147351A (en) * 1980-04-18 1981-11-16 Jeol Ltd Image photographying device for transmission type electron microscope

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0425803Y2 (ja) 1992-06-22

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