JPH0668830A - 走査電子顕微鏡における輝度補正方法 - Google Patents
走査電子顕微鏡における輝度補正方法Info
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- JPH0668830A JPH0668830A JP4216826A JP21682692A JPH0668830A JP H0668830 A JPH0668830 A JP H0668830A JP 4216826 A JP4216826 A JP 4216826A JP 21682692 A JP21682692 A JP 21682692A JP H0668830 A JPH0668830 A JP H0668830A
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- JP
- Japan
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- data
- scanning
- circuit
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＥＣＰモードなどのスロースキャンの場合で
も、フォーカス合わせを行いながら自動的に輝度の補正
を行い得る走査電子顕微鏡における輝度補正方法を実現
する。 【構成】 サンプリング回路１３で検出データのサンプ
リングが行われるが、このデータのサンプリングは、陰
極線管の１画面ＳがＮ分割させられ、各分割された小領
域ごとにｍ×ｎのデータがサンプリングされる。データ
検出回路１５においては、各分割された小領域ごとのデ
ータの最大値，最小値，平均値を検出しメモリー１６に
記憶する。データ計算回路１７は、メモリー１６に記憶
された第１回目と第２回目の走査時の各小領域ごとの最
大値，最小値，平均値を求める。この各値に基づいて検
出信号のコントラストとブライトネスの補正が行われ
る。
も、フォーカス合わせを行いながら自動的に輝度の補正
を行い得る走査電子顕微鏡における輝度補正方法を実現
する。 【構成】 サンプリング回路１３で検出データのサンプ
リングが行われるが、このデータのサンプリングは、陰
極線管の１画面ＳがＮ分割させられ、各分割された小領
域ごとにｍ×ｎのデータがサンプリングされる。データ
検出回路１５においては、各分割された小領域ごとのデ
ータの最大値，最小値，平均値を検出しメモリー１６に
記憶する。データ計算回路１７は、メモリー１６に記憶
された第１回目と第２回目の走査時の各小領域ごとの最
大値，最小値，平均値を求める。この各値に基づいて検
出信号のコントラストとブライトネスの補正が行われ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査電子顕微鏡におけ
る輝度補正方法に関し、特に、エレクトロンチャンネリ
ングパターン（ＥＣＰ）モードでの観察時に使用して最
適な輝度補正方法に関する。
る輝度補正方法に関し、特に、エレクトロンチャンネリ
ングパターン（ＥＣＰ）モードでの観察時に使用して最
適な輝度補正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１，図２は走査電子顕微鏡の光線図を
示しており、図１は通常の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）モ
ード、図２はＥＣＰモードの時の光線図である。図中１
は電子銃であり、２は第１コンデンサレンズ、３は第２
コンデンサレンズ、４はアパーチャ、５は対物レンズ、
６試料である。また、７は第１走査コイル、８は第２走
査コイルである。
示しており、図１は通常の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）モ
ード、図２はＥＣＰモードの時の光線図である。図中１
は電子銃であり、２は第１コンデンサレンズ、３は第２
コンデンサレンズ、４はアパーチャ、５は対物レンズ、
６試料である。また、７は第１走査コイル、８は第２走
査コイルである。
【０００３】図１の通常のＳＥＭモードの場合、電子銃
１から発生した電子ビームは、第１コンデンサレンズ
２、第２コンデンサレンズ３、対物レンズ５によって試
料６上に細く集束される。試料６の電子ビームの照射位
置は、第１と第２の走査コイル７，８に偏向信号を供給
することによって移動させられ、その結果、細く集束さ
れた電子ビームによって試料６の所定領域が走査され
る。この電子ビームの照射によって発生した２次電子や
反射電子を検出し、その検出信号を電子ビームの走査と
同期した陰極線管（図示せず）に供給することにより、
試料の走査像（ＳＥＭ像）が得られる。
１から発生した電子ビームは、第１コンデンサレンズ
２、第２コンデンサレンズ３、対物レンズ５によって試
料６上に細く集束される。試料６の電子ビームの照射位
置は、第１と第２の走査コイル７，８に偏向信号を供給
することによって移動させられ、その結果、細く集束さ
れた電子ビームによって試料６の所定領域が走査され
る。この電子ビームの照射によって発生した２次電子や
反射電子を検出し、その検出信号を電子ビームの走査と
同期した陰極線管（図示せず）に供給することにより、
試料の走査像（ＳＥＭ像）が得られる。
【０００４】図２のＥＣＰモードの場合、電子銃１から
の電子ビームを第１のコンデンサレンズ２と第２のコン
デンサレンズ３とによって対物レンズ５の前方焦点面Ｆ
に結像させ、対物レンズ５で平行な電子ビームを得るよ
うにしている。さらに、電子ビームを第１の偏向コイル
７で走査し、対物レンズ５の結像作用により、試料上の
１点を角度走査する。なお、この際、第２の走査コイル
８はオフの状態とされている。この角度走査によって得
られた反射電子や２次電子を検出し、その検出信号を角
度走査に同期した陰極線管に供給することにより、陰極
線管画面上にエレクトロンチャンネリングパターンを表
示することができる。
の電子ビームを第１のコンデンサレンズ２と第２のコン
デンサレンズ３とによって対物レンズ５の前方焦点面Ｆ
に結像させ、対物レンズ５で平行な電子ビームを得るよ
うにしている。さらに、電子ビームを第１の偏向コイル
７で走査し、対物レンズ５の結像作用により、試料上の
１点を角度走査する。なお、この際、第２の走査コイル
８はオフの状態とされている。この角度走査によって得
られた反射電子や２次電子を検出し、その検出信号を角
度走査に同期した陰極線管に供給することにより、陰極
線管画面上にエレクトロンチャンネリングパターンを表
示することができる。
【０００５】このＥＣＰモードの際の観察時のフォーカ
ス合わせは、試料上に平行ビームを照射するために対物
レンズ５によっては行わず、第１と第２のコンデンサレ
ンズによって行うことになる。
ス合わせは、試料上に平行ビームを照射するために対物
レンズ５によっては行わず、第１と第２のコンデンサレ
ンズによって行うことになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ＥＣＰモードでのフォ
ーカス合わせは、コンデンサレンズ３の励磁を変化させ
ることによって行うが、このコンデンサレンズ３の励磁
を変化させると、アパーチャ４を通過する電子ビームの
量が変化し、その結果、試料２に照射されるプローブ電
流も同時に変化してしまう。このため、陰極線管のＥＣ
Ｐ像の輝度も変化し、フォーカス合わせが非常に行いに
くい欠点を有している。また、検出器などの応答速度お
よび信号のＳ／Ｎの関係から、電子ビームの角度走査は
スロースキャンとならざるを得ず、結果として陰極線管
の一画面全体の画像が判別しにくくなり、フォーカス合
わせを行いずらい他の原因となっている。
ーカス合わせは、コンデンサレンズ３の励磁を変化させ
ることによって行うが、このコンデンサレンズ３の励磁
を変化させると、アパーチャ４を通過する電子ビームの
量が変化し、その結果、試料２に照射されるプローブ電
流も同時に変化してしまう。このため、陰極線管のＥＣ
Ｐ像の輝度も変化し、フォーカス合わせが非常に行いに
くい欠点を有している。また、検出器などの応答速度お
よび信号のＳ／Ｎの関係から、電子ビームの角度走査は
スロースキャンとならざるを得ず、結果として陰極線管
の一画面全体の画像が判別しにくくなり、フォーカス合
わせを行いずらい他の原因となっている。
【０００７】さらに、通常の走査電子顕微鏡画像で画面
上の輝度を合わせる場合、１画面中の信号データからコ
ントラスト，ブライトネスを補正する方法を用いている
が、ＥＣＰモードの場合、フォーカスを合わせながら輝
度補正を行うことになり、その結果、電子ビームの角度
走査の１度ごとに自動輝度補正のスイッチを押すように
しており、極めて操作性が悪い。
上の輝度を合わせる場合、１画面中の信号データからコ
ントラスト，ブライトネスを補正する方法を用いている
が、ＥＣＰモードの場合、フォーカスを合わせながら輝
度補正を行うことになり、その結果、電子ビームの角度
走査の１度ごとに自動輝度補正のスイッチを押すように
しており、極めて操作性が悪い。
【０００８】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、ＥＣＰモードなどのスロースキャ
ンの場合でも、フォーカス合わせを行いながら自動的に
輝度の補正を行い得る走査電子顕微鏡における輝度補正
方法を実現するにある。
もので、その目的は、ＥＣＰモードなどのスロースキャ
ンの場合でも、フォーカス合わせを行いながら自動的に
輝度の補正を行い得る走査電子顕微鏡における輝度補正
方法を実現するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく走査電子
顕微鏡における輝度補正方法は、試料上で電子ビームを
走査し、この走査に基づいて得られた信号を検出し、検
出信号に基づいて試料像を表示するようにした走査電子
顕微鏡において、表示画面を仮想的に複数の小領域に分
割し、各小領域中の検出信号データの最大値，最小値，
平均値を求め、各小領域ごとにその値と前回の走査時の
各値とを比較し、その比較結果に基づいて各小領域ごと
の検出信号の輝度の補正を行うようにしたことを特徴と
している。
顕微鏡における輝度補正方法は、試料上で電子ビームを
走査し、この走査に基づいて得られた信号を検出し、検
出信号に基づいて試料像を表示するようにした走査電子
顕微鏡において、表示画面を仮想的に複数の小領域に分
割し、各小領域中の検出信号データの最大値，最小値，
平均値を求め、各小領域ごとにその値と前回の走査時の
各値とを比較し、その比較結果に基づいて各小領域ごと
の検出信号の輝度の補正を行うようにしたことを特徴と
している。
【００１０】
【作用】本発明に基づく走査電子顕微鏡における輝度補
正方法は、像領域を仮想的に複数の小領域に分割し、分
割された小領域ごとに輝度の補正を行う。
正方法は、像領域を仮想的に複数の小領域に分割し、分
割された小領域ごとに輝度の補正を行う。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図３は、本発明の一実施例を実施するため
の走査電子顕微鏡を示しており、図２の装置と同一構成
要素には同一番号が付されている。この実施例で、第１
と第２の走査コイル７，８には、走査信号発生回路１０
から走査信号が供給される。試料６への電子ビームの照
射によって発生した反射電子は、検出器１１によって検
出され、その検出信号は増幅器１２を介してサンプリン
グ回路１３とコントラスト補正回路１４に供給される。
サンプリング回路１３でサンプリングされたデータは、
データ検出回路１５に供給され、その回路１５において
サンプリングされた信号の最小値，最大値，平均値が検
出され、検出された各値は、メモリー１６に供給されて
記憶される。メモリー１６に記憶されたデータは、デー
タ計算回路１７において所定の計算がなされ、その計算
結果に基づいた設定値が設定値発生回路１８にって発生
される。なお、この実施例で、データ検出回路１５，メ
モリー１６，データ計算回路１７，設定値発生回路１８
は、コンピュータ１９内に含まれている。設定値発生回
路１８からの設定値は、コントラスト補正回路１４と輝
度補正回路２０に供給される。コントラスト補正回路１
４と輝度補正回路２０の両出力信号は、加算回路２１に
て加算され、その加算信号は増幅器２２を介して陰極線
管２３に輝度変調信号として供給される。なお、走査信
号発生回路１０は、コンピュータ１９によってその走査
速度などの制御や、観察モードに応じた制御が行われ
る。このような構成の動作を以下に説明する。
に説明する。図３は、本発明の一実施例を実施するため
の走査電子顕微鏡を示しており、図２の装置と同一構成
要素には同一番号が付されている。この実施例で、第１
と第２の走査コイル７，８には、走査信号発生回路１０
から走査信号が供給される。試料６への電子ビームの照
射によって発生した反射電子は、検出器１１によって検
出され、その検出信号は増幅器１２を介してサンプリン
グ回路１３とコントラスト補正回路１４に供給される。
サンプリング回路１３でサンプリングされたデータは、
データ検出回路１５に供給され、その回路１５において
サンプリングされた信号の最小値，最大値，平均値が検
出され、検出された各値は、メモリー１６に供給されて
記憶される。メモリー１６に記憶されたデータは、デー
タ計算回路１７において所定の計算がなされ、その計算
結果に基づいた設定値が設定値発生回路１８にって発生
される。なお、この実施例で、データ検出回路１５，メ
モリー１６，データ計算回路１７，設定値発生回路１８
は、コンピュータ１９内に含まれている。設定値発生回
路１８からの設定値は、コントラスト補正回路１４と輝
度補正回路２０に供給される。コントラスト補正回路１
４と輝度補正回路２０の両出力信号は、加算回路２１に
て加算され、その加算信号は増幅器２２を介して陰極線
管２３に輝度変調信号として供給される。なお、走査信
号発生回路１０は、コンピュータ１９によってその走査
速度などの制御や、観察モードに応じた制御が行われ
る。このような構成の動作を以下に説明する。
【００１２】ＥＣＰモードの指定がコンピュータ１９に
対してなされると、コンピュータ１９は走査信号発生回
路１０を制御し、走査コイル７のみに走査信号を供給す
ると共に、スロースキャンの走査信号を走査コイル７に
供給する。この結果、図の光線で示すように、ＥＣＰモ
ードでの電子ビームの角度走査が実行される。この角度
走査の期間中、試料６から発生した２次電子あるいは反
射電子は検出器１１によって検出される。検出器１１の
検出信号を増幅器１２によって増幅した後、コントラス
ト補正回路１４，加算器２１，増幅器２２を介して陰極
線管２３に供給することにより、陰極線管２３上にＥＣ
Ｐ像を表示することができる。さて、このようなＥＣＰ
像の輝度を自動的に補正する方法を以下に詳細に説明す
る。
対してなされると、コンピュータ１９は走査信号発生回
路１０を制御し、走査コイル７のみに走査信号を供給す
ると共に、スロースキャンの走査信号を走査コイル７に
供給する。この結果、図の光線で示すように、ＥＣＰモ
ードでの電子ビームの角度走査が実行される。この角度
走査の期間中、試料６から発生した２次電子あるいは反
射電子は検出器１１によって検出される。検出器１１の
検出信号を増幅器１２によって増幅した後、コントラス
ト補正回路１４，加算器２１，増幅器２２を介して陰極
線管２３に供給することにより、陰極線管２３上にＥＣ
Ｐ像を表示することができる。さて、このようなＥＣＰ
像の輝度を自動的に補正する方法を以下に詳細に説明す
る。
【００１３】まず、外部入力により、表示したいコント
ラスト，ブライトネス値がメモリー２４に設定される。
このメモリー２４に設定された値が初期値として自動コ
ントラスト補正回路１４，自動ブライトネス補正回路２
０に供給される。次に、サンプリング回路１３で検出デ
ータのサンプリングが行われる。このデータのサンプリ
ングは、図４に示したように、陰極線管の１画面ＳがＮ
分割させられ、各分割された小領域Ｓ１〜Ｓｎごとにｍ
×ｎ点のデータがサンプリングされる。データ検出回路
１５においては、各分割された小領域ごとのデータの最
大値（ａ１），最小値（ｂ１），平均値（ｃ１）が検出
され、その検出値はメモリー１６に記憶される。
ラスト，ブライトネス値がメモリー２４に設定される。
このメモリー２４に設定された値が初期値として自動コ
ントラスト補正回路１４，自動ブライトネス補正回路２
０に供給される。次に、サンプリング回路１３で検出デ
ータのサンプリングが行われる。このデータのサンプリ
ングは、図４に示したように、陰極線管の１画面ＳがＮ
分割させられ、各分割された小領域Ｓ１〜Ｓｎごとにｍ
×ｎ点のデータがサンプリングされる。データ検出回路
１５においては、各分割された小領域ごとのデータの最
大値（ａ１），最小値（ｂ１），平均値（ｃ１）が検出
され、その検出値はメモリー１６に記憶される。
【００１４】次に、２回目の電子ビームの角度走査の際
にも、上記したと同様に、小領域Ｓ １〜Ｓｎごとにｍ×
ｎこのデータのサンプリングが行われ、各小領域ごとに
データの最大値（ａ２），最小値（ｂ２），平均値（ｃ
２）が検出される。この２回目の走査時の各小領域Ｓ１
〜Ｓｎごとのデータの最大値（ａ２），最小値
（ｂ２），平均値（ｃ２）は、メモリー１６に記憶され
る。データ計算回路１７は、小領域Ｓｍにおける検出に
よりメモリー１６に記憶された第１回目と第２回目の走
査時の同一の小領域Ｓｍの最小値，平均値に基づいて次
の演算を行う。
にも、上記したと同様に、小領域Ｓ １〜Ｓｎごとにｍ×
ｎこのデータのサンプリングが行われ、各小領域ごとに
データの最大値（ａ２），最小値（ｂ２），平均値（ｃ
２）が検出される。この２回目の走査時の各小領域Ｓ１
〜Ｓｎごとのデータの最大値（ａ２），最小値
（ｂ２），平均値（ｃ２）は、メモリー１６に記憶され
る。データ計算回路１７は、小領域Ｓｍにおける検出に
よりメモリー１６に記憶された第１回目と第２回目の走
査時の同一の小領域Ｓｍの最小値，平均値に基づいて次
の演算を行う。
【００１５】Ｃ＝（ａ１−ｂ１）／（ａ２−ｂ２） Ｂ＝ｃ１／ｃ２ このデータ計算回路１７で求められたＣとＢの値は、設
定値出力回路１８からそれぞれ回路１４と回路２０に出
力される。すなわち、上記演算で求められたＣはコント
ラスト補正回路１３に供給されてゲインの値に乗算さ
れ、Ｂはブライトネス補正回路２０に供給されてレベル
の値に乗算される。検出器１１で検出された信号は、コ
ントラスト補正回路１４で適正なコントラストとなるよ
うに増幅され、その増幅された信号とブライトネス補正
回路２０からのレベルの値とは加算器２１で加算され、
さらに、加算器２１の加算出力は、陰極線管２３に供給
されることから、陰極線管２３の画面上には適正なコン
トラストと輝度の像が表示される。このコントラストと
輝度の補正を各小領域ごとに連続的に行っているので、
フォーカス合わせのためにコンデンサレンズの励磁を変
化させた場合に、一時的に輝度が変化するが、その場合
でも直ちに輝度が自動的に補正され、常に観察に適した
像を陰極線管上に表示できる。
定値出力回路１８からそれぞれ回路１４と回路２０に出
力される。すなわち、上記演算で求められたＣはコント
ラスト補正回路１３に供給されてゲインの値に乗算さ
れ、Ｂはブライトネス補正回路２０に供給されてレベル
の値に乗算される。検出器１１で検出された信号は、コ
ントラスト補正回路１４で適正なコントラストとなるよ
うに増幅され、その増幅された信号とブライトネス補正
回路２０からのレベルの値とは加算器２１で加算され、
さらに、加算器２１の加算出力は、陰極線管２３に供給
されることから、陰極線管２３の画面上には適正なコン
トラストと輝度の像が表示される。このコントラストと
輝度の補正を各小領域ごとに連続的に行っているので、
フォーカス合わせのためにコンデンサレンズの励磁を変
化させた場合に、一時的に輝度が変化するが、その場合
でも直ちに輝度が自動的に補正され、常に観察に適した
像を陰極線管上に表示できる。
【００１６】以上本発明の実施例を詳述したが、本発明
はこの実施例に限定されない。例えば、反射電子によっ
てＥＣＰ像を得るようにしたが、試料からの二次電子に
基づいて像を得るようにしても良い。また、ＥＣＰモー
ドにおける輝度補正について詳述したが、スロースキャ
ンでの通常の走査電子顕微鏡像の観察時にも本発明を適
用することができる。
はこの実施例に限定されない。例えば、反射電子によっ
てＥＣＰ像を得るようにしたが、試料からの二次電子に
基づいて像を得るようにしても良い。また、ＥＣＰモー
ドにおける輝度補正について詳述したが、スロースキャ
ンでの通常の走査電子顕微鏡像の観察時にも本発明を適
用することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく走
査電子顕微鏡における輝度補正方法は、像領域を仮想的
に複数の小領域に分割し、分割された小領域ごとに輝度
の補正を行うようにしたので、ＥＣＰモードなどのスロ
ースキャン時での表示画面の輝度を自動的に最適に補正
でき、その結果、像の観察を適正に行うことができると
共に、フォーカス合わせなどを容易に行うことが可能と
なる。
査電子顕微鏡における輝度補正方法は、像領域を仮想的
に複数の小領域に分割し、分割された小領域ごとに輝度
の補正を行うようにしたので、ＥＣＰモードなどのスロ
ースキャン時での表示画面の輝度を自動的に最適に補正
でき、その結果、像の観察を適正に行うことができると
共に、フォーカス合わせなどを容易に行うことが可能と
なる。
【図１】通常の走査電子顕微鏡モードの光線図を示す図
である。
である。
【図２】ＥＣＰモードの光線図を示す図である。
【図３】本発明の一実施例を実施するための走査電子顕
微鏡の一例を示す図である。
微鏡の一例を示す図である。
【図４】像画面のＮ分割の状態を示す図である。
１ 電子銃 ２，３ コンデンサレンズ ４ アパーチャ ５ 対物レンズ ６ 試料 ７，８ 走査コイル １０ 走査信号発生回路 １１ 検出器 １２ 増幅器 １３ サンプリング回路 １４ コントラスト回路 １５ データ検出回路 １６ メモリー １７ データ計算回路 １８ 設定値発生回路 １９ コンピュータ ２０ 輝度補正回路 ２１ 加算器 ２２ 増幅器 ２３ 陰極線管
Claims (1)
- 【請求項１】 試料上で電子ビームを走査し、この走査
に基づいて得られた信号を検出し、検出信号に基づいて
試料像を表示するようにした走査電子顕微鏡において、
表示画面を仮想的に複数の小領域に分割し、各小領域中
の検出信号データの最大値，最小値，平均値を求め、各
小領域ごとにその値と前回の走査時の各値とを比較し、
その比較結果に基づいて各小領域ごとに検出信号の輝度
の補正を行うようにした走査電子顕微鏡における輝度補
正方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04216826A JP3101089B2 (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | 走査電子顕微鏡における輝度補正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04216826A JP3101089B2 (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | 走査電子顕微鏡における輝度補正方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0668830A true JPH0668830A (ja) | 1994-03-11 |
| JP3101089B2 JP3101089B2 (ja) | 2000-10-23 |
Family
ID=16694505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04216826A Expired - Fee Related JP3101089B2 (ja) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | 走査電子顕微鏡における輝度補正方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3101089B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009245674A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子顕微鏡装置及びそれを用いた画像処理方法 |
| US9053904B2 (en) | 2012-09-05 | 2015-06-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image quality adjusting method, non-transitory computer-readable recording medium, and electron microscope |
| US20200048747A1 (en) * | 2017-04-19 | 2020-02-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Cemented Carbide, Cutting Tool Containing the Same, and Method of Manufacturing Cemented Carbide |
-
1992
- 1992-08-14 JP JP04216826A patent/JP3101089B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009245674A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子顕微鏡装置及びそれを用いた画像処理方法 |
| US9053904B2 (en) | 2012-09-05 | 2015-06-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Image quality adjusting method, non-transitory computer-readable recording medium, and electron microscope |
| US20200048747A1 (en) * | 2017-04-19 | 2020-02-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Cemented Carbide, Cutting Tool Containing the Same, and Method of Manufacturing Cemented Carbide |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3101089B2 (ja) | 2000-10-23 |
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