JPS6153818B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6153818B2 JPS6153818B2 JP11457577A JP11457577A JPS6153818B2 JP S6153818 B2 JPS6153818 B2 JP S6153818B2 JP 11457577 A JP11457577 A JP 11457577A JP 11457577 A JP11457577 A JP 11457577A JP S6153818 B2 JPS6153818 B2 JP S6153818B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- panel
- pattern
- cathode ray
- ray tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
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- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
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- 239000011022 opal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はカラーブラウン管などのパルス内面に
作られた各種パターンの検査装置、特にパターン
の検出に好適な光学系に関するものである。カラ
ーブラウン管の前面パネルの内面には赤(R)、
緑(G)、青(B)の螢光体を塗布するために、
各種のパターンが形成される。またコントラスト
を向上させるために、ブラツクマトリツクスのス
トライプあるいはドツトなどのパターンが形成さ
れている。
作られた各種パターンの検査装置、特にパターン
の検出に好適な光学系に関するものである。カラ
ーブラウン管の前面パネルの内面には赤(R)、
緑(G)、青(B)の螢光体を塗布するために、
各種のパターンが形成される。またコントラスト
を向上させるために、ブラツクマトリツクスのス
トライプあるいはドツトなどのパターンが形成さ
れている。
従来これらパターンのパネル段階での検査は目
視によつて行なわれ、あるいは一部は抜き取り検
査で顕微鏡による測定が行なわれている。このた
め見落しによつてブラウン管完成後に欠陥が判明
したり、検査に時間がかかつたり、また、検査員
が疲労するなど多くの欠点がある。
視によつて行なわれ、あるいは一部は抜き取り検
査で顕微鏡による測定が行なわれている。このた
め見落しによつてブラウン管完成後に欠陥が判明
したり、検査に時間がかかつたり、また、検査員
が疲労するなど多くの欠点がある。
本発明は上記の欠点をなくし、ブラウン管パネ
ル内面の各種のパターンを短時間に、かつ自動的
に検査する装置特にパターンの検出に好適な光学
系を具備する装置を提供することを目的とする。
この目的を達成するために、本発明ではブラウン
管パネル内面がほゞ球面であることを利用して、
その球面の曲率中心を中心として光ビームを2次
元的に走査するとともにパターンが形成されてい
るパネルを透過した光ビームを拡散板に照射し
て、拡散板からの光を2次光源からの光として走
査ビームの光を1個の受光器(多数個の受光器を
使用してもよいが1個で十分である。)に入射さ
せて、パネル内面の各種のパターンの状態を検査
する。つまり、パネル内面にパターンが存在し、
パネル面の位置によつてその透過率が異なれば、
光ビームの透過光強度も上記のパターン各部の透
過率に対応して変化し、したがつて受光器出力も
同様に変化する。即ちパターンに欠陥があり、透
過率がその部分で大幅に変化すれば透過光強度か
ら上記の欠陥を検出することができるし、又、光
ビーム走査に対応した透過光の時間波形から光ビ
ームの走査速度を考慮してパターンの寸法計測が
可能となる。
ル内面の各種のパターンを短時間に、かつ自動的
に検査する装置特にパターンの検出に好適な光学
系を具備する装置を提供することを目的とする。
この目的を達成するために、本発明ではブラウン
管パネル内面がほゞ球面であることを利用して、
その球面の曲率中心を中心として光ビームを2次
元的に走査するとともにパターンが形成されてい
るパネルを透過した光ビームを拡散板に照射し
て、拡散板からの光を2次光源からの光として走
査ビームの光を1個の受光器(多数個の受光器を
使用してもよいが1個で十分である。)に入射さ
せて、パネル内面の各種のパターンの状態を検査
する。つまり、パネル内面にパターンが存在し、
パネル面の位置によつてその透過率が異なれば、
光ビームの透過光強度も上記のパターン各部の透
過率に対応して変化し、したがつて受光器出力も
同様に変化する。即ちパターンに欠陥があり、透
過率がその部分で大幅に変化すれば透過光強度か
ら上記の欠陥を検出することができるし、又、光
ビーム走査に対応した透過光の時間波形から光ビ
ームの走査速度を考慮してパターンの寸法計測が
可能となる。
一方、パネルの大きさに無関係に全面走査する
ためには走査機構によつて光束を一定の角度、例
えば±15度に振る必要がある。このためパターン
からの透過光を1個の受光器で検出するための光
学系は非常に大きなものが必要となる恐れがあ
る。そのため本発明では上記の透過光を一度拡散
体にあてて、これを2次光源として拡散光の一部
を1個の受光器に入射させてパターンの検査を可
能にする。つまり任意の測定部位を通過した光束
は必ず一度拡散板に照射される。拡散板からの光
束は、必要な情報を含み、かつ多方面に放射され
る。したがつて、パネル全体を見込む任意の位置
に受光器を設置すれば、その受光器には、任意の
測定部位からの光束の一部は必ず入射することと
なる。
ためには走査機構によつて光束を一定の角度、例
えば±15度に振る必要がある。このためパターン
からの透過光を1個の受光器で検出するための光
学系は非常に大きなものが必要となる恐れがあ
る。そのため本発明では上記の透過光を一度拡散
体にあてて、これを2次光源として拡散光の一部
を1個の受光器に入射させてパターンの検査を可
能にする。つまり任意の測定部位を通過した光束
は必ず一度拡散板に照射される。拡散板からの光
束は、必要な情報を含み、かつ多方面に放射され
る。したがつて、パネル全体を見込む任意の位置
に受光器を設置すれば、その受光器には、任意の
測定部位からの光束の一部は必ず入射することと
なる。
かくして、本発明では、安価で安定な拡散板を
用いることにより、レンズの如き高価な光学系を
用いることなく、2次元的広がりをもつたパネル
全体の検査を1個の受光器で行うことが可能とな
るのである。
用いることにより、レンズの如き高価な光学系を
用いることなく、2次元的広がりをもつたパネル
全体の検査を1個の受光器で行うことが可能とな
るのである。
例えば、ストライプ状のブラツクマトリクスを
測定する場合にはR,G,Bに対応する情報を得
るためには、パターンの端部から3本づつ計数し
なければならない。そのためには全面を走査して
パターンの数(ストライプの本数)の計数が不可
欠である。
測定する場合にはR,G,Bに対応する情報を得
るためには、パターンの端部から3本づつ計数し
なければならない。そのためには全面を走査して
パターンの数(ストライプの本数)の計数が不可
欠である。
欠陥の検出、たとえばパターンの寸法の検査に
関しても、パネル上の任意の位置での計側が望ま
しい。上記ような要求に対して、本発明を用いれ
ば、非常に簡単な手段で、その実現が可能となる
わけである。
関しても、パネル上の任意の位置での計側が望ま
しい。上記ような要求に対して、本発明を用いれ
ば、非常に簡単な手段で、その実現が可能となる
わけである。
以下、ブラウン管パネルのストライプ状のブラ
ツクマトリツクスの検査を対象として、本発明
を、一実施例を用いて詳細に説明する。
ツクマトリツクスの検査を対象として、本発明
を、一実施例を用いて詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。1は被検査物であるブラウン管パネルであ
る。その内面はほゞ球面であり、その曲率中心を
Oとする。2はOを中心とする2次元走査鏡であ
り、例えば紙面に平行に走査(X方向の走査)を
するとともに、紙面に垂直方向にも走査(Y方向
の走査)を行なう。3はX方向へ走査するための
鏡駆動部であり、一般にはガルバノメータ方式が
用いられる。4は駆動信号の発振器である。5は
Y方向に走査するための駆動部でパルスモータな
どが用いられている。6はその発振器である。
7,8はX,Yそれぞれの走査に対する位置信号
発生回路である。2次元走査方式としては、2個
のガルバノメータ方式の鏡または回転鏡を使つて
もよいし、これらの組み合わせでも可能である。
る。1は被検査物であるブラウン管パネルであ
る。その内面はほゞ球面であり、その曲率中心を
Oとする。2はOを中心とする2次元走査鏡であ
り、例えば紙面に平行に走査(X方向の走査)を
するとともに、紙面に垂直方向にも走査(Y方向
の走査)を行なう。3はX方向へ走査するための
鏡駆動部であり、一般にはガルバノメータ方式が
用いられる。4は駆動信号の発振器である。5は
Y方向に走査するための駆動部でパルスモータな
どが用いられている。6はその発振器である。
7,8はX,Yそれぞれの走査に対する位置信号
発生回路である。2次元走査方式としては、2個
のガルバノメータ方式の鏡または回転鏡を使つて
もよいし、これらの組み合わせでも可能である。
まず、パネル内面の各種のパターンを検出する
には、光源9例えばレーザ光源からの光束をパネ
ル上に集束する。即ち光源9の光ビームをビーム
エキスパンダ10、集光レンズ11を通してパネ
ル内面上でパターンを十分な分解能で検出し得る
に足りる程に小さな光スポツトにする。パネルを
通過した光ビームはパネルの後方に設けた拡散板
12を照明し、2次光源の光束として受光器13
に入射する。上記の拡散板としてはオパールガラ
ス、きせガラス、あるいは乳白アクリル板などを
用い、その大きさはパネルの測定面全面をカバー
する。
には、光源9例えばレーザ光源からの光束をパネ
ル上に集束する。即ち光源9の光ビームをビーム
エキスパンダ10、集光レンズ11を通してパネ
ル内面上でパターンを十分な分解能で検出し得る
に足りる程に小さな光スポツトにする。パネルを
通過した光ビームはパネルの後方に設けた拡散板
12を照明し、2次光源の光束として受光器13
に入射する。上記の拡散板としてはオパールガラ
ス、きせガラス、あるいは乳白アクリル板などを
用い、その大きさはパネルの測定面全面をカバー
する。
このようにしてパネルを透過した光は受光器1
3によつて検出される。
3によつて検出される。
かくして本発明によれば、パネルの透過光を拡
散光に変更し、この拡散光を受光器13で受光す
ればよいので、受光器は1個を使用すればよいこ
とになる。而して、上記拡散光を受光するのに受
光器を複数個使用してもよいのは勿論であり、所
謂信号対雑音(S/N)比を高くする場合には、
複数個が望ましいのである。
散光に変更し、この拡散光を受光器13で受光す
ればよいので、受光器は1個を使用すればよいこ
とになる。而して、上記拡散光を受光するのに受
光器を複数個使用してもよいのは勿論であり、所
謂信号対雑音(S/N)比を高くする場合には、
複数個が望ましいのである。
受光器13からの電気信号は、以下の如くして
処理されるが、この処理については、本発明と直
接関係ないので、概略を説明する。即ち、受光器
13は光電子増倍管を使用し、受光器13の出力
信号は信号処理回路14で検査しようとするパタ
ーンの寸法に対応する信号に変換する。例えば第
2図aに示したストライプ状のブラツクマトリツ
クスの幅であれば、ブラツクマトリツクス部分の
透過率はほとんど0であるから、パターン上の光
ビームがストライプに対して充分細ければ受光器
13の出力は第2図bのようにパルス状になり、
処理回路14でこのパルス幅に対応する信号に変
換すれば、ストライプ幅およびブラツクマトリツ
クス幅の情報が得られる。
処理されるが、この処理については、本発明と直
接関係ないので、概略を説明する。即ち、受光器
13は光電子増倍管を使用し、受光器13の出力
信号は信号処理回路14で検査しようとするパタ
ーンの寸法に対応する信号に変換する。例えば第
2図aに示したストライプ状のブラツクマトリツ
クスの幅であれば、ブラツクマトリツクス部分の
透過率はほとんど0であるから、パターン上の光
ビームがストライプに対して充分細ければ受光器
13の出力は第2図bのようにパルス状になり、
処理回路14でこのパルス幅に対応する信号に変
換すれば、ストライプ幅およびブラツクマトリツ
クス幅の情報が得られる。
また、受光器13の出力はストライプ計数回路
15にも送出される。計数回路15では上記の信
号を一度、第2図cのように波形整形したのち、
カウンタを利用して、ストライプの数の計数を行
ない、位置計算回路16に送る。一方、X,Y各
方向の走査の位置信号もそれぞれの発生回路7,
8から入力し、計算回路16でパネル上の位置と
パターンの同定との判定を行なう。ブラツクスト
ライプ型のブラウン管パネルの場合には所定の規
則に従つてR,G,Bに対応する部分が3本づつ
の対となつているので、パネルの端部から3本づ
つ計数することによつて、光スポツトの位置がど
の色に対応しているかの信号が得られる。また、
X方向の位置は7のX方向の位置信号発生回路か
らの出力がなくても、ストライプ計数回路15か
らの出力だけで決定することが十分可能である。
15にも送出される。計数回路15では上記の信
号を一度、第2図cのように波形整形したのち、
カウンタを利用して、ストライプの数の計数を行
ない、位置計算回路16に送る。一方、X,Y各
方向の走査の位置信号もそれぞれの発生回路7,
8から入力し、計算回路16でパネル上の位置と
パターンの同定との判定を行なう。ブラツクスト
ライプ型のブラウン管パネルの場合には所定の規
則に従つてR,G,Bに対応する部分が3本づつ
の対となつているので、パネルの端部から3本づ
つ計数することによつて、光スポツトの位置がど
の色に対応しているかの信号が得られる。また、
X方向の位置は7のX方向の位置信号発生回路か
らの出力がなくても、ストライプ計数回路15か
らの出力だけで決定することが十分可能である。
上記のパターンの寸法の信号と位置信号とを演
算記憶回路17に入力して、パターンが規格値の
範囲にあるかどうかを判定すればよい。また、そ
の結果を記憶しておき、必要に応じて異常場所と
寸法とを出力して表示などをすることも可能であ
る。
算記憶回路17に入力して、パターンが規格値の
範囲にあるかどうかを判定すればよい。また、そ
の結果を記憶しておき、必要に応じて異常場所と
寸法とを出力して表示などをすることも可能であ
る。
以上説明したごとく本発明によれば、ブラウン
管パネル内面がほゞ球面であることを利用して、
その曲率中心を中心として光束を走査するととも
に、パネル面からの透過光を2次光源に変換し、
その光を1個の受光器で検出するという簡単な装
置構成でパネル内面のパターンを非接触で高速に
自動検査することができる。
管パネル内面がほゞ球面であることを利用して、
その曲率中心を中心として光束を走査するととも
に、パネル面からの透過光を2次光源に変換し、
その光を1個の受光器で検出するという簡単な装
置構成でパネル内面のパターンを非接触で高速に
自動検査することができる。
第1図は本発明の一実施例を示す装置の構成
図、第2図は受光器13の出力信号である。
図、第2図は受光器13の出力信号である。
Claims (1)
- 1 ブラウン管パネル内面のほぼ曲率中心を中心
として、上記パネル内面を光束により2次元的に
走査する走査手段と、上記光源と上記パネル面と
の間に存在して上記光源からの光束をパネル面上
に集束する第1の光学手段と、上記パネル面の透
過光を2次光源からの光束に変換する第2の光学
手段と、上記2次光源からの光束を検出する検出
器と、を具備することを特徴とするブラウン管パ
ネル検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11457577A JPS5448153A (en) | 1977-09-26 | 1977-09-26 | Test equipment for braun tube panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11457577A JPS5448153A (en) | 1977-09-26 | 1977-09-26 | Test equipment for braun tube panel |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5448153A JPS5448153A (en) | 1979-04-16 |
JPS6153818B2 true JPS6153818B2 (ja) | 1986-11-19 |
Family
ID=14641260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11457577A Granted JPS5448153A (en) | 1977-09-26 | 1977-09-26 | Test equipment for braun tube panel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5448153A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH044540A (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-09 | Nec Corp | ブラウン管膜点検査装置 |
-
1977
- 1977-09-26 JP JP11457577A patent/JPS5448153A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5448153A (en) | 1979-04-16 |
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