JPS60126967U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS60126967U JPS60126967U JP1448684U JP1448684U JPS60126967U JP S60126967 U JPS60126967 U JP S60126967U JP 1448684 U JP1448684 U JP 1448684U JP 1448684 U JP1448684 U JP 1448684U JP S60126967 U JPS60126967 U JP S60126967U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray tube
- cathode ray
- sample image
- image displayed
- photographing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Cameras Adapted For Combination With Other Photographic Or Optical Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図、第３図は従来装置を説明するための図
であり、第４図は本考案の一実施例の構成図、第！−図
は本考案を説明するための図、第６図は他の実施例を説
明するための図である。 １：電子銃、２：電子線、３：試料、４：偏向コイル、
５：走査電源、６：増幅器、７：観察用陰極線管、８：
偏向コイル、９：増幅器、１０：撮影用陰極線管、１１
：偏向コイル、１２：二次電子、１３：検出器、１４：
映像増幅器、１５：。 加算回路、１６：フィルタサイズ選択回路、１゜６：フ
ィルムサイズ選択回路、１７：比較回路、１８：光学レ
ンズ＆１９：フィルム。
であり、第４図は本考案の一実施例の構成図、第！−図
は本考案を説明するための図、第６図は他の実施例を説
明するための図である。 １：電子銃、２：電子線、３：試料、４：偏向コイル、
５：走査電源、６：増幅器、７：観察用陰極線管、８：
偏向コイル、９：増幅器、１０：撮影用陰極線管、１１
：偏向コイル、１２：二次電子、１３：検出器、１４：
映像増幅器、１５：。 加算回路、１６：フィルタサイズ選択回路、１゜６：フ
ィルムサイズ選択回路、１７：比較回路、１８：光学レ
ンズ＆１９：フィルム。
Claims (3)
- （１）試料上を電子線等により二次元的に走査し、該試
料よりの情報信号を検出して観察用陰極線管及び撮影用
陰極線管の輝度変調信号として入力して試料像を表示す
ると共に、該撮影用陰極線管に表示された試料像をフィ
ルム上に投影して露光する様構成され、特に撮影用陰極
線管に表示される視野範囲をフィルムサイズに関係し□
て可変できる装置において、前記観察用陰極線管に表示
される試料像の視野内に前記撮影用陰極線管に表示され
る試料像の視野範囲を区別して表示する様構成したこと
を特徴とする走査電子顕微鏡。 - （２）前記観察用陰極線管に表示される試料像の視野内
に前記撮影用陰極線管に表示される試料像の視野範囲を
輝線等の境界線を用いて表示する実用新案登録請求の範
囲第１項記載の走査電子顕微鏡。 - （３） 前記観察用陰極線管上に前記撮影用陰極線管
に表示される試料像の視野範囲のみを明瞭に表示する実
用新案登録請求の範囲第１項記載の走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1448684U JPS60126967U (ja) | 1984-02-03 | 1984-02-03 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1448684U JPS60126967U (ja) | 1984-02-03 | 1984-02-03 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60126967U true JPS60126967U (ja) | 1985-08-26 |
| JPH0139393Y2 JPH0139393Y2 (ja) | 1989-11-27 |
Family
ID=30499453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1448684U Granted JPS60126967U (ja) | 1984-02-03 | 1984-02-03 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60126967U (ja) |
-
1984
- 1984-02-03 JP JP1448684U patent/JPS60126967U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0139393Y2 (ja) | 1989-11-27 |
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