JPS60163665U - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

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Publication number
JPS60163665U
JPS60163665U JP5070284U JP5070284U JPS60163665U JP S60163665 U JPS60163665 U JP S60163665U JP 5070284 U JP5070284 U JP 5070284U JP 5070284 U JP5070284 U JP 5070284U JP S60163665 U JPS60163665 U JP S60163665U
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JP
Japan
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electron beam
electronic microscope
electron microscope
camera
sample
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Pending
Application number
JP5070284U
Other languages
English (en)
Inventor
横戸　隆
成人 砂子沢
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社日立製作所 filed Critical 株式会社日立製作所
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例説明図である１・・・電子銃
、２・・・照射レンズ、“３・・・試料、４・・・結像
レンズ、５・・・像観察用蛍光板、６・・・フィルム、
７・・・ＴＶ用蛍光板、８・・・光学レンズ、９・・・
ＴＶカメラ、１０・・・増巾器、１１・・・モニタＣＲ
Ｔ、　　１２・・・増巾器、１３・・・露出計。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子線を発生させ、加速する手段、電子線を試料に照射
    する手段と試料を透過する電子線を拡大結像する手段、
    そして、蛍光板のように電子線による像を光学像に変換
    する手段、該光学像をＷ−カメラで撮影し表示する手段
    を有する電子顕微鏡゛において、ＴＶカメラの被写体と
    なる部分が、電子顕微鏡から電気的に絶縁されているこ
    とを特徴とする電子顕微鏡。
JP5070284U 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡 Pending JPS60163665U (ja)

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JP5070284U JPS60163665U (ja) 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5070284U JPS60163665U (ja) 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡

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JPS60163665U true JPS60163665U (ja) 1985-10-30

Family

ID=30569082

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JP5070284U Pending JPS60163665U (ja) 1984-04-09 1984-04-09 電子顕微鏡

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