JPH0139393Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、試料像を表示する観察用陰極線管及
び撮影用陰極線管を有する走行電子顕微鏡の改良
に関する。

観察用陰極線管及び撮影用陰極線管を有する走
査電子顕微鏡において、試料像をフイルム上に露
光する場合は、撮影用陰極線管に表示される試料
像をフイルム上に投影して露光する方法が採られ
ている。

この様な装置において、第１図に示すように撮
影用陰極線管に表示された試料像の視野Ａは、試
料像と同じ大きさのフイルムサイズＦが使用され
る場合は撮影用陰極線管に表示された試料像の視
野Ａと同じ大きさ、所謂直接倍率で投影されて露
光され、又、観察用陰極線管にも同じ視野Ａが表
示される構成となつているため問題はない。とこ
ろが、第２図に示すようにフイルムサイズＦが小
さくなつた場合には、撮影用陰極線管に表示され
た試料像の視野Ａの全視野が撮影可能なような光
学レンズ系Ｌを使用して、フイルム上に視野Ａが
投影されるようにしているためフイルム上での倍
率は実際にはＦ／Ａだけ縮小されている。そのた
め、試料像の像質をチエツクするような場合は、
縮小倍率では細部を確認できない等の不都合が生
じるため直接倍率が必要となる。このような理由
から従来装置においては、第３図に示すようにフ
イルムサイズＦが撮影用陰極線管に表示される試
料像の視野Ａより小さい場合には、撮影用陰極線
管の電子ビームの走査幅を大きくし、表示される
視野ＡをＡ／Ｆの倍率で大きくして視野Ａのフイ
ルムサイズＦに対応して視野ａを撮影用陰極線管
に表示してフイルム上に投影するため、結果的に
は試料像の視野ａが直接倍率が露光される様にし
ている。

しかし乍ら、この様に構成された従来装置にお
いては、観察用陰極線管に表示される視野Ａと撮
影用陰極線管に表示されている視野ａは異なつて
おり、観察用陰極線管に表示されている視野Ａの
どの範囲が撮影用陰極線管に表示された視野ａか
確認できなく像観察の操作がしにくい欠点があつ
た。

本考案は以上の点に鑑みなされたもので、観察
用陰極線管の視野内に撮影用陰極線管に表示され
ている視野の範囲を表示することを目的とし、そ
の構成は試料上を電子線等により二次元的に走査
し、該試料よりの情報信号を検出して観察用陰極
線管及び撮影用陰極線管の輝度変調信号として入
力して試料像を表示すると共に、該撮影用陰極線
管に表示された試料像をフイルム上に投影して露
光する様構成され、特に撮影用陰極線管に表示さ
れる視野範囲をフイルムサイズに関係して可変で
きる装置において、前記観察用陰極線管に表示さ
れる試料像を区別して表示する様構成したことを
特徴としている。

以下本考案の実施例を図面に基づき詳述する。

第４図は本考案の一実施例の構成図である。図
において、１は電子銃であり、該電子銃１よりの
電子線２は本図では図示しない電子レンズ系によ
り細く集束されて試料３に照射される。４は電子
線２を偏向するための偏向コイルであり、該偏向
コイル４には走査電源５より鋸歯状の走査信号が
供給される。この走査電源５よりの走査信号は電
流増幅器６を介して観察用陰極線管７の偏向コイ
ル８と増幅器９を介して撮影用陰極線管１０の偏
向コイル１１にも供給されており、該観察用陰極
線管７及び撮影用陰極線管１０は電子線２と同期
走査される。ところで、電子線２が試料４に照射
されて試料４より放射される例えば二次電子１２
は、検出器１３により検出され増幅器１４により
増幅された後、その一方は加算回路１５を経て観
察用陰極線管７の制御グリツトに輝度変調信号と
して入力され、視野Ａの二次電子像が表示され、
もう一方は、撮影用陰極線管１０の制御グリツト
に同じく輝度変調信号として入力される。１６は
フイルムサイズ選択回路であり、該フイルムサイ
ズ選択回路１６からはフイルムサイズを選択する
ことにより倍率信号Ｘと基準電圧Ｓが同時に出力
される。該フイルムサイズ選択回路１６よりの倍
率信号Ｘは増幅器９に、基準電圧Ｓは比較回路１
７に入力されており、該増幅器９よりの偏向信号
はフイルムサイズ選択回路１６よりの倍率信号Ｘ
によつて電流増幅されて撮影用陰極線管１０の偏
向コイル１１に入力し、撮影用陰極線管の電子ビ
ームの走査幅を大きくする。そのため、撮影用陰
極線管１０に表示される視野ＡをＡ／Ｆの倍率で
大きくし、フイルムサイズＦに対応した視野ａが
第５図で示すように撮影用陰極線管１０に表示さ
れる。又、比較回路１７には走査電源５よりの偏
向信号と、前記フイルムサイズ選択回路１６より
の基準電圧Ｓが入力されており、この基準電圧Ｓ
によつて比較回路１７の比較電圧が設定される。
この比較電圧と走査電源５よりの偏向信号とが一
致した時、輝度信号を加算回路１５に出力する。
加算回路１５では、この輝度信号と映像増幅器１
４よりの信号とを加算して観察用陰極線管７に輝
度変調信号として入力する。そのため、第５図に
示すように、撮影用陰極線管１０に表示されてい
る視野範囲ａが観察用陰極線管７の視野Ａ内に輝
線Ｂにより表示されるため容易に確認することが
できる。更に、撮影用陰極線管１０に表示された
視野ａは光学レンズ１８を介してフイルム１９に
直接倍率で露光されるため、フイルムによる試料
像の像質をチエツクする場合も細部まで確認する
ことができる。

尚、本考案は第４図の実施例に限定されるもの
ではなく変形が可能である。例えば、第４図にお
いては、比較回路１７には走査電源５よりの偏向
信号と、前記フイルムサイズ選択回路１６よりの
基準電圧Ｓが入力され、この基準電圧Ｓによつて
比較回路１７の比較電圧が設定され輝線を表示す
るように構成したが、本実施例においては、比較
電圧は撮影用陰極線管１０の有効視野範囲Ｃ及び
Ｄ（又は逆に有効視野外即ち飽和状態）に対応す
るためのものであり、この信号により比較電圧が
出力されていない状態、即ち撮影用陰極線管１０
の有効視野外（有効視野範囲Ｃ及びＤ以外）の範
囲では、加算回路１５によつて映像増幅器１４か
らの輝度変調信号に負の信号が加算されて、観察
用陰極線管７には輝度の低い一定レベルの明るさ
で第６図の斜線で示す如く表示され、又、比較電
圧が出力された状態、即ち撮影用陰極線管１０の
有効視野範囲においては、映像増幅器１４からの
輝度変調信号がそのまま観察用陰極線管７に入力
されるため撮影用陰極線管１０と同じ視野範囲の
像ａが第６図に示す如く表示される。

以上の様に本考案は、試料像を表示する観察用
陰極線管及び撮影用陰極線管を有する走査電子顕
微鏡において、撮影用陰極線管に表示される視野
範囲を観察用陰極線管の視野内に輝線等により表
示することにより、操作性の向上した走査電子顕
微鏡を提供する。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図は従来装置を説明する
ための図であり、第４図は本考案の一実施例の構
成図、第５図は本考案を説明するための図、第６
図は他の実施例を説明するための図である。 １……電子銃、２……電子線、３……試料、４
……偏向コイル、５……走査電源、６……増幅
器、７……観察用陰極線管、８……偏向コイル、
９……増幅器、１０……撮影用陰極線管、１１…
…偏向コイル、１２……二次電子、１３……検出
器、１４……映像増幅器、１５……加算回路、１
６……フイルムサイズ選択回路、１７……比較回
路、１８……光学レンズ系、１９……フイルム。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料上を電子線等により二次元的に走査し、
   該試料よりの情報信号を検出して観察用陰極線
   管及び撮影用陰極線管の輝度変調信号として入
   力して試料像を表示すると共に、該撮影用陰極
   線管に表示された試料像をフイルム上に投影し
   て露光する様構成され、特に撮影用陰極線管に
   表示される視野範囲をフイルムサイズに関係し
   て可変できる装置において、前記観察用陰極線
   管に表示される試料像の視野内に前記撮影用陰
   極線管に表示される試料像の視野範囲を区別し
   て表示する様構成したことを特徴とする走査電
   子顕微鏡。 (2) 前記観察用陰極線管に表示される試料像の視
   野内に前記撮影用陰極線管に表示される試料像
   の視野範囲を輝線等の境界線を用いて表示する
   実用新案登録請求の範囲第１項記載の走査電子
   顕微鏡。 (3) 前記観察用陰極線管上に前記撮影用陰極線管
   に表示される試料像の視野範囲のみを明瞭に表
   示する実用新案登録請求の範囲第１項記載の走
   査電子顕微鏡。