JPH0430489Y2 - - Google Patents
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- JPH0430489Y2 JPH0430489Y2 JP1984179530U JP17953084U JPH0430489Y2 JP H0430489 Y2 JPH0430489 Y2 JP H0430489Y2 JP 1984179530 U JP1984179530 U JP 1984179530U JP 17953084 U JP17953084 U JP 17953084U JP H0430489 Y2 JPH0430489 Y2 JP H0430489Y2
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- marker
- sampling data
- scanning
- raster scanning
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- 239000003550 marker Substances 0.000 claims description 34
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 11
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000035508 accumulation Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、デイジタル電子ビーム走査顕微鏡や
イオン・マイクロ・アナライザにおいて、画像観
察を行いながら、走査画像中指定された表示ライ
ンの線幅測定を行えるようにした観察画像の線幅
測定装置に関するものである。
イオン・マイクロ・アナライザにおいて、画像観
察を行いながら、走査画像中指定された表示ライ
ンの線幅測定を行えるようにした観察画像の線幅
測定装置に関するものである。
従来、デイジタル電子ビーム走査顕微鏡やイオ
ン・マイクロ・アナライザによる観察画像の線幅
測定を行うには、スキヤン・ジエネレータの走査
モードとしてラスター走査モードとライン走査モ
ードの２つの走査モードを設け、線幅測定位置を
選ぶ場合にはラスター走査モードを使い、線幅測
定を行う場合にはライン走査モードを使つてい
る。
ン・マイクロ・アナライザによる観察画像の線幅
測定を行うには、スキヤン・ジエネレータの走査
モードとしてラスター走査モードとライン走査モ
ードの２つの走査モードを設け、線幅測定位置を
選ぶ場合にはラスター走査モードを使い、線幅測
定を行う場合にはライン走査モードを使つてい
る。
しかしながら、上述のような従来の方法では、
線幅測定のときにはライン走査モードにするた
め、走査画像を観察しながら測定用のデータを取
り込むことができないという問題があつた。
線幅測定のときにはライン走査モードにするた
め、走査画像を観察しながら測定用のデータを取
り込むことができないという問題があつた。
本考案は、上記の問題を解決するものであつ
て、走査画像を観察しながら測定用のデータを取
り込むことができる観察画像の線幅測定装置を提
供することを目的とするものである。
て、走査画像を観察しながら測定用のデータを取
り込むことができる観察画像の線幅測定装置を提
供することを目的とするものである。
〔問題点を解決するための手段〕
そのために本考案は、電子銃から放出される電
子線を細いビームに収束させ試料上を照射してラ
スター走査を繰り返し行い、試料から発生する量
子信号を検出して走査像を表示し該走査像上での
マーカー位置の指定と積算回数の指定に従つてマ
ーカー位置における量子信号をサンプリングして
線幅を測定する観察画像の線幅測定装置であつ
て、ラスター走査による走査像に重ねてマーカー
位置を表示し該マーカー位置とラスター走査位置
との一致を検出するマーカー制御手段、ラスター
走査の繰り返し回数を計数して指定された積算回
路を判定する走査回数判定手段、マーカー制御手
段の一致信号により量子信号をサンプリング・デ
ータとして取り込み走査回数判定手段の判定に従
つて指定された回数のサンプリング・データを積
算するサンプリング・データ積算手段、及び指定
された回数を積算したサンプリング・データを取
り込み線幅測定の処理を行う線幅測定手段を具備
したことを特徴とするものである。
子線を細いビームに収束させ試料上を照射してラ
スター走査を繰り返し行い、試料から発生する量
子信号を検出して走査像を表示し該走査像上での
マーカー位置の指定と積算回数の指定に従つてマ
ーカー位置における量子信号をサンプリングして
線幅を測定する観察画像の線幅測定装置であつ
て、ラスター走査による走査像に重ねてマーカー
位置を表示し該マーカー位置とラスター走査位置
との一致を検出するマーカー制御手段、ラスター
走査の繰り返し回数を計数して指定された積算回
路を判定する走査回数判定手段、マーカー制御手
段の一致信号により量子信号をサンプリング・デ
ータとして取り込み走査回数判定手段の判定に従
つて指定された回数のサンプリング・データを積
算するサンプリング・データ積算手段、及び指定
された回数を積算したサンプリング・データを取
り込み線幅測定の処理を行う線幅測定手段を具備
したことを特徴とするものである。
本考案の観察画像の線幅測定装置では、マーカ
ーにより走査画像上に測定ラインを指定するとと
もに走査回数を指定すると、そのマーカー位置が
走査されるときマーカー制御手段から一致信号が
出力される。この一致信号により走査クロツク信
号から選択されたサンプリング・クロツク信号に
よつてサンプリング・データ積算手段にサンプリ
ング・データが取り込まれ、そして２回目以降の
サンプリング・データは、前回までのデータとの
積算が行われる。また、走査回数指定手段では走
査回数が計数され、指定された回数との比較判定
が行われる。この判定に従いサンプリング・デー
タ積算手段には、指定された走査回数までサンプ
リング・データが積算された、平均化した線幅の
測定データが得られる。
ーにより走査画像上に測定ラインを指定するとと
もに走査回数を指定すると、そのマーカー位置が
走査されるときマーカー制御手段から一致信号が
出力される。この一致信号により走査クロツク信
号から選択されたサンプリング・クロツク信号に
よつてサンプリング・データ積算手段にサンプリ
ング・データが取り込まれ、そして２回目以降の
サンプリング・データは、前回までのデータとの
積算が行われる。また、走査回数指定手段では走
査回数が計数され、指定された回数との比較判定
が行われる。この判定に従いサンプリング・デー
タ積算手段には、指定された走査回数までサンプ
リング・データが積算された、平均化した線幅の
測定データが得られる。
以下、実施例を図面を参照しつつ説明する。
第１図は本考案の観察画像の線幅測定装置の１
実施例構成を示す図、第２図はデイスプレイ上の
画像に重畳されるマーカーの例を示す図、第３図
は本考案の観察画像の線幅測定装置の動作を説明
するためのタイムチヤートである。
実施例構成を示す図、第２図はデイスプレイ上の
画像に重畳されるマーカーの例を示す図、第３図
は本考案の観察画像の線幅測定装置の動作を説明
するためのタイムチヤートである。
第１図において、１はCPU（中央処理装置）、
２はインターフエイス、３は操作パネル、４はマ
ーカー制御回路、５はデイジタル・スキヤン・ジ
エネレータ、６は走査回数指定回路、７はデー
タ・アクイジシヨン・システム、８はデイスプレ
イ、９は電子銃、１０は収束レンズ、１１は偏向
コイル、１２は対物レンズ、１３は検出器、１４
は試料をそれぞれ示している。操作パネル３はオ
ペレータの操作により各種のデータが入力される
もので、この操作パネル３を使つて後述するマー
カー位置や測定スタート、指定走査回数などの指
示がなされる。マーカー制御回路４は、操作パネ
ル３で指示されたマーカー位置を記憶してデイジ
タル・スキヤン・ジエネレータ５から与えられる
スキヤン信号に従つてマーカーをデイスプレイ８
上に表示するとともに、スキヤン信号がマーカー
位置と一致したときに一致パルス（COIN
PULSE）を走査回数指定回路６に供給する。マ
ーカーは、第２図ａに示すように斜線の画像に対
して水平に指定するマーカーMXと、第２図ｂに
示すように斜線の画像に対して垂直に指定するマ
ーカーMYとがある。これらのマーカー位置は、
例えばマーカーMXの場合は座標YPを与え、マー
カーMYの場合は座標XPを与えることによつて指
定される。デイジタル・スキヤン・ジエネレータ
５は、Ｘ，Ｙのスキヤン信号をマーカー制御回路
４、デイスプレイ８及び偏向コイル１１に供給
し、ラスター走査モードで試料１４の走査画像を
デイスプレイ８上に表示するように制御してい
る。走査回数指定回路６は、積算回数が指定さ
れ、起動がかけられるとデータ・アクイジシヨ
ン・システム７に対するフオーカス信号を「Ｈ」
にし、指定された積算回数の測定が終了した時点
で「Ｌ」にする。この積算回数は、例えば１画面
の走査毎に発生するＹブランク信号をカウントす
ればよい。データ・アクイジシヨン・システム７
は、走査回数指定回路６から供給されるフオーカ
ス信号を、データ取り込みのゲート信号として使
うとともにデータの積算が終了したことをCPU
１に通知するパルス信号SRQ（サービス・リクエ
スト）の発行のタイミング信号として使うもので
ある。つまりデータ・アクイジシヨン・システム
７は、フオーカス信号が「Ｈ」であることを条件
にマーカー制御回路４の一致パルス（COIN
PULSE）が発生すると、この一致パルスにより
走査クロツク信号から選択されたサンプリング・
クロツクを使用して検出器１３からのサンプリン
グ・データをＡ／Ｄ（アナログ−デイジタル）変
換して内部のメモリ内に取り込み、２回目以降の
サンプリング・データを前回までのサンプリン
グ・データに加算していくものである。
２はインターフエイス、３は操作パネル、４はマ
ーカー制御回路、５はデイジタル・スキヤン・ジ
エネレータ、６は走査回数指定回路、７はデー
タ・アクイジシヨン・システム、８はデイスプレ
イ、９は電子銃、１０は収束レンズ、１１は偏向
コイル、１２は対物レンズ、１３は検出器、１４
は試料をそれぞれ示している。操作パネル３はオ
ペレータの操作により各種のデータが入力される
もので、この操作パネル３を使つて後述するマー
カー位置や測定スタート、指定走査回数などの指
示がなされる。マーカー制御回路４は、操作パネ
ル３で指示されたマーカー位置を記憶してデイジ
タル・スキヤン・ジエネレータ５から与えられる
スキヤン信号に従つてマーカーをデイスプレイ８
上に表示するとともに、スキヤン信号がマーカー
位置と一致したときに一致パルス（COIN
PULSE）を走査回数指定回路６に供給する。マ
ーカーは、第２図ａに示すように斜線の画像に対
して水平に指定するマーカーMXと、第２図ｂに
示すように斜線の画像に対して垂直に指定するマ
ーカーMYとがある。これらのマーカー位置は、
例えばマーカーMXの場合は座標YPを与え、マー
カーMYの場合は座標XPを与えることによつて指
定される。デイジタル・スキヤン・ジエネレータ
５は、Ｘ，Ｙのスキヤン信号をマーカー制御回路
４、デイスプレイ８及び偏向コイル１１に供給
し、ラスター走査モードで試料１４の走査画像を
デイスプレイ８上に表示するように制御してい
る。走査回数指定回路６は、積算回数が指定さ
れ、起動がかけられるとデータ・アクイジシヨ
ン・システム７に対するフオーカス信号を「Ｈ」
にし、指定された積算回数の測定が終了した時点
で「Ｌ」にする。この積算回数は、例えば１画面
の走査毎に発生するＹブランク信号をカウントす
ればよい。データ・アクイジシヨン・システム７
は、走査回数指定回路６から供給されるフオーカ
ス信号を、データ取り込みのゲート信号として使
うとともにデータの積算が終了したことをCPU
１に通知するパルス信号SRQ（サービス・リクエ
スト）の発行のタイミング信号として使うもので
ある。つまりデータ・アクイジシヨン・システム
７は、フオーカス信号が「Ｈ」であることを条件
にマーカー制御回路４の一致パルス（COIN
PULSE）が発生すると、この一致パルスにより
走査クロツク信号から選択されたサンプリング・
クロツクを使用して検出器１３からのサンプリン
グ・データをＡ／Ｄ（アナログ−デイジタル）変
換して内部のメモリ内に取り込み、２回目以降の
サンプリング・データを前回までのサンプリン
グ・データに加算していくものである。
次に、装置全体の動作を説明する。いま、電子
銃９から射出された電子線を収束レンズ１０及び
対物レンズ１２により細く収束して試料１４に照
射し、さらにデイジタル・スキヤン・ジエネレー
タ５からのスキヤン信号を受けた偏向コイル１１
により試料１４上をＸ，Ｙ方向に走査する。そし
てこの走査によつて試料１４から発生する二次電
子やＸ線などの量子信号を検出器１３により検出
し、スキヤン信号に従つてデイスプレイ８上に走
査像を表示する。そこで、操作パネル３からマー
カー位置、積算回数などを指定して測定スタート
をかけると、第３図ｃに示すように、まず走査回
数指定回路６がＹブランク信号の立ち下がりでフ
オーカス信号を「Ｈ」にする。そうすると、デー
タ・アクイジシヨン・システム７は、マーカー制
御回路４が第３図ａ，ｂに示すように指定された
マーカー位置の座標YP，XPに従つて一致パルス
を発生する毎に、内蔵のメモリに検出器１３から
１回目のサンプリング・データを取り込む。続い
て、２回目以降のサンプリング・データも同様に
して取り込み、前回のデータに加算してメモリの
内容を書き替える。この間走査回数指定回路６
は、その都度Ｙブランク信号の立ち下がりで積算
回数のカウントを行う。この処理を繰り返し行つ
て、指定されたＮ回の積算が終了すると、第３図
ｃに示すように走査回数指定回路６は、Ｙブラン
ク信号の立ち下がりで指定回数になつたことを検
知しフオーカス信号を「Ｌ」にする。このフオー
カス信号が「Ｌ」になつたことを条件にデータ・
アクイジシヨン・システム７は、CPU１に対し
てパルス信号SRQ（サービス・リクエスト）を発
行して割り込みをかけ、指定されたＮ回の積算が
終了したことを知らせる。CPU１は、この割り
込みを受け付けると、データ・アクイジシヨン・
システム７内のメモリに書き込まれたデータを線
幅の測定データとして読み込む。なお、線幅は、
例えば第２図図示のようなマーカーMX、或いは
マーカーMYの測定データが得られたとすると、
その値の立ち上がり点と立ち下がり点との２点
（図示斜線部分の境界）を検出し、その２点の長
さを算出することによつて求めることができる。
また、この方法以外の求め方によつてもよいこと
はいうまでもない。
銃９から射出された電子線を収束レンズ１０及び
対物レンズ１２により細く収束して試料１４に照
射し、さらにデイジタル・スキヤン・ジエネレー
タ５からのスキヤン信号を受けた偏向コイル１１
により試料１４上をＸ，Ｙ方向に走査する。そし
てこの走査によつて試料１４から発生する二次電
子やＸ線などの量子信号を検出器１３により検出
し、スキヤン信号に従つてデイスプレイ８上に走
査像を表示する。そこで、操作パネル３からマー
カー位置、積算回数などを指定して測定スタート
をかけると、第３図ｃに示すように、まず走査回
数指定回路６がＹブランク信号の立ち下がりでフ
オーカス信号を「Ｈ」にする。そうすると、デー
タ・アクイジシヨン・システム７は、マーカー制
御回路４が第３図ａ，ｂに示すように指定された
マーカー位置の座標YP，XPに従つて一致パルス
を発生する毎に、内蔵のメモリに検出器１３から
１回目のサンプリング・データを取り込む。続い
て、２回目以降のサンプリング・データも同様に
して取り込み、前回のデータに加算してメモリの
内容を書き替える。この間走査回数指定回路６
は、その都度Ｙブランク信号の立ち下がりで積算
回数のカウントを行う。この処理を繰り返し行つ
て、指定されたＮ回の積算が終了すると、第３図
ｃに示すように走査回数指定回路６は、Ｙブラン
ク信号の立ち下がりで指定回数になつたことを検
知しフオーカス信号を「Ｌ」にする。このフオー
カス信号が「Ｌ」になつたことを条件にデータ・
アクイジシヨン・システム７は、CPU１に対し
てパルス信号SRQ（サービス・リクエスト）を発
行して割り込みをかけ、指定されたＮ回の積算が
終了したことを知らせる。CPU１は、この割り
込みを受け付けると、データ・アクイジシヨン・
システム７内のメモリに書き込まれたデータを線
幅の測定データとして読み込む。なお、線幅は、
例えば第２図図示のようなマーカーMX、或いは
マーカーMYの測定データが得られたとすると、
その値の立ち上がり点と立ち下がり点との２点
（図示斜線部分の境界）を検出し、その２点の長
さを算出することによつて求めることができる。
また、この方法以外の求め方によつてもよいこと
はいうまでもない。
以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば、表示画像上にマーカーを指定するだけで線幅
測定中も画像の観察を行うことができるので、装
置としての付加価値を高めることができる。また
スキヤン・ジエネレータの走査モードを各種設け
る必要がないため、装置を簡易に構成することが
できる。さらには、マーカー位置にしたがつてサ
ンプリング・データの取り込みを所定の回数実行
し、その後に線幅の測定を行うので、サンプリン
グ・データの取り込みを簡単且つ短時間に行うこ
とができる。
ば、表示画像上にマーカーを指定するだけで線幅
測定中も画像の観察を行うことができるので、装
置としての付加価値を高めることができる。また
スキヤン・ジエネレータの走査モードを各種設け
る必要がないため、装置を簡易に構成することが
できる。さらには、マーカー位置にしたがつてサ
ンプリング・データの取り込みを所定の回数実行
し、その後に線幅の測定を行うので、サンプリン
グ・データの取り込みを簡単且つ短時間に行うこ
とができる。
第１図は本考案の観察画像の線幅測定装置の１
実施例構成を示す図、第２図はデイスプレイ上の
画像に重畳されるマーカーの例を示す図、第３図
は本考案の観察画像の線幅測定装置の動作を説明
するためのタイムチヤートである。 １……CPU（中央処理装置）、２……インター
フエイス、３……操作パネル、４……マーカー制
御回路、５……デイジタル・スキヤン・ジエネレ
ータ、６……走査回数指定回路、７……データ・
アクイジシヨン・システム、８……デイスプレ
イ、９……電子銃、１０……収束レンズ、１１…
…偏向コイル、１２……対物レンズ、１３……検
出器、１４……試料。
実施例構成を示す図、第２図はデイスプレイ上の
画像に重畳されるマーカーの例を示す図、第３図
は本考案の観察画像の線幅測定装置の動作を説明
するためのタイムチヤートである。 １……CPU（中央処理装置）、２……インター
フエイス、３……操作パネル、４……マーカー制
御回路、５……デイジタル・スキヤン・ジエネレ
ータ、６……走査回数指定回路、７……データ・
アクイジシヨン・システム、８……デイスプレ
イ、９……電子銃、１０……収束レンズ、１１…
…偏向コイル、１２……対物レンズ、１３……検
出器、１４……試料。
Claims (1)
- 電子銃から放出される電子線を細いビームに収
束させ試料上を照射してラスター走査を繰り返し
行い、試料から発生する量子信号を検出して走査
像を表示し該走査像上でのマーカー位置の指定と
積算回数の指定に従つてマーカー位置における量
子信号をサンプリングして線幅を測定する観察画
像の線幅測定装置であつて、ラスター走査による
走査像に重ねてマーカー位置を表示し該マーカー
位置とラスター走査位置との一致を検出するマー
カー制御手段、ラスター走査の繰り返し回数を計
数して指定された積算回路を判定する走査回数判
定手段、マーカー制御手段の一致信号により量子
信号をサンプリング・データとして取り込み走査
回数判定手段の判定に従つて指定された回数のサ
ンプリング・データを積算するサンプリング・デ
ータ積算手段、及び指定された回数を積算したサ
ンプリング・データを取り込み線幅測定の処理を
行う線幅測定手段を具備したことを特徴とする観
察画像の線幅測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984179530U JPH0430489Y2 (ja) | 1984-11-26 | 1984-11-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984179530U JPH0430489Y2 (ja) | 1984-11-26 | 1984-11-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6194707U JPS6194707U (ja) | 1986-06-18 |
| JPH0430489Y2 true JPH0430489Y2 (ja) | 1992-07-23 |
Family
ID=30737097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984179530U Expired JPH0430489Y2 (ja) | 1984-11-26 | 1984-11-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0430489Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007003535A (ja) * | 2001-08-29 | 2007-01-11 | Hitachi Ltd | 試料寸法測定方法及び走査型電子顕微鏡 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54138467A (en) * | 1978-04-19 | 1979-10-26 | Hitachi Ltd | Scanning type electron microscope or resembling apparatus |
| JPS55151207A (en) * | 1979-05-16 | 1980-11-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Detecting method for reference mark position by electron beam exposure |
| JPS5637501A (en) * | 1979-09-03 | 1981-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | Micropattern measuring method by electron beam |
| JPS5661604A (en) * | 1979-10-25 | 1981-05-27 | Jeol Ltd | Range finder in scanning electronic microscope |
| JPS57204406A (en) * | 1981-06-12 | 1982-12-15 | Akashi Seisakusho Co Ltd | Measuring method of length using scanning-type electronic microscope and its device |
| JPS58117404A (ja) * | 1982-01-05 | 1983-07-13 | Jeol Ltd | パタ−ン測定法 |
| JPS59112217A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-28 | Toshiba Corp | 寸法測定方法 |
-
1984
- 1984-11-26 JP JP1984179530U patent/JPH0430489Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54138467A (en) * | 1978-04-19 | 1979-10-26 | Hitachi Ltd | Scanning type electron microscope or resembling apparatus |
| JPS55151207A (en) * | 1979-05-16 | 1980-11-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Detecting method for reference mark position by electron beam exposure |
| JPS5637501A (en) * | 1979-09-03 | 1981-04-11 | Mitsubishi Electric Corp | Micropattern measuring method by electron beam |
| JPS5661604A (en) * | 1979-10-25 | 1981-05-27 | Jeol Ltd | Range finder in scanning electronic microscope |
| JPS57204406A (en) * | 1981-06-12 | 1982-12-15 | Akashi Seisakusho Co Ltd | Measuring method of length using scanning-type electronic microscope and its device |
| JPS58117404A (ja) * | 1982-01-05 | 1983-07-13 | Jeol Ltd | パタ−ン測定法 |
| JPS59112217A (ja) * | 1982-11-29 | 1984-06-28 | Toshiba Corp | 寸法測定方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6194707U (ja) | 1986-06-18 |
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