JPS62194450A - 画像中における粒子像分析方法 - Google Patents

画像中における粒子像分析方法

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JPS62194450A
JPS62194450A JP61036924A JP3692486A JPS62194450A JP S62194450 A JPS62194450 A JP S62194450A JP 61036924 A JP61036924 A JP 61036924A JP 3692486 A JP3692486 A JP 3692486A JP S62194450 A JPS62194450 A JP S62194450A
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Tadashi Watanabe
正 渡辺
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/10Investigating individual particles
    • G01N15/14Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
    • G01N15/1468Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry with spatial resolution of the texture or inner structure of the particle

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  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は分析装置又は撮像装置より得られる分析対象像
に基づいてこの像中の孤立粒子と密集粒子とを弁別して
自動的に計数する方法に関する。
[従来の技術] 鉄鋼等の表面の分析にX線マイクロアナライザが広範に
使用されている。特に最近では、鉄鋼等の表面を、コン
ピュータ制御のもとて電子線により二次元的にデジタル
走査し、その際得られる反射電子検出信号を各画素毎に
デジタル値としてメモリに記憶させ、この記憶データに
基づいて画像を表示するようにしている。通常、鉄鋼中
にはアルミナクラッドのような介在物粒子が存在する。
このような粒子が孤立して存在する場合は問題が少ない
が、密集して存在すると鉄鋼の強度を弱める上で問題と
なる。そこで、従来よりこのような密集粒子の単位面積
あたりの個数を計数することが行なわれていた。
[発明が解決しようとする問題点] ところで、従来においては、上記計数は得られた像の目
視により行なっていたため、計数に時間がかかり、又、
計数値に誤差が生じ易かった。
本発明は、このような従来の欠点を解決し、画像中の孤
立粒子と密集粒子を自動的に弁別して密集粒子の個数を
計数することのできる画像中における粒子像分析方法を
提供することを目的としている。
U問題点を解決するための手段] そのため本発明は、分析又は撮像装置により粒子分布画
像データを得、該粒子分布画像データに基づいて該画像
中の粒子像を分析する方法において、前記粒子分布画像
に含まれる各粒子像の各々を一定量拡大させ、該拡大に
より密集して存在する粒子像を単一の粒子像に統合させ
てn個の粒子像r1 、 r2 、・・・、r1、由、
rnを含む画像に対応した粒子拡大処理画像データを求
め、該粒子拡大処理画像データに基づき、順次前記各i
について、前記第1番目の粒子像をメモリに転写し、該
転写により得られる画像と前記粒子分布画像の対応する
画素データのANDをとって弁別画像データを求め、該
弁別画像データに基づいて該弁別画像中の粒子像の個数
が設定個数以上である場合に密集粒子として該粒子数を
計数することを特徴としている。
[実施例] 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第2図は本発明を実施するための装置を例示するための
もので、図中1は電子銃であり、電子銃1よりの電子線
EBは集束レンズ3により細く集束されて試料4に照射
される。試料4は試料ステージ5上に載置されており、
試料ステージ5は駆動機構6により水平方向に移動でき
るようになっている。7は偏向器であり、偏向器7には
走査回路8より走査信号が送られる。2は反射電子検出
器であり、検出器2よりの信号は反射電子検出回路9に
おいて増幅及びAD変換処理を受けて、第1の画像メモ
リ10に送られる。第1の画像メモリ10には前記走査
回路8より走査に同期した信号が送られている。13は
付属するメモリ14を有する中央演算処理装置であり、
中央演算処理装置13には前記第1の画像メモリ10と
共に第2゜第3の画像メモリ11.12が接続されてい
る。
これら客画像メモリは深さ方向に4ビツトを有しており
、充分な階調で粒子像を記憶できるようになっている。
中央演算処理装置13には試料ステージ制御回路17も
接続されており、試料ステージ制御回路17は中央演算
処理装置13よりの信号に基づいて駆動機構6を稼働さ
せる。中央演算処理装置13には操作卓15と共に、分
析画像や計数値データを表示するためのCRT16が接
続されている。
このような構成の装置を用いて、走査回路8より偏向器
7に走査信号を送って電子線EBにより試料4を二次元
的に走査する。その結果、この走査に伴って原画像デー
タS(x、y)が第1のメモリ10に記憶される。そこ
で、中央演算処理装置13はこの原画像データを読み出
して予め設定した基準レベルと比較して2値化し、第3
図(a>に示す画像に対応した粒子分布画像データα(
X。
y)を第2のメモリ11に記憶させる。尚、X。
yは各画素の位置を表わすパラメータである。いま、こ
の第1種画像中にm個の粒子像が存在するものとすると
、第1図のフローチャートのステップ18に示すように
、中央演算処理装置13は、前記粒子分布画像データα
(X、V)に基づいてこの画像中の各粒子像を均等に一
定量拡大して粒子拡大処理画像データε(x、V)を求
め、第2の画像メモリ11に記憶させる。その結果、第
2の画像メモリ11には、第1種画像中の密集粒子像が
単一の粒子像として統合されたため、n(n≦m)個の
粒子像r1 、 r2 、・・・、ri、・・・、rn
を含む第3図(b)の画像に対応するデータが記憶され
る。尚、2個の粒子が密集して存在するものと看なすた
めの2粒子間の距離は予め設定されており、この距離を
し0とすれば、上記ステップにおいては距離10に対応
する画素数より僅かに多い画素数だけ、各方向に各粒子
像を拡大する。
次に中央演算処理装置13は第1図のステップ19に示
すように、第2の画像メモリ11に記憶された粒子拡大
処理画像データε(x、y)に基づいて、各粒子像r1
 、 r2 、・・・、ri、・・・、 rnを形成す
る画素のデータを各粒子像毎に異なった値11に変換し
て第2の画像メモリ11に記憶させ、ラベリングを行な
う。そのため、第2の画像メモリ11には第3図(C)
に示す画像に対応した階調付画像データξ(x、y)が
記憶される。
次に中央演算処理装置13は第1図のステップ20に示
すように前記粒子の番号を表わす変数iを初期値1にセ
ットし、第1図のステップ21に示すように前記階調付
画像データξ(x、y)を用いて値Ii =11の画素
から成る粒子像r1を第3の画像メモリ12に転写する
。その結果、第3の画像メモリ12には第3図(d)に
示す画像に対応した第1番目の転写画像データλ(x、
y)1が格納される。次に中央演算処理装置13は第1
図のステップ22に示すように、第1の画像メモリ10
に記憶されている粒子分布画像データα(x、y)と共
に、第3の画像メモリ12に記憶されている転写画像デ
ータλ(x、y)1を読み出して対応する画素データ同
志のANDをとることにより第1番目の弁別画像データ
ω(x、y)1を求め、このデータを第3の画像メモリ
12に記憶させる。そのため、第3の画像メモリ12に
は第3図(e)に示す画像に対応した画像データが記憶
される。そこで、中央演算処理装置13は第1図のステ
ップ23に示すように、弁別画像データω(x、y)1
に基づいてこの弁別画像中に含まれる粒子の個数を計数
する。前記距離LO以内に1個の粒子しか存在しない場
合を孤立粒子、2個以上存在する場合を密集粒子と決め
ておけば、中央演算処理装置13はこの計数において粒
子が1個の場合にはメモリ14に保持している孤立粒子
の累積計数値Uを1だけカウントアツプさせ、2個以上
の場合には、メモリ14に保持している密集粒子の累積
計数値■を1だけカウントアツプさせる。次に中央演算
処理装置13は第3の画像メモリ12の内容を消去した
後、第1図のステップ24に示すように、現在の粒子の
番号1が最終番号nに等しいか否かを判断する。最初の
段階では等しくないため、第1図のステップ25におい
て、i = i +1として、即ち、次の番号の粒子像
を対象にした後、ステップ21に戻り、ステップ21以
降の過程を繰り返させる。説明の簡単のための、第3図
(a)に示すように単純化した粒子分布画像に対する処
理においては、この粒子分布画像と粒子像r2の転写画
像とのAND操作により第3図(f)の画像に対応した
弁別画像データω(x、y)2が得られ、粒子分布画像
と粒子像r3の転写画像とのAND操作により第3図(
g)の画像に対応した弁別画像データω(x、y)3が
得られる。そのため、i=1とした最初のデータ処理に
より孤立粒子の累積計数値Uが1.密集粒子の累積計数
値Vが011=2とした2回目の7’ −’l 処理ニ
ヨ’0、U=1+1=2.V=O1i=3とした最終回
の処理によりU=2.V=4となり、この値が付属メモ
リ14に保持される。この実施例の場合最終番号nは3
であるから、ステップ20においてi=3を設定した場
合には、ステップ24において作業の終りが判断される
ため、中央演算処理装置13は繰り返し作業を停止させ
て、付属メモリ14に保持されている前記U、■の値を
CRT16に表示させる。そのため、操作者は、この表
示値により、被検試料の単位面積に存在する密集粒子の
個数や、孤立粒子の個数を簡単且つ計数誤差なく知るこ
とができる。
上述した実施例は本発明の実施例の一部に過ぎず、更に
変型して実施することができる。
例えば、上述した実施例においては、距離LO以内に2
個以上の粒子が存在する場合を密集粒子としたが、距離
LO以内にK(K2S)個以上の粒子像が存在する場合
を密集粒子とし、(K−1)以下の粒子像が存在する場
合を孤立粒子として扱うようにしても良い。
又、上述した実施例は、X線マイクロアナライザによっ
て得られた鉄鋼等の走査画像中における介在物粒子を孤
立粒子と密集粒子に弁別して計数する場合に本発明を適
用した例であるが、本発明は上記のような画像に対する
処理に限定されない。
即ち、電子顕微鏡や光学顕微鏡等によって得られる画像
や、熱放射体映像装置等によって得られる画像中の孤立
粒子像と密集粒子像を弁別して計数する必要のある場合
に同様に適用することができる。
[発明の効果] 上述した説明から明らかなように本発明によれば、粒子
分布画像データに基づいて各粒子像を一定量拡大し、こ
の拡大により密集粒子を単一の粒子像に統合させて粒子
拡張処理画像データを求め、粒子拡張処理画像の各粒子
像を順次メモリに転写し、この転写画像データと前記粒
子分布画像データとのANDをとることにより孤立粒子
と密集粒子を弁別することのできる弁別画像データを求
め、この弁別画像に基づいて粒子像の計数を行なうよう
にしているため、粒子分布画像中の密集粒子を孤立粒子
と弁別して、短時間且つ正確に自動計数することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示すためのフローチャート
であり、第2図は本発明を実施するための装置の一例を
示すための図、第3図は第1図のフローチャートの流れ
に沿って変化する画像データを説明するための図である
。 1:電子銃      2:反射電子検出器3:集束レ
ンズ    4:試料 5:試料ステージ   6:駆動機構 7:偏向器      8:走査回路 9:反射電子検出回路 10.11.12:画像メモリ 13:中央演算処理装置 14:試料ステージ制御回路 15:操作卓     16 : CRT17:試料ス
テージ制御回路

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 分析又は撮像装置により粒子分布画像データを得、該粒
    子分布画像データに基づいて該画像中の粒子像を分析す
    る方法において、前記粒子分布画像に含まれる各粒子像
    の各々を一定量拡大させ、該拡大により密集して存在す
    る粒子像を単一の粒子像に統合させてn個の粒子像r1
    、r2、・・・、ri、・・・、rnを含む画像に対応
    した粒子拡大処理画像データを求め、該粒子拡大処理画
    像データに基づき、順次前記各iについて、前記第i番
    目の粒子像をメモリに転写し、該転写により得られる画
    像と前記粒子分布画像の対応する画素データのANDを
    とって弁別画像データを求め、該弁別画像データに基づ
    いて該弁別画像中の粒子像の個数が設定個数以上である
    場合に密集粒子として該粒子数を計数することを特徴と
    する画像中における粒子像分析方法。
JP61036924A 1986-02-21 1986-02-21 画像中における粒子像分析方法 Expired - Lifetime JPH0697214B2 (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5305476A (en) * 1990-04-13 1994-04-26 The Nisshin Oil Mills, Ltd. Shower bathing device
JP2006038541A (ja) * 2004-07-26 2006-02-09 Tdk Corp 評価用データの生成方法および評価方法
EP2508868A3 (en) * 2011-04-08 2017-12-27 Rolls-Royce plc An apparatus and a method of determining the proportions of different powders in a powder

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6275774A (ja) * 1985-09-28 1987-04-07 Toshiba Corp 画像処理装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6275774A (ja) * 1985-09-28 1987-04-07 Toshiba Corp 画像処理装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5305476A (en) * 1990-04-13 1994-04-26 The Nisshin Oil Mills, Ltd. Shower bathing device
JP2006038541A (ja) * 2004-07-26 2006-02-09 Tdk Corp 評価用データの生成方法および評価方法
EP2508868A3 (en) * 2011-04-08 2017-12-27 Rolls-Royce plc An apparatus and a method of determining the proportions of different powders in a powder

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