JPH0352179B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0352179B2 JPH0352179B2 JP11254480A JP11254480A JPH0352179B2 JP H0352179 B2 JPH0352179 B2 JP H0352179B2 JP 11254480 A JP11254480 A JP 11254480A JP 11254480 A JP11254480 A JP 11254480A JP H0352179 B2 JPH0352179 B2 JP H0352179B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- scanning
- electron
- display means
- transmission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 15
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000009125 cardiac resynchronization therapy Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は試料の同一部位における表裏両面の２
次電子像を比較検討することのできる新規な走査
電子顕微鏡に関するものである。
次電子像を比較検討することのできる新規な走査
電子顕微鏡に関するものである。
透過型走査電子顕微鏡においては、試料上に細
く絞つた電子線を照射すると共に該電子線を２次
元的に走査し、試料を透過した電子線をそのま
ま、或いはエネルギー分析器を通してフアラデー
カツプ等の検出器で検出し、得られた検出信号を
上記試料上での電子線走査に同期した表示手段に
供給し、該表示手段の画面上に試料の透過走査像
を形成するようにしている。透過電子は試料内部
を移動する間に試料各部の組成に応じた影響を受
けるため、透過走査像は試料の内部組成に関する
情報を含んだものになり、各種分析に利用されて
いる。
く絞つた電子線を照射すると共に該電子線を２次
元的に走査し、試料を透過した電子線をそのま
ま、或いはエネルギー分析器を通してフアラデー
カツプ等の検出器で検出し、得られた検出信号を
上記試料上での電子線走査に同期した表示手段に
供給し、該表示手段の画面上に試料の透過走査像
を形成するようにしている。透過電子は試料内部
を移動する間に試料各部の組成に応じた影響を受
けるため、透過走査像は試料の内部組成に関する
情報を含んだものになり、各種分析に利用されて
いる。
この様な透過走査像を取得する際、試料表面に
例えばゴミ等が付着していると、得られる透過走
査像には該ゴミが存在する部分に明暗のコントラ
ストが与えられるが、そのコントラストがゴミに
よるものなのかそれとも試料内部の組成によるも
のなのかは透過走査像から識別することができな
い。そこでこの様な場合従来は、試料上方に配置
された２次電子検出器を用いて透過走査像と同一
部位の試料表面の２次電子像を取得し、該２次電
子像に基づいてゴミの有無を識別していた。
例えばゴミ等が付着していると、得られる透過走
査像には該ゴミが存在する部分に明暗のコントラ
ストが与えられるが、そのコントラストがゴミに
よるものなのかそれとも試料内部の組成によるも
のなのかは透過走査像から識別することができな
い。そこでこの様な場合従来は、試料上方に配置
された２次電子検出器を用いて透過走査像と同一
部位の試料表面の２次電子像を取得し、該２次電
子像に基づいてゴミの有無を識別していた。
ところがこの様な従来のやり方では例えばゴミ
が試料の裏側表面に付着していた場合ゴミの付着
を見落す結果となり、分析を誤まるおそれが多分
にあつた。
が試料の裏側表面に付着していた場合ゴミの付着
を見落す結果となり、分析を誤まるおそれが多分
にあつた。
ところで、試料表面に電子線が入射する際該表
面から２次電子が放出されるのであれば、試料内
部を通過した電子線が試料裏側表面から出射する
際にも裏側表面の情報を持つた２次電子が発生し
ている筈であり、該２次電子を捕えれば試料裏側
表面の２次電子像が同時に得られる筈である。
面から２次電子が放出されるのであれば、試料内
部を通過した電子線が試料裏側表面から出射する
際にも裏側表面の情報を持つた２次電子が発生し
ている筈であり、該２次電子を捕えれば試料裏側
表面の２次電子像が同時に得られる筈である。
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、
以下図面を用いて本発明を詳説する。
以下図面を用いて本発明を詳説する。
第１図は本発明の一実施例の構成を示すブロツ
ク図であり、同図において１は電子銃である。該
電子銃１から発生した電子線２は集束レンズ３に
よつて試料４へ向けて細く集束されると共に、走
査回路５から発生する走査信号が供給される偏向
コイル６Ｘ，６Ｙによつて試料上で２次元的に走
査される。試料４の上方には該試料の上側表面か
ら発生する２次電子を検出するためのシンチレー
タ、光電子増倍管等より構成される２次電子検出
器７が配置され、又試料４の下方には該試料の下
側表面（裏面）から発生する２次電子を検出する
ための第２の２次電子検出器８が配置されてい
る。
ク図であり、同図において１は電子銃である。該
電子銃１から発生した電子線２は集束レンズ３に
よつて試料４へ向けて細く集束されると共に、走
査回路５から発生する走査信号が供給される偏向
コイル６Ｘ，６Ｙによつて試料上で２次元的に走
査される。試料４の上方には該試料の上側表面か
ら発生する２次電子を検出するためのシンチレー
タ、光電子増倍管等より構成される２次電子検出
器７が配置され、又試料４の下方には該試料の下
側表面（裏面）から発生する２次電子を検出する
ための第２の２次電子検出器８が配置されてい
る。
検出器７，８から得られた検出信号は増幅器
９，１０により増巾された後、切換スイツチ１１
を介して陰極線管（CRT）１２のグリツドへ選
択的に輝度信号として送られる。
９，１０により増巾された後、切換スイツチ１１
を介して陰極線管（CRT）１２のグリツドへ選
択的に輝度信号として送られる。
又上記試料下方の光軸上には試料を透過した電
子線を検出する検出器１３が配置されており、
（検出器の前にエネルギー分析器を置く場合があ
る。）該検出器１３から得られた検出信号は増巾
器１４を介してCRT１５のグリツドへ輝度信号
として送られる。該CRT１５及び上記CRT１２
の偏向コイル１６Ｘ，１６Ｙ及び１７Ｘ，１７Ｙ
には前記走査回路５から発生する走査信号が夫々
供給されるため、２つのCRTは共に試料上での
電子線走査に同期して走査される。
子線を検出する検出器１３が配置されており、
（検出器の前にエネルギー分析器を置く場合があ
る。）該検出器１３から得られた検出信号は増巾
器１４を介してCRT１５のグリツドへ輝度信号
として送られる。該CRT１５及び上記CRT１２
の偏向コイル１６Ｘ，１６Ｙ及び１７Ｘ，１７Ｙ
には前記走査回路５から発生する走査信号が夫々
供給されるため、２つのCRTは共に試料上での
電子線走査に同期して走査される。
斯かる構成となせば、CRT１５の画面には試
料の内部組成に応じたコントラストが与えられた
透過走査像が表示される。更にCRT１２の画面
にはスイツチ１１を切換えることにより試料表面
の２次電子像及び試料裏面の２次電子像が選択的
に表示され、試料の同一部位の表裏両面の２次電
子像を対比させて観察することができるため、透
過走査像に現われた影が試料表面に付着したゴミ
であるか、試料裏面に付着したゴミであるか、そ
れとも試料の内部組成によるものであるかを即座
に識別することができる。
料の内部組成に応じたコントラストが与えられた
透過走査像が表示される。更にCRT１２の画面
にはスイツチ１１を切換えることにより試料表面
の２次電子像及び試料裏面の２次電子像が選択的
に表示され、試料の同一部位の表裏両面の２次電
子像を対比させて観察することができるため、透
過走査像に現われた影が試料表面に付着したゴミ
であるか、試料裏面に付着したゴミであるか、そ
れとも試料の内部組成によるものであるかを即座
に識別することができる。
第２図は本発明の他の実施例を示す。本実施例
ではCRT１２の画面に同時に２つの２次電子像
を表示するために、画面分割回路１８及び検出信
号切換回路１９を設けている。即ち画面分割回路
１８は第３図ａに示す様なＸ方向走査信号に基づ
いて同図ｂに示す様なＹ方向走査信号を作成し、
CRT画面の上半分と下半分に交互にラスタを描
かせると共に、ラスタ毎に切換回路１９を例えば
第３図ｃのタイミングで切換えるため、画面の上
半分には試料表面の像が表示され、下半分は試料
裏面の像が同時に表示される結果となり、スイツ
チを手動で切換える必要がない。尚この実施例の
様に１つの画面を分割しなくてもCRTをもう１
つ付加すれば２つの２次電子像を同時に表示でき
ることは言うまでもない。
ではCRT１２の画面に同時に２つの２次電子像
を表示するために、画面分割回路１８及び検出信
号切換回路１９を設けている。即ち画面分割回路
１８は第３図ａに示す様なＸ方向走査信号に基づ
いて同図ｂに示す様なＹ方向走査信号を作成し、
CRT画面の上半分と下半分に交互にラスタを描
かせると共に、ラスタ毎に切換回路１９を例えば
第３図ｃのタイミングで切換えるため、画面の上
半分には試料表面の像が表示され、下半分は試料
裏面の像が同時に表示される結果となり、スイツ
チを手動で切換える必要がない。尚この実施例の
様に１つの画面を分割しなくてもCRTをもう１
つ付加すれば２つの２次電子像を同時に表示でき
ることは言うまでもない。
ところで、厳密に言うと試料表面と裏面では試
料の厚み分だけ光軸方向の位置がずれているの
で、集束レンズ３によつて電子線２が試料表面に
正確に焦点を結ぶように調整するとCRT１２に
表示される試料表面の像は焦点が合つたものにな
るが、試料裏面の像は若干焦点か外れたものとな
る。一方電子線２が試料裏面に焦点を結ぶように
調整すると、試料裏面の像は焦点か合つたものと
なり試料表面の像は若干焦点が外れたものとな
る。従つて一方の像を観察した後集束レンズを微
調整すれば他方の像も正確に観察することができ
る。逆にこの調整量を知れば焦点位置変化を求め
ることができるが、焦点位置変化は即ち試料の厚
さに対応するものであるから、試料の厚さを正確
に測定できることになる。
料の厚み分だけ光軸方向の位置がずれているの
で、集束レンズ３によつて電子線２が試料表面に
正確に焦点を結ぶように調整するとCRT１２に
表示される試料表面の像は焦点が合つたものにな
るが、試料裏面の像は若干焦点か外れたものとな
る。一方電子線２が試料裏面に焦点を結ぶように
調整すると、試料裏面の像は焦点か合つたものと
なり試料表面の像は若干焦点が外れたものとな
る。従つて一方の像を観察した後集束レンズを微
調整すれば他方の像も正確に観察することができ
る。逆にこの調整量を知れば焦点位置変化を求め
ることができるが、焦点位置変化は即ち試料の厚
さに対応するものであるから、試料の厚さを正確
に測定できることになる。
第１図及び第２図は本発明の実施例の構成を示
す図であり、第３図は第２図の実施例の動作を説
明するための波形図である。 ４：試料、７，８：２次電子検出器、１２，１
５：CRT、１３：透過電子検出器、１８：画面
分割回路、１９：検出信号切換回路。
す図であり、第３図は第２図の実施例の動作を説
明するための波形図である。 ４：試料、７，８：２次電子検出器、１２，１
５：CRT、１３：透過電子検出器、１８：画面
分割回路、１９：検出信号切換回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電子銃と、該電子銃から発生した電子線を試
料に向けて集束させるための集束レンズと、電子
線を試料上で２次元的に走査するための偏向手段
と、試料を透過した電子線を検出する透過電子検
出器と、該透過電子検出器から得られる検出信号
が供給され該検出信号に基づく透過走査像を表示
する第１の表示手段と、電子線照射により試料の
上側表面から発生する２次電子と下側表面から発
生する２次電子を同時且つ別個に検出するために
試料上方及び下方に夫々配置される第１及び第２
の２次電子検出器と、該第１及び第２の検出器か
ら得られる夫々の検出信号に基づく前記透過走査
像と同一視野の映像を表示する第２の表示手段と
を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 ２ 前記第２の表示手段は前記第１及び第２の検
出器から得られる夫々の検出信号に基づく映像を
選択的に表示する１つの表示手段から成る特許請
求の範囲第１項記載の走査電子顕微鏡。 ３ 前記第２の表示手段は前記第１及び第２の検
出器から得られる夫々の検出信号に基づく映像を
１画面の異なつた場所に同時に表示する特許請求
の範囲第１項記載の走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11254480A JPS5736764A (ja) | 1980-08-15 | 1980-08-15 | Sosadenshikenbikyo |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11254480A JPS5736764A (ja) | 1980-08-15 | 1980-08-15 | Sosadenshikenbikyo |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5736764A JPS5736764A (ja) | 1982-02-27 |
| JPH0352179B2 true JPH0352179B2 (ja) | 1991-08-09 |
Family
ID=14589299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11254480A Granted JPS5736764A (ja) | 1980-08-15 | 1980-08-15 | Sosadenshikenbikyo |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5736764A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01166453A (ja) * | 1987-12-23 | 1989-06-30 | Kawasaki Steel Corp | コッセル像観察装置 |
| JP5170728B2 (ja) * | 2005-12-13 | 2013-03-27 | サンユー電子株式会社 | 画像生成方法および画像生成装置 |
| JP5502612B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2014-05-28 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子ビーム装置 |
-
1980
- 1980-08-15 JP JP11254480A patent/JPS5736764A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5736764A (ja) | 1982-02-27 |
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