JPS594298Y2 - 走査電子顕微鏡等の試料装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡等の試料装置Info
- Publication number
- JPS594298Y2 JPS594298Y2 JP17971278U JP17971278U JPS594298Y2 JP S594298 Y2 JPS594298 Y2 JP S594298Y2 JP 17971278 U JP17971278 U JP 17971278U JP 17971278 U JP17971278 U JP 17971278U JP S594298 Y2 JPS594298 Y2 JP S594298Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- scanning electron
- sample device
- electron microscopes
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子ビーム径の測定に用いて好適な走査電子顕
微鏡等用試料装置に関するものである。
微鏡等用試料装置に関するものである。
走査電子顕微鏡等においては使用される電子銃の特性を
評価するために、電子銃の輝度を測定することが行われ
る。
評価するために、電子銃の輝度を測定することが行われ
る。
輝度を求めるには電子銃によって形成されるクロスオー
バーの径を測定する必要がある。
バーの径を測定する必要がある。
本考案は斯様な点に鑑みてなされたものであり、クロス
オーバーの径更には電子ビーム径の測定に用いて好適な
試料装置を提供することを目的とする。
オーバーの径更には電子ビーム径の測定に用いて好適な
試料装置を提供することを目的とする。
以下図面を用いて本考案を詳説する。第１図は本考案に
かかる試料装置を備えた走査電子顕微鏡の一例を示す構
成国であり、同図において１は陰極２、ウェーネルト電
極３、陽極４より成る電子銃である。
かかる試料装置を備えた走査電子顕微鏡の一例を示す構
成国であり、同図において１は陰極２、ウェーネルト電
極３、陽極４より成る電子銃である。
該電子銃１から発生した電子線は集束レンズ５，６によ
り本考案にかがる試料装置７上に集束されると共に、走
査回路８からの走査信号が供給される偏向コイル９によ
って試料装置上で二次元的に走査される。
り本考案にかがる試料装置７上に集束されると共に、走
査回路８からの走査信号が供給される偏向コイル９によ
って試料装置上で二次元的に走査される。
上記試料装置は第２図に拡大図を示す様に、基準ストレ
ートエツジＥを持つ平面ブロックと、該ブロック表面に
上記エツジＥに接近させて取り付けられた基準の長さを
持つ部材、例えば１００μｍ間隔のメツシュＭとから成
る。
ートエツジＥを持つ平面ブロックと、該ブロック表面に
上記エツジＥに接近させて取り付けられた基準の長さを
持つ部材、例えば１００μｍ間隔のメツシュＭとから成
る。
１０は反射電子、二次電子等試料装置がら発生した情報
を検出するための検出器である。
を検出するための検出器である。
得られた検出信号は増幅器１１により増幅された後、ス
イッチ１２を介して陰極線管（ＣＲＴ）１３のグリッド
Ｇへ輝度信号として送られるか、又はスイッチ１４、加
算回路１５を介してＣＲＴの垂直偏向コイル１６へ偏向
信号として送られる。
イッチ１２を介して陰極線管（ＣＲＴ）１３のグリッド
Ｇへ輝度信号として送られるか、又はスイッチ１４、加
算回路１５を介してＣＲＴの垂直偏向コイル１６へ偏向
信号として送られる。
前記走査回路８は電子線走査に同期したＣＲＴ用水平及
び垂直走査信号も作成し、水平走査信号はＣＲＴの水平
偏向コイル１７へ、垂直走査信号は上記加算回路１５を
介してＣＲＴの垂直偏向コイル１６へ夫々送られる。
び垂直走査信号も作成し、水平走査信号はＣＲＴの水平
偏向コイル１７へ、垂直走査信号は上記加算回路１５を
介してＣＲＴの垂直偏向コイル１６へ夫々送られる。
斯かる構成において、連動するスイッチ１２．１４は通
常の像観察モードと波形観察モードを切換えるためのも
のであり、図において上に倒すとＣＲＴのグリッドＧに
輝度信号が供給されて画面には通常の走査電子顕微鏡像
が表示され、下に倒すとＣＲＴの垂直偏向コイル１６に
は垂直走査信号に重畳して検出信号が供給されると共に
ＣＲＴのグリッドＧには一定の輝度を与える信号が供給
されるため画面には検出信号の波形が表示される。
常の像観察モードと波形観察モードを切換えるためのも
のであり、図において上に倒すとＣＲＴのグリッドＧに
輝度信号が供給されて画面には通常の走査電子顕微鏡像
が表示され、下に倒すとＣＲＴの垂直偏向コイル１６に
は垂直走査信号に重畳して検出信号が供給されると共に
ＣＲＴのグリッドＧには一定の輝度を与える信号が供給
されるため画面には検出信号の波形が表示される。
まず測定に先立ち集束レンズ６をＯＦＦにし、集束レン
ズ５のみを働かせて平面ブロック上にクロスオーバーの
拡大像を結像させると共にスイッチ１２．１４を上側に
倒し、像観察を行う。
ズ５のみを働かせて平面ブロック上にクロスオーバーの
拡大像を結像させると共にスイッチ１２．１４を上側に
倒し、像観察を行う。
次に試料装置を用いてブロックを適宜移動させることに
より例えば第３図ａに示す様にエツジＥとメツシュＭを
同−視野内に配置し、且つエツジＥの方向がＣＲＴの垂
直方向となった像を得る。
より例えば第３図ａに示す様にエツジＥとメツシュＭを
同−視野内に配置し、且つエツジＥの方向がＣＲＴの垂
直方向となった像を得る。
そこで該像中の適宜な位置における走査線ｌを指定する
ように走査回路８において垂直走査信号を固定し、スイ
ッチ１２．１４を下側に切換えれば走査線ｌに対応する
検出信号波形が第３図すに示す様に得られる。
ように走査回路８において垂直走査信号を固定し、スイ
ッチ１２．１４を下側に切換えれば走査線ｌに対応する
検出信号波形が第３図すに示す様に得られる。
該信号波形のうちＡ部分はエツジＥに直交するように電
子線が走査した時のものであり、従ってこの部分の変化
期間ｄがビーム径に対応する。
子線が走査した時のものであり、従ってこの部分の変化
期間ｄがビーム径に対応する。
正確には第３図Ｃに拡大図を示す様にレベル変動の例え
ば５％から９５％の間の距離ｄを求めればよい。
ば５％から９５％の間の距離ｄを求めればよい。
この時上記信号波形にはエツジＥに近接して配置された
メツシュＭを電子線が走査して得られたＢ部があり、メ
ツシュの各辺は電子線の走査方向とメツシュの方向が直
角であればＢ部におけるピーク間距離りは正確に１００
μｍである。
メツシュＭを電子線が走査して得られたＢ部があり、メ
ツシュの各辺は電子線の走査方向とメツシュの方向が直
角であればＢ部におけるピーク間距離りは正確に１００
μｍである。
そこでｈに対するｄの比を求めてそれに１００μｍを掛
ければビーム径を正確に求めることができる この様に本考案にかかる試料装置ではビーム径測定用ス
トレートエツジに近接して基準長さを持つ部材が配置さ
れるため、それとの比較によりビーム径を正確に測定で
き、しかもそれが１回の電子線走査で可能である。
ければビーム径を正確に求めることができる この様に本考案にかかる試料装置ではビーム径測定用ス
トレートエツジに近接して基準長さを持つ部材が配置さ
れるため、それとの比較によりビーム径を正確に測定で
き、しかもそれが１回の電子線走査で可能である。
尚メツシュに限らず基準の長さが判断できるものであれ
ば、どんなものをエツジに近接させて配置しても良い。
ば、どんなものをエツジに近接させて配置しても良い。
例えばエツジに平行に所定の間隔で複数本の溝を設けて
も良いし、所定の幅の帯を配置しても良い。
も良いし、所定の幅の帯を配置しても良い。
第１図は本考案の一実施例を示す構成図、第２図は試料
装置の拡大図、第３図は上記実施例の動作を説明するた
めの図である。 ７：試料装置、Ｅ：基準ストレートエツジ、Ｍ：メツシ
ュ。
装置の拡大図、第３図は上記実施例の動作を説明するた
めの図である。 ７：試料装置、Ｅ：基準ストレートエツジ、Ｍ：メツシ
ュ。
Claims (1)
- １．基準ストレートエツジと基準の長さを与える部材と
を接近させて配置することを特徴とする走査電子顕微鏡
等の試料装置。 ２、基準の長さを与える部材はメツシュである実用新案
登録請求の範囲第１項記載の試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17971278U JPS594298Y2 (ja) | 1978-12-28 | 1978-12-28 | 走査電子顕微鏡等の試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17971278U JPS594298Y2 (ja) | 1978-12-28 | 1978-12-28 | 走査電子顕微鏡等の試料装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5597955U JPS5597955U (ja) | 1980-07-08 |
| JPS594298Y2 true JPS594298Y2 (ja) | 1984-02-07 |
Family
ID=29191386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17971278U Expired JPS594298Y2 (ja) | 1978-12-28 | 1978-12-28 | 走査電子顕微鏡等の試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS594298Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4818873A (en) * | 1987-10-30 | 1989-04-04 | Vickers Instruments (Canada) Inc. | Apparatus for automatically controlling the magnification factor of a scanning electron microscope |
-
1978
- 1978-12-28 JP JP17971278U patent/JPS594298Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5597955U (ja) | 1980-07-08 |
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