JPS62239044A - 画像中における粒子像分析方法 - Google Patents
画像中における粒子像分析方法Info
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- JPS62239044A JPS62239044A JP8360886A JP8360886A JPS62239044A JP S62239044 A JPS62239044 A JP S62239044A JP 8360886 A JP8360886 A JP 8360886A JP 8360886 A JP8360886 A JP 8360886A JP S62239044 A JPS62239044 A JP S62239044A
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- OMOVVBIIQSXZSZ-UHFFFAOYSA-N [6-(4-acetyloxy-5,9a-dimethyl-2,7-dioxo-4,5a,6,9-tetrahydro-3h-pyrano[3,4-b]oxepin-5-yl)-5-formyloxy-3-(furan-3-yl)-3a-methyl-7-methylidene-1a,2,3,4,5,6-hexahydroindeno[1,7a-b]oxiren-4-yl] 2-hydroxy-3-methylpentanoate Chemical compound CC12C(OC(=O)C(O)C(C)CC)C(OC=O)C(C3(C)C(CC(=O)OC4(C)COC(=O)CC43)OC(C)=O)C(=C)C32OC3CC1C=1C=COC=1 OMOVVBIIQSXZSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は分析装置又は岡像装置ににり得られる分析対象
像中の粒子数を自動的にｈ］数する方法に関する。
像中の粒子数を自動的にｈ］数する方法に関する。
［従来の技術］
鉄鋼等の表面の分析にＸＦＩＩマイクロアナライザが広
範に使用されている。特に最近では、鉄鋼等の表面を、
］ンビュータ制御のもとて電子線により二次元的にデジ
タル走査し、その際得られる反射電子検出信号を各画素
毎にデジタル値としてメモリに記憶させ、この記憶デー
タに基づいて画像を表示するようにしている。通常、鉄
鋼表面には各特定物質Ａ、Ｂ、・・・より成る粒子が存
在するが、特定物質Ａ、Ｂ、・・・毎に反射電子の強度
は異なるため、前記画像表示にあたって、前記各画素の
デジタル値を物質Ａ、Ｂ、・・・に応じてｎ個にｍ量化
すると共に、各量子化された８値に異なった輝度（又は
カラー）を割り当てて、物質Ａ、Ｂ、・・・の粒子の存
在が異なった輝度（又はカラー）で弁別できるように画
像表示している。
範に使用されている。特に最近では、鉄鋼等の表面を、
］ンビュータ制御のもとて電子線により二次元的にデジ
タル走査し、その際得られる反射電子検出信号を各画素
毎にデジタル値としてメモリに記憶させ、この記憶デー
タに基づいて画像を表示するようにしている。通常、鉄
鋼表面には各特定物質Ａ、Ｂ、・・・より成る粒子が存
在するが、特定物質Ａ、Ｂ、・・・毎に反射電子の強度
は異なるため、前記画像表示にあたって、前記各画素の
デジタル値を物質Ａ、Ｂ、・・・に応じてｎ個にｍ量化
すると共に、各量子化された８値に異なった輝度（又は
カラー）を割り当てて、物質Ａ、Ｂ、・・・の粒子の存
在が異なった輝度（又はカラー）で弁別できるように画
像表示している。
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、鉄鋼中の一定領域中に介在号る前記粒子の数
を特定物質毎に計数して（ツられる情報は、鉄鋼の特性
を知る一トで極めて重要である。
を特定物質毎に計数して（ツられる情報は、鉄鋼の特性
を知る一トで極めて重要である。
従来、このにうな情報を得るため、前記輝度（又はカラ
ー）画像を観察して各特定物質Ａ、Ｂ・・・の粒子数を
目視により計数していた。そのため、計数に時間がかか
り、又、計数値に誤差が生じ易かった。
ー）画像を観察して各特定物質Ａ、Ｂ・・・の粒子数を
目視により計数していた。そのため、計数に時間がかか
り、又、計数値に誤差が生じ易かった。
本発明は、このような従来の欠点を解決し、−に＝３＝
配置物質の粒子数のＪ：うに、異なったレベルの信号に
よって映像化される粒子の個数を、各吊子レベルの粒子
像毎に弁別して自動計数することのできる画像中におけ
る粒子像分析方法を提供することを目的としている。
よって映像化される粒子の個数を、各吊子レベルの粒子
像毎に弁別して自動計数することのできる画像中におけ
る粒子像分析方法を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段１
そのため、第１の発明によれば、分析又は踊像装四によ
り像を取得し、該像を構成する各画素の画像データに基
づいて該画像中の粒子像を分析する方法において、原画
像データを第１の基準レベルと比較することにより２値
化して第１種画像データを求め、前記原画像データを前
記第１の基準レベルと第２の基準レベルとの間の値をと
るか否かにより２値化して第２種画像データを求め、該
第１種画像データに基づいて該第１種画像中の各粒子像
を一定量拡大して粒子拡大処理画像データを求めるか、
又は前記第２種画像データに基づいて該第２種画像中の
各粒子像を一定量縮小して粒子縮小処理画像データを求
め、前記粒子拡大処理画像データを用いて前記第２種画
像中における第１種画像中の粒子像と重複する粒子像を
削除するか、又は、前記第１種画像データを用いて粒子
縮小処理画像データにおける第１種像中の粒子像と重複
する粒子像を削除することにより重複除去処理画像デー
タを求め、第１種画像データに基づいて該画像中の粒子
像の個数を自動的に計数すると共に、前記重複除去処理
画像データに基づいて該除去処理画像中の粒子像の個数
を自動的に計数することを特徴としており、 又、第２の発明によれば、分析又は県像装欝により像を
取得し、該像を構成する各画素の画像データに基づいて
該画像中の粒子像を分析する方法において、原画像デー
タを第１の基準レベルど比較することにより２値化して
第１種画像データを求め、前記原画像データを前記第２
のＭｌ′Ｆ；レベルど比較することにより２値化して第
２種画像データを求め、該第１種画像データに基づいて
該第１種画像中の各粒子像を一定量拡大して粒子拡大処
理画像データを求めるか、又は前記第２種画像データに
基づいて該第２種画像中の各粒子像を一定量縮小して粒
子縮小処理画像データを求め、前記粒子拡大処理画像デ
ータを用いて前記第２種画像中における第１種画像中の
粒子像と重複する粒子像を削除するか、又は、前記第１
種画像データを用いて粒子縮小処理画像データにおける
第１種像中の粒子像と重複する粒子像を削除することに
より重複除去処理画像データを求め、第１種画像データ
に基づいて該画像中の粒子像の個数を自動的に計数する
と共に、前記重複除去処理画像データに基づいて該除去
処理画像中の粒子像の個数を自動的に計数することを特
徴としている。
り像を取得し、該像を構成する各画素の画像データに基
づいて該画像中の粒子像を分析する方法において、原画
像データを第１の基準レベルと比較することにより２値
化して第１種画像データを求め、前記原画像データを前
記第１の基準レベルと第２の基準レベルとの間の値をと
るか否かにより２値化して第２種画像データを求め、該
第１種画像データに基づいて該第１種画像中の各粒子像
を一定量拡大して粒子拡大処理画像データを求めるか、
又は前記第２種画像データに基づいて該第２種画像中の
各粒子像を一定量縮小して粒子縮小処理画像データを求
め、前記粒子拡大処理画像データを用いて前記第２種画
像中における第１種画像中の粒子像と重複する粒子像を
削除するか、又は、前記第１種画像データを用いて粒子
縮小処理画像データにおける第１種像中の粒子像と重複
する粒子像を削除することにより重複除去処理画像デー
タを求め、第１種画像データに基づいて該画像中の粒子
像の個数を自動的に計数すると共に、前記重複除去処理
画像データに基づいて該除去処理画像中の粒子像の個数
を自動的に計数することを特徴としており、 又、第２の発明によれば、分析又は県像装欝により像を
取得し、該像を構成する各画素の画像データに基づいて
該画像中の粒子像を分析する方法において、原画像デー
タを第１の基準レベルど比較することにより２値化して
第１種画像データを求め、前記原画像データを前記第２
のＭｌ′Ｆ；レベルど比較することにより２値化して第
２種画像データを求め、該第１種画像データに基づいて
該第１種画像中の各粒子像を一定量拡大して粒子拡大処
理画像データを求めるか、又は前記第２種画像データに
基づいて該第２種画像中の各粒子像を一定量縮小して粒
子縮小処理画像データを求め、前記粒子拡大処理画像デ
ータを用いて前記第２種画像中における第１種画像中の
粒子像と重複する粒子像を削除するか、又は、前記第１
種画像データを用いて粒子縮小処理画像データにおける
第１種像中の粒子像と重複する粒子像を削除することに
より重複除去処理画像データを求め、第１種画像データ
に基づいて該画像中の粒子像の個数を自動的に計数する
と共に、前記重複除去処理画像データに基づいて該除去
処理画像中の粒子像の個数を自動的に計数することを特
徴としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第２図は本発明を実施するための装置を例示するための
もので、図中１は電子銃であり、電子銃１よりの電子線
ＦＢは集束レンズ３により細く集束されて試ｌ！Ｉ４に
照射される。試Ｉｔ ４は試料ステージ５上に載置され
ており、試料ステージ５は駆動機構６により水平方向に
移動できるようになっている。７は偏向器であり、偏向
器７には走査回路８より走査信号が送られる。２は反射
電子検出器であり、検出器２にりの信号は反則電子検出
回路９において増幅及びＡＤ変換処理を受けて、第１の
画像メモリ１０に送られる。第１の画像メモリ１０には
前記走査回路８より走査に同期した信号が送られている
。１３は付属するメモリ１４を有する中央演算処理装置
であり、中央演算処理装置１３には前記第１の画像メモ
リ１０と共に第２゜第３の画像メモリ１１．１２が接続
されている。
もので、図中１は電子銃であり、電子銃１よりの電子線
ＦＢは集束レンズ３により細く集束されて試ｌ！Ｉ４に
照射される。試Ｉｔ ４は試料ステージ５上に載置され
ており、試料ステージ５は駆動機構６により水平方向に
移動できるようになっている。７は偏向器であり、偏向
器７には走査回路８より走査信号が送られる。２は反射
電子検出器であり、検出器２にりの信号は反則電子検出
回路９において増幅及びＡＤ変換処理を受けて、第１の
画像メモリ１０に送られる。第１の画像メモリ１０には
前記走査回路８より走査に同期した信号が送られている
。１３は付属するメモリ１４を有する中央演算処理装置
であり、中央演算処理装置１３には前記第１の画像メモ
リ１０と共に第２゜第３の画像メモリ１１．１２が接続
されている。
中央演算処理装置１３には試！！Ｉステージ制御回路１
７も接続されており、試料ステージ制御回路１７は中央
演算処理装置１３よりの信号に基づいて駆動機構６を稼
働させる。中央演算処理装置１３には操作卓１５と共に
、分析画像や計数値データを表示するためのＣＲＴｌ
６が接続されている。
７も接続されており、試料ステージ制御回路１７は中央
演算処理装置１３よりの信号に基づいて駆動機構６を稼
働させる。中央演算処理装置１３には操作卓１５と共に
、分析画像や計数値データを表示するためのＣＲＴｌ
６が接続されている。
このような構成の装置を用いて、走査回路８より偏向器
７に走査信号を送って電子線ＥＢにより試料４を二次元
的に走査する。その結果、この走査に伴って第３図（ａ
＞に示す画像に対応した原画像データＳ （ｘ、ｙ）が
第１の画像メモリ１０に記憶されたとする。尚、第３図
（ａ＞の横断線Ｕに対応した反射電子検出信号の値は第
４図に示すものであるとする。中央演算処理装置１３は
予め組まれたプログラムに従って、第１図のフローチャ
ートのステップ１に示すように、まず、第１の画像メモ
リ１０に記憶されている原画像データＳ （ｘ、ｙ）を
読み出し、第４図に示す第１の基準レベルＬ １と各画
素の値を比較して２値化した後、第２の画像メモリ１１
に転写し、第１種画像データα（ｘ、ｙ）をメモリ１１
に記憶させる。
７に走査信号を送って電子線ＥＢにより試料４を二次元
的に走査する。その結果、この走査に伴って第３図（ａ
＞に示す画像に対応した原画像データＳ （ｘ、ｙ）が
第１の画像メモリ１０に記憶されたとする。尚、第３図
（ａ＞の横断線Ｕに対応した反射電子検出信号の値は第
４図に示すものであるとする。中央演算処理装置１３は
予め組まれたプログラムに従って、第１図のフローチャ
ートのステップ１に示すように、まず、第１の画像メモ
リ１０に記憶されている原画像データＳ （ｘ、ｙ）を
読み出し、第４図に示す第１の基準レベルＬ １と各画
素の値を比較して２値化した後、第２の画像メモリ１１
に転写し、第１種画像データα（ｘ、ｙ）をメモリ１１
に記憶させる。
即ち、Ｘ、ｙを各画素の位置を表わすパラメータとする
とき、α（ｘ、ｙ）は下式に従って変換され、第２の画
像メモリ１１には第３図（ｂ）に示す画像に対応したデ
ータが記憶される。
とき、α（ｘ、ｙ）は下式に従って変換され、第２の画
像メモリ１１には第３図（ｂ）に示す画像に対応したデ
ータが記憶される。
ａ （ｘ、 ｙ）＝１ （黒）：Ｓ （ｘ、ｙ）≧１１
ａ （ｘ、 ｙ） ＝Ｏ（白） ； Ｓ （ｘ、 Ｖ）
＜ｌ−１次に中央演算処理装置１３は第１図のステッ
プ２に示すように、第２の画像メモリ１１に記憶された
第１種画像データα（ｘ、ｙ）に基づいて黒レベル画素
によって形成される粒子の個数Ｎａを計数してメモリ１
／Ｉに記憶させると共に、これら各粒子の面積の和Ｍａ
も計数してメモリ１／１に配憶させる。次に第１図のフ
ローチャー１〜のステップ３に示すように、第２の画像
メモリ１１に記憶されている第１種画像データα（ｘ、
ｙ）に基づいて、中央演算処理装置１３は黒レベル粒子
像の定量等拡大処理を行ない、第２図（Ｃ）の画像に対
応した粒子拡大処理画像データε（ｘ、ｙ）を求めて第
２の画像メモリ１１に記憶させる。次に第１図のフロー
チャートのステップ４に示ケように、中央演算処理装置
１３は第２の画像メモリ１１に記憶されている粒子拡大
処理画像データε（ｘ、ｙ）の各画素の値を反転して第
３の画像メモリ１２に反転画像データτ（Ｘ、Ｖ）を記
憶させる。その結果、第３の画像メモリ１２には第３図
（ｄ）に示す画像に対応したデータが記憶される。次に
第１図のフローチャートのステップ５に示すように、中
央演算処理装置１３は第１の画像メモリ１０に記憶され
ている原画像データＳ（Ｘ。
ａ （ｘ、 ｙ） ＝Ｏ（白） ； Ｓ （ｘ、 Ｖ）
＜ｌ−１次に中央演算処理装置１３は第１図のステッ
プ２に示すように、第２の画像メモリ１１に記憶された
第１種画像データα（ｘ、ｙ）に基づいて黒レベル画素
によって形成される粒子の個数Ｎａを計数してメモリ１
／Ｉに記憶させると共に、これら各粒子の面積の和Ｍａ
も計数してメモリ１／１に配憶させる。次に第１図のフ
ローチャー１〜のステップ３に示すように、第２の画像
メモリ１１に記憶されている第１種画像データα（ｘ、
ｙ）に基づいて、中央演算処理装置１３は黒レベル粒子
像の定量等拡大処理を行ない、第２図（Ｃ）の画像に対
応した粒子拡大処理画像データε（ｘ、ｙ）を求めて第
２の画像メモリ１１に記憶させる。次に第１図のフロー
チャートのステップ４に示ケように、中央演算処理装置
１３は第２の画像メモリ１１に記憶されている粒子拡大
処理画像データε（ｘ、ｙ）の各画素の値を反転して第
３の画像メモリ１２に反転画像データτ（Ｘ、Ｖ）を記
憶させる。その結果、第３の画像メモリ１２には第３図
（ｄ）に示す画像に対応したデータが記憶される。次に
第１図のフローチャートのステップ５に示すように、中
央演算処理装置１３は第１の画像メモリ１０に記憶され
ている原画像データＳ（Ｘ。
ｙ）を読み出して、各画素のデータを前記第１の基準レ
ベルＬ１及び第４図にお【プる第２の基準レベル１−２
と比較し、第２種画像データβ（ｘ、ｙ）に変換する。
ベルＬ１及び第４図にお【プる第２の基準レベル１−２
と比較し、第２種画像データβ（ｘ、ｙ）に変換する。
即ち、画像データβ（ｘ、ｙ）は原画像データＳ（Ｘ、
Ｖ）に基づいて下式に従って変換される。
Ｖ）に基づいて下式に従って変換される。
β（ｘ、ｙ）＝１ ： Ｓ （ｘ、ｙ）＜Ｌｌ且つＳ
（ｘ、ｙ）≧Ｌ２ β（ｘ、ｙ）＝Ｏ； Ｓ （ｘ、ｙ）≧Ｌ１又はＳ
（Ｘ、Ｖ）＜１２ その結果、第２の画像メモリ１１には第３図（ｅ）の画
像に対応するデータが記憶される。次に第１図のフロー
チャートのステップ６に示されるように、中央演算処理
装置１３は第２の画像メモリ１１に記憶されている第２
種画像データβ（ｘ、ｙ）と第３の画像メモリ１２に記
憶されている反転画像データε（ｘ、ｙ）の対応する画
素データ同志のＡＮＤをとり、重複除去処理画像データ
γ（ｘ、ｙ）を下式に従って求め、第２の画像メモリ１
１に記憶させる。
（ｘ、ｙ）≧Ｌ２ β（ｘ、ｙ）＝Ｏ； Ｓ （ｘ、ｙ）≧Ｌ１又はＳ
（Ｘ、Ｖ）＜１２ その結果、第２の画像メモリ１１には第３図（ｅ）の画
像に対応するデータが記憶される。次に第１図のフロー
チャートのステップ６に示されるように、中央演算処理
装置１３は第２の画像メモリ１１に記憶されている第２
種画像データβ（ｘ、ｙ）と第３の画像メモリ１２に記
憶されている反転画像データε（ｘ、ｙ）の対応する画
素データ同志のＡＮＤをとり、重複除去処理画像データ
γ（ｘ、ｙ）を下式に従って求め、第２の画像メモリ１
１に記憶させる。
γ（ｘ、ｙ）＝β（ｘ、ｙ）・ε（ｘ、ｙ）このＡＮＤ
をとることによって、前記第２種画像中の粒子像の内、
前記第１種画像中の粒子像と重複するものは白レベル画
素に変えられて除かれる。その結果、第２の画像メモリ
１１には第２図（ｆ）に示す画像に対応した重複除去処
理画像データγ（ｘ、ｙ）が記憶される。そこで、中央
演算処理装置１３は第１図のフローチャートのステップ
７に示すように、第２の画像メモリ１１より重複除去処
理画像データγ（ｘ、ｙ）を読み出し、この画像データ
に基づいて黒レベル画素の集合によって形成される粒子
像の数Ｎｂを求め、メモリ１４に記憶させる。尚、この
場合にも併せてこれら各粒子像の面積の和Ｍｂを計数し
てメモリ１４に記憶させる。そこで、中央演算処理装置
１３はメモリ１４に記憶させておいた前記データＮａ。
をとることによって、前記第２種画像中の粒子像の内、
前記第１種画像中の粒子像と重複するものは白レベル画
素に変えられて除かれる。その結果、第２の画像メモリ
１１には第２図（ｆ）に示す画像に対応した重複除去処
理画像データγ（ｘ、ｙ）が記憶される。そこで、中央
演算処理装置１３は第１図のフローチャートのステップ
７に示すように、第２の画像メモリ１１より重複除去処
理画像データγ（ｘ、ｙ）を読み出し、この画像データ
に基づいて黒レベル画素の集合によって形成される粒子
像の数Ｎｂを求め、メモリ１４に記憶させる。尚、この
場合にも併せてこれら各粒子像の面積の和Ｍｂを計数し
てメモリ１４に記憶させる。そこで、中央演算処理装置
１３はメモリ１４に記憶させておいた前記データＮａ。
Ｎｂ 、Ｍａ 、Ｍｂを表わすデータを読み出し、これ
らデータに基づいてＮａ 、Ｎｂ 、Ｍａ 、Ｍｂの値
をＣＲＴ１６に表示する。このようにして、オペレータ
ーはこの表示値により、被検試料である鉄鋼等の特性を
知ることができる。
らデータに基づいてＮａ 、Ｎｂ 、Ｍａ 、Ｍｂの値
をＣＲＴ１６に表示する。このようにして、オペレータ
ーはこの表示値により、被検試料である鉄鋼等の特性を
知ることができる。
第５図は本発明の他の一実施例を説明するためのフロー
チャートであり、この実施例のステップ２までは第１図
に示した実施例と同様であるが、ステップ３において第
１種画像データα（ｘ、ｙ）を反転し、第６図（ａ）に
対応した反転画像データα（ｘ、ｙ）を求め、第３の画
像メモリ１２に記憶させる。次に第５図のステップ４に
示すように、原画像データＳ（ｘ、ｙ）を第２図の基準
レベルＬ２と比較して２値化し、第２種画像データβ′
（Ｘ、Ｖ＞を求める。即ち、β−（ｘ、 ｌ）は原画像
データＳ（Ｘ、Ｖ）を下式に従って変換することにより
求められる。
チャートであり、この実施例のステップ２までは第１図
に示した実施例と同様であるが、ステップ３において第
１種画像データα（ｘ、ｙ）を反転し、第６図（ａ）に
対応した反転画像データα（ｘ、ｙ）を求め、第３の画
像メモリ１２に記憶させる。次に第５図のステップ４に
示すように、原画像データＳ（ｘ、ｙ）を第２図の基準
レベルＬ２と比較して２値化し、第２種画像データβ′
（Ｘ、Ｖ＞を求める。即ち、β−（ｘ、 ｌ）は原画像
データＳ（Ｘ、Ｖ）を下式に従って変換することにより
求められる。
β＝ （ｘ、ｙ）＝１ ；Ｓ （ｘ、ｙ）≧１２β−（
ｘ、ｙ）＝Ｏ：Ｓ （ｘ、ｙ）＜１２その結果、第６図
（ｂ）に対応した第２種画像データβ′（ｘ、ｙ）が第
２の画像メモリ１１に記憶される。次に第５図のステッ
プ５に示すように、第２種画像中の粒子像を一定聞均等
に縮小する処理を行ない、第６図（Ｃ）の画像に対応し
た粒子縮小処理画像データρ（ｘ、ｙ）を求め、第２の
画像メモリ１１に記憶させる。次に第５図のステップ６
に示すように、第２の画像メモリ１１に記憶されている
粒子縮小処理画像データρ（Ｘ。
ｘ、ｙ）＝Ｏ：Ｓ （ｘ、ｙ）＜１２その結果、第６図
（ｂ）に対応した第２種画像データβ′（ｘ、ｙ）が第
２の画像メモリ１１に記憶される。次に第５図のステッ
プ５に示すように、第２種画像中の粒子像を一定聞均等
に縮小する処理を行ない、第６図（Ｃ）の画像に対応し
た粒子縮小処理画像データρ（ｘ、ｙ）を求め、第２の
画像メモリ１１に記憶させる。次に第５図のステップ６
に示すように、第２の画像メモリ１１に記憶されている
粒子縮小処理画像データρ（Ｘ。
ｙ）と第３の画像メモリ１２に記憶されている反転画像
データα（ｘ、ｙ）とを読み出し、各画素データ毎にＡ
ＮＤをとり、重複除去処理を行なう。
データα（ｘ、ｙ）とを読み出し、各画素データ毎にＡ
ＮＤをとり、重複除去処理を行なう。
即ち、このようにして得られた重複除去処理画像データ
をγ”’ （ｘ、ｙ）とすると、γ−（ｘ、ｙ）は下式
に従って求められる。
をγ”’ （ｘ、ｙ）とすると、γ−（ｘ、ｙ）は下式
に従って求められる。
γ” （Ｘ、Ｖ＞＝ρ（ｘ、ｙ）φα（ｘ、ｙ）この重
複除去処理画像データは第２の画像メモリ１１に記憶さ
れる。その結果、第２の画像メモリ１１には、第６図（
ｄ）に示す画像に対応したデータが記憶される。中央演
算処理装置１３はこのようにして求められたデータγ−
（ｘ、ｙ）に基づいて、黒レベル画素粒子の個数Ｎｂを
求める。
複除去処理画像データは第２の画像メモリ１１に記憶さ
れる。その結果、第２の画像メモリ１１には、第６図（
ｄ）に示す画像に対応したデータが記憶される。中央演
算処理装置１３はこのようにして求められたデータγ−
（ｘ、ｙ）に基づいて、黒レベル画素粒子の個数Ｎｂを
求める。
尚、この実施例においては、面積和Ｍｂは粒子像が縮小
されているため、そのままでは正確な値を得ることがで
きず、粒子像の縮小を補正するために必要な一定の比率
Ｋを乗算して求めることができる。
されているため、そのままでは正確な値を得ることがで
きず、粒子像の縮小を補正するために必要な一定の比率
Ｋを乗算して求めることができる。
上述した実施例は本発明の実施例の一部に過ぎず、更に
変型して実施することができる。
変型して実施することができる。
例えば、上述した実施例においては、第１種画像データ
に基づいて早い段階で粒子像の個数Ｎａと面積和Ｍａを
求めたが、粒子像の個数Ｎｂを求める段階で一緒に個数
Ｎａと面積和１ｙｌａを求めるようにしても良い。
に基づいて早い段階で粒子像の個数Ｎａと面積和Ｍａを
求めたが、粒子像の個数Ｎｂを求める段階で一緒に個数
Ｎａと面積和１ｙｌａを求めるようにしても良い。
又、上述した実施例は、画像中に物質Ａと、物質Ｂの粒
子のみが存在する場合について説明したが、画像中に３
種類以上の物質の粒子が存在する場合にも本発明は同様
に適用できる。
子のみが存在する場合について説明したが、画像中に３
種類以上の物質の粒子が存在する場合にも本発明は同様
に適用できる。
又、上述した実施例は、Ｘ線マイクロアナライザによっ
て得られた鉄鋼等の走査画像中における特定物質粒子を
各物質粒子毎に自動的に計数する場合に本発明を適用し
た例であるが、本発明は上記のような画像に対する処理
に限定されない。即ち、電子顕微鏡や光学顕微鏡等によ
って得られる画像や、熱放射体映像装置等によって得ら
れる画像中に異なった種類の粒子像が異なった信号強度
に対応して存在する場合に、本発明を同様に適用するこ
とができる。
て得られた鉄鋼等の走査画像中における特定物質粒子を
各物質粒子毎に自動的に計数する場合に本発明を適用し
た例であるが、本発明は上記のような画像に対する処理
に限定されない。即ち、電子顕微鏡や光学顕微鏡等によ
って得られる画像や、熱放射体映像装置等によって得ら
れる画像中に異なった種類の粒子像が異なった信号強度
に対応して存在する場合に、本発明を同様に適用するこ
とができる。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように、本発明によれば、異
なった信号強度の画素の集合として異なった種類の粒子
像が画像中に混在する場合、この画像データに基づいて
異なった種類毎の粒子数を短時間且つ正確に自動計数す
ることができる。
なった信号強度の画素の集合として異なった種類の粒子
像が画像中に混在する場合、この画像データに基づいて
異なった種類毎の粒子数を短時間且つ正確に自動計数す
ることができる。
第１図は本発明の一実施例を示すためのフローチャート
であり、第２図は本発明を実施するための装置の一例を
示すための図、第３図は第１図のフローチャートの流れ
に沿って変化する画像データを説明するための図、第４
図は原画像の横断線Ｕに沿った画像信号と第１．第２の
基準１ノベルＬ１、Ｌ２どの関係を説明するための図、
第５図は本発明の他の一実施例を説明するためのフロー
チャートであり、第６図は第５図に示したフローチャー
トの流れに沿う画像データの変化を説明するための図で
ある。 １：電子銃 ２：反射電子検出器３：集束レ
ンズ ４：試料 ５：試料ステージ ６：駆動機構 ７：偏向器 ８：走査回路 ９：反射電子検出回路 １０．１１．１２：画像メモリ １３：中央演算処理装置 １４：試料ステージ制御回路
であり、第２図は本発明を実施するための装置の一例を
示すための図、第３図は第１図のフローチャートの流れ
に沿って変化する画像データを説明するための図、第４
図は原画像の横断線Ｕに沿った画像信号と第１．第２の
基準１ノベルＬ１、Ｌ２どの関係を説明するための図、
第５図は本発明の他の一実施例を説明するためのフロー
チャートであり、第６図は第５図に示したフローチャー
トの流れに沿う画像データの変化を説明するための図で
ある。 １：電子銃 ２：反射電子検出器３：集束レ
ンズ ４：試料 ５：試料ステージ ６：駆動機構 ７：偏向器 ８：走査回路 ９：反射電子検出回路 １０．１１．１２：画像メモリ １３：中央演算処理装置 １４：試料ステージ制御回路
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、分析又は撮像装置により像を取得し、該像を構成す
る各画素の画像データに基づいて該画像中の粒子像を分
析する方法において、原画像データを第１の基準レベル
と比較することにより２値化して第１種画像データを求
め、前記原画像データを前記第１の基準レベルと第２の
基準レベルとの間の値をとるか否かにより２値化して第
２種画像データを求め、該第１種画像データに基づいて
該第１種画像中の各粒子像を一定量拡大して粒子拡大処
理画像データを求めるか、又は前記第２種画像データに
基づいて該第２種画像中の各粒子像を一定量縮小して粒
子縮小処理画像データを求め、前記粒子拡大処理画像デ
ータを用いて前記第２種画像中における第１種画像中の
粒子像と重複する粒子像を削除するか、又は、前記第１
種画像データを用いて粒子縮小処理画像データにおける
第１種像中の粒子像と重複する粒子像を削除することに
より重複除去処理画像データを求め、第１種画像データ
に基づいて該画像中の粒子像の個数を自動的に計数する
と共に、前記重複除去処理画像データに基づいて該除去
処理画像中の粒子像の個数を自動的に計数することを特
徴とする画像中における粒子像分析方法。 ２、分析又は撮像装置により像を取得し、該像を構成す
る各画素の画像データに基づいて該画像中の粒子像を分
析する方法において、原画像データを第１の基準レベル
と比較することにより２値化して第１種画像データを求
め、前記原画像データを前記第２の基準レベルと比較す
ることにより２値化して第２種画像データを求め、該第
１種画像データに基づいて該第１種画像中の各粒子像を
一定量拡大して粒子拡大処理画像データを求めるか、又
は前記第２種画像データに基づいて該第２種画像中の各
粒子像を一定量縮小して粒子縮小処理画像データを求め
、前記粒子拡大処理画像データを用いて前記第２種画像
中における第１種画像中の粒子像と重複する粒子像を削
除するか、又は、前記第１種画像データを用いて粒子縮
小処理画像データにおける第１種像中の粒子像と重複す
る粒子像を削除することにより重複除去処理画像データ
を求め、第１種画像データに基づいて該画像中の粒子像
の個数を自動的に計数すると共に、前記重複除去処理画
像データに基づいて該除去処理画像中の粒子像の個数を
自動的に計数することを特徴とする画像中における粒子
像分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8360886A JPS62239044A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 画像中における粒子像分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8360886A JPS62239044A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 画像中における粒子像分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62239044A true JPS62239044A (ja) | 1987-10-19 |
Family
ID=13807198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8360886A Pending JPS62239044A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 画像中における粒子像分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62239044A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI398632B (zh) * | 2008-03-14 | 2013-06-11 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 粒子統計方法及裝置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6162850A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-03-31 | Nippon Steel Corp | 自動多機能分析装置の濃度分析処理方式 |
-
1986
- 1986-04-11 JP JP8360886A patent/JPS62239044A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6162850A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-03-31 | Nippon Steel Corp | 自動多機能分析装置の濃度分析処理方式 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI398632B (zh) * | 2008-03-14 | 2013-06-11 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | 粒子統計方法及裝置 |
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