JP3269691B2 - コッセル回折像自動解析装置 - Google Patents
コッセル回折像自動解析装置Info
- Publication number
- JP3269691B2 JP3269691B2 JP01877993A JP1877993A JP3269691B2 JP 3269691 B2 JP3269691 B2 JP 3269691B2 JP 01877993 A JP01877993 A JP 01877993A JP 1877993 A JP1877993 A JP 1877993A JP 3269691 B2 JP3269691 B2 JP 3269691B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction image
- kossel
- kossel diffraction
- image
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線コッセル回折像か
ら微小領域の結晶方位および歪量を測定するコッセル回
折像自動解析装置に関し、特にＣＣＤ（Charged Couple
Device ）カメラを使用したコッセル回折像自動解析装
置に関するものである。
ら微小領域の結晶方位および歪量を測定するコッセル回
折像自動解析装置に関し、特にＣＣＤ（Charged Couple
Device ）カメラを使用したコッセル回折像自動解析装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】微小領域の結晶方位を測定する手法とし
て、走査電子顕微鏡の電子ビームを利用したコッセル線
解析手法が従来のマイクロラウエ法やエッチピット法に
代わって使用されつつある。この手法は、発明者らがさ
きに特公昭６３−１５３３号公報および実公昭５７−４
７７９１号公報において開示したように、走査型電子顕
微鏡とコッセルカメラを組み合せ、結晶解析すべき微小
領域に走査型電子顕微鏡用の直径数ミクロンまで絞りこ
んだ電子線を照射して、微小領域中の原子が励起されて
発生したコッセル像の回折像をコッセルカメラによって
撮影するものである。しかしながら、上述した装置では
Ｘ線フィルムを用いている都合上、装置へのフィルムの
セッティング、フィルムの現像、定着、フィルムの解析
等に時間と労力がかかり、多数の微細粒あるいは微細領
域についての広範囲にわたる結晶組織に関する情報を得
るのは大変困難であった。
て、走査電子顕微鏡の電子ビームを利用したコッセル線
解析手法が従来のマイクロラウエ法やエッチピット法に
代わって使用されつつある。この手法は、発明者らがさ
きに特公昭６３−１５３３号公報および実公昭５７−４
７７９１号公報において開示したように、走査型電子顕
微鏡とコッセルカメラを組み合せ、結晶解析すべき微小
領域に走査型電子顕微鏡用の直径数ミクロンまで絞りこ
んだ電子線を照射して、微小領域中の原子が励起されて
発生したコッセル像の回折像をコッセルカメラによって
撮影するものである。しかしながら、上述した装置では
Ｘ線フィルムを用いている都合上、装置へのフィルムの
セッティング、フィルムの現像、定着、フィルムの解析
等に時間と労力がかかり、多数の微細粒あるいは微細領
域についての広範囲にわたる結晶組織に関する情報を得
るのは大変困難であった。
【０００３】上述した欠点を解決するため、発明者らは
特開昭５６−２６２４８号公報において、Ｘ線イメージ
インテンシファイヤを用いたＸ線コッセル回折像解析装
置を開示した。この装置は、従来のＸ線フィルムに代わ
って、Ｘ線イメージインテンシファイヤの出力をデジタ
ルデータに変換してブラウン管上に表示させることがで
きる。しかしながら、このようにして得られるコッセル
回折像の解析にあたり、誤差を最小限に抑えるために
も、また省力化のためにも、解析の自動化が必要不可欠
のものであった。
特開昭５６−２６２４８号公報において、Ｘ線イメージ
インテンシファイヤを用いたＸ線コッセル回折像解析装
置を開示した。この装置は、従来のＸ線フィルムに代わ
って、Ｘ線イメージインテンシファイヤの出力をデジタ
ルデータに変換してブラウン管上に表示させることがで
きる。しかしながら、このようにして得られるコッセル
回折像の解析にあたり、誤差を最小限に抑えるために
も、また省力化のためにも、解析の自動化が必要不可欠
のものであった。
【０００４】一方、１９６０年初頭からコンピュータに
よる画像解析法が発達し、Ｘ線ラウエ法や電子線解析法
が発達し、Ｘ線ラウエ法や電子線回折による回折スポッ
トの距離の自動測定などが行われてきているが、発明者
らはＸ線イメージインテンシファイヤに画像解析装置を
接続することにより、コッセル線像の方位、歪量解析の
自動化が可能であると考え、多数のデータを高精度にし
かも短時間に処理できるものとして、特開昭６０−１６
６８９７号公報において、上述した欠点を解消し、自動
的にコッセル像の方位および歪量を解析することによっ
て、多数のデータを高精度、短時間に処理でき、誤差も
少ないＸ線コッセル回折像解析装置を提案した。
よる画像解析法が発達し、Ｘ線ラウエ法や電子線解析法
が発達し、Ｘ線ラウエ法や電子線回折による回折スポッ
トの距離の自動測定などが行われてきているが、発明者
らはＸ線イメージインテンシファイヤに画像解析装置を
接続することにより、コッセル線像の方位、歪量解析の
自動化が可能であると考え、多数のデータを高精度にし
かも短時間に処理できるものとして、特開昭６０−１６
６８９７号公報において、上述した欠点を解消し、自動
的にコッセル像の方位および歪量を解析することによっ
て、多数のデータを高精度、短時間に処理でき、誤差も
少ないＸ線コッセル回折像解析装置を提案した。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このＸ
線インテンシファイヤを用いたＸ線コッセル回折像解析
装置は、測定感度が低く、また感度の経時変化があり、
さらに照射した後読み取る方式では再現性に問題があ
り、満足できる正確なデータを得ることができなかっ
た。そのため、本発明者らは、特願平４−９４３９２号
において、コッセル回折像を輝尽性蛍光板で撮像して、
この輝尽性蛍光板に蓄積した画像データを読み出してコ
ッセル回折像を得ることにより、従来のＸ線インテンシ
ファイヤを用いた場合と比べて、高感度で感度の変化が
なく再現性も良好なコッセル回折像を得ることができる
コッセル回折像自動解析装置を開示した。
線インテンシファイヤを用いたＸ線コッセル回折像解析
装置は、測定感度が低く、また感度の経時変化があり、
さらに照射した後読み取る方式では再現性に問題があ
り、満足できる正確なデータを得ることができなかっ
た。そのため、本発明者らは、特願平４−９４３９２号
において、コッセル回折像を輝尽性蛍光板で撮像して、
この輝尽性蛍光板に蓄積した画像データを読み出してコ
ッセル回折像を得ることにより、従来のＸ線インテンシ
ファイヤを用いた場合と比べて、高感度で感度の変化が
なく再現性も良好なコッセル回折像を得ることができる
コッセル回折像自動解析装置を開示した。
【０００６】しかしながら、上述した輝尽性蛍光板を使
用した方法は、従来のカメラ法やＸ線インテンシファイ
ヤを利用した方法と比較して、微小領域の結晶情報の解
析に格段の進歩をもたらしたが、輝尽性蛍光板は元来蓄
積した画像データの読み出しおよび消去の手間がかかる
問題があった。そのため、走査電子像を用いて、そのま
ま集束したビームを照射した微細粒あるいは微細領域の
結晶方位等の情報を直ちに得ることができる微小方位解
析装置の実現が望まれていた。
用した方法は、従来のカメラ法やＸ線インテンシファイ
ヤを利用した方法と比較して、微小領域の結晶情報の解
析に格段の進歩をもたらしたが、輝尽性蛍光板は元来蓄
積した画像データの読み出しおよび消去の手間がかかる
問題があった。そのため、走査電子像を用いて、そのま
ま集束したビームを照射した微細粒あるいは微細領域の
結晶方位等の情報を直ちに得ることができる微小方位解
析装置の実現が望まれていた。
【０００７】本発明の目的は上述した課題を解消して、
コッセル回折像を高精度かつ直ちに観察することができ
るコッセル回折像自動解析装置を提供しようとするもの
である。
コッセル回折像を高精度かつ直ちに観察することができ
るコッセル回折像自動解析装置を提供しようとするもの
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のコッセル回折像
自動解析装置は、試料に電子線を照射して得られるコッ
セル回折像を観察するコッセル回折像観察装置と、この
コッセル回折像観察装置より得られたコッセル回折像か
ら試料の結晶粒の方位および歪を解析する画像処理・解
析装置とからなるコッセル回折像自動解析装置におい
て、前記コッセル回折像観察装置が、電子線発生装置
と、この電子線発生装置から発生した電子線を試料に照
射して得られるコッセル回折像が投射される位置に配設
されたＣＣＤカメラとからなり、かつ、前記ＣＣＤカメ
ラが入射光の光量を一定にするための自動シャッターを
有することを特徴とするものである。
自動解析装置は、試料に電子線を照射して得られるコッ
セル回折像を観察するコッセル回折像観察装置と、この
コッセル回折像観察装置より得られたコッセル回折像か
ら試料の結晶粒の方位および歪を解析する画像処理・解
析装置とからなるコッセル回折像自動解析装置におい
て、前記コッセル回折像観察装置が、電子線発生装置
と、この電子線発生装置から発生した電子線を試料に照
射して得られるコッセル回折像が投射される位置に配設
されたＣＣＤカメラとからなり、かつ、前記ＣＣＤカメ
ラが入射光の光量を一定にするための自動シャッターを
有することを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】上述した構成において、コッセル回折像観察装
置に設けたＣＣＤカメラが直接コッセル回折像を撮像す
るため、高い測定感度で微小粒あるいは微小領域の結晶
方位や歪を、精度良くまた容易に測定することができ
る。なお、使用するＣＣＤカメラはすでに電子顕微鏡や
回折パターンの解析に使用されているものと本質的に同
様のものと使用することができる。特に、本発明のコッ
セル像自動解析装置では、コッセル像のＣＣＤカメラへ
の照射量を常に一定とした方が、数多くの試料について
コッセル回折像を再現性良く検出し、しかもコッセル像
を容易に解析できるため、ＣＣＤカメラの前にＣＣＤカ
メラへの照射量を一定にするための自動シャッターを設
ける。
置に設けたＣＣＤカメラが直接コッセル回折像を撮像す
るため、高い測定感度で微小粒あるいは微小領域の結晶
方位や歪を、精度良くまた容易に測定することができ
る。なお、使用するＣＣＤカメラはすでに電子顕微鏡や
回折パターンの解析に使用されているものと本質的に同
様のものと使用することができる。特に、本発明のコッ
セル像自動解析装置では、コッセル像のＣＣＤカメラへ
の照射量を常に一定とした方が、数多くの試料について
コッセル回折像を再現性良く検出し、しかもコッセル像
を容易に解析できるため、ＣＣＤカメラの前にＣＣＤカ
メラへの照射量を一定にするための自動シャッターを設
ける。
【００１０】
【実施例】図１は本発明のコッセル回折像自動解析装置
の一例の構成を示す図である。図１に示す例において、
本発明のコッセル回折像自動解析装置は、試料に電子線
を照射して得られるコッセル像を観察するコッセル回折
像観察装置１と、このコッセル回折像解析装置１により
得られたコッセル回折像から試料の結晶粒の方位および
歪を解析して表示する画像処理・解析装置２とから構成
される。また、コッセル回折像観察装置１は、電子線発
生装置１１と、この電子線発生装置１１から発生した電
子線を試料２１に照射して得られる反射または透過コッ
セル回折像が投射される位置に配設したＣＣＤカメラ２
２−１、２２−２と、それぞれのカメラの前に設けたコ
ッセル像の照射量を一定にする自動調節機能をもつ自動
シャッター２３−１、２３−２とから構成される。さら
に、画像処理・解析装置２は、得られたコッセル回折像
を解析する画像処理解析部３１と、この画像処理解析部
３１で解析した試料の結晶粒の方位および歪を表示する
表示部３２とから構成される。
の一例の構成を示す図である。図１に示す例において、
本発明のコッセル回折像自動解析装置は、試料に電子線
を照射して得られるコッセル像を観察するコッセル回折
像観察装置１と、このコッセル回折像解析装置１により
得られたコッセル回折像から試料の結晶粒の方位および
歪を解析して表示する画像処理・解析装置２とから構成
される。また、コッセル回折像観察装置１は、電子線発
生装置１１と、この電子線発生装置１１から発生した電
子線を試料２１に照射して得られる反射または透過コッ
セル回折像が投射される位置に配設したＣＣＤカメラ２
２−１、２２−２と、それぞれのカメラの前に設けたコ
ッセル像の照射量を一定にする自動調節機能をもつ自動
シャッター２３−１、２３−２とから構成される。さら
に、画像処理・解析装置２は、得られたコッセル回折像
を解析する画像処理解析部３１と、この画像処理解析部
３１で解析した試料の結晶粒の方位および歪を表示する
表示部３２とから構成される。
【００１１】次に、電子線発生装置１１は、フィラメン
ト１２、ウェーネルト電極１３、コンデンサーレンズ１
４、対物レンズ１５からなる電子線発生部と、コンデン
サーレンズ１４と対物レンズ１５との間に設けた電子線
をＸ、Ｙ方向に掃引する偏向コイル１６−１、１６−２
および輝度信号装置１７、試料２１から出る２次電子を
検出する検出器１８、検出した画像を表示するブラウン
管１９−１、１９ー２からなる走査像表示部とから構成
される。この走査像表示部は、コッセル回折像を求めた
位置を知るために用いられる。また、試料２１は図示し
ない反射・透過の両用に使用できる試料台により、目
的、用途に応じて反射コッセル回折像を得る位置（実
線）と透過コッセル回折像を得る位置（破線）とをとれ
るように構成している。
ト１２、ウェーネルト電極１３、コンデンサーレンズ１
４、対物レンズ１５からなる電子線発生部と、コンデン
サーレンズ１４と対物レンズ１５との間に設けた電子線
をＸ、Ｙ方向に掃引する偏向コイル１６−１、１６−２
および輝度信号装置１７、試料２１から出る２次電子を
検出する検出器１８、検出した画像を表示するブラウン
管１９−１、１９ー２からなる走査像表示部とから構成
される。この走査像表示部は、コッセル回折像を求めた
位置を知るために用いられる。また、試料２１は図示し
ない反射・透過の両用に使用できる試料台により、目
的、用途に応じて反射コッセル回折像を得る位置（実
線）と透過コッセル回折像を得る位置（破線）とをとれ
るように構成している。
【００１２】実際に珪素鋼を２次再結晶焼鈍によりGoss
方位２次再結晶粒を発達された２次再結晶組織につい
て、図１に示す構成の装置により透過コッセル回折像か
ら２次再結晶粒の方位決定を、コッセル回折像の撮影条
件を加速時間：２０ＫＶ、ビーム電流：０．２０μA 、
ＣＣＤカメラへの撮影時間：４０秒として行ったとこ
ろ、２次再結晶粒の結晶方位を短時間で精度良く測定す
ることができた。
方位２次再結晶粒を発達された２次再結晶組織につい
て、図１に示す構成の装置により透過コッセル回折像か
ら２次再結晶粒の方位決定を、コッセル回折像の撮影条
件を加速時間：２０ＫＶ、ビーム電流：０．２０μA 、
ＣＣＤカメラへの撮影時間：４０秒として行ったとこ
ろ、２次再結晶粒の結晶方位を短時間で精度良く測定す
ることができた。
【００１３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、コッセル回折像の撮影にＣＣＤカメラを用い
ているため、高い測定感度で微小領域あるいは微小粒の
結晶方位や歪を精度良くまた容易に測定することができ
るコッセル回折像自動解析装置を得ることができる。ま
た、ＣＣＤカメラの前に自動シャッターを設けたため、
ＣＣＤカメラへの入射光量を常に一定にすることがで
き、コッセル回折像を再現性良くかつ容易に解析するこ
とができる。
によれば、コッセル回折像の撮影にＣＣＤカメラを用い
ているため、高い測定感度で微小領域あるいは微小粒の
結晶方位や歪を精度良くまた容易に測定することができ
るコッセル回折像自動解析装置を得ることができる。ま
た、ＣＣＤカメラの前に自動シャッターを設けたため、
ＣＣＤカメラへの入射光量を常に一定にすることがで
き、コッセル回折像を再現性良くかつ容易に解析するこ
とができる。
【図１】本発明のコッセル回折像自動解析装置の一例の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
１ コッセル回折像観察装置 ２ 画像処理・解析装置 １１ 電子線発生装置 ２１ 試料 ２２−１、２２ー２ ＣＣＤカメラ ２３−１、２３ー２ 自動シャッター
Claims (1)
- 【請求項１】 試料に電子線を照射して得られるコッセ
ル回折像を観察するコッセル回折像観察装置と、このコ
ッセル回折像観察装置より得られたコッセル回折像から
試料の結晶粒の方位および歪を解析する画像処理・解析
装置とからなるコッセル回折像自動解析装置において、
前記コッセル回折像観察装置が、電子線発生装置と、こ
の電子線発生装置から発生した電子線を試料に照射して
得られるコッセル回折像が投射される位置に配設された
ＣＣＤカメラとからなり、かつ、前記ＣＣＤカメラが入
射光の光量を一定にするための自動シャッターを有する
ことを特徴とするコッセル回折像自動解析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01877993A JP3269691B2 (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | コッセル回折像自動解析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01877993A JP3269691B2 (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | コッセル回折像自動解析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06229952A JPH06229952A (ja) | 1994-08-19 |
| JP3269691B2 true JP3269691B2 (ja) | 2002-03-25 |
Family
ID=11981125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01877993A Expired - Fee Related JP3269691B2 (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | コッセル回折像自動解析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3269691B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7376252B2 (en) | 2003-11-25 | 2008-05-20 | Ge Medical Systems Global Technology Company, Llc | User interactive method and user interface for detecting a contour of an object |
-
1993
- 1993-02-05 JP JP01877993A patent/JP3269691B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7376252B2 (en) | 2003-11-25 | 2008-05-20 | Ge Medical Systems Global Technology Company, Llc | User interactive method and user interface for detecting a contour of an object |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06229952A (ja) | 1994-08-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6750451B2 (en) | Observation apparatus and observation method using an electron beam | |
| EP0264218B1 (en) | Imaging of light-opaque specimens by transmission of radiation therethrough | |
| US6548811B1 (en) | Transmission electron microscope apparatus with equipment for inspecting defects in specimen and method of inspecting defects in specimen using transmission electron microscope | |
| EP1209720A2 (en) | Energy spectrum measurement | |
| Schulson | Electron channelling patterns in scanning electron microscopy | |
| KR960012331B1 (ko) | 시료표면 분석에 있어서 백그라운드 보정을 위한 방법 및 장치 | |
| JP3269691B2 (ja) | コッセル回折像自動解析装置 | |
| JPH10172492A (ja) | 電子線分析装置及び電子線分析方法 | |
| JP5248759B2 (ja) | 粒子線分析装置 | |
| EP0050475B1 (en) | Scanning-image forming apparatus using photo electric signal | |
| JPH0829363A (ja) | コッセル回折像自動解析装置 | |
| US6078046A (en) | Apparatus for measuring electron beam intensity and electron microscope comprising the same | |
| JPH1068703A (ja) | コッセル回折像自動解析装置 | |
| JPH05288692A (ja) | コッセル回折像自動解析装置 | |
| JP2775928B2 (ja) | 表面分析装置 | |
| JPS631533B2 (ja) | ||
| JPH0777504A (ja) | コッセル回折像自動解析表示装置 | |
| US4835379A (en) | X-ray sensitive camera pick-up tube | |
| JPH0696711A (ja) | 走査電子顕微鏡像の表示方法 | |
| Ranzetta et al. | Storage oscilloscope used in conjunction with the scanning electron probe microanalyser | |
| SU884005A1 (ru) | Способ измерени диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе | |
| JPH06249799A (ja) | 電子線回折強度迅速精密計測装置 | |
| Cosslett et al. | Micro-Analysis by X-Ray Absorption, Fluorescence, Emission and Diffraction Using Ultra-Fine X-Ray Sources | |
| Lipetzky et al. | Development of X-ray Diffraction Methods to Examine Single Crystal Turbine Blades | |
| Zucchino | Photometric Statistical Performance of the SEC Target |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |