JPH0219682Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、電子線像表示装置に関し、特に、線
幅測長装置に使用して好適な電子線像表示装置に
関する。

電子線測長装置においては、電子線を被測長材
料上で二次元的に走査し、該走査に基づいて得ら
れた、例えば、反射電子を検出し、該検出信号を
該走査と同期した陰極線管に供給して、該材料の
反射電子線像を得るようにしている。更に、該陰
極線管に１本のマーカと２本のカーソルを表示
し、該マーカとカーソルを電子線像中の測長すべ
き部分に移動させ、任意の線幅等を測長するよう
にしている。第１図は、該陰極線管に表示された
像を示しており、１は測長すべき線であり、２は
マーカ、３，４はカーソルである。該マーカとカ
ーソルは、該像中を自由に移動できるようにされ
ており、該マーカとカーソルによつて指定された
線の幅Ｗが、反射電子検出信号に基づいて測長さ
れる。尚、第１図はＸ方向の測長を行う場合のマ
ーカとカーソルを示したもので、Ｙ方向の測長を
行う場合には、マーカとカーソルは、第２図に示
す如く表示される。ところで、このマーカとカー
ソルは、画面の端から端まで表示されており、視
覚情報に無駄が多い。

本考案は、上述した点に鑑みてなされたもの
で、カーソルをマーカの近傍のみに表示するよう
にし、カーソルによる測定箇所の指定が容易な電
子線像表示装置を提供する。

本考案に基づく電子線像表示装置は、被測定材
料上で電子線を二次元的に走査し、該走査に基づ
いて得られた試料からの情報信号に基づいて、表
示装置上に試料像を表示すると共に、該表示装置
上に１本のマーカと、該マーカに直角方向に２本
のカーソルとを表示するようにした装置におい
て、 (A) Ｙ方向の走査信号とマーカ位置信号との一致
回路、 (B) マーカ位置信号とカーソル長さ信号との差信
号を得るための減算回路、 (C) マーカ位置信号とカーソル長さ信号との加算
信号を得るための加算回路、 (D) Ｘ方向の走査信号と第１のカーソル位置信号
の一致回路、 (E) Ｘ方向の走査信号と第２のカーソル信号との
一致回路、 (F) 該減算回路の出力信号とＹ方向の走査信号と
の一致回路、 (G) 該加算回路の出力信号とＹ方向の走査信号と
の一致回路、 (H) 該一致回路(F)の一致信号が得られてから、該
一致回路(G)の一致信号が得られるまでの間、該
一致回路(A)、該一致回路(D)及び該一致回路(E)の
出力信号を該表示装置に供給するようにした信
号選択手段、 とを備えると共に、該信号選択手段(H)に、マーカ
位置信号とカーソル長さ信号とを比較する比較回
路を設け、該カーソル長さ信号が該マーカ位置信
号より大きい場合には、該比較回路からの信号に
基づき、該一致回路(F)からの一致信号に代えて、
Ｙ方向ブランキング信号を用い、Ｙ方向ブランキ
ング信号が得られてから、該一致回路(G)の一致信
号が得られるまでの間、各一致回路(A)，(D)，及び
(E)の出力信号を該表示装置に供給するようにする
と共に、該信号選択回路(H)は、該一致回路(F)の一
致信号が得られてから、該一致回路(G)の一致信号
とＹ方向ブランキング信号とのいずれかが得られ
るまでの間、各一致回路(A)，(D)，及び(E)の出力信
号を該表示装置に供給するようにしたことを特徴
としている。

以下、本考案の実施例を添附図面に基づいて詳
述する。

第３図は電子線像測長装置のシステム構成を示
す図であり、１１は電子銃、１２は集束レンズ、
１３は対物レンズ、１４は偏向コイルである。該
電子銃から発生し、加速された電子線は、該集束
レンズ１２、対物レンズ１３によつて被測長材料
１５上に細く集束される。該電子線は、更に、コ
ンピユータ１６によつて制御される走査信号発生
回路１７よりアナログ走査信号が供給されている
偏向コイル１４によつて偏向され、その結果、該
材料１５上の特定領域は、該電子線によつて二次
元的に走査されることになる。該材料への電子線
の照射により得られた反射電子は、反射電子検出
器１８によつて検出され、その検出信号は、該走
査信号発生回路１７からアナログ走査信号が供給
されている陰極線管１９と該コンピユータ１６に
供給される。該走査信号発生回路１７からのデイ
ジタル走査信号及びＸ，Ｙブランキング信号は、
マーカとカーソルの制御回路２０に供給されてい
るが、該制御回路２０には、マーカ位置設定回路
２、第１のカーソル位置設定回路２２、第２のカ
ーソル位置設定回路２３、測長方向切換回路２
４、カーソル長さ設定定回路２５からの信号も供
給されている。該コンピユータ１６は、反射電子
検出信号とマーカとカーソルの制御回路２０から
の信号に基づいて、指定された部分の線幅を測長
するようにしている。

第４図は、該マーカとカーソル制御回路２０の
一具体例を示しており、３１，３２は、データ切
換回路であり、夫々の切換回路には、Ｘ走査信号
及びＹ走査信号が供給されており、測長方向切換
回路２４からの切換信号により、いずれかの走査
信号を出力するように構成されている。３３は一
致回路であり、該一致回路３３には、該データ切
換回路３１からの信号とマーカ位置信号とが供給
されている。３４は引算回路、３５は加算回路で
あり、該引算回路３４は、マーカ位置信号とカー
ソル長さ信号の差を求めており、該加算回路３５
は、該マーカ位置信号とカーソル長さ信号を加算
するようにしている。３６，３７は夫々一致回路
であり、該一致回路３６は、該データ切換回路３
２からの信号と第１のカーソル位置信号とが一致
したときにハイレベルの信号を発生し、該一致回
路３７は、該データ切換回路３２からの信号と第
２のカーソル位置信号とが一致したときにハイレ
ベルの信号を発生する。３８は比較回路であり、
該比較回路３８は、カーソル長さ信号とマーカ位
置信号とを比較しており、該カーソル長さ信号が
該マーカ位置信号より小さい時にハイレベル信号
を発生する。３９，４０は一致回路であり、該一
致回路３９は、該引算回路３４の出力信号と該デ
ータ切換回路３１の出力信号とを比較しており、
両信号が一致した時にハイレベル信号を発生し、
該一致回路４０は、該加算回路３５の出力信号と
該データ切換回路３１の出力信号とを比較してお
り、両信号が一致した時にハイレベル信号を発生
する。４１，４２はナンドゲート回路であり、該
ナンドゲート回路４１には、測長方向切換信号と
Ｙ方向ブランキング信号が供給されており、該ナ
ンドゲート回路４２には、信号反転回路４３によ
つて信号が反転された測長方向切換信号とＸ方向
ブランキング信号が供給されている。該両ナンド
ゲート回路の出力信号は、アンドゲート回路４４
に供給されている。該アンドゲート回路４４の出
力信号は、信号反転回路４５を介してワンシヨツ
トマルチバイブレータ４６に供給されており、該
ワンシヨツトマルチバイブレータ４６の出力信号
は、ワンシヨツトマルチバイブレータ４７とアン
ドゲート回路４８に供給される。該アンドゲート
回路４８には、一致回路４０の出力信号も供給さ
れており、該アンドゲート回路４８の出力信号
は、フリツプフロツプ回路４９のクリア端子
（CLR）に供給される。該フリツプフロツプ回路
４９のプリセツト端子（PR）には、アンドゲー
ト回路５０の出力信号が供給されているが、該ア
ンドゲート回路５０には、一致回路３９の出力信
号と比較回路３８からの信号が供給されるナンド
ゲート回路５１の出力信号と、該比較回路３８の
出力信号を反転する信号反転回路５２の出力信号
とワンシヨツトマルチバイブレータ４７からの信
号が供給されるナンドゲート回路５３の出力信号
とが供給されている。該フリツプフロツプ回路４
９の出力信号は、一致回路３６の出力信号が供給
されているナンドゲート回路５４と、一致回路３
７の出力信号が供給されているナンドゲート回路
５５に供給される。該ナンドゲート回路５４とナ
ンドゲート回路５５の出力信号は、一致回路３３
からの出力信号が供給されているアンドゲート回
路５６に供給される。該アンドゲート回路５６の
出力信号は、信号反転回路５７を介して前記陰極
線管１９にマーカ及びカーソル信号として供給さ
れる。

上述した構成により、第５図に示す如く、被測
長材料の反射電子線像と共に、マーカＭとカーソ
ルｃ１，ｃ２が表示される。第５図ａは、画面
上、Ｘ方向の線幅を測長する場合であり、第５図
ｂは、Ｙ方向の線幅を測長する場合であり、該Ｘ
方向の測長の際には、測長方向切換回路２４から
は、ハイレベル信号が発生され、Ｙ方向の測長の
際には、該測長方向切換回路２４からは、ローレ
ベル信号が発生する。該測長方向切換回路２４か
ら、Ｘ方向の測長のためのハイレベル信号が発生
させられる場合、該データ切換回路３１は、供給
されるＸ方向走査信号とＹ方向走査信号の内、Ｙ
方向走査信号を選択して出力し、該データ切換回
路３２は、供給されるＸ方向走査信号とＹ方向走
査信号の内、Ｘ方向走査信号を選択して出力す
る。該データ切換回路３１の出力信号は、一致回
路３３に供給されてマーカ位置信号と比較され、
両信号が一致した際に、該一致回路３３は、マー
カ信号を信号反転回路５８、アンドゲート回路５
６、信号反転回路５７を介して陰極線管１９に供
給することから、該陰極線管には、第５図ａに示
すマーカＭが表示されることになる。該マーカ位
置信号は、引算回路３４においてカーソル長さ信
号αとの差が求められており、該差信号は、一致
回路３９においてＹ方向走査信号と比較され、両
信号が一致した際に、該一致回路３９から一致信
号が出力される。更に、該マーカ位置信号は、加
算回路３５においてカーソル長さ信号αとの和が
求められており、該加算信号は、一致回路４０に
おいてＹ方向走査信号と比較され、両信号が一致
した際に、該一致回路４０から一致信号が出力さ
れる。該一致回路３９の出力信号は、プリセツト
信号としてフリツプフロツプ回路４９のPR端子
に供給され、該一致回路４０の出力信号は、クリ
ア信号としてフリツプフロツプ回路４９のCLR
端子に供給されることから、通常の場合には、該
フリツプフロツプ回路４９のＱ端子からは、第６
図に示す如く、マーカＭを挟んで上下にαの範囲
の走査期間中（図中斜線の範囲）、ハイレベル信
号が発生される。該フリツプフロツプ回路４９の
出力信号は、ナンドゲート回路５４，５５に供給
されるが、該ナンドゲート回路５４においては、
Ｘ走査信号と第１のカーソル位置信号とが一致し
た際に一致信号を発生する一致回路３６からの信
号が供給されており、その結果、該ナンドゲート
回路５４からは、カーソルｃ１表示用の信号が得
られることになる。又、該ナンドゲート回路５５
には、Ｘ走査信号と第２のカーソル位置信号とが
一致した際に、一致信号を発生する一致回路３７
からの信号が供給されており、その結果、該ナン
ドゲート回路５５からは、カーソルｃ２表示用の
信号が得られることになる。このようなナンドゲ
ート回路５４，５５からの第１と第２のカーソル
信号と、一致回路３３からのマーカ信号とは、ア
ンドゲート回路５６に供給され、更に該アンドゲ
ート回路５６の出力信号は、信号反転回路５７に
よつてその信号極性が反転された後に陰極線管に
供給されることから、該陰極線管には第５図ａに
示すマーカＭとカーソルｃ１，ｃ２が表示される
ことになる。

上述した説明は、マーカの位置信号が、カーソ
ル長さ信号αより大きい場合であり、該マーカ位
置信号が該カーソル長さ信号より小さい場合（マ
ーカが陰極線管の画面上上部に表示される場合）
には、前記引算回路３４の出力信号が負の値とな
るため、該一致回路３９の出力信号がフリツプフ
ロツプ回路４９のプリセツト端子に供給されない
ように構成されている。すなわち、比較回路３８
は、マーカ位置信号とカーソル長さ信号とを比較
しており、該マーカ位置信号がカーソル長さ信号
よりも大きいときには、該比較回路からハイレベ
ル信号を発生し、該マーカ位置信号がカーソル長
さ信号よりも小さいときには、該比較回路３８
は、ローレベル信号を発生する。該マーカ位置信
号がカーソル長さ信号よりも大きく、該比較回路
がハイレベル信号を発生するとき、ナンドゲート
回路５１の出力は、一致回路３９の出力に応じた
ものとなる。この時、該比較回路３６からの信号
は、信号反転回路５２を介してナンドゲート回路
５３にも供給されているが、該比較回路３８の出
力信号はハイレベルであるために、該ナンドゲー
ト回路５３にはローレベル信号が供給され、従つ
て、該ナンドゲート回路５３の出力は常にハイレ
ベルとなり、この結果、フリツプフロツプ回路の
PR端子には、一致回路３９に応じた信号が供給
される。逆に、マーカ位置信号がカーソル長さ信
号よりも小さくなり、該比較回路３８の出力がロ
ーレベルとなると、ナンドゲート回路５１の出力
は、常にハイレベルとなる一方、ナンドゲート回
路５３にはハイレベル信号が供給されるため、ワ
ンシヨツトマルチバイブレータ４７の出力信号に
応じた信号が該ナンドゲート回路５３を通過し、
アンドゲート回路５０に供給される。該ワンシヨ
ツトマルチバイブレータ４７の出力信号は、ナン
ドゲーム回路４１，４２、信号反転回路４３、ア
ンドゲート回路４４によつて選択されたブランキ
ング信号（Ｘ方向の測長の際にはＹ方向ブランキ
ング信号）に基づくものであり、従つて、フリツ
プフロツプ回路４９のPR端子には、Ｙ方向ブラ
ンキング信号に基づく信号が供給され、第１と第
２のカーソルは、第７図に示す如く、陰極線管の
画面上部の端部からマーカＭを挟んで＋αの間表
示される。

尚、マーカが画面下部に表示され、Ｙ方向走査
信号の最大値からカーソル長さ信号αを差引いた
ものが、マーカ位置信号よりも小さくなつた場合
には、加算回路３５がオーバフローするため、こ
の加算回路の出力信号を用いることができない。
従つて、本実施例においては、Ｙ方向ブランキン
グ信号に基づく、ワンシヨツトマルチバイブレー
タ４６の出力信号をフリツプフロツプ回路４９の
CLR端子に供給し得るように構成しており、第
１と第２のカーソルｃ１，ｃ２は、第８図に示す
如く、マーカの上部αの位置から、画面の下部端
部まで表示される。

以上詳述した如く、本考案に基づく電子線像表
示装置は、カーソルを表示画面の端から端まで表
示することなく、部分的に表示することができる
ため、オペレータに無駄な視覚情報を与えること
がなく、像の観察とカーソルの確認の両者を的確
に行うことができる。又、マーカ位置信号がカー
ソル長さ信号より小さい場合（マーカが陰極線管
の画面上部に表示される場合）であつても、マー
カが画面下部に表示され、Ｙ方向走査信号の最大
値からカーソル長さ信号αを差引いたものがマー
カ位置信号よりも小さくなつた場合でも、余分な
カーソルが画面の下部や上部に表示されることを
防止することができる。尚、実用新案登録請求の
範囲及び考案の詳細な説明において使用したＸ，
Ｙの方向は、水平及び垂直に限定されるものでは
なく、Ｘを垂直、Ｙを水平の方向として読み変え
ることができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、従来装置におけるマーカ
とカーソルを示す図、第３図は、本考案の一実施
例のシステム構成を示す図、第４図は、第３図に
示したマーカとカーソル制御回路の一具体例を示
す図、第５図は、第３図の実施例において陰極線
管に表示されたマーカとカーソルを示す図、第６
図は実施例の動作の説明の補助に用いた図、第７
図及び第８図は、夫々陰極線管に表示されたマー
カとカーソルを示す図である。 １１……電子線、１４……偏向コイル、１５…
…被測長材料、１６……コンピユータ、１７……
走査信号発生回路、１８……電子線検出器、１９
……陰極線管、２０……マーカ及びカーソル制御
回路、２１……マーカ位置設定回路、２２……第
１のカーソル位置設定回路、２３……第２のカー
ソル位置設定回路、２４……測長方向切換回路、
２５……カーソル長さ設定回路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 被測定材料上で電子線を二次元的に走査し、該
   走査に基づいて得られた試料からの情報信号に基
   づいて、表示装置上に試料像を表示すると共に、
   該表示装置上に１本のマーカと、該マーカに直角
   方向に２本のカーソルとを表示するようにした装
   置において、 (A) Ｙ方向の走査信号とマーカ位置信号との一致
   回路、 (B) マーカ位置信号とカーソル長さ信号との差信
   号を得るための減算回路、 (C) マーカ位置信号とカーソル長さ信号との加算
   信号を得るための加算回路、 (D) Ｘ方向の走査信号と第１のカーソル位置信号
   の一致回路、 (E) Ｘ方向の走査信号と第２のカーソル信号との
   一致回路、 (F) 該減算回路の出力信号とＹ方向の走査信号と
   の一致回路、 (G) 該加算回路の出力信号とＹ方向の走査信号と
   の一致回路、 (H) 該一致回路(F)の一致信号が得られてから、該
   一致回路(G)の一致信号が得られるまでの間、該
   一致回路(A)、該一致回路(D)及び該一致回路(E)の
   出力信号を該表示装置に供給するようにした信
   号選択手段、 とを備えると共に、該信号選択手段(H)に、マーカ
   位置信号とカーソル長さ信号とを比較する比較回
   路を設け、該カーソル長さ信号が該マーカ位置信
   号より大きい場合には、該比較回路からの信号に
   基づき、該一致回路(F)からの一致信号に代えて、
   Ｙ方向ブランキング信号を用い、Ｙ方向ブランキ
   ング信号が得られてから、該一致回路(G)の一致信
   号が得られるまでの間、各一致回路(A)，(D)，及び
   (E)の出力信号を該表示装置に供給するようにする
   と共に、該信号選択回路(H)は、該一致回路(F)の一
   致信号が得られてから、該一致回路(G)の一致信号
   とＹ方向ブランキング信号とのいずれかが得られ
   るまでの間、各一致回路(A)，(D)，及び(E)の出力信
   号を該表示装置に供給するようにしたことを特徴
   とする電子線像表示装置。