JPS6166352A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6166352A JPS6166352A JP18635684A JP18635684A JPS6166352A JP S6166352 A JPS6166352 A JP S6166352A JP 18635684 A JP18635684 A JP 18635684A JP 18635684 A JP18635684 A JP 18635684A JP S6166352 A JPS6166352 A JP S6166352A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photographing
- sweep
- sweeping
- cathode ray
- ray tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging ; Apparatus specially adapted therefor, e.g. cameras, TV-cameras, photographic equipment, exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e.g. microscopes for observing image on luminescent screen
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は走査電子顕微鏡に係９、特にチャージアップし
易い試料の写真撮影に使用するに好適な走査電子顕微鏡
に関する。
易い試料の写真撮影に使用するに好適な走査電子顕微鏡
に関する。
従来の走査電子顕微鏡は、比較的チャージアップし易い
試料に対して、速い走査速度観察においては殆んどチャ
ージアップ無しに観察出来るが、写真撮影に対しては遅
い走査速度と走査線数の多い走査を用いる為、写真撮影
がチャージアップ無しに出来ないという欠点がある。
試料に対して、速い走査速度観察においては殆んどチャ
ージアップ無しに観察出来るが、写真撮影に対しては遅
い走査速度と走査線数の多い走査を用いる為、写真撮影
がチャージアップ無しに出来ないという欠点がある。
本発明の目的は、比較的チャージアップし易い試料の写
真撮影に対して、良好な写真撮影が出来る走査電子顕微
鏡を提供するにある。
真撮影に対して、良好な写真撮影が出来る走査電子顕微
鏡を提供するにある。
本発明は、試料像の写真撮影に対し走査線の飛び越し走
査をさせることにより、比較的チャージアップし易い試
料の写真撮影がチャージアップ無しに出来るようにした
ものである。
査をさせることにより、比較的チャージアップし易い試
料の写真撮影がチャージアップ無しに出来るようにした
ものである。
走査電子顕微鏡においては、像を表示する掃引速度は何
種類も用意されているのが普通である。
種類も用意されているのが普通である。
最も速い掃引はＴＶ速度であり、中間的速度の掃引は０
．５秒〜２秒／フレームである。写真撮影においては得
られる像の８／Ｎ向上の為に遅い掃引速度（通常５０秒
〜１００秒／フレーム）が用いられる。速い掃引速度を
用いて写真撮影も出来ない訳ではないが、得られる像の
Ｓ／Ｎが悪い為に特別な場合全除いては用いられない。
．５秒〜２秒／フレームである。写真撮影においては得
られる像の８／Ｎ向上の為に遅い掃引速度（通常５０秒
〜１００秒／フレーム）が用いられる。速い掃引速度を
用いて写真撮影も出来ない訳ではないが、得られる像の
Ｓ／Ｎが悪い為に特別な場合全除いては用いられない。
比較的チャージアンプし易いような試料（例えば半導体
試料）全走査電子顕微鏡で調べる場合を考えてみる。像
観察は陰極線管の残像を利用する関係上、比較的速い掃
引速度が用いられる。この場合、試料上の電子線の掃引
が速い為に観察像にはナヤー、′−アップが現われにく
い。然しなから、これを写真撮影するということで遅い
掃引速度に切替えると、像にチャージアップが現われる
ことが多い。これを解消する為に速い掃引速度で写真撮
影を行なうと、Ｓ／Ｎの悪い写真しか得られないことに
なってしまう。
試料）全走査電子顕微鏡で調べる場合を考えてみる。像
観察は陰極線管の残像を利用する関係上、比較的速い掃
引速度が用いられる。この場合、試料上の電子線の掃引
が速い為に観察像にはナヤー、′−アップが現われにく
い。然しなから、これを写真撮影するということで遅い
掃引速度に切替えると、像にチャージアップが現われる
ことが多い。これを解消する為に速い掃引速度で写真撮
影を行なうと、Ｓ／Ｎの悪い写真しか得られないことに
なってしまう。
本発明は、比較的チャージアンプし易い試料の写真撮影
に対して、チャージアップ無しで、然も、従来の遅い掃
引速度で得られるＳ／Ｎと同じＳ／Ｎで写真撮影が出来
るようにするものである。
に対して、チャージアップ無しで、然も、従来の遅い掃
引速度で得られるＳ／Ｎと同じＳ／Ｎで写真撮影が出来
るようにするものである。
以下本発明の一実施例を詳細に説明する。第１図におい
て、電子鏡１より放射された成子線２Ｈ１収束レンズ３
および対物レンズ６により細く絞られ、試料７の上に焦
点を結ばされる。この時、電子線２は偏向コイル４によ
り試料７の上を二次元的に走査される（非点補正コイル
５は、試料７の上に焦点を結ばされる電子線２の断面が
真円となるようにするものである）。電子線照射により
試料７より発生する信号（通常は二次電子信号）は、信
号検出器８によシ捕捉され、電気信号に変換され、増幅
器９全通して陰極線管（観察用陰極線管１０、写真撮影
用陰極線管１１）に輝度変調信号として送られる。とこ
ろで、掃引信号発生器１３または１４からの掃引波（水
平掃引波および垂直掃引波）は、偏向増幅器１７と１９
ｔ−通して偏向コイル４および陰極線管の偏向コイルに
送られるので、試料７の上の掃引と陰極線管１０．１１
とン の掃引は同期掃引とな９、陰極線管１０．１１とには試
料７よりの検出信号に基づく輝度に調像（通常は二次電
子像）が得られることになる。倍率設定器１８は偏向コ
イル４に送る掃引波の太きさを比例的に減小させる、つ
まり試料７の上の電子線２の掃引の領域を可変させる役
割を持つもので、これによシ陰極線管１０．１１に得ら
れる像の倍率を変化させるものである。写真撮影用陰極
線管１１には写真撮影用カメラ１２が取り付けられてい
て、得られる像の写真撮影を行なう。写真撮影は１フレ
ーム掃引に対して行なうのが普通である。この場合、写
真撮影の１フレーム掃引中だけカメラ２の７ヤツタを開
けておく方式と、カメラ１２の７ヤノタは常に開けてお
いて陰極線管１１を写真撮影の１フレーム掃引中だけ像
を表示する（池の場合は、直流ブランキングをかけてお
いて陰極線管１１には像表示をしない）方式とがある。
て、電子鏡１より放射された成子線２Ｈ１収束レンズ３
および対物レンズ６により細く絞られ、試料７の上に焦
点を結ばされる。この時、電子線２は偏向コイル４によ
り試料７の上を二次元的に走査される（非点補正コイル
５は、試料７の上に焦点を結ばされる電子線２の断面が
真円となるようにするものである）。電子線照射により
試料７より発生する信号（通常は二次電子信号）は、信
号検出器８によシ捕捉され、電気信号に変換され、増幅
器９全通して陰極線管（観察用陰極線管１０、写真撮影
用陰極線管１１）に輝度変調信号として送られる。とこ
ろで、掃引信号発生器１３または１４からの掃引波（水
平掃引波および垂直掃引波）は、偏向増幅器１７と１９
ｔ−通して偏向コイル４および陰極線管の偏向コイルに
送られるので、試料７の上の掃引と陰極線管１０．１１
とン の掃引は同期掃引とな９、陰極線管１０．１１とには試
料７よりの検出信号に基づく輝度に調像（通常は二次電
子像）が得られることになる。倍率設定器１８は偏向コ
イル４に送る掃引波の太きさを比例的に減小させる、つ
まり試料７の上の電子線２の掃引の領域を可変させる役
割を持つもので、これによシ陰極線管１０．１１に得ら
れる像の倍率を変化させるものである。写真撮影用陰極
線管１１には写真撮影用カメラ１２が取り付けられてい
て、得られる像の写真撮影を行なう。写真撮影は１フレ
ーム掃引に対して行なうのが普通である。この場合、写
真撮影の１フレーム掃引中だけカメラ２の７ヤツタを開
けておく方式と、カメラ１２の７ヤノタは常に開けてお
いて陰極線管１１を写真撮影の１フレーム掃引中だけ像
を表示する（池の場合は、直流ブランキングをかけてお
いて陰極線管１１には像表示をしない）方式とがある。
最近では、陰極線管１１の長寿命化という点から後者の
方式が主流となりつつある。本発明の一実施例である第
１図においては、この方式で示しである。
方式が主流となりつつある。本発明の一実施例である第
１図においては、この方式で示しである。
掃引信号発生器１３は像の観察時に用いられる。
これからは、掃引波（水平掃引波および垂直掃引波）と
トリガー信号とが発せられる。トリガー信号はブランキ
ング回路１５に送られ、陰極線管１０の帰線消去が行な
われる。一方、掃引信号発生器１４は像の写真撮影時に
用いられる。これからも、掃引波（水平掃引波および垂
直掃引波）とトリガー信号とが発せられて、トリガー信
号はプブランヤング回路１５に送られ陰極線管１１の帰
線消去が行なわれる。但し、陰極線管１１は写真撮影を
行なわない時には直流ブランキングがかかシ像が表示さ
れていない点が異なる。写真撮影時に用いられる掃引信
号発生器１４の垂直掃引波は外部より任意の飛び越し掃
引が出来るようになっている。通常、選択スイッチを設
けておき例えば３本飛び越し掃引の目盛に合わせれば、
垂直掃引が３本飛び越し掃引を行なうというものである
。
トリガー信号とが発せられる。トリガー信号はブランキ
ング回路１５に送られ、陰極線管１０の帰線消去が行な
われる。一方、掃引信号発生器１４は像の写真撮影時に
用いられる。これからも、掃引波（水平掃引波および垂
直掃引波）とトリガー信号とが発せられて、トリガー信
号はプブランヤング回路１５に送られ陰極線管１１の帰
線消去が行なわれる。但し、陰極線管１１は写真撮影を
行なわない時には直流ブランキングがかかシ像が表示さ
れていない点が異なる。写真撮影時に用いられる掃引信
号発生器１４の垂直掃引波は外部より任意の飛び越し掃
引が出来るようになっている。通常、選択スイッチを設
けておき例えば３本飛び越し掃引の目盛に合わせれば、
垂直掃引が３本飛び越し掃引を行なうというものである
。
フォトモード設定器１６のフォトスタート（写真撮影開
始）の信号により、写真撮影用の掃引信号発生器１４は
動作を開始すると共に、像観察用の掃引信号発生器１３
よりの掃引波は回路的に分断される。つまり、フォトス
タートの信号により掃引信号発生器１４よりの掃引波が
偏向増幅器１７と１９とを通して偏向コイル４および陰
極線管の偏向コイルに送られることになる。一方、写真
撮影用陰極線管１１に印加されている直流ブランキング
もフォトスタートの信号により外され、陰極線管１１に
像が表示されるようになる。勿論、帰線消去のブランキ
ングはそのま＼続行されるのは当然である。フォトスタ
ート後、飛び越し掃引による実質的な１フレーム掃引（
３本飛び越し掃引では４回の垂直掃引）が終了すると、
写真撮影用Ｂ極 Ｗｌｌには直流ブランキングがかかり
像表示を止めると共に、掃引信号発生器１４は回路的に
分断され掃引信号発生器１３が回路的に接続されること
になる。これによυ観察用陰極線管１０には、フォトス
タート以前と同じ像が表示される。
始）の信号により、写真撮影用の掃引信号発生器１４は
動作を開始すると共に、像観察用の掃引信号発生器１３
よりの掃引波は回路的に分断される。つまり、フォトス
タートの信号により掃引信号発生器１４よりの掃引波が
偏向増幅器１７と１９とを通して偏向コイル４および陰
極線管の偏向コイルに送られることになる。一方、写真
撮影用陰極線管１１に印加されている直流ブランキング
もフォトスタートの信号により外され、陰極線管１１に
像が表示されるようになる。勿論、帰線消去のブランキ
ングはそのま＼続行されるのは当然である。フォトスタ
ート後、飛び越し掃引による実質的な１フレーム掃引（
３本飛び越し掃引では４回の垂直掃引）が終了すると、
写真撮影用Ｂ極 Ｗｌｌには直流ブランキングがかかり
像表示を止めると共に、掃引信号発生器１４は回路的に
分断され掃引信号発生器１３が回路的に接続されること
になる。これによυ観察用陰極線管１０には、フォトス
タート以前と同じ像が表示される。
第２図に、３本飛び越しＫよる写真撮影時の掃引波およ
び陰極線管の掃引の例を示す。本発明の一笑施例によれ
ば、写真撮影時に任意飛び越し掃引が出来るので、チャ
ージアップの無い像の写真撮影が出来るという効果があ
る。
び陰極線管の掃引の例を示す。本発明の一笑施例によれ
ば、写真撮影時に任意飛び越し掃引が出来るので、チャ
ージアップの無い像の写真撮影が出来るという効果があ
る。
本発明によれば、比較的チャージアップし易い試料の写
真撮影に対して、飛び越し掃引全行なうので、チャージ
アップの無い写真撮影が出来るという効果がある。
真撮影に対して、飛び越し掃引全行なうので、チャージ
アップの無い写真撮影が出来るという効果がある。
第１図は本発明の動作原理を説明する略腺図、第２図は
写真撮影時の飛び越し掃引の一例を示す図である。 １３．１４・・・掃引信号発生器、１５・・・ブランキ
ング回路、１６・・・７オトモード設定器、１７．１９
・・・偏向増幅器、１８・・・倍率設定器。
写真撮影時の飛び越し掃引の一例を示す図である。 １３．１４・・・掃引信号発生器、１５・・・ブランキ
ング回路、１６・・・７オトモード設定器、１７．１９
・・・偏向増幅器、１８・・・倍率設定器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、写真撮影機能を有する走査電子顕微鏡において、写
真撮影掃引時、垂直掃引に飛び越し掃引機能を有するこ
とを特徴とする走査電子顕微鏡。 ２、特許請求の範囲第１項において、写真撮影掃引時、
垂直掃引に複数段の飛び越し掃引機能を有することを特
徴とする走査電子顕微鏡。 ３、特許請求の範囲第１項において、写真撮影掃引時、
垂直掃引に複数段の通常掃引機能と複数段の飛び越し掃
引機能とを有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18635684A JPS6166352A (ja) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18635684A JPS6166352A (ja) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6166352A true JPS6166352A (ja) | 1986-04-05 |
Family
ID=16186928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18635684A Pending JPS6166352A (ja) | 1984-09-07 | 1984-09-07 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6166352A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63168946A (ja) * | 1986-12-29 | 1988-07-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 集束イオンビーム走査方法 |
| JPH02139844A (ja) * | 1988-11-21 | 1990-05-29 | Seiko Instr Inc | テーブルを用いたビーム走査方法 |
| US5276325A (en) * | 1991-09-17 | 1994-01-04 | Hitachi, Ltd. | Scanning microscope and a method of operating such a scanning microscope |
| GB2416442A (en) * | 2004-07-16 | 2006-01-25 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Laser scanning microscope with adjustable scanning steps |
| GB2416441A (en) * | 2004-07-16 | 2006-01-25 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Laser scanning microscope with adjustable scanning steps |
| JP2007059370A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-03-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 画像形成方法、及び荷電粒子線装置 |
| JP2008123716A (ja) * | 2006-11-08 | 2008-05-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 時定数測定機能を搭載した走査型電子顕微鏡 |
| US7745784B2 (en) | 2000-11-02 | 2010-06-29 | Ebara Corporation | Electron beam apparatus and method of manufacturing semiconductor device using the apparatus |
-
1984
- 1984-09-07 JP JP18635684A patent/JPS6166352A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63168946A (ja) * | 1986-12-29 | 1988-07-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 集束イオンビーム走査方法 |
| JPH02139844A (ja) * | 1988-11-21 | 1990-05-29 | Seiko Instr Inc | テーブルを用いたビーム走査方法 |
| US5276325A (en) * | 1991-09-17 | 1994-01-04 | Hitachi, Ltd. | Scanning microscope and a method of operating such a scanning microscope |
| US7745784B2 (en) | 2000-11-02 | 2010-06-29 | Ebara Corporation | Electron beam apparatus and method of manufacturing semiconductor device using the apparatus |
| GB2416442A (en) * | 2004-07-16 | 2006-01-25 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Laser scanning microscope with adjustable scanning steps |
| GB2416441A (en) * | 2004-07-16 | 2006-01-25 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Laser scanning microscope with adjustable scanning steps |
| GB2416442B (en) * | 2004-07-16 | 2010-02-24 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Method of visually detecting objects by means of a laser scanning microscope with line scanning |
| JP2007059370A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-03-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 画像形成方法、及び荷電粒子線装置 |
| JP2008123716A (ja) * | 2006-11-08 | 2008-05-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 時定数測定機能を搭載した走査型電子顕微鏡 |
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