JPS59152653U - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

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JPS59152653U
JPS59152653U JP4795983U JP4795983U JPS59152653U JP S59152653 U JPS59152653 U JP S59152653U JP 4795983 U JP4795983 U JP 4795983U JP 4795983 U JP4795983 U JP 4795983U JP S59152653 U JPS59152653 U JP S59152653U
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JP
Japan
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lens
sample
focused
electron beam
electronic microscope
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JP4795983U
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JPS643167Y2 (ja
Inventor
行人 近藤
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日本電子株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は球面収差係数Ｃｓ及び色収差係数Ｃｃの値によ
り位相伝達関数が変化することを説明するための図、第
２図は本考案の一実施例を説明するための図である。 １：鏡筒、２：電子銃、３：集束レンズ、４：対物レン
ズ、５：結像レンズ系、３ｓ、　　４Ｓ、　　５Ｓ、Ｌ
／ンズ電源、６：電子計算機、７：写真フィルム、８゜
１３：陰極線管、９．１０：反射鏡、１１：Ｌ／ンズ、
１２：記憶装置。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子銃よりの電子線を集束レンズ系によって集束して試
    料に照射し、試料を透過した電子線を対物レンズ、中間
    レンズ及び投影レンズにより結像させて試料像を得るよ
    うにした装置において、対物レンズの励磁電流を表わす
    信号に基づいて対物レンズの球面収差及び色収差及び焦
    点距離値を求めて表示する手段を具備することを特徴と
    する電子顕微鏡。
JP4795983U 1983-03-31 1983-03-31 電子顕微鏡 Granted JPS59152653U (ja)

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JP4795983U JPS59152653U (ja) 1983-03-31 1983-03-31 電子顕微鏡

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JP4795983U JPS59152653U (ja) 1983-03-31 1983-03-31 電子顕微鏡

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Publication Number Publication Date
JPS59152653U true JPS59152653U (ja) 1984-10-13
JPS643167Y2 JPS643167Y2 (ja) 1989-01-26

Family

ID=30178499

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JPS643167Y2 (ja) 1989-01-26

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