JPS6318204A - 測長装置 - Google Patents
測長装置Info
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- JPS6318204A JPS6318204A JP16319186A JP16319186A JPS6318204A JP S6318204 A JPS6318204 A JP S6318204A JP 16319186 A JP16319186 A JP 16319186A JP 16319186 A JP16319186 A JP 16319186A JP S6318204 A JPS6318204 A JP S6318204A
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- 239000003550 marker Substances 0.000 claims abstract description 49
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000000879 optical micrograph Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は光学顕微鏡、走査電子顕微鏡、イオン走査顕微
鏡等において、陰極線管上に表示された試料像の任意な
２点間の距離を正確に測定する装置の改良に関し、特に
深さ方向のプロファイルを有する画像上で任意な部分の
幅を測定する場合や波断面を持つ試料の観察・測長時に
有効な新規な測長装置である。
鏡等において、陰極線管上に表示された試料像の任意な
２点間の距離を正確に測定する装置の改良に関し、特に
深さ方向のプロファイルを有する画像上で任意な部分の
幅を測定する場合や波断面を持つ試料の観察・測長時に
有効な新規な測長装置である。
［従来技術］
従来の測長機能を有する光学顕微鏡においては接眼レン
ズ内に移動可能にカーソル線を設け、始点でリセットス
イッチを押して表示装置の表示を零にセットし、次にカ
ーソルを所望の位置まで移動させるとカーソルに連結さ
れた電気マイクロメータの出力が表示装置上に表示され
るようになっている。又、テレビ光学顕微鏡や走査電子
顕微鏡では陰極線管上に表示された試料像に重ねて２点
を指示するための１本又は２本のカーソルを表示し、そ
のカーソルを移動させて所望の２点に合せることにより
自動的に距離が計算され、実寸法として陰極線管上にそ
の値が表示されるようになっている。第３図はこのよう
な従来のテレビ光学顕微鏡像１鏡電子顕微鏡による測長
装置の画面を示してあり、１は陰極線管である。２は表
示試料画像であり、高さく深さ）方向の情報を有してい
る。
ズ内に移動可能にカーソル線を設け、始点でリセットス
イッチを押して表示装置の表示を零にセットし、次にカ
ーソルを所望の位置まで移動させるとカーソルに連結さ
れた電気マイクロメータの出力が表示装置上に表示され
るようになっている。又、テレビ光学顕微鏡や走査電子
顕微鏡では陰極線管上に表示された試料像に重ねて２点
を指示するための１本又は２本のカーソルを表示し、そ
のカーソルを移動させて所望の２点に合せることにより
自動的に距離が計算され、実寸法として陰極線管上にそ
の値が表示されるようになっている。第３図はこのよう
な従来のテレビ光学顕微鏡像１鏡電子顕微鏡による測長
装置の画面を示してあり、１は陰極線管である。２は表
示試料画像であり、高さく深さ）方向の情報を有してい
る。
３ａ及び３ｂは画面上に垂直方向に延びて表示されたカ
ーソルで水平方向に任意に移動可能であり、２つカーソ
ルの間隔がその時の観察倍率に応じて自動的に計算され
画面の下隅の表示領域４に実寸法として表示される。
ーソルで水平方向に任意に移動可能であり、２つカーソ
ルの間隔がその時の観察倍率に応じて自動的に計算され
画面の下隅の表示領域４に実寸法として表示される。
［問題点］
このような従来の装置では、試料像が平面的な場合には
それ程問題はないが、第３図のように試料が山形等の高
さ方向のプロファイルを有する場合にはカーソルを合せ
る位置が目見当となり、測長部位の確定ができず、その
ため断面計測には不便であった。
それ程問題はないが、第３図のように試料が山形等の高
さ方向のプロファイルを有する場合にはカーソルを合せ
る位置が目見当となり、測長部位の確定ができず、その
ため断面計測には不便であった。
本発明は上記従来の欠点に鑑み波形の試料の測長や高さ
方向のプロファイルを有する試料像の幅測定などに有効
な装置を提供することを目的とするものである。
方向のプロファイルを有する試料像の幅測定などに有効
な装置を提供することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
本発明は上記目的を達成するために試料からの情報を経
時的な映像信号として取出し、この信号を陰極線管等の
画像表示装置に導入して試料像を再生し、該画像上の２
点をカーソル等で指示してその２点間の距離を計算し表
示する手段を備えた装置において、表示画面内に水平（
又は垂直）方向に延び、それと直角な方向に任意に移動
可能な測定レベル指定マーカを表示する手段を有し、該
マーカは高低２つの基準レベルの指定を可能となし、両
基準レベル間におけるマーカの位置を計算・表示する手
段を備えた構成に特徴がある。
時的な映像信号として取出し、この信号を陰極線管等の
画像表示装置に導入して試料像を再生し、該画像上の２
点をカーソル等で指示してその２点間の距離を計算し表
示する手段を備えた装置において、表示画面内に水平（
又は垂直）方向に延び、それと直角な方向に任意に移動
可能な測定レベル指定マーカを表示する手段を有し、該
マーカは高低２つの基準レベルの指定を可能となし、両
基準レベル間におけるマーカの位置を計算・表示する手
段を備えた構成に特徴がある。
［発明の作用コ
本発明においては試料像が表示された画面上に水平又は
垂直方向に延び且つそれと直角な方向に任意に移動可能
なマーカが表示され、任意に設定した高低２つの基準レ
ベル間で前記マーカの位置を調整し、そのマーカの位置
で水平方向の２点間の測長を行なうようにすると共に、
前記マーカの基準レベル内の位置を数値で表示するよう
にしている。
垂直方向に延び且つそれと直角な方向に任意に移動可能
なマーカが表示され、任意に設定した高低２つの基準レ
ベル間で前記マーカの位置を調整し、そのマーカの位置
で水平方向の２点間の測長を行なうようにすると共に、
前記マーカの基準レベル内の位置を数値で表示するよう
にしている。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例を示すブロック線図であり、
本発明をテレビ光学顕微鏡に適用した場合の例である。
本発明をテレビ光学顕微鏡に適用した場合の例である。
図中５は試料台であり、図示しないが任意な方向に移動
可能であり、この試料台の上には観察・測長したい試料
６が載置されている。
可能であり、この試料台の上には観察・測長したい試料
６が載置されている。
試料の上方には光学顕微鏡７及びｉｌｌ像管８等からな
る顕微鏡本体９が設置されている。撮像管には走査信号
発振器１０より水平型・直走査信号が供給され、光学顕
微鏡により拡大された試料の像が経時的な映像信号とし
て取出され、増幅器を含む信号処理回路１１を介して陰
極線管等の画像表示装置１２に輝度信号として供給され
る。前記走査信号発掘器１０からの信号は陰極線管１２
の偏向器にも供給され、陰極線管は撮像管８と同期して
駆動される。１３は倍率調整装置であり、該調整装置か
らの信号により光学顕微鏡がモータ等を介して機械的に
駆動され、所望の倍率で光学顕微鏡像が得られるように
なっている。１４はカーソル信号発生器であり、前記走
査信号発振器１０からの走査信号の供給を受けて陰極線
管画面上垂直方向に延びるカーソルを表示する信号を発
生する。
る顕微鏡本体９が設置されている。撮像管には走査信号
発振器１０より水平型・直走査信号が供給され、光学顕
微鏡により拡大された試料の像が経時的な映像信号とし
て取出され、増幅器を含む信号処理回路１１を介して陰
極線管等の画像表示装置１２に輝度信号として供給され
る。前記走査信号発掘器１０からの信号は陰極線管１２
の偏向器にも供給され、陰極線管は撮像管８と同期して
駆動される。１３は倍率調整装置であり、該調整装置か
らの信号により光学顕微鏡がモータ等を介して機械的に
駆動され、所望の倍率で光学顕微鏡像が得られるように
なっている。１４はカーソル信号発生器であり、前記走
査信号発振器１０からの走査信号の供給を受けて陰極線
管画面上垂直方向に延びるカーソルを表示する信号を発
生する。
該信号は信号処理回路１１と距離計算器１５に送られる
。カーソル信号発生器には２つのカーソル移動嫡子１４
ａ、１４ｂが設けてあり、この嫡子を調整することによ
り、第２図の画面上のカーソル３ａ、３ｂが任意な位置
に移動可能である。前記距離計算器１５にはカーソルの
信号の他に前記倍率調整機１３からの倍率信号も導入さ
れており、両信号からカーソル間の実寸法が計算され、
その寸法信号が前記信号処理回路１１を介して陰極線管
に供給される。１６は水平マーカ信号発生器であり、第
２図に示すように画面上水平に延びるマーカＭの信号を
陰極線管の垂直走査に同期して発生するもので、調整接
子１７により画面上垂直方向に任意に移動可能である。
。カーソル信号発生器には２つのカーソル移動嫡子１４
ａ、１４ｂが設けてあり、この嫡子を調整することによ
り、第２図の画面上のカーソル３ａ、３ｂが任意な位置
に移動可能である。前記距離計算器１５にはカーソルの
信号の他に前記倍率調整機１３からの倍率信号も導入さ
れており、両信号からカーソル間の実寸法が計算され、
その寸法信号が前記信号処理回路１１を介して陰極線管
に供給される。１６は水平マーカ信号発生器であり、第
２図に示すように画面上水平に延びるマーカＭの信号を
陰極線管の垂直走査に同期して発生するもので、調整接
子１７により画面上垂直方向に任意に移動可能である。
又スイッチ１８が設けられ、このスイッチの操作により
マーカがその位置で固定され且つ破線等通常のマーカと
識別できる基準線が表示されるようになっている。これ
により、画面上２つの高低の基準レベルを設定できる。
マーカがその位置で固定され且つ破線等通常のマーカと
識別できる基準線が表示されるようになっている。これ
により、画面上２つの高低の基準レベルを設定できる。
マーカ信号発生器からのマーカ信号はマーカ位置計算器
１９に送られ、ここでマーカの基準レベル内の位置が計
算され、その信号は前記信号処理回路１１を介して陰極
線管１２に供給され、画面上所定の領域（４ｂ）にレベ
ルを表わす表示、例えば００％が表示される。
１９に送られ、ここでマーカの基準レベル内の位置が計
算され、その信号は前記信号処理回路１１を介して陰極
線管１２に供給され、画面上所定の領域（４ｂ）にレベ
ルを表わす表示、例えば００％が表示される。
上記構成において、＠像管を作動させ、陰極線管上に試
料像を表示した状態でカーソル信号発生器及びマーカ信
号発生器１６を働かせると第２図に示すように試料像２
に重畳して２本のカーソル３ａ、３ｂと水平マーカＭが
表示され、マーカＭと２本のカーソル３ａ、３ｂが交差
した２つの点の間隔が自動的に計算され、画面上の領域
４ａに表示される。カーソル３ａ、３ｂは嫡子１４ａ。
料像を表示した状態でカーソル信号発生器及びマーカ信
号発生器１６を働かせると第２図に示すように試料像２
に重畳して２本のカーソル３ａ、３ｂと水平マーカＭが
表示され、マーカＭと２本のカーソル３ａ、３ｂが交差
した２つの点の間隔が自動的に計算され、画面上の領域
４ａに表示される。カーソル３ａ、３ｂは嫡子１４ａ。
１４ｂにより自由に移動できるので、所定の位置に両カ
ーソルを合せれば良い。マーカＭは嫡子１７により自由
に垂直方向に移動できるので、先ず第２図の像中谷の部
分に合せた状態でスイッチ１８を押す。これにより破線
状のマーカＭ１が現われ、固定される。この破線の固定
マーカは０％を意味し、低い側の基準レベルとなる。次
に、嫡子１７を操作し、マーカＭを再び移動させ、像の
山の部分に合せ、前述と同様にスイッチ１８を押すと第
２図でＭ２の破線状の固定マーカが１９られる。
ーソルを合せれば良い。マーカＭは嫡子１７により自由
に垂直方向に移動できるので、先ず第２図の像中谷の部
分に合せた状態でスイッチ１８を押す。これにより破線
状のマーカＭ１が現われ、固定される。この破線の固定
マーカは０％を意味し、低い側の基準レベルとなる。次
に、嫡子１７を操作し、マーカＭを再び移動させ、像の
山の部分に合せ、前述と同様にスイッチ１８を押すと第
２図でＭ２の破線状の固定マーカが１９られる。
このＭ２は１００％を意味し、高い側のレベルを示して
いる。このような設定が終了した後、嫡子１７を操作し
てマーカＭを２つの基準レベルマーカＭ１とＭ２の間の
測長したい部分に移動させる。
いる。このような設定が終了した後、嫡子１７を操作し
てマーカＭを２つの基準レベルマーカＭ１とＭ２の間の
測長したい部分に移動させる。
このときのマーカの位置（レベル）は計界器１９で計尊
され、表示領域４ｂに例えば７５％という表示をする。
され、表示領域４ｂに例えば７５％という表示をする。
その後、カーソル調整接子１４ａと１４ｂを操作してマ
ーカＭで示されたライン上の試料像にカーソル３ａ、３
ｂを合せると該マーカ上の任意な２点の距離が計算され
、表示領域４ａに例えば１２．１μｍとして表示される
。
ーカＭで示されたライン上の試料像にカーソル３ａ、３
ｂを合せると該マーカ上の任意な２点の距離が計算され
、表示領域４ａに例えば１２．１μｍとして表示される
。
上記は本発明の一例であり、種々の変形が可能である。
例えば、テレビ光学顕微鏡に代えて、走査電子顕微鏡や
イオン走査顕微鏡を使用した測長別にも同様に適用でき
る。又、カーソル３ａ、３ｂを使用しないで、マーカＭ
のみを表示し、映像信号とマーカの交差した点を自動的
に検出し、像のエツジ間隔を自動的に表示するようにし
ても良い。この場合、マーカは所望の長さに選定できる
ようにすると良い。更に、ライン状のカーソルに代えて
点状のカーソルを使用しても良い。更に又、マーカＭは
水平方向について説明したが、垂直方向にも出すようす
ると良い。このとき、測長用のカーソルはこれと直角な
方向に出すようにすることは当然である。
イオン走査顕微鏡を使用した測長別にも同様に適用でき
る。又、カーソル３ａ、３ｂを使用しないで、マーカＭ
のみを表示し、映像信号とマーカの交差した点を自動的
に検出し、像のエツジ間隔を自動的に表示するようにし
ても良い。この場合、マーカは所望の長さに選定できる
ようにすると良い。更に、ライン状のカーソルに代えて
点状のカーソルを使用しても良い。更に又、マーカＭは
水平方向について説明したが、垂直方向にも出すようす
ると良い。このとき、測長用のカーソルはこれと直角な
方向に出すようにすることは当然である。
［効果］
上記のように本発明では断面等を！！察中の像上に測長
を行なうレベルをマーカにより設定した後、このマーカ
が像と交わる位置にカーソルを合せ、測長のレベル表示
と２点間の距離表示を同時に行なうようにしているので
、今！ｌＩ長している部分が山と谷の間のどの位置に該
当するか直ちに判明し、必要な箇所の測長が無駄なくで
きると共に、カーソルの設定が目見当ではなくなるので
、極めて正確な測長が可能となる。従って、高さ方向の
プロファイルを有する試料像の測長には甚だ有効である
。
を行なうレベルをマーカにより設定した後、このマーカ
が像と交わる位置にカーソルを合せ、測長のレベル表示
と２点間の距離表示を同時に行なうようにしているので
、今！ｌＩ長している部分が山と谷の間のどの位置に該
当するか直ちに判明し、必要な箇所の測長が無駄なくで
きると共に、カーソルの設定が目見当ではなくなるので
、極めて正確な測長が可能となる。従って、高さ方向の
プロファイルを有する試料像の測長には甚だ有効である
。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック線図、第２図
はその動作説明図、第３図は従来の８′置の説明をする
ための図である。 １：画面 ２試料像 ３ａ、３ｂ：測長用カーソル ４ａ、４ｂ、表示領域 ５：試料台 ６：試料 ７：光学顕微鏡 ８：撮像管 ９：顕微鏡本体 １０：走査信号発撮器１１：信号
処理回路 １２：陰極線管１３：倍率調整装置 １４：カーソル信号発生器 １４ａ、ｉ４ｂ：カーソル移動用嫡子 １５：距離計算器 １６：マーカ信号発生器 １７：マーカ移動用嫡子 １８：固定マーカ発生用接子 １９；マーカレベル計算器
はその動作説明図、第３図は従来の８′置の説明をする
ための図である。 １：画面 ２試料像 ３ａ、３ｂ：測長用カーソル ４ａ、４ｂ、表示領域 ５：試料台 ６：試料 ７：光学顕微鏡 ８：撮像管 ９：顕微鏡本体 １０：走査信号発撮器１１：信号
処理回路 １２：陰極線管１３：倍率調整装置 １４：カーソル信号発生器 １４ａ、ｉ４ｂ：カーソル移動用嫡子 １５：距離計算器 １６：マーカ信号発生器 １７：マーカ移動用嫡子 １８：固定マーカ発生用接子 １９；マーカレベル計算器
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）試料からの情報を経時的な映像信号として取出し、
この信号を陰極線管等の画像表示装置に導入して試料像
を再生し、該画像上の２点をカーソル等で指示してその
２点間の距離を計算し表示する手段を備えた装置におい
て、表示画面内に水平（又は垂直）方向に延び、それと
直角な方向に任意に移動可能な測定レベル指定マーカを
表示する手段を有し、該マーカは高低２つの基準レベル
の指定を可能となし、両基準レベル間におけるマーカの
位置を計算・表示する手段を備えていることを特徴とす
る測長装置。 ２）前記計算されたマーカ位置を指定された２点間の測
定距離値と共に画像表示装置の画面内に表示する特許請
求の範囲第１項記載の測長装置。 ３）前記水平マーカの他、測長すべき２点の指示を行な
う前記マーカとは直角方向に延びる少なくとも１本のカ
ーソルが画像装置の画面内に表示される特許請求の範囲
第１項又は第２項記載の測長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16319186A JPS6318204A (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | 測長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16319186A JPS6318204A (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | 測長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6318204A true JPS6318204A (ja) | 1988-01-26 |
| JPH0419484B2 JPH0419484B2 (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=15768996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16319186A Granted JPS6318204A (ja) | 1986-07-11 | 1986-07-11 | 測長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6318204A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007521864A (ja) * | 2004-01-19 | 2007-08-09 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 医療画像に対する柔軟な測定機能を提供する方法及び装置 |
| JP2010032330A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Keyence Corp | 画像計測装置及びコンピュータプログラム |
-
1986
- 1986-07-11 JP JP16319186A patent/JPS6318204A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007521864A (ja) * | 2004-01-19 | 2007-08-09 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 医療画像に対する柔軟な測定機能を提供する方法及び装置 |
| JP2010032330A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-02-12 | Keyence Corp | 画像計測装置及びコンピュータプログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0419484B2 (ja) | 1992-03-30 |
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