JPS6235218B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6235218B2 JPS6235218B2 JP52122347A JP12234777A JPS6235218B2 JP S6235218 B2 JPS6235218 B2 JP S6235218B2 JP 52122347 A JP52122347 A JP 52122347A JP 12234777 A JP12234777 A JP 12234777A JP S6235218 B2 JPS6235218 B2 JP S6235218B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- value
- panel
- threshold value
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の利用分野
本発明はパターン検査装置、特にカラーブラウ
ン管パネル内面などに作られた各種のパターンの
検査装置に関するものである。
ン管パネル内面などに作られた各種のパターンの
検査装置に関するものである。
(2) 従来技術
例えば、カラーブラウン管の前面パネルの内面
には赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の螢光体を塗布
するために、各種のパターンが形成される。また
コントラストを向上させるためにブラツクマトリ
ツクスなどのパターンが抽かれている。
には赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の螢光体を塗布
するために、各種のパターンが形成される。また
コントラストを向上させるためにブラツクマトリ
ツクスなどのパターンが抽かれている。
従来これらのパターンのパネル段階での検査は
人間の目視によつて行なわれ、一部は抜き取りで
顕微鏡下での測定が行なわれている。このため見
落しによつてブラウン管完成後に欠陥が判明した
り、検査に時間がかかつたり、また検査員が疲労
するなど多くの欠点がある。
人間の目視によつて行なわれ、一部は抜き取りで
顕微鏡下での測定が行なわれている。このため見
落しによつてブラウン管完成後に欠陥が判明した
り、検査に時間がかかつたり、また検査員が疲労
するなど多くの欠点がある。
(3) 発明の目的
本発明は上記の欠点をなくし、ブラウン管パネ
ル内面等に表示されている各種のパターンを短時
間に、かつ自動的に検査する装置を提供すること
を目的とする。
ル内面等に表示されている各種のパターンを短時
間に、かつ自動的に検査する装置を提供すること
を目的とする。
(4) 発明の総括説明
上記の目的を達成するために、本発明ではブラ
ウン管パネル内面が球面であることを利用して、
その球面の曲率中心を中心として光束を２次元的
に走査するとともにパターンからの透過光を拡散
体に照射したのち、この拡散体を２次光源とする
光を受光器で検出し、種々の処理を行ないパネル
内面の各種のパターンの状態を検査する。
ウン管パネル内面が球面であることを利用して、
その球面の曲率中心を中心として光束を２次元的
に走査するとともにパターンからの透過光を拡散
体に照射したのち、この拡散体を２次光源とする
光を受光器で検出し、種々の処理を行ないパネル
内面の各種のパターンの状態を検査する。
例えばストライプ状のブラツクマトリツクスを
持つブラウン管パネルの検査を行なう場合は、
Ｒ、Ｇ、Ｂに対応する情報を得る必要があり、そ
のためにはパターンの端から３本づつ計数しなけ
ればならない。そのためには全面を走査してパタ
ーンの数（ストライプの本数）の計数が不可欠で
ある。欠陥の検出、たとえばパターンの寸法（ス
トライプ幅の寸法計測）の検査に関しても、パネ
ル上の任意の位置でのパターンに対応する出力が
必要である。そのためには上記の受光器の出力信
号を何らかのしきい値でストライプ部分とストラ
イプ状のブラツクマトリツクス部分（カーボン部
分）とに分離し、上記の両者の幅を一定のクロツ
クのカウント数で表示するか、あるいは幅に比例
する電圧値に変換する必要がある。
持つブラウン管パネルの検査を行なう場合は、
Ｒ、Ｇ、Ｂに対応する情報を得る必要があり、そ
のためにはパターンの端から３本づつ計数しなけ
ればならない。そのためには全面を走査してパタ
ーンの数（ストライプの本数）の計数が不可欠で
ある。欠陥の検出、たとえばパターンの寸法（ス
トライプ幅の寸法計測）の検査に関しても、パネ
ル上の任意の位置でのパターンに対応する出力が
必要である。そのためには上記の受光器の出力信
号を何らかのしきい値でストライプ部分とストラ
イプ状のブラツクマトリツクス部分（カーボン部
分）とに分離し、上記の両者の幅を一定のクロツ
クのカウント数で表示するか、あるいは幅に比例
する電圧値に変換する必要がある。
本発明では上記のしきい値の決定を、ブラウン
管パネルのパターンの性質に着目して、非常に簡
単な方法で、かつ高速に行ない、正しいストライ
プ幅、ストライプ状のブラツクマトリツクスの幅
の情報を得て、パネルの検査を行なうものであ
る。
管パネルのパターンの性質に着目して、非常に簡
単な方法で、かつ高速に行ない、正しいストライ
プ幅、ストライプ状のブラツクマトリツクスの幅
の情報を得て、パネルの検査を行なうものであ
る。
以下、ブラウン管パネルのストライプ状のブラ
ツクマトリツクスの検査を対象に、一実施例を用
いて、本発明を詳細に説明する。
ツクマトリツクスの検査を対象に、一実施例を用
いて、本発明を詳細に説明する。
第１図Ａは本発明の一実施例を示す構成図であ
る。１は被検査物である第１図Ｂに示すようなブ
ラツクマトリツクスのパターンを有するブラウン
管パネルである。その内面はほぼ球面であり、そ
の曲率中心をＯとする。２はＯを中心とする２次
元走査鏡である。３はＸ方向（紙面に平行に走
査）を走査するための鏡駆動部であり、一般にガ
ルバノメータ方式が用いられる。４は駆動信号発
生部であり、その出力は鋸歯状波となつている。
５はＹ方向（紙面に垂直に走査）を走査するため
の駆動部でパルスモータなどが用いられている。
上記のＸ、Ｙ方向の駆動の開始および終了は制御
回路１６からの信号で制御される。即ち制御回路
１６の指令により、パネル上の任意の場所の走査
を行なうことができる。
る。１は被検査物である第１図Ｂに示すようなブ
ラツクマトリツクスのパターンを有するブラウン
管パネルである。その内面はほぼ球面であり、そ
の曲率中心をＯとする。２はＯを中心とする２次
元走査鏡である。３はＸ方向（紙面に平行に走
査）を走査するための鏡駆動部であり、一般にガ
ルバノメータ方式が用いられる。４は駆動信号発
生部であり、その出力は鋸歯状波となつている。
５はＹ方向（紙面に垂直に走査）を走査するため
の駆動部でパルスモータなどが用いられている。
上記のＸ、Ｙ方向の駆動の開始および終了は制御
回路１６からの信号で制御される。即ち制御回路
１６の指令により、パネル上の任意の場所の走査
を行なうことができる。
パネル内面の各種のパターンを検出するにはま
ず光源６（レーザ光源）からの光束をパネル上に
集束する。上記のレーザ光は光学レンズ系７によ
り、パネル内面上でのパターンを十分な分解能で
検出し得るに足りる程に小さな光スポツトに集光
される。パネルを通過した光束は前記光ビームの
パネル透過側に設けられた、パネル全面をカバー
する大きさの拡散板８に入射して、拡散光源の２
次光源となる。この２次光源からの光は受光器９
（例えば光電子増倍管）によつて検出され、第２
図ａに示すような電気信号に変換される。受光器
９からのアナログ信号はＡ／Ｄ変換器１０でデイ
ジタル信号に変換される。１３はパターン計測用
クロツク発生部であり、第２図ｄに示す各クロツ
クを発生し、制御回路に送出する。
ず光源６（レーザ光源）からの光束をパネル上に
集束する。上記のレーザ光は光学レンズ系７によ
り、パネル内面上でのパターンを十分な分解能で
検出し得るに足りる程に小さな光スポツトに集光
される。パネルを通過した光束は前記光ビームの
パネル透過側に設けられた、パネル全面をカバー
する大きさの拡散板８に入射して、拡散光源の２
次光源となる。この２次光源からの光は受光器９
（例えば光電子増倍管）によつて検出され、第２
図ａに示すような電気信号に変換される。受光器
９からのアナログ信号はＡ／Ｄ変換器１０でデイ
ジタル信号に変換される。１３はパターン計測用
クロツク発生部であり、第２図ｄに示す各クロツ
クを発生し、制御回路に送出する。
第５図はクロツク発生部１３の詳細図である。
４０は比較器であり、Ａ／Ｄ変換器１０の出力信
号と制御回路１６から与えられる値（しきい値）
とを比較し第２図ｂに示すような信号を得る。４
１はカウンタで構成される1/3分周器であり、
Ｒ、Ｇ、Ｂのパネル上の位置とパターンの同定の
ための信号（第２図ｃに示される）を得る。つま
り第２図ｃに示す信号を基準にしてＲ、Ｇ、Ｂの
順にストライプ部分が発生する。４２はスリツプ
フロツプ（FF回路）で構成される同期信号発生
回路であり、第２図ｄに示す信号を得る。つまり
第２図ｂの信号の立上り時に発生するクロツク
CL1（パターン開始信号）とCL1より数100ｍｓ遅
れて発生するクロツクCL2を発生する。
４０は比較器であり、Ａ／Ｄ変換器１０の出力信
号と制御回路１６から与えられる値（しきい値）
とを比較し第２図ｂに示すような信号を得る。４
１はカウンタで構成される1/3分周器であり、
Ｒ、Ｇ、Ｂのパネル上の位置とパターンの同定の
ための信号（第２図ｃに示される）を得る。つま
り第２図ｃに示す信号を基準にしてＲ、Ｇ、Ｂの
順にストライプ部分が発生する。４２はスリツプ
フロツプ（FF回路）で構成される同期信号発生
回路であり、第２図ｄに示す信号を得る。つまり
第２図ｂの信号の立上り時に発生するクロツク
CL1（パターン開始信号）とCL1より数100ｍｓ遅
れて発生するクロツクCL2を発生する。
１１，１２は最大値および最小値検出回路であ
り、第２図ｅに示すように各パターン毎に最大
値、最小値を順次求めてゆく。これらの最大値、
最小値検出回路はパターン毎にCL2でクリアさ
れ、再度上記の演算を行なう。上記の検出回路で
求められた最大値、最小値は常に次段のしきい値
決定回路１４に送出されている。
り、第２図ｅに示すように各パターン毎に最大
値、最小値を順次求めてゆく。これらの最大値、
最小値検出回路はパターン毎にCL2でクリアさ
れ、再度上記の演算を行なう。上記の検出回路で
求められた最大値、最小値は常に次段のしきい値
決定回路１４に送出されている。
第３図はしきい値決定回路の詳細図である。２
０は平均値計算回路であり、最大値と最小値の平
均値を計算する。２１のメモリ回路はシフトレジ
スタで構成され、しきい値の候補値を６個分まで
記憶する。上記のメモリのシフト用クロツクは第
２図ｄに示したCL1を使用する。つまり、クロツ
クCL2から次のCL1までの間に１つのパターンの
最大値、最小値が求まり、続いて両者の平均値、
続いて平均値±αの演算が終了し、その結果（し
きい値の候補値）がメモリに記憶される。上記の
しきい値の候補値はクロツクCL1に同期して順
次、新らたな候補値に更新される。また、メモリ
回路の記憶容量はしきい値として上記の候補値の
平均値を用いる場合、何個の平均値を用いるかに
よつて決定される。したがつて上記の平均値を用
いない場合は３個分の容量があれば十分である。
２２は平均値計算回路であり２つの候補値の平均
値を求める。上記の２つの候補値を何にするかは
制御回路から指示される。２３はマルチプレクサ
であり、しきい値として、２２のメモリに記憶さ
れている６個の候補値の１つを用いるのか、ある
いは２２の平均値計算回路の出力を用いるのか
を、制御回路の指示にしたがつて選択し、その出
力を次段のストライプ幅計算回路１５に送出す
る。一般には、Ｒに相当するパターンを抽出する
場合のしきい値は、上記と同種類のパターン、す
なわち手前に発生したＲに相当するパターンを使
つて求めたしきい値の候補値を使用する。
０は平均値計算回路であり、最大値と最小値の平
均値を計算する。２１のメモリ回路はシフトレジ
スタで構成され、しきい値の候補値を６個分まで
記憶する。上記のメモリのシフト用クロツクは第
２図ｄに示したCL1を使用する。つまり、クロツ
クCL2から次のCL1までの間に１つのパターンの
最大値、最小値が求まり、続いて両者の平均値、
続いて平均値±αの演算が終了し、その結果（し
きい値の候補値）がメモリに記憶される。上記の
しきい値の候補値はクロツクCL1に同期して順
次、新らたな候補値に更新される。また、メモリ
回路の記憶容量はしきい値として上記の候補値の
平均値を用いる場合、何個の平均値を用いるかに
よつて決定される。したがつて上記の平均値を用
いない場合は３個分の容量があれば十分である。
２２は平均値計算回路であり２つの候補値の平均
値を求める。上記の２つの候補値を何にするかは
制御回路から指示される。２３はマルチプレクサ
であり、しきい値として、２２のメモリに記憶さ
れている６個の候補値の１つを用いるのか、ある
いは２２の平均値計算回路の出力を用いるのか
を、制御回路の指示にしたがつて選択し、その出
力を次段のストライプ幅計算回路１５に送出す
る。一般には、Ｒに相当するパターンを抽出する
場合のしきい値は、上記と同種類のパターン、す
なわち手前に発生したＲに相当するパターンを使
つて求めたしきい値の候補値を使用する。
また、Ｘ方向の走査開始時には上記のしきい値
は未決定となる恐れがある。そのため、本装置で
は上記のしきい値が決定されるまでの期間は制御
回路からあらかじめ統計的に決定された値を与
え、その値をしきい値とする。
は未決定となる恐れがある。そのため、本装置で
は上記のしきい値が決定されるまでの期間は制御
回路からあらかじめ統計的に決定された値を与
え、その値をしきい値とする。
第４図はストライプ幅計算回路の詳細図であ
る。３０は比較器であり、しきい値決定回路１４
からのしきい値とＡ／Ｄ変換器１０からの入力信
号とを比較して、入力信号をストライプ部分とカ
ーボン部分に分離する（第２図ｆ，ｇに示す。）。
３１，３２はカウンタであり、それぞれストライ
プ部分、カーボン部分の長さを12MHzのクロツ
ク数に変換し、次段のメモリ部３３に送出する。
メモリ部では制御回路１６からの指令に従つて、
上記のストライプ幅およびカーボン幅に相当する
カウント数を記憶する。つまり、１のブラウン管
パネル上の測定したい部分だけの情報を記憶する
訳けである。
る。３０は比較器であり、しきい値決定回路１４
からのしきい値とＡ／Ｄ変換器１０からの入力信
号とを比較して、入力信号をストライプ部分とカ
ーボン部分に分離する（第２図ｆ，ｇに示す。）。
３１，３２はカウンタであり、それぞれストライ
プ部分、カーボン部分の長さを12MHzのクロツ
ク数に変換し、次段のメモリ部３３に送出する。
メモリ部では制御回路１６からの指令に従つて、
上記のストライプ幅およびカーボン幅に相当する
カウント数を記憶する。つまり、１のブラウン管
パネル上の測定したい部分だけの情報を記憶する
訳けである。
上記のパターン（ストライプ幅およびストライ
プ状のブラツクマトリツクの幅）と位置信号とを
判定表示回路１７に入力して、パターンが規格値
の範囲にあるかどうかを判定する。また、その結
果を記憶しておき、必要に応じて異常場所と寸法
とを出力して表示する。
プ状のブラツクマトリツクの幅）と位置信号とを
判定表示回路１７に入力して、パターンが規格値
の範囲にあるかどうかを判定する。また、その結
果を記憶しておき、必要に応じて異常場所と寸法
とを出力して表示する。
(6) まとめ
以上説明したごとく本発明によれば次々に発生
するパターンごとのしきい値を順次求め、そのし
きい値を用いてストライプ幅とストライプ状のブ
ラツクマトリツクの幅の情報を得て、パネル内面
のパターンを非接触で、かつ高速に自動検査する
ことができる。
するパターンごとのしきい値を順次求め、そのし
きい値を用いてストライプ幅とストライプ状のブ
ラツクマトリツクの幅の情報を得て、パネル内面
のパターンを非接触で、かつ高速に自動検査する
ことができる。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２
図はその実施例の動作を説明するタイムチヤー
ト、第３図〜第５図は、第１図に示す実施例の要
部の詳細を示すブロツク図である。
図はその実施例の動作を説明するタイムチヤー
ト、第３図〜第５図は、第１図に示す実施例の要
部の詳細を示すブロツク図である。
Claims (1)
- １ 多数個存在するパターンを走査する手段と、
上記手段からの出力を検出する検出手段と、上記
検出手段からの出力のうち１つのパターンに該当
する信号の最大値と最小値の平均値を求める演算
手段と、上記演算手段からの出力を次に発生する
パターンの抽出のためのしきい値とする手段と、
上記のしきい値を上記のパターンのくり返しに追
随して順次更新し、新らたなしきい値とし、上記
のくり返し発生するパターンを順次抽出すること
を特徴とするパターン検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12234777A JPS5456354A (en) | 1977-10-14 | 1977-10-14 | Pattern inspecting equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12234777A JPS5456354A (en) | 1977-10-14 | 1977-10-14 | Pattern inspecting equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5456354A JPS5456354A (en) | 1979-05-07 |
| JPS6235218B2 true JPS6235218B2 (ja) | 1987-07-31 |
Family
ID=14833684
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12234777A Granted JPS5456354A (en) | 1977-10-14 | 1977-10-14 | Pattern inspecting equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5456354A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61153921A (ja) * | 1984-12-26 | 1986-07-12 | Nec Kansai Ltd | 陰極線管の映像光検出方法 |
| FR2611083B1 (fr) * | 1987-02-13 | 1989-05-05 | Videocolor | Procede de mesure automatique de convergence et de determination des corrections a apporter a des deviateurs pour tubes cathodiques trichromes, et machine de mise en oeuvre |
-
1977
- 1977-10-14 JP JP12234777A patent/JPS5456354A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5456354A (en) | 1979-05-07 |
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