JPS6016062B2 - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents
走査形電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6016062B2 JPS6016062B2 JP55110280A JP11028080A JPS6016062B2 JP S6016062 B2 JPS6016062 B2 JP S6016062B2 JP 55110280 A JP55110280 A JP 55110280A JP 11028080 A JP11028080 A JP 11028080A JP S6016062 B2 JPS6016062 B2 JP S6016062B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- sample
- line
- analysis
- horizontal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は走査形電子顕微鏡に係り、特に、試料のＸ線分
析を可能にする走査電子顕微鏡に関するものである。
析を可能にする走査電子顕微鏡に関するものである。
走査形電子顕微鏡は、細く収束した電子線でもつて試料
表面を照射すると共に二次元的に走査し、試料表面から
発生する情報信号を検出増幅して陰極線管に輝度信号と
して同期して表示させるものであるが、試料表面の任意
の直線上の部分を一次元的に走査分析したり、試料表面
の任意の微小な部分を電子線を静止させて分析するとい
う機能ももっている。
表面を照射すると共に二次元的に走査し、試料表面から
発生する情報信号を検出増幅して陰極線管に輝度信号と
して同期して表示させるものであるが、試料表面の任意
の直線上の部分を一次元的に走査分析したり、試料表面
の任意の微小な部分を電子線を静止させて分析するとい
う機能ももっている。
これらの試料分析法は、試料の表面から励起される特性
Ｘ線を検知して照射位置の構成元素等を分析する場合に
用いられる方法である。一般に試料表面の分析場所を設
定するには、まず陰極線管に広い範囲の試料像を表示さ
せるように電子線を２次元的に走査し、その試料像を観
察しながらＸ線分析を行うのに好適な場所を定めるが、
従来は次に述べる２つの方法が用いられていた。
Ｘ線を検知して照射位置の構成元素等を分析する場合に
用いられる方法である。一般に試料表面の分析場所を設
定するには、まず陰極線管に広い範囲の試料像を表示さ
せるように電子線を２次元的に走査し、その試料像を観
察しながらＸ線分析を行うのに好適な場所を定めるが、
従来は次に述べる２つの方法が用いられていた。
その１つは、一次元的に走査する線分祈の場合は、陰極
線管の線分析位置に綾線を表示する。また、電子線の照
射位置を固定した点分析の場合は、陰極線管の分析位置
に縄点を表示する。このような試料分析位置の設定法は
、陰極線管に試料面走査の残像が残っている短い時間中
に設定を終了しなければならないので、その設定作業に
熟練を要し、設定精度は低いという欠点をもっていた。
第２の方法は、陰極線管上に鞍線又は直交する２本の函
線を設定して置き試料表面の走査像の線分析位置又は点
分析位置に重ねる。
線管の線分析位置に綾線を表示する。また、電子線の照
射位置を固定した点分析の場合は、陰極線管の分析位置
に縄点を表示する。このような試料分析位置の設定法は
、陰極線管に試料面走査の残像が残っている短い時間中
に設定を終了しなければならないので、その設定作業に
熟練を要し、設定精度は低いという欠点をもっていた。
第２の方法は、陰極線管上に鞍線又は直交する２本の函
線を設定して置き試料表面の走査像の線分析位置又は点
分析位置に重ねる。
この方法は試料像を観察しながら綾線又は輝線の交点位
置を設定することが可能であるので、設定作業もやり易
く正確な位置設定ができるという利点をもっている。し
かるにこの方法は、二次元像の走査時間が２〜３秒以下
の場合でないと反って設定に長時間を要する場合がある
。
置を設定することが可能であるので、設定作業もやり易
く正確な位置設定ができるという利点をもっている。し
かるにこの方法は、二次元像の走査時間が２〜３秒以下
の場合でないと反って設定に長時間を要する場合がある
。
何故ならば、水平方向の輝度は電子線がその試料位置を
通る瞬間だけ光るので、設定位置を動かした後でその設
定位置を確認できるのは次の走査まで待たなければなら
ないからである。また、現在Ｘ線分析に用いられる信号
検出系の周波数特性は遅く、Ｘ線の絶対量が少いので、
普通は１栃砂以上の走査時間でないと良好なＸ線像が観
察できない。更に特性Ｘ線の試料像信号は更に微弱とな
るので２０〜３の砂の走査時間を必要とする。したがっ
て、輝線の設定位置を確認するのに時間を要し、分析能
率が低いという欠点をもっている。なお、二次鰭子像等
の場合は情報ェネルギが多いので短時間で走査させると
ができる。本発明は分析位置を能率良く正確に設定する
ことができるＸ線分析の可能な走査形鰭子顕微鏡を提供
することを目的とするものである。
通る瞬間だけ光るので、設定位置を動かした後でその設
定位置を確認できるのは次の走査まで待たなければなら
ないからである。また、現在Ｘ線分析に用いられる信号
検出系の周波数特性は遅く、Ｘ線の絶対量が少いので、
普通は１栃砂以上の走査時間でないと良好なＸ線像が観
察できない。更に特性Ｘ線の試料像信号は更に微弱とな
るので２０〜３の砂の走査時間を必要とする。したがっ
て、輝線の設定位置を確認するのに時間を要し、分析能
率が低いという欠点をもっている。なお、二次鰭子像等
の場合は情報ェネルギが多いので短時間で走査させると
ができる。本発明は分析位置を能率良く正確に設定する
ことができるＸ線分析の可能な走査形鰭子顕微鏡を提供
することを目的とするものである。
第１図は本発明の一実施例である走査形電子顕微鏡の試
料像表示用陰極線管の正面図で、斜線を施した横長の部
分が試料像表示領域となっている。
料像表示用陰極線管の正面図で、斜線を施した横長の部
分が試料像表示領域となっている。
この試料像表示領域の範囲内に長い水平方向麓線２が設
定され、これに直交して垂直方向陣線３が設定されてい
る。即ち、陰極線管の像面１の一部が使用され、水平方
向陣線２を線分折位置に、水平方向縄線２と垂直方向縄
線３の交点が点分析位置に対応させている。このように
すれば１回の走査時間を短縮することが可能で、試料像
表示領域を陰極線管の嫁面１の１′１０とした時は１′
１０の時間で済む。
定され、これに直交して垂直方向陣線３が設定されてい
る。即ち、陰極線管の像面１の一部が使用され、水平方
向陣線２を線分折位置に、水平方向縄線２と垂直方向縄
線３の交点が点分析位置に対応させている。このように
すれば１回の走査時間を短縮することが可能で、試料像
表示領域を陰極線管の嫁面１の１′１０とした時は１′
１０の時間で済む。
このことは像面１の全面を走査するのに３明朗を要する
特性Ｘ線分析の場合でも３秒以下となり、迅速かつ正確
に分析位置の設定が可能となることを示している。なお
、この場合は必要な部分だけを集中して観察できるとい
う利点も生じている。第２図は第１図に示す試料像表示
領域を得るための電気回路のブロック線図である。
特性Ｘ線分析の場合でも３秒以下となり、迅速かつ正確
に分析位置の設定が可能となることを示している。なお
、この場合は必要な部分だけを集中して観察できるとい
う利点も生じている。第２図は第１図に示す試料像表示
領域を得るための電気回路のブロック線図である。
走査モード切換スイッチ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを夫々
の接点１に接続したときは、通常の二次元走査によって
嫁面１全面に試料表面の２次電子像が現われる。走査モ
ード切換スイッチ４３〜４ｄを夫々の接点位置２に接続
すると、電子線偏向回路８と陰極線管偏向回路９には水
平走査信号発生器５の出力がそのまま与えられ、走査形
電子顕微鏡の電子線走査コイルと陰極線管走査コイルを
×方向に走査する。一方、垂直走査信号発生器１０の出
力は、走査モード切換スイッチ４ｃにより走査線本数、
振幅、走査時間力汀２、例えば１′１０に切り換えられ
る。この１′１０に切り換えられた出力と垂直位置設定
器１５の出力とが加算器１ １によって加算されて電子
線偏向回路１３と陰極線管偏向回路１４に与えられ、走
査形電子顕微鏡の電子線走査コイルと陰極線管走査コイ
ルをＹ方向に走査する。即ち、垂直方向（Ｙ方向）の走
査は部分走査となり、その位置は垂直位置設定器１５に
よって変化させることができる。電圧比較器７は水平走
査信号発生器５の出力が水平位置設定器６の出力と一致
した時点で信号を発生し、陰極線管の輝度信号に加算さ
れて垂直方向綾線３を生じさせる。
の接点１に接続したときは、通常の二次元走査によって
嫁面１全面に試料表面の２次電子像が現われる。走査モ
ード切換スイッチ４３〜４ｄを夫々の接点位置２に接続
すると、電子線偏向回路８と陰極線管偏向回路９には水
平走査信号発生器５の出力がそのまま与えられ、走査形
電子顕微鏡の電子線走査コイルと陰極線管走査コイルを
×方向に走査する。一方、垂直走査信号発生器１０の出
力は、走査モード切換スイッチ４ｃにより走査線本数、
振幅、走査時間力汀２、例えば１′１０に切り換えられ
る。この１′１０に切り換えられた出力と垂直位置設定
器１５の出力とが加算器１ １によって加算されて電子
線偏向回路１３と陰極線管偏向回路１４に与えられ、走
査形電子顕微鏡の電子線走査コイルと陰極線管走査コイ
ルをＹ方向に走査する。即ち、垂直方向（Ｙ方向）の走
査は部分走査となり、その位置は垂直位置設定器１５に
よって変化させることができる。電圧比較器７は水平走
査信号発生器５の出力が水平位置設定器６の出力と一致
した時点で信号を発生し、陰極線管の輝度信号に加算さ
れて垂直方向綾線３を生じさせる。
この垂直方向額線３は水平位贋設定器６を変化させるこ
とによって、その位置を左右に移動させることができる
。また「電圧比較器１２は加算器１ １の出力と垂直位
置設定器１５の出力が一致した時点で信号を発生し「水
平方向燈線２を生じさせる。加算器１１の利得をＩＶに
し、垂直走査信号発生器１０の出力を叢Ｖ中心で正負対
称波形として瞳け‘よ、水平方向遼線２は垂直部分走査
領域（Ｙ方向）の中心に位置させることができる。この
走査モードで試料表面像の着目点に水平方向綾線２と垂
直方向綾線３を設定した後、走査モード切襖スイッチ４
ａ〜４ｄを接点位置３に切り換えると、水平方向函線３
を設定した位置の線走査が行なわれる。
とによって、その位置を左右に移動させることができる
。また「電圧比較器１２は加算器１ １の出力と垂直位
置設定器１５の出力が一致した時点で信号を発生し「水
平方向燈線２を生じさせる。加算器１１の利得をＩＶに
し、垂直走査信号発生器１０の出力を叢Ｖ中心で正負対
称波形として瞳け‘よ、水平方向遼線２は垂直部分走査
領域（Ｙ方向）の中心に位置させることができる。この
走査モードで試料表面像の着目点に水平方向綾線２と垂
直方向綾線３を設定した後、走査モード切襖スイッチ４
ａ〜４ｄを接点位置３に切り換えると、水平方向函線３
を設定した位置の線走査が行なわれる。
また、接点位置４に切り換えると、両方向麓線の交部こ
対応する試料位置の点分析が行なわれる。なお、本例で
は線走査の方向を水平方向としたので垂直方向は部分走
査となったが、線走査方向を垂直方向とした場合は、水
平方向は部分走査となり、いずれでも可能となる。本実
施例の走査形電子顕微鏡は、部分走査すると共に交叉す
る水平方向輝線又は垂直方向輝線に沿って線分折を行う
ことが可能となり、特性Ｘ線分析のような低感度の分析
の場合でも迅速かつ正確に分析位贋を設定できるという
効果が得られる。又、第１図の斜線で示す試料像表示領
域の位置と鞠線の位置はいつしよに移動するので、分析
したい位置近傍の集中観察と分析したい位置の設定を同
時に行うことができるようになる。第３図は本発明の他
の実施例である走査形電子顕微鏡の試料像表示用陰極管
の正面図で、斜線を施した四角な部分が試料像表示領域
である。
対応する試料位置の点分析が行なわれる。なお、本例で
は線走査の方向を水平方向としたので垂直方向は部分走
査となったが、線走査方向を垂直方向とした場合は、水
平方向は部分走査となり、いずれでも可能となる。本実
施例の走査形電子顕微鏡は、部分走査すると共に交叉す
る水平方向輝線又は垂直方向輝線に沿って線分折を行う
ことが可能となり、特性Ｘ線分析のような低感度の分析
の場合でも迅速かつ正確に分析位贋を設定できるという
効果が得られる。又、第１図の斜線で示す試料像表示領
域の位置と鞠線の位置はいつしよに移動するので、分析
したい位置近傍の集中観察と分析したい位置の設定を同
時に行うことができるようになる。第３図は本発明の他
の実施例である走査形電子顕微鏡の試料像表示用陰極管
の正面図で、斜線を施した四角な部分が試料像表示領域
である。
この試料像表示領域内には水平方向縄線２と垂直方向趣
線３が設定されている。即ち、陰極線管の像面１の一部
分が使用され、水平、垂直方向共部分走査となっている
。したがって、同じ像信号密度を得るための走査時間は
、例えば水平、垂直共に１′５とすれば約１／２５に短
縮され、前実施例の場合よりも更に１回の走査時間が短
くなる。このことは点分析位置の設定を特に迅速正確に
行うことができることを示す。第４図は第３図に示す試
料像表示領域を得るための電気回路のブロック図である
。
線３が設定されている。即ち、陰極線管の像面１の一部
分が使用され、水平、垂直方向共部分走査となっている
。したがって、同じ像信号密度を得るための走査時間は
、例えば水平、垂直共に１′５とすれば約１／２５に短
縮され、前実施例の場合よりも更に１回の走査時間が短
くなる。このことは点分析位置の設定を特に迅速正確に
行うことができることを示す。第４図は第３図に示す試
料像表示領域を得るための電気回路のブロック図である
。
この場合は第２図の回路の水平走査に関係する部分を垂
直走査に関係する部分と同一機成としており、加算器亀
６を付加している。本実施例の走査形電子顕微鏡は、前
実施例と同様な効果が得られると共に、更に、部分走査
時間を短縮できるので分析位置の設定を迅速に行うこと
ができる。
直走査に関係する部分と同一機成としており、加算器亀
６を付加している。本実施例の走査形電子顕微鏡は、前
実施例と同様な効果が得られると共に、更に、部分走査
時間を短縮できるので分析位置の設定を迅速に行うこと
ができる。
上記実施例の綾線は他の部分よりも輝度が異なることを
意味するもので、他の部分よりも輝度を高めるだけでな
く輝度と低下させて暗くするようにしてもその効果は同
じである。
意味するもので、他の部分よりも輝度を高めるだけでな
く輝度と低下させて暗くするようにしてもその効果は同
じである。
即ち、分析位置の特定を容易にするものであればよい。
また、走査形電子顕微鏡を例として説明したが「同じよ
うな走査機能を備えた類似の電子線装置にも本発明の技
術を適用することができる。本発明の走査形電子顕微鏡
は、試料の分析位置の設定を迅速かつ正確に行なわせる
ことができるという効果をもっている。
また、走査形電子顕微鏡を例として説明したが「同じよ
うな走査機能を備えた類似の電子線装置にも本発明の技
術を適用することができる。本発明の走査形電子顕微鏡
は、試料の分析位置の設定を迅速かつ正確に行なわせる
ことができるという効果をもっている。
又、分析したい位置近傍の集中観察と分析したい位置の
設定を同時に行うことができるという効果をももってい
る。
設定を同時に行うことができるという効果をももってい
る。
第１図は本発明の一実施例である走査形電子顕微鏡の試
料像表示用陰極線管の正面図、第２図は第１図に示す試
料像表示領域を得るための電気回路のブロック線図、第
３図は本発明の他の実施例である走査形電子顕微鏡の試
料像表示用陰極管の正面図、第４図は第３図に示す試料
像表示領域を得るための電気回路のブロック線図である
。 １・・・・・・陰極線管の嫁面、２…・・・水平方向輝
線「３・・・・・・垂直方向隆線、４・…・・走査モー
ド切換スイッチ、５……水平走査信号発生器、６……水
平位置設定器、７，１２……電圧比較器、８，１３・・
・…電子線偏向回路、９，亀４・・・…陰極線管偏向回
路、１０・…”垂直走査信号発生器、竃１，１６・・８
…加算器、１５…・・。 垂直位置設定器。多１図 多２図 多３四 多４図
料像表示用陰極線管の正面図、第２図は第１図に示す試
料像表示領域を得るための電気回路のブロック線図、第
３図は本発明の他の実施例である走査形電子顕微鏡の試
料像表示用陰極管の正面図、第４図は第３図に示す試料
像表示領域を得るための電気回路のブロック線図である
。 １・・・・・・陰極線管の嫁面、２…・・・水平方向輝
線「３・・・・・・垂直方向隆線、４・…・・走査モー
ド切換スイッチ、５……水平走査信号発生器、６……水
平位置設定器、７，１２……電圧比較器、８，１３・・
・…電子線偏向回路、９，亀４・・・…陰極線管偏向回
路、１０・…”垂直走査信号発生器、竃１，１６・・８
…加算器、１５…・・。 垂直位置設定器。多１図 多２図 多３四 多４図
Claims (1)
- １ 試料表面を電子線でもつて走査し、それによつて該
試料から得られる情報信号にもとづいて陰極線管の表示
面に上記試料表面の走査領域の像を表示する走査形電子
顕微鏡において、上記試料表面の走査領域中の位置可変
の特定領域を走査して、その特定領域の像を、その特定
領域に対応する上記表示面の特定部分に表示するように
構成すると共にその表示面の特定部分に位置が上記特定
領域の位置と共に変化可能な輝点又は輝線を表示するよ
うに構成し、かつ上記輝点又は輝線に対応する上記試料
表面の部分を分析するように構成したことを特徴とする
走査形電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55110280A JPS6016062B2 (ja) | 1980-08-13 | 1980-08-13 | 走査形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55110280A JPS6016062B2 (ja) | 1980-08-13 | 1980-08-13 | 走査形電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5736761A JPS5736761A (en) | 1982-02-27 |
| JPS6016062B2 true JPS6016062B2 (ja) | 1985-04-23 |
Family
ID=14531681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55110280A Expired JPS6016062B2 (ja) | 1980-08-13 | 1980-08-13 | 走査形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6016062B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61161475U (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-06 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6193938A (ja) * | 1984-10-13 | 1986-05-12 | Jeol Ltd | 分析電子顕微鏡等による試料の分析方法 |
-
1980
- 1980-08-13 JP JP55110280A patent/JPS6016062B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61161475U (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-06 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5736761A (en) | 1982-02-27 |
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