JPS59152656U - 電子顕微鏡 - Google Patents

電子顕微鏡

Info

Publication number
JPS59152656U
JPS59152656U JP4795183U JP4795183U JPS59152656U JP S59152656 U JPS59152656 U JP S59152656U JP 4795183 U JP4795183 U JP 4795183U JP 4795183 U JP4795183 U JP 4795183U JP S59152656 U JPS59152656 U JP S59152656U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
positions
lens
focused
electron beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4795183U
Other languages
English (en)
Inventor
勝重 津野
会田　嵯武郎
石田　征久
Original Assignee
日本電子株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP4795183U priority Critical patent/JPS59152656U/ja
Publication of JPS59152656U publication Critical patent/JPS59152656U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の電子顕微鏡を説明するための図、第２図
は対物レンズの光学特性を説明するための図、第３図は
本考案の一実施例を示すための図、第４図は本考案の他
の実施例を示すための図である。 １：試料、２：上磁極片、３：下磁極片、４：絞り、５
：２軸ゴニオメータ、６．　８ａ、　　９：試料ホルダ
ー、１０：コーン状部材。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 電子線を集束して試料に照射し、試料を透過した電子線
    を対物、中間及び結像レンズにより結像して試料像を得
    るようにした装置において、光軸方向に離間しており対
    物レンズの焦点距離が等しく且つ共に結像条件を満たす
    第１、第２の位置の間で試料位置を交換する手段を具備
    していることを特徴とする電子顕微鏡。
JP4795183U 1983-03-31 1983-03-31 電子顕微鏡 Pending JPS59152656U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4795183U JPS59152656U (ja) 1983-03-31 1983-03-31 電子顕微鏡

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4795183U JPS59152656U (ja) 1983-03-31 1983-03-31 電子顕微鏡

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59152656U true JPS59152656U (ja) 1984-10-13

Family

ID=30178491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4795183U Pending JPS59152656U (ja) 1983-03-31 1983-03-31 電子顕微鏡

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59152656U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS59152656U (ja) 電子顕微鏡
JPS5894254U (ja) 電子線ホログラフイ−用光学装置
JPS6071064U (ja) 分析電子顕微鏡
JPS58173160U (ja) 透過形電子顕微鏡
JPS6065967U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS607047U (ja) マイクロレンズの球面収差測定装置
JPS5966853U (ja) 面積走査角度走査両用電子線走査型分析装置
JPS58125352U (ja) 走査透過電子顕微鏡
JPS60184017U (ja) 内視鏡
JPS5899763U (ja) 電子顕微鏡
JPS59150159U (ja) 走査電子顕微鏡
JPS58116657U (ja) 超音波顕微鏡
JPS5917556U (ja) 光学顕微鏡を具えた電子線装置
JPS59152653U (ja) 電子顕微鏡
JPS5834466U (ja) ビデオ・カメラ
JPS6059458U (ja) 電子線装置
JPS5811711U (ja) 双眼実体顕微鏡
JPS59177164U (ja) 走査型反射電子回折顕微装置
JPS5988858U (ja) 電子顕微鏡
JPS6133360U (ja) 電子線エネルギ−分析装置
JPS60136048U (ja) 走査電子顕微鏡装置
JPS6032756U (ja) 電子線反射回折像観察装置
JPS5966925U (ja) 光学式ピツクアツプ装置
JPS58174854U (ja) 電子線装置のピント確認装置
JPS60163665U (ja) 電子顕微鏡