JPS6237123Y2

JPS6237123Y2 -

Info

Publication number: JPS6237123Y2
Application number: JP6730281U
Authority: JP
Priority date: 1981-05-09
Filing date: 1981-05-09
Publication date: 1987-09-22
Also published as: JPS57179257U

Description

【考案の詳細な説明】本考案は走査顕微鏡における試料像中の任意２
点間の距離を測定可能な試料像観測装置に関す
る。

走査電子顕微鏡においてICやLSIを観察してい
るとき、任意部分の距離の測定がしばしば必要と
なる。この場合、表示装置（陰極線管）上にスケ
ールを当てて測定する方法は大変厄介であり、且
つ正確さにも欠けている。

そこで、本考案は簡単に且つ正確に試料上の２
点間距離を測定できる装置を提供することを目的
とするもので陰極線管上に水平又は垂直方向にマ
ーカ線を表示し、このマーカ線を境にして分離さ
れた画像を該マーカ線方向に相対的に移動せし
め、その移動量に相当する試料上の２点間距離を
表示する如くなしたものである。

第１図は本考案の一実施例を示すブロツク図
で、１は電子銃から放射された電子線である。こ
の電子線は集束レンズ２により集束され微小スポ
ツトをなして試料３上に投射される。４_H及び４_V
は夫々水平及び垂直偏向コイルで加算回路５_H，
５_V及び倍率調整器６を介して水平走査電源７_H及
び垂直走査電源７_Vに接続されている。各走査電
源からの出力信号の一部は増幅器８_H，８_Vを介し
て陰極線管９の水平、垂直偏向コイル１０_H，１
０_Vに供給されており、該陰極線管のラスター走
査は前記電子線１の走査と同期がとられている。

前電子線の照射により試料３より発生する２次
電子、反射電子或いはＸ線等の情報は検出器１１
によつて検出され、その信号は増幅器１２及び加
算回路１３を介して前記陰極線管９に輝度信号と
して導入される。１４及び１５はポテンシヨメー
タの如き電圧調整器で＋Ｖボルトから−Ｖボルト
までの間で可変できる。電圧調整器１４からの出
力電圧は比較回路１６に送られ、切換スイツチ１
７を介して供給される垂直、又は水平走査信号と
比較される。切換スイツチ１７のｂ端子は増幅器
８_Vに接続され、ｃ端子は増幅器８_Hに接続され、
又ａ端子は非接続にされている。前記比較回路に
おいて、例えば垂直走査信号（第２図ａ）と電圧
調整器１４からの基準電圧V₁が一致したとき立
ち上る第２図ｃに示すような信号が発せられる。
この信号は微分回路やその他の短いパルス信号を
発生する回路１８に送られ、第２図ｄの如きパル
ス信号に変換される。このパルス信号は加算回路
１３に送られ、映像信号と加算され陰極線管９に
導入されるため、該陰極線管上には垂直走査信号
が比較回路１６に送られているとき水平方向にマ
ーカ線１９（第３図ｂ参照）が表示されることに
なる。

前記比較回路１６からの信号第２図ｃは切換ス
イツチ２０の駆動回路２１にも送られ、端子ａ，
ｂの切換えに利用される。切換スイツチ２０の端
子ａは電圧調整器１５に接続されており、又端子
ｂはアース電位に保たれており、該スイツチは比
較回路１６から出力信号が生じたとき、端子ａ
に、又出力信号が生じないときは端子ｂに接続さ
れる。該切換回路の出力は切換スイツチ２２を介
して加算回路５_H、又は５_Vに供給されと共に表示
装置２３に送られる。スイツチ２２の端子ｂは水
平走査用の加算回路５_Hに、又ｃ端子は垂直走査
用の加算回路５_Vに接続され、ａ端子は非接続で
ある。そして、この切換スイツチは前記切換スイ
ツチ１７と連動して操作される。今、切換スイツ
チがｂ端子に接続されたとすると、第２図ｃで出
力が生じている間Ｔ、電圧調整器１５からの出力
電圧が水平走査信号（第２図ｂ）に加算されて第
２図ｅの如き信号となつて偏向コイル４_Hに供給
される。その結果、陰極線管９に表示される画像
は第３図ｃやｄに示す如く、期間Ｔだけ水平方向
にシフトしたものとなる。このシフト量は、電圧
調整器１５からの出力電圧V₂によつて与えられ
たものであるから、この電圧値を表示装置２３に
おいて、試料上の距離に変換表示すれば、試料の
２点間の測長が行える。

斯る構成において、切換スイツチ１７及び２２
をａ端子に接続しているときは、比較回路１６に
走査信号が入力されず、従つて加算回路１３には
映像信号のみ送られ、陰極線管９上には第３図ａ
の如き試料像のみが表示される。この状態で測定
したい試料部分を探し、陰極線管の略中央付近に
表示されるようにした後、切換スイツチ１７及び
２２をｂ端子に切換える。これにより第２図ａに
示す如き垂直走査信号が増幅器８_Vから比較回路
１６に送られ、電圧調整器１４の出力電圧V₁と
比較される。比較回路からは両信号が一致したと
き立ち上る第２図ｃに示す信号を生じ微分回路１
８に送られる。微分回路において、幅の狭いパル
ス信号（第２図ｄ）が発生され、加算回路１３に
送られる。その結果、陰極線管９には第３図ｂに
１９で示す如く水平方向にマーカ線が表示され
る。このマーカ線は電圧調整器１４を適宜調整
し、V₁の値を変えることにより上下に任意に移
動できるので試料像中の測定したい水平方向の２
点上に整合させることができる。比較回路１６か
らの信号は駆動回路２１にも送られているので切
換スイツチ２０は第２図ｃに従つて切換えられ
る。これにより、期間Ｔの間だけ端子ａを通して
電圧調整器１５の出力電圧が加算回路５_H及び表
示装置２３に送られる。電圧調整器の出力が零の
場合は水平走査信号に加算される成分がないの
で、第３図ｂの状態である。而して、電圧調整器
１５を操作するとV₂なる電圧が期間Ｔの間水平
走査信号に加算され、（第２図ｅ）偏向コイル４_H
に供給され、その結果マーカ線１９の下側の画像
が例えば矢印の方向に移動する。この移動量は
V₂に対応しているので電圧調整器１５を可変
し、下側画像の左端を上側画像の右端に一致せし
めると、（第３図ｄ）ｂ図におけるマーカ線で切
断した試料像部分の測定ができる。このときの移
動量、つまり、所望とする試料の２点間の距離は
表示装置２３上に表示されている。

次に、切換スイツチ１５及び１７を端子ｃに切
換えると、第２図ｂに示す水平走査信号が比較回
路１６に供給され、電圧V₁と比較される。その
結果、陰極線管９の各水平走査線に輝点が生じ、
第４図ａの如く、試料像に重畳して垂直方向のマ
ーカ線２４が表示される。而して、電圧調整器１
４を可変すれば、該マーカ線は左右に自由に移動
でき、所望とする位置に設定できる。又、電圧調
整器１５を可変すると第４図ｂの如く、マーカ線
２４を境にして右側の画像を上下に移動でき、測
定したい２点間の移動調整が可能である。この移
動距離は表示装置２３に表示される。

以上説明した様な構成となせば、簡単な構成、
容易な操作により所望とする試料の２点間距離を
正確に測定することができ、走査電子顕微鏡の応
用を拡大できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示すブロツク線
図、第２図乃至第４図はその動作を説明するため
の図である。２：集束レンズ、３：試料、５_H，５_V：加算回
路、６：倍率調整器、７_H，７_V：水平、垂直走査
電源、９：陰極線管、１１：検出器、１３：加算
回路、１４，１５：電圧調整器、１６：比較回
路、１７：切換スイツチ、１８：微分回路、１
９：マーカ線、２０：切換スイツチ、２１：駆動
回路、２２：切換スイツチ、２３：表示装置、２
４：マーカ線。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

集束荷電粒子線を試料に照射する光学系、該荷
電粒子線を試料上で２次元的に走査するための偏
向系、この偏向系に倍率調整器を介して走査信号
を供給する水平及び垂直走査電源、荷電粒子線の
照射により試料から生ずる情報を検出する検出器
及び該検出器の出力信号が輝度信号として導入さ
れ、且つ前記水平及び垂直走査電源からの走査信
号が供給される表示装置を有する装置において、
前記水平及び垂直走査に同期して表示装置に水平
又は垂直方向のマーカ線を表示する手段、該マー
カ線を境に分離された画像を相対的に移動せしめ
る手段及び該手段からの信号に基づき該移動量に
相当する試料上の２点間の距離を表示する手段を
備えてなる試料像観測装置。