JPS59224038A - 荷電粒子線走査型分析装置 - Google Patents
荷電粒子線走査型分析装置Info
- Publication number
- JPS59224038A JPS59224038A JP58099063A JP9906383A JPS59224038A JP S59224038 A JPS59224038 A JP S59224038A JP 58099063 A JP58099063 A JP 58099063A JP 9906383 A JP9906383 A JP 9906383A JP S59224038 A JPS59224038 A JP S59224038A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- circuit
- output
- sample
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
- H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ライザのような経時的な測定信号を映像化して表示する
装置に関する。
装置に関する。
（ロ）従来技術
上述した装置によって試料面の分析結果を試料面のＣＲ
Ｔ映像として観察する場合、検出器によってはバックグ
ラウンドのドリフトが犬きく、ＣＲＴの一画面走査中に
バックグラウンドの輝度が著るしく変化して像観察が困
難になる場合があった。例えば試料を電子ビームで照射
したとき試料から出る赤外域の螢光を検出して映像表示
する場合Ｇｅ検出器を用いると、バックグラウンドのド
リフトはＣＲＴ画面の輝度値換算で表わして、検出器冷
却後９０分において１００７分、１００分後において２
０／分程度に落付いて来る。他方ＣＲＴの明暗レンジは
２８程度であるから、ＣＲＴ画像を写真撮影する場合を
考えて一画面走査の所要時間を１分とすると、検出器冷
却後１００分待ってから走査を開始しても画面の下部で
はバックグラウンドだけで画面コントラストのレンジの
７０チを占めてしまって試料像の観察は甚だ困難となる
っ 儒）目 的 本発明は走査型分析装置で測定系のドリフトが大きくて
ＣＲＴ映像による試料観察が困難になる場合に対する対
策を目的とする。
Ｔ映像として観察する場合、検出器によってはバックグ
ラウンドのドリフトが犬きく、ＣＲＴの一画面走査中に
バックグラウンドの輝度が著るしく変化して像観察が困
難になる場合があった。例えば試料を電子ビームで照射
したとき試料から出る赤外域の螢光を検出して映像表示
する場合Ｇｅ検出器を用いると、バックグラウンドのド
リフトはＣＲＴ画面の輝度値換算で表わして、検出器冷
却後９０分において１００７分、１００分後において２
０／分程度に落付いて来る。他方ＣＲＴの明暗レンジは
２８程度であるから、ＣＲＴ画像を写真撮影する場合を
考えて一画面走査の所要時間を１分とすると、検出器冷
却後１００分待ってから走査を開始しても画面の下部で
はバックグラウンドだけで画面コントラストのレンジの
７０チを占めてしまって試料像の観察は甚だ困難となる
っ 儒）目 的 本発明は走査型分析装置で測定系のドリフトが大きくて
ＣＲＴ映像による試料観察が困難になる場合に対する対
策を目的とする。
（ニ）構 成
本発明は、試料面を電子等の制電粒子のビームで走査す
る際、走査線の適当本数を掃引する毎に走査線の帰線期
間中に走査ビームのブランキングを行い、ブランキング
期間中の測定系の出力を補正値として次のブランキング
動作まで保持し、一つのブランキング動作から次のブラ
ンキング動作までの間の測定系の出力からその間保持さ
れている補正値を引算してＣＲＴの輝度信号とするもの
である。
る際、走査線の適当本数を掃引する毎に走査線の帰線期
間中に走査ビームのブランキングを行い、ブランキング
期間中の測定系の出力を補正値として次のブランキング
動作まで保持し、一つのブランキング動作から次のブラ
ンキング動作までの間の測定系の出力からその間保持さ
れている補正値を引算してＣＲＴの輝度信号とするもの
である。
実施例
第１図は本発明の一実施例を示す。Ｄは検出器で電子ビ
ームＥによって励起された試料Ｓから放射される適宜の
放射線を検出する。検出器りの出力はバッファアンプＡ
Ｉ、アンプＡ２．差動アンプＡ３を経てＣＲＴに輝度信
号として入力される。
ームＥによって励起された試料Ｓから放射される適宜の
放射線を検出する。検出器りの出力はバッファアンプＡ
Ｉ、アンプＡ２．差動アンプＡ３を経てＣＲＴに輝度信
号として入力される。
走査制御回路Ｃからブランク信号がバッファ回路Ｂに入
力され、バッファ回路Ｂの出力がトライバ回路Ｄｒを介
してビーム偏向コイルＫに入力される。コイルＫにブラ
ンク信号が入力されている間、電子ビームは横へ外れて
試料Ｓへは入射せず、従って検出器りには試料からの放
射線は入射せず、この間の検出器出力はバックグラウン
ドレベルを示す。バッファ回路Ｂから出力されたブラン
ク信号は波形成形回路Ｆによりブラング信号期間内に含
まれ、同信号より幅のせまいパルス信号に変換され、こ
の信号がある間サンプリングスイッチＳＷがオンとなり
ブランク信号期間のバッファアンプＡ１の出力即ち検出
器りのバックグラウンド信号がサンプリングされてサン
プルホールド回路Ｈに入力される。波形成形回路Ｆより
上記パルス信号が出力されている期間以外の期間サンプ
リングスイッチはオフとなっており、その間サンプルホ
ールド回路Ｈは、先にサンプリングされたバックグラウ
ンド信号を保持しており、この保持されているバックグ
ラウンド信号が差動アンプＡ３の反転端子に印加されて
いる。従って電子ビームが試料面を掃引している間、差
動アンプＡ３はその期間の初期における検出器りのバッ
クグラウンドレベルが反転端子に印加されており、差動
アンプＡ３の出力は検出器りの正味の検出信号である。
力され、バッファ回路Ｂの出力がトライバ回路Ｄｒを介
してビーム偏向コイルＫに入力される。コイルＫにブラ
ンク信号が入力されている間、電子ビームは横へ外れて
試料Ｓへは入射せず、従って検出器りには試料からの放
射線は入射せず、この間の検出器出力はバックグラウン
ドレベルを示す。バッファ回路Ｂから出力されたブラン
ク信号は波形成形回路Ｆによりブラング信号期間内に含
まれ、同信号より幅のせまいパルス信号に変換され、こ
の信号がある間サンプリングスイッチＳＷがオンとなり
ブランク信号期間のバッファアンプＡ１の出力即ち検出
器りのバックグラウンド信号がサンプリングされてサン
プルホールド回路Ｈに入力される。波形成形回路Ｆより
上記パルス信号が出力されている期間以外の期間サンプ
リングスイッチはオフとなっており、その間サンプルホ
ールド回路Ｈは、先にサンプリングされたバックグラウ
ンド信号を保持しており、この保持されているバックグ
ラウンド信号が差動アンプＡ３の反転端子に印加されて
いる。従って電子ビームが試料面を掃引している間、差
動アンプＡ３はその期間の初期における検出器りのバッ
クグラウンドレベルが反転端子に印加されており、差動
アンプＡ３の出力は検出器りの正味の検出信号である。
第２図は上述装置の動作を説明するタイムチャートであ
る。同図Ｘは第１図の走査制御回路Ｃから出力されるＸ
方向走査信号で偏向コイルＫに入力されておシ、ＢＬは
Ｘ方向走査信号の帰線期間に相当して制御回路Ｃから出
力されるブランク信号である。Ｓｊは波形整形回路Ｆの
出力信号でブランク信号期間内に含まれ、スイッチＳｗ
を閉じさせて検出器りのバックグランド信号をサンプリ
ングするサンプリング信号である。Ｄは検出器りの出力
でＢＣは変化して行くバックグランドレベルであり、真
の試料信号はＳで示される。■は差動アンプＡ３の出力
である輝度信号で、Ｘ方向走査の始点毎にバックグラウ
ンドレベルが０に引戻されている。
る。同図Ｘは第１図の走査制御回路Ｃから出力されるＸ
方向走査信号で偏向コイルＫに入力されておシ、ＢＬは
Ｘ方向走査信号の帰線期間に相当して制御回路Ｃから出
力されるブランク信号である。Ｓｊは波形整形回路Ｆの
出力信号でブランク信号期間内に含まれ、スイッチＳｗ
を閉じさせて検出器りのバックグランド信号をサンプリ
ングするサンプリング信号である。Ｄは検出器りの出力
でＢＣは変化して行くバックグランドレベルであり、真
の試料信号はＳで示される。■は差動アンプＡ３の出力
である輝度信号で、Ｘ方向走査の始点毎にバックグラウ
ンドレベルが０に引戻されている。
上述実施例ではバックグラウンド補正は−Ｘ方向走査毎
に毎回行っているが、ドリフトの程度によってはＸ方向
走査線の何本分かに一度ずつ補正するようにしてもよい
ことは云うまでもない。
に毎回行っているが、ドリフトの程度によってはＸ方向
走査線の何本分かに一度ずつ補正するようにしてもよい
ことは云うまでもない。
（へ）効 果
本発明荷電粒子線走査型分析装置は上述したような構成
であるから、ドリフトの大きな検出器を用いる場合であ
っても、均一なバックグラウンドレベルを持った画像を
得ることができる。
であるから、ドリフトの大きな検出器を用いる場合であ
っても、均一なバックグラウンドレベルを持った画像を
得ることができる。
第１図は本発明の一実施例装置の構成を示すブロック図
、第２図は上記装置の動作を説明するタイムチャートで
ある。 Ｅ・・・電子ビーム、Ｓ・・・試料、Ｋ・・・電子ビー
ム偏向コイル、Ｄ・・・検出器、ＳＷ・・・・・・サン
プリングスイッチ、Ｈ・・・サンプルホールド回路、Ｃ
・・・走査制御回路。 代理人 弁理士 縣 浩 介 −６＝
、第２図は上記装置の動作を説明するタイムチャートで
ある。 Ｅ・・・電子ビーム、Ｓ・・・試料、Ｋ・・・電子ビー
ム偏向コイル、Ｄ・・・検出器、ＳＷ・・・・・・サン
プリングスイッチ、Ｈ・・・サンプルホールド回路、Ｃ
・・・走査制御回路。 代理人 弁理士 縣 浩 介 −６＝
Claims (1)
- 試料面を走査する荷電粒子線ビームのＸ方向走査線の適
数本を走査する毎に、走査線の帰線期間中に走査ビーム
のブランキングを行い、このブランキング期間中の測定
系の出力を補正値信号としてサンプリングして次のブラ
ンキングまで保持し、次のブランキングまでの期間生先
にサンプリングされ保持されている補正値信号によって
その期間中の測定系出力にバックグラウンド補正を行っ
て映像信号としてＣＲＴに供給することを特徴とする荷
電粒子線走査型分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58099063A JPS59224038A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 荷電粒子線走査型分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58099063A JPS59224038A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 荷電粒子線走査型分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59224038A true JPS59224038A (ja) | 1984-12-15 |
| JPH0531263B2 JPH0531263B2 (ja) | 1993-05-12 |
Family
ID=14237297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58099063A Granted JPS59224038A (ja) | 1983-06-02 | 1983-06-02 | 荷電粒子線走査型分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59224038A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1632980A2 (en) * | 2004-09-03 | 2006-03-08 | Carl Zeiss SMT Limited | Scanning particle beam instrument |
| WO2010070815A1 (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
| JP2015018720A (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
1983
- 1983-06-02 JP JP58099063A patent/JPS59224038A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1632980A2 (en) * | 2004-09-03 | 2006-03-08 | Carl Zeiss SMT Limited | Scanning particle beam instrument |
| EP1632980A3 (en) * | 2004-09-03 | 2008-07-23 | Carl Zeiss SMT Limited | Scanning particle beam instrument |
| WO2010070815A1 (ja) * | 2008-12-15 | 2010-06-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
| US8125518B2 (en) | 2008-12-15 | 2012-02-28 | Hitachi High-Technologies Corporation | Scanning electron microscope |
| JP5080657B2 (ja) * | 2008-12-15 | 2012-11-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
| JP2015018720A (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-29 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0531263B2 (ja) | 1993-05-12 |
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