JP2775928B2 - 表面分析装置 - Google Patents
表面分析装置Info
- Publication number
- JP2775928B2 JP2775928B2 JP30516489A JP30516489A JP2775928B2 JP 2775928 B2 JP2775928 B2 JP 2775928B2 JP 30516489 A JP30516489 A JP 30516489A JP 30516489 A JP30516489 A JP 30516489A JP 2775928 B2 JP2775928 B2 JP 2775928B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- electron
- displayed
- display
- data processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は電子線マイクロアナライザ（EPMA）、走査型
電子顕微鏡（SEM）等の表面分析装置におけるビーム条
件表示に関する。
電子顕微鏡（SEM）等の表面分析装置におけるビーム条
件表示に関する。
［従来技術］ 電子線マイクロアナライザ、走査型電子顕微鏡等の表
面分析装置は直径数十オングストロームに絞った電子ビ
ームで試料上を走査しつつ、ビームが通過するとき、各
試料点から生じる種々の情報を電気的に検出し、走査に
同期させて、ブラウン管上に画像として取り出すととも
に、定性、定量分析ができるようにしたものである。
面分析装置は直径数十オングストロームに絞った電子ビ
ームで試料上を走査しつつ、ビームが通過するとき、各
試料点から生じる種々の情報を電気的に検出し、走査に
同期させて、ブラウン管上に画像として取り出すととも
に、定性、定量分析ができるようにしたものである。
電子ビームで照射された試料部からは、各種のジグナ
ルが生じ、そのいずれを取り出して結像に用いるかによ
り、二次電子像、反射電子像、吸収電子像、起電力像、
ルミネッセンス像、Ｘ線像、オージエ電子像などが観測
できる。
ルが生じ、そのいずれを取り出して結像に用いるかによ
り、二次電子像、反射電子像、吸収電子像、起電力像、
ルミネッセンス像、Ｘ線像、オージエ電子像などが観測
できる。
このような表面分析装置において、従来、ビームの加
速電圧、ビーム径等のビーム条件はインジケータにディ
ジタル表示したり、アナログメータに表示したりしてい
る。
速電圧、ビーム径等のビーム条件はインジケータにディ
ジタル表示したり、アナログメータに表示したりしてい
る。
［発明が解決しようとする課題］ 上記のような従来のビーム条件表示方法では、自動分
析中、特に、CRT上に定性、定量分析結果やマッピング
像の表示を行っている場合に、電子ビーム条件をモニタ
するには、わざわざインジケータ表示をみる必要があ
り、面倒であるとともに、視認性が悪いという問題点が
あった。
析中、特に、CRT上に定性、定量分析結果やマッピング
像の表示を行っている場合に、電子ビーム条件をモニタ
するには、わざわざインジケータ表示をみる必要があ
り、面倒であるとともに、視認性が悪いという問題点が
あった。
本発明は上記のような従来技術の欠点を解消するため
に創案されたものであり、自動分析中に一目でビーム条
件を確認することができる、表面分析装置を提供するこ
とを目的とする。
に創案されたものであり、自動分析中に一目でビーム条
件を確認することができる、表面分析装置を提供するこ
とを目的とする。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、本発明における表面分析
装置は、表面分析機器からビーム条件が入力されるデー
タ処理装置と、このデータ処理装置の出力が映像信号発
生手段を介して入力される表示手段とを有する。
装置は、表面分析機器からビーム条件が入力されるデー
タ処理装置と、このデータ処理装置の出力が映像信号発
生手段を介して入力される表示手段とを有する。
［作用］ 上記のように構成された表面分析装置では、表面分析
機器から試料の検出信号とともにビーム条件がデータ処
理装置に入力され、このデータ処理装置の出力信号が映
像信号発生手段に入力される。そして、映像信号発生手
段からのビーム条件に応じた映像信号が表示装置に入力
され、表示装置にビーム条件がグラフィックイメージで
表示される。
機器から試料の検出信号とともにビーム条件がデータ処
理装置に入力され、このデータ処理装置の出力信号が映
像信号発生手段に入力される。そして、映像信号発生手
段からのビーム条件に応じた映像信号が表示装置に入力
され、表示装置にビーム条件がグラフィックイメージで
表示される。
［実施例］ 実施例について第１図の表面分析装置のブロック図と
第２図の表示例により説明する。第１図において、電子
線マイクロアナライザ１にデータ処理装置２が接続さ
れ、このデータ処理装置２が映像信号発生回路３を介し
て表示装置４に接続されている。電子線マイクロアナラ
イザ１では、電子銃からの電子ビームによって試料上が
走査され、各試料点から生じるＸ線、二次電子、反射電
子、オージェ電子等が検出器により検出されてデータ処
理装置２に取り込まれる。この時、同時に電子ビームの
加速電圧、ビーム径等の電子ビーム条件が電子線マイク
ロアナライザ１からデータ処理装置２に入力されてい
る。そして、データ処理装置２は検出信号により、定性
分析・定量分析・線分析・面分析等の自動分析を行い、
映像信号発生回路３を介して表示装置４に定性分析結
果、定量分析結果あるいは成分別や濃度別のマッピング
表示を行う。一方、電子ビーム条件の表示を行う場合に
は、データ処理装置２からビーム条件に応じた信号が映
像信号発生回路３を介して表示装置４に入力され、電子
ビーム条件がグラフィックイメージとして表示装置４に
表示される。
第２図の表示例により説明する。第１図において、電子
線マイクロアナライザ１にデータ処理装置２が接続さ
れ、このデータ処理装置２が映像信号発生回路３を介し
て表示装置４に接続されている。電子線マイクロアナラ
イザ１では、電子銃からの電子ビームによって試料上が
走査され、各試料点から生じるＸ線、二次電子、反射電
子、オージェ電子等が検出器により検出されてデータ処
理装置２に取り込まれる。この時、同時に電子ビームの
加速電圧、ビーム径等の電子ビーム条件が電子線マイク
ロアナライザ１からデータ処理装置２に入力されてい
る。そして、データ処理装置２は検出信号により、定性
分析・定量分析・線分析・面分析等の自動分析を行い、
映像信号発生回路３を介して表示装置４に定性分析結
果、定量分析結果あるいは成分別や濃度別のマッピング
表示を行う。一方、電子ビーム条件の表示を行う場合に
は、データ処理装置２からビーム条件に応じた信号が映
像信号発生回路３を介して表示装置４に入力され、電子
ビーム条件がグラフィックイメージとして表示装置４に
表示される。
これにより、表示装置４には、電子銃６、収束レンズ
７、対物レンズ８、分析試料９のイメージとともに、電
子ビーム条件が電子ビーム５の流れ、明るさ、太さによ
り表示される。
７、対物レンズ８、分析試料９のイメージとともに、電
子ビーム条件が電子ビーム５の流れ、明るさ、太さによ
り表示される。
表示装置４の表示面には、第２図のように電子ビーム
５が、例えば、黄色の破線の流れで表示され、電子ビー
ムを加速する加速電圧が低いときは破線の流れを遅く、
逆に加速電圧が高いときには破線の流れを速くする。ま
た、ビーム電流が小さいときは、破線の色を暗く、逆に
大きいときは明るくする。更に、ビーム径が小さいとき
は、分析試料にあたる電子ビームの太さを細く、大きい
ときは太くする。また、電子ビームがONの時は電子ビー
ムを表示し、OFFの時は表示しないようにする。この
時、第２図の表示例のように、グラフィックイメージと
ともにディジタル表示も同時に表示することもできる。
また、分析結果やマッピング表示とともに電子ビーム条
件を同一画面に表示することもできる。
５が、例えば、黄色の破線の流れで表示され、電子ビー
ムを加速する加速電圧が低いときは破線の流れを遅く、
逆に加速電圧が高いときには破線の流れを速くする。ま
た、ビーム電流が小さいときは、破線の色を暗く、逆に
大きいときは明るくする。更に、ビーム径が小さいとき
は、分析試料にあたる電子ビームの太さを細く、大きい
ときは太くする。また、電子ビームがONの時は電子ビー
ムを表示し、OFFの時は表示しないようにする。この
時、第２図の表示例のように、グラフィックイメージと
ともにディジタル表示も同時に表示することもできる。
また、分析結果やマッピング表示とともに電子ビーム条
件を同一画面に表示することもできる。
なお、上記の実施例では、電子線マイクロアナライザ
に本発明を適用した場合を説明したが、走査型電子顕微
鏡やイオンビームを用いた表面分析装置等にも本発明を
適用することができる。
に本発明を適用した場合を説明したが、走査型電子顕微
鏡やイオンビームを用いた表面分析装置等にも本発明を
適用することができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明は、電子ビーム条件をリ
アルタイムにモニタし、グラフィックイメージで表示す
るので、電子ビーム条件を一目で確認することができ、
あらゆる状態で電子ビーム条件の視認性を良くすること
ができる。
アルタイムにモニタし、グラフィックイメージで表示す
るので、電子ビーム条件を一目で確認することができ、
あらゆる状態で電子ビーム条件の視認性を良くすること
ができる。
第１図は電子線マイクロアナライザを用いた本発明の表
面分析装置を示すブロック図、第２図は本発明のビーム
条件表示の一例を示す図である。 １……電子線マイクロアナライザ、２……データ処理装
置、３……映像信号発生回路、４……表示装置、５……
電子ビーム、６……電子銃、７……収束レンズ、８……
対物レンズ、９……分析試料
面分析装置を示すブロック図、第２図は本発明のビーム
条件表示の一例を示す図である。 １……電子線マイクロアナライザ、２……データ処理装
置、３……映像信号発生回路、４……表示装置、５……
電子ビーム、６……電子銃、７……収束レンズ、８……
対物レンズ、９……分析試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 37/22 H01J 37/28 H01J 37/252 - 37/256
Claims (1)
- 【請求項１】表面分析機器からビーム条件が入力される
データ処理装置と、このデータ処理装置の出力が映像信
号発生手段を介して入力される表示手段とを有し、ビー
ム条件をグラフィックイメージで表示することを特徴と
する表面分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30516489A JP2775928B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 表面分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30516489A JP2775928B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 表面分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03165437A JPH03165437A (ja) | 1991-07-17 |
| JP2775928B2 true JP2775928B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=17941836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30516489A Expired - Fee Related JP2775928B2 (ja) | 1989-11-24 | 1989-11-24 | 表面分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2775928B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002039976A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | 電子線マイクロアナライザーの測定データ補正方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6535811B2 (ja) * | 2016-04-13 | 2019-06-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| JP7127089B2 (ja) | 2020-07-21 | 2022-08-29 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置及び設定支援方法 |
-
1989
- 1989-11-24 JP JP30516489A patent/JP2775928B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002039976A (ja) * | 2000-07-19 | 2002-02-06 | Shimadzu Corp | 電子線マイクロアナライザーの測定データ補正方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03165437A (ja) | 1991-07-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100382026B1 (ko) | 주사형전자현미경 | |
| US4211924A (en) | Transmission-type scanning charged-particle beam microscope | |
| EP0113746B1 (en) | An elektrode system of a retarding-field spectrometer for a voltage measuring electron beam apparatus | |
| JPH05101800A (ja) | 電子ミクロ分析方式における標的領域をサンプル表面上に求める方式 | |
| US3714424A (en) | Apparatus for improving the signal information in the examination of samples by scanning electron microscopy or electron probe microanalysis | |
| JP3373585B2 (ja) | 走査型プローブ加工観察装置 | |
| JP2775928B2 (ja) | 表面分析装置 | |
| US5086227A (en) | Secondary ion mass analyzing apparatus | |
| US4006357A (en) | Apparatus for displaying image of specimen | |
| Oatley et al. | The development of the scanning electron microscope | |
| JPH0467550A (ja) | 電子ビーム装置及びその画像取得方法 | |
| JPH1167138A (ja) | 微小領域観察装置 | |
| JP3067705B2 (ja) | 走査型電子顕微鏡 | |
| JP3174316B2 (ja) | 集束イオンビーム装置、およびそれを用いた試料像表示方法 | |
| JP2775812B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JP2824328B2 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP2000133193A (ja) | 荷電粒子線照射装置 | |
| JPH0352179B2 (ja) | ||
| JP3269691B2 (ja) | コッセル回折像自動解析装置 | |
| KR830002115B1 (ko) | 입자선을 사용한 시료분석 장치 | |
| JPH07161331A (ja) | 集束イオンビーム装置における質量分析方法 | |
| JPS6016062B2 (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| US3920890A (en) | Graphic display of raster scanning system output signals | |
| SU884005A1 (ru) | Способ измерени диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе | |
| JP2002365248A (ja) | 試料分析方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080501 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090501 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |