JPS60138252U - 粒子線装置における試料画像表示装置 - Google Patents
粒子線装置における試料画像表示装置Info
- Publication number
- JPS60138252U JPS60138252U JP2563184U JP2563184U JPS60138252U JP S60138252 U JPS60138252 U JP S60138252U JP 2563184 U JP2563184 U JP 2563184U JP 2563184 U JP2563184 U JP 2563184U JP S60138252 U JPS60138252 U JP S60138252U
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- JP
- Japan
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- particle beam
- image
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
添付図面は本考案の一実施例を示すブロック線図である
。 １：電子銃、２ニ一束レンズ、３・・・対物レンズ、４
：試料、５：電子線偏向器、６：倍率調整回路、７：走
査電源、８：光学顕微鏡の対物レンズ、９：光源、１３
：接眼レンズ、１４：撮像装置、１５：切換えスイッチ
、１・６：陰極線管、１７：倍率制御装置、１８二反射
電子検出器、１９：２次電子検出器、２０：Ｘ線分光器
。 ン−−−−
。 １：電子銃、２ニ一束レンズ、３・・・対物レンズ、４
：試料、５：電子線偏向器、６：倍率調整回路、７：走
査電源、８：光学顕微鏡の対物レンズ、９：光源、１３
：接眼レンズ、１４：撮像装置、１５：切換えスイッチ
、１・６：陰極線管、１７：倍率制御装置、１８二反射
電子検出器、１９：２次電子検出器、２０：Ｘ線分光器
。 ン−−−−
Claims (1)
- 試料に集束粒子線を照射する種子光学系と、該粒子線を
試料上で２次元的に走査する偏向系と、該試料上の粒子
線の走査により試料各部から散乱した２次電子、反射電
子更にはＸ線等の情報を検出する手段と、該検出手段か
ら信号が輝度信号として供給され前記粒子線の走査と同
期した少な（とも１個の表示装置と、前記電子光学系内
に組込まれた光学顕微鏡とを備えた装置において、前記
光学顕微鏡による試料の光学像を呻像する装置を設け、
該撮像装置からの映像信号を前記表示装置又は別の表示
装置に導入して前記２次電子像、反射電子像或いはＸ線
像等の粒子線走査画像と対比的に表示し、該光学顕微鏡
による表示画像と粒子線走査画像とが同一倍率で表示さ
れるように制御する手段を有する粒子線装置における試
料画像表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2563184U JPS60138252U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 粒子線装置における試料画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2563184U JPS60138252U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 粒子線装置における試料画像表示装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60138252U true JPS60138252U (ja) | 1985-09-12 |
Family
ID=30520872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2563184U Pending JPS60138252U (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 粒子線装置における試料画像表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60138252U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01149354A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| JP2012015029A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Keyence Corp | 拡大観察装置 |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP2563184U patent/JPS60138252U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01149354A (ja) * | 1987-12-04 | 1989-06-12 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
| JP2012015029A (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-19 | Keyence Corp | 拡大観察装置 |
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