JPS5827621B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は陰極線管上に表示された走査画像の内所望とす
る試料像部分のみを写真撮影に適したコントラスト及び
輝度に設定し得る走査電子顕微鏡に関するものである。

走査電子顕微鏡においては、電子銃から出た電子線を集
束レンズにより細く集束し、これを偏向コイルを用いて
試料上で走査し、そのとき試料各部から散乱する二次電
子や反射電子等を情報信号として検出し、これを前記電
子線走査と同期した陰極線管に導入して、試料の走査画
像を得ている。

斯る走査電子顕微鏡においては陰極線管上に表示された
試料像を写真撮影するケースが非常に多いが、この写真
撮影に当っては使用するフィルムの黒化度に適合するよ
うに陰極線管上の試料像のコントラスト及び輝度（明る
さのレベル）を調整する必要がある。

この目的を達成するため、一般の装置には映像信号が導
入されたメーターやウェーブフオームモニターと称され
る垂直偏向器に映像信号を導入したモニター用陰極線管
からなる露出計が用意されており、信号波形が上限値及
び下限値の間に入るように映像増巾器の増中度及び出力
レベルを調整している。

しかし乍ら、斯る従来の装置による露出調整は一廁面全
面について行われるため平均的露出が与えられた写真し
か得られない。

従って、例えば、部分的に著じるしく明るい場所や暗い
場所があると、それに影響されて所望領域の適正露出（
コントラスト及び輝度）は得られない、。

本発明は斯様な欠点を除去できる新規な走査電子顕微鏡
を提供するもので以下図面に示す実施例に従って詳述す
る。

第１図１こおいて、１は電子銃であり、この電子銃から
生じた電子線は集束レンズ２及び３によって集束され、
試料４上に照射される。

前記集束レンズ２と３との間には少くとも一段のＸ、Ｙ
偏向コイル５Ｘ及び５Ｙが置かれており１．走査信号発
生回路６から鋸歯状走査信号が供給される。

その結果電子線は試料４上で二次元的に走査されること
になる。

該電子線走査により試料から散乱する二次電子や反射電
子は検出器７により検出さへ映像増巾器８及び輝度変調
回路９を介して陰極線管１０の輝度変調グリッドに印加
される。

該陰極線管１０の偏向コイル１１Ｘ、ＩＩＹには走査信
号発生回路６から、前記偏向コイル５Ｘ、５Ｙへの信号
と同期した走査信号が供給されているため該陰極線管１
０上には試料４の二次電子或いは反射電子像が表示され
ることになる。

１２Ｘ及び１２ＹはＸ方向及びＹ方向の走査信号レベル
検出設定回路であり、前記走査信号発生回路からＸ及び
Ｙ方向走査信号が送り込まｔ４設定電電圧量と比較され
る。

夫々の回路は二つの自由に可変できる設定値を有し、鋸
歯状走査信号が一方の設定値に一致して他方の設定値に
一致するまでの期間、該回路は一定の出力信号を発生ず
る。

この両回路からの信号はスイッチ１３を介して輝度変調
回路９に送らへ両信号が送られている間のみ、映像信号
に一定の信号を加算（又は減算）し、第２図に１０ａで
示す如く選定された領域のみの輝度を上げ（又は−ドげ
）るようにする。

このとき、該選らばれた領域全体の輝度を変える代りに
、第２図Ｏこ１０ｂで示す如く、その領域の輪郭を示す
輝線（又は暗線）を表示するようにしても良い。

又、前記両回路１２Ｘ、１２Ｙの出力信号の一部は論理
積回路１４に送ら、１−１．その出力信号、即ち両回路
１２Ｘ。

１２Ｙからの信号が同時に導入されている期間中のみ生
ずる出力信号は、ゲート回路１５のゲート信号として使
用される。

該ゲート回路には映像増巾器８の出力信号の一部が送ら
れており、該ゲートが開いたとぎのみ露出計１６に映像
信号を送り込む。

該露出計としては例えばメーターや陰極線管モニターが
使用される。

斯る構成Ｇこおいて、写真撮影を行う場合スイッチ１３
をＯＦＦにした状態において走査信号発生回路６を起動
し、偏向コイル５Ｘ、５Ｙ及び１１Ｘ１１Ｙに走査信号
を供給すると陰極線管１０上に試別４の走査像が表示さ
れる。

この走査像を観察しながら視野探しを行った後、スイッ
チ１３をＯＮとなし、走査信号のレベル検出・設定回路
１２Ｘ及び１２Ｙからの出力信号を輝度変調回路９に送
り、陰極線管画面上に選択領域を表わす輪郭線１０ｂを
表示し、或いは該領域を他の像と区別できる明るい（又
は暗い）領域１０ａを表示する。

前記回路１２Ｘ及び１２Ｙは手動調節可能であり、それ
ｆこよって、前記選択領域の大きさ及び位置を自由（こ
可変できる。

而して、例えば第２図の如く試料像Ａをカバーするよう
に選択領域を調節すると、該領域に対応する映像信号の
みがゲート回路１５を通過し、露出計１６に送ら札束３
図Ｂで示す如く表示される。

同図中ラインＣは上限レベルを又、ラインＤは下限レベ
ルを示し、オペレーターは上記露出計１６に表示された
波形Ｂを観察しながら、もし、その波形の一部が上、下
限レベルＣ及びＤを越えている場合（第３図のＥの部分
）、それらがＣとＤの間に納まるように映像増巾器８の
利得或いはその出力ｌ／ベルを調節すれば陰極線管１０
（又は別の陰極線管）には、前記選らばれた領域４こつ
いてのみ最適露光を与える画像が表示されることになる
。

ｒ気 前記露出計として、画像表示用の陰極線管１０を
使用することも可能である。

この場合、スイッチ１３に連動するスイッチを用いて、
画像表示と、波形表示を切換えるようにしても又、画像
表示と同時に波形表示を行うようにしても良い。

一方、露出計１６に自動露出回路を用いるとき（ｉ。

第１図に点線で示す如くその出力信号を映像増巾器８に
帰還すれば良い。

以上詳述した如く、本発明は所望とする試料部分のみを
選択して写真撮影に適したコントラスト及び輝度に設定
し得るので、極めて良質の写真を得ることができ、入金
画面を観察しながら所望部分の露出計の決定が行えるた
め操作が極めて容易であるという利点を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すブロック線図、第２図
及び第３図は動作を説明する為の図である。 １・・・・・・電子銃、２及び３・・・・・・集束レン
ズ、４・・・・・・試ｑ、ｓｘ及び５Ｙ・・・・・・偏
向コイル、６・・・・・・走査信号発生回路、１・・・
・・・検出器、９・・・・・・輝度変調回路、１０・・
・・・・陰極線管、１２Ｘ及び１２Ｙ・・・・・・走査
信号レベル検出・設定回路、１３・・・・・・スイッチ
、１４・・・・・・論理積回路、１５・・・・・・ゲー
ト回路、１６・・・・・・露出計。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 細く集束した電子線を試料上で走査し、該試料より
   得られる情報を前記電子線の走査と同期した陰極線管に
   導入して試料の走査画像を得る装置において、前記陰極
   線管上に表示された走査像中の特定頭載を選定する手段
   及び該選定された領域の画像コントラスト及び輝度（レ
   ベル）を検知する手段を備えていることを特徴とする走
   査電子顕微鏡。